JPH0340010A - 停止位置決めサーボ回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は停止位置決めサーボ回路に関し、たとえばＸ
Ｙテーブルやθテーブルなどのような高度な停止機能を
必要とする装置に用いられるような停止位置決めサーボ
回路に関する。

［従来の技術］ 第３図は従来の停止位置決めサーボ回路の概略ブロック
図である。第３図を参照して、モータ１の回転位相がエ
ンコーダ２によって検出され、エンコーダ２の検出出力
はコンパレータ３に与えられ、所定のレベル以上の位相
信号が出力されて偏差カウンタ４に与えられる。偏差カ
ウンタ４には外部から位置決め指令パルスが与えられて
いる。

そして、偏差カウンタ４はコンパレータ３の出力を計数
し、その計数値が位置決め指令パルスと等しくなるまで
計数値をディジタル信号としてＤ／Ａ変換器５に与える
。Ｄ／Ａ変換器５はディジタ点信号をアナログ信号に変
換する。このアナログ信号はサーボアンプ６によって増
幅され、モータ１に与えられる。モータ１は偏差カウン
タ４の計数値がＯになるまでサーボ制御される。

［発明が解決しようとする課題］ 上述のごとく、従来の停止位置決めサーボ回路では、偏
差カウンタ４の計数値が０となるように、モータ１がサ
ーボ制御されるが、偏差カウンタ４はディジタル的にコ
ンパレータ３の出力を計数するため、完全に停止するこ
とはない。すなわち、モータ１は完全に停止することな
く、コンパレータ３の出力の±１パルスの位置で振動す
る。この振動は、たとえばＸＹテーブル上を顕微鏡で観
察する用途などにおいて問題となる。

それゆえに、この発明の主たる目的は、モータを安定し
た位置で停止できるようにサーボ制御し得る停止位置決
めサーボ回路を提供することである。

［課題を解決するための手段］ この発明はモータの位相を検出する位相検出手段と、位
相検出手段によって検出された予め定める停止位置との
位相差を所定のビットでディジタル的に検出するディジ
タル位相差検出手段と、このディジタル位相差検出手段
の検出出力に応答して、位相差が０となるようにモータ
をサーボ制御するサーボ制御手段とを備えた停止位置決
めサーボ回路であって、検出された位相差のうち、ディ
ジタル位相差検出手段によって検出されるｌビット以下
のアナログ的な偏差を検出するアナログ位相差検出手段
と、検出されたアナログ値とディジタル位相差検出手段
の検出出力とを加算してサーボ制御手段に与える手段と
を備えて構成される。

［作用］ この発明にかかる停止位置決めサーボ回路は、ディジタ
ル位相差検出手段によって検出された位相差に加えて、
１ビット以下のアナログ的な偏差を考慮して、モータを
サーボ制御することにより、所定の位置で安定してモー
タを停止させることができる。

［発明の実施例］ 第１図はこの発明の一実施例の概略ブロック図である。

第１図を参照して、この実施例は以下の点を除いて前述
の第３図に示した従来例と同じである。すなわち、エン
コーダ２の出力のうち、偏差カウンタ４によって計数さ
れる±１パルス以下め値に相当するアナログ的な位相偏
差を検出するために、アナログ偏差検出回路７が設けら
れる。

このアナログ偏差検出回路７の出力はゲイン設定回路８
に与えられ、ゲインが設定された後、加算回路９に与え
られる。加算回路９はＤ／Ａ変換器５の出力アナログ値
とゲイン設定回路８で設定されたアナログ値とを加算し
てサーボアンプ６に与える。

第２図は第１図に示した実施例の各部の波形図である。

次に、第１図および第２図を参照して、この発明の一実
施例の具体的な動作について説明する。エンコーダ２は
第２図（ａ）の実線に示すような回転位相に応じたｓｉ
ｎ信号とＣＯ８信号とを出力する。コンパレータ３は前
述の第３図で説明したように、ｓｉｎ信号を所定のレベ
ルで弁別してパルス信号とし、偏差カウンタ４はそのパ
ルス信号を計数して、第２図（ｃ）に示すようなディジ
タル偏差値を出力する。

一方、アナログ偏差検出回路７はエンコーダ２の出力の
ｓｉｎ信号とＣＯＳ信号とをそれぞれ反転し、第２図（
ａ）の点線で示す一５ｉｎ信号と−ｃｏｓ信号とを作製
し、そのうち直線に近い部分を取出し、第２図（ｂ）に
示すアナログ偏差信号を出力してゲイン設定回路８に与
える。ゲイン設定回路８はアナログ偏差信号の傾きを偏
差カウンタ４の１ビット以内の偏差とするために、Ｋ倍
して適当なゲインを持たせる。そして、ゲイン設定回路
８の出力と、第２図（ｃ）に示す偏差カウンタ４の出力
のディジタル偏差信号をＤ／Ａ変換器５によって変換し
たアナログ信号とが第２図（ｄ）に示すように、加算器
９によって加算され、サーボアンプ６に与えられる。

上述のごとく、この発明の一実施例によれば、偏差カウ
ンタ４の出力であるディジタル偏差信号に、このディジ
タル偏差信号の１ビット以内のアナログ偏差信号を加え
、これらの偏差信号がＯとなるようにモータ１をサーボ
制御するようにしたので、モータ１を安定した１点の停
止点で停止させることができる。

なお、ゲイン設定回路８のゲインＫをさらに大きくする
と、加算器９の出力は第２図（ｅ）に示すようになり、
停止時の位置決めゲインがより大きくなる。ただし、こ
の場合安定点は多数ある。

また、停止時と位置決めの動作時でＫの値をダイナミッ
クに変化させるようにしてもよい。

［発明の効果コ 以上のように、この発明によれば、モータの位相を検出
し、その位相と予め定める停止位置との位相差を所定の
ビットでディジタル的に検出してディジタル偏差信号と
し、このディジタル偏差信号の１ビット以内のアナログ
偏差信号をディジタル偏差信号に加えて、これらの偏差
信号がＯとなるようにモータをサーボ制御するようにし
たので、モータを安定した一定の停止点で停止させるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の概略ブロック図である。 第２図は第１図の各部の波形図である。 第３図は従来の停止位置決めサーボ回路の概略ブロック
図である。 図において、１はモータ、２はエンコーダ、３はコンパ
レータ、４は偏差カウンタ、５はＤ／Ａ変換器、６はサ
ーボアンプ、７はアナログ偏差検出回路、８はゲイン設
定回路、９は加算器を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 モータの位相を検出する位相検出手段と、 前記位相検出手段によって検出された位相と予め定める
   停止位置との位相差を所定のビットでディジタル的に検
   出するディジタル位相差検出手段と、 前記ディジタル位相差検出手段の検出出力に応答して、
   前記位相差が０となるように前記モータをサーボ制御す
   るサーボ制御手段とを備えた停止位置決めサーボ回路に
   おいて、 前記位相検出手段によって検出された位相のうち、前記
   ディジタル位相差検出手段によって検出される１ビット
   以下のアナログ的な偏差を検出するアナログ位相差検出
   手段、および 前記アナログ位相差検出手段によって検出されたアナロ
   グ的な偏差と、前記ディジタル位相差検出手段の検出出
   力とを加算して前記サーボ制御手段に与える手段を備え
   た、停止位置決めサーボ回路。