JPH0339943Y2

JPH0339943Y2 -

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Publication number: JPH0339943Y2
Application number: JP1985053090U
Authority: JP
Priority date: 1985-04-10
Filing date: 1985-04-10
Publication date: 1991-08-22
Also published as: JPS61171321U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、タイミング信号発生装置に関するも
のである。

（従来の技術）第１図、半導体測定装置の要部の一例を示すブ
ロツク図である。第１図において、CPGはクロ
ツクパターン発生器であり、このクロツクパター
ン発生器CPGからはテストパターン発生器TPG
にレート信号S_Rが出力され、フオーマツト回路
FMTにフオーマツト信号S_Fが出力され、コンパ
レータCMPにストローブ信号S_Sが出力される。
テストパターン発生器TPGからはフオーマツト
回路FMTに所定のテストパターン信号を出力さ
せるためのパターンデータPD₁が加えられるとと
もにコンパレータCMPに基準パターンデータ
PD₂が加えられ、フオーマツト回路FMTからは
検査対象半導体装置DUTに所定のテストパター
ン信号S_TPが加えられ、検査対象半導体装置DUT
からはテストパターン信号S_TPに対応した出力パ
ターン信号S_OPがコンパレータCMPに加えられ
る。そして、コンパレータCMPにおいてストロ
ーブ信号S_Sに従つて基準パターンデータPD₂と出
力パターン信号S_OPとが比較され、不一致の場合
にはフエイルデータD_FがフエイルメモリFMMに
出力されることになる。ここで、このような装置
におけるストローブ信号S_Sは、周期性を有するレ
ート信号S_Rに対して各周期毎に周期的に発生され
てコンパレータCMPに入力される。なお、レー
ト信号S_Rの立ち上がりを基準点とした場合、この
基準点からストローブ信号S_Sの立ち上がりまでの
ストローブ時間T_STは各周期毎に可変である。

ところで、このような装置では、検査対象半導
体装置DUTの特性やテスト内容によつては、テ
ストパターン信号S_TPに対応した出力パターン信
号S_OPがテストパターン信号S_TPと同一レート周期
内に出力されずに次のレート周期で出力されるこ
とがある。この場合には、ストローブ信号S_Sを次
のレート周期で発生させなければならない。すな
わち、第１図の半導体測定装置において、クロツ
クパターン発生器CPG→テストパターン発生器
TPG→フオーマツト回路FMT→検査対象半導体
装置DUT→コンパレータCMPで構成される経路
は遅延時間を持つている。この遅延時間をシステ
ムデイレイT_SDとし、レート信号S_Rの周期をT_SR
とし、最初のストローブ信号S_Sが立ち上がるまで
のストローブ時間をT_STとすると、T_SR≦T_SDのと
きにはT_ST≧T_SRになる。この場合には、ストロ
ーブ信号S_Sを第６図に示すように次のレート周期
で発生させなければならない。これに対し、T_SR
＞T_SDのときにはT_ST＜T_SRになり、ストローブ信
号S_Sは第７図に示すように同じレート周期内で発
生させればよい。

ところで、第６図のような時間関係でストロー
ブ信号S_Sを発生させるのにあたつて、最大設定時
にはレート信号S_Rの立ち上がりからレート信号S_R
の２周期分を減算カウントできるカウンタを設
け、このカウンタにストローブ時間T_STを設定し
てゼロカウントになつた時点でストローブ信号S_S
を発生させることが考えられる。

しかし、この場合には第８図に示すようにレー
ト信号S_Rの２周期に１回しかストローブ信号S_Sを
発生させることができない。

第４図は、このような点を考慮した従来のスト
ローブ信号発生装置の一例を示す回路図である。
第４図において、１は外部から加えられる第１の
ロード信号S_L1に従つて第１の設定値SD₁を取り
込み減算計数を行う第１の減算カウンタであり、
その計数値は第１の検出回路２に加えられてい
る。第１の検出回路２は第１の減算カウンタ１の
計数値が零になつたことを検出して第２のロード
信号S_L2を発生し、切換スイツチ３の一方の固定
接点Ｂに加える。切換スイツチ３の他方の固定接
点Ａには第１のロード信号S_L1が加えられていて、
切換スイツチ３からはこれら第１のロード信号
S_L1および第２のロード信号S_L1が選択的にロード
信号として第２の減算カウンタ４に出力される。
第２の減算カウンタ４は切換スイツチ３を介して
選択的に加えられるロード信号に従つて第２の設
定値SD₂を取り込んで減算計数を行い、計数値を
第２の検出回路５に出力する。第２の検出回路５
は第２の減算カウンタ４の計数値が零になつたこ
とを検出して零検出信号S_Zを発生し、ストローブ
信号発生回路６に加える。これにより、ストロー
ブ信号発生回路６は、零検出信号S_Zに同期したス
トローブ信号S_Sを発生することになる。このよう
な構成において、切換スイツチ３の可動接点は、
ストローブ信号S_Sをレート信号S_Rと同一の周期内
で発生させる場合には固定接点Ａ側に接続され、
ストローブ信号S_Sをレート信号S_Rの次の周期内で
発生させる場合には固定接点Ｂ側に接続される。

第５図は、第４図の動作の一例を示すタイムチ
ヤートであつて、切換スイツチ３の可動接点を固
定接点Ｂに接続してストローブ信号S_Sをテストパ
ターン信号S_TPの次のレート周期で発生させる場
合を示したものであり、ａはレート信号S_Rを示
し、ｂは外部から第１の減算カウンタ１に加えら
れる第１のロード信号S_L1を示し、ｃは第１の検
出回路２から第２の減算カウンタ４に加えられる
第２のロード信号S_L2を示し、ｄは第２の検出回
路５からストローブ信号発生回路６に加えられる
検出信号S_Zを示し、ｅはストローブ信号発生回路
６から出力されるストローブ信号S_Sを示してい
る。なお、以下の説明では、レート周期を100ns、
第１の減算カウンタ１および第２の減算カウンタ
４の設定値のロードから減算計数を開始するまで
に要する時間T_S1，T_S2をそれぞれ10nsとし、ス
トローブ信号S_Sを次のレート周期の立ち上がりか
ら20ns後に発生させるものとする。

まず、レート信号S_Rが立ち上がる時刻t₂に対し
て時間T_S1だけ先行する時刻t₁に第１のロード信
号S_L1が第１の減算カウンタ１に加えられ、時間
T_S1内に第１の減算カウンタ１に第１の設定値
SD₁が取り込まれる。この場合には、設定値SD₁
としては70nsに相当するデータが取り込まれる。
そして、時間T_S1経過後の時刻t₂においてレート
信号S_Rが立ち上がると同時に第１の減算カウンタ
１の減算計数が開始される。時刻t₂から設定時間
70nsが経過した時刻t₃において、第１の検出回路
２により第１の減算カウンタ１の計数値が零にな
つたことが検出されるとともに、第２の減算カウ
ンタ４に第２のロード信号S_L2が加えられる。第
２の減算カウンタ４には、第２のロード信号S_L2
の立ち上がりから時間T_S2内に第２の設定値SD₂
が取り込まれる。この場合には、設定値SD₂とし
ては40nsに相当するデータが取り込まれる。そし
て、時刻t₃から時間T_S2経過後の時刻t₄において
第２の減算カウンタ４の減算計数が開始され、時
刻t₄から設定時間40nsが経過した時刻t₅において
第２の検出回路５により第２の減算カウンタ４の
計数値が零になつたことが検出されて零検出信号
S_Zがストローブ信号発生回路６に加えられる。こ
れにより、ストローブ信号発生回路６は零検出信
号S_Zに同期したストローブ信号S_Sを発生すること
になる。

このように構成することにより、ストローブ信
号S_Sは、レート信号S_Rが立ち上がる時点から、第
１の減算カウンタ１の設定値SD₁で設定される時
間T₁、第２の減算カウンタ４の設定値のロード
から減算計数を開始するまでに要する時間T_S2お
よび第２の減算カウンタ４の設定値SD₂で設定さ
れる時間T₂を加算した時間T_STが経過した時点で
出力されることになる。

（考案が解決しようとする問題点）しかし、このような従来のタイミング信号発生
装置では、時間T_STの演算にあたつて第１の減算
カウンタ１の設定値SD₁で設定される時間T₁およ
び第２の減算カウンタ４の設定値SD₂で設定され
る時間T₂の他に第２の減算カウンタ４の設定値
のロードから減算計数を開始するまでに要する時
間T_S2を考慮しなければならず、演算が複雑にな
る。また、第２の減算カウンタ４の設定値のロー
ドから減算計数を開始するまでに要する時間T_S2
内ではストローブ信号S_Sを立ち上げることができ
ないという欠点もある。

本考案は、このような従来の欠点を解決したも
のであつて、その目的は、タイミング信号の発生
時間を各減算カウンタの設定値のみで連続的に設
定できるタイミング信号発生装置を実現すること
にある。

（問題点を解決するための手段）このような目的を達成する本考案は、周期性を有するレート信号の各周期毎に設定さ
れる基準点からレート周期の２倍に至るまでの任
意の時間経過後にタイミング信号を出力するタイ
ミング信号発生装置において、外部から加えられる第１のロード信号に従つて
レート周期以下の第１の設定値を取り込み減算計
数を行う第１の減算カウンタと、第１のカウンタの計数値が零でない所定の値に
達したことを検出して第２のロード信号を発生す
る第１の検出回路と、第１のロード信号と第２のロード信号を選択的
に出力する切換スイツチと、この切換スイツチを介して加えられるロード信
号に従つてレート周期以下の第２の設定値を取り
込み減算計数を行う第２の減算カウンタと、第２の減算カウンタの計数値が零になつたこと
を検出して零検出信号を発生する第２の検出回路
と、この第２の検出回路の零検出信号に従つて所定
のタイミング信号を発生するタイミング信号発生
回路とを具備し、タイミング信号をレート信号と同一の周期内で
発生させる場合には第２の減算カウンタに第２の
設定値として基準点からタイミング信号発生まで
の時間を設定するとともに第２の減算カウンタの
ロード信号として第１のロード信号を加え、タイミング信号をレート信号の次の周期内で発
生させる場合には第１の減算カウンタに第１の設
定値として基準点から第２の減算カウンタが減算
計数を開始するまでの時間を設定し、第１の検出
回路の検出基準値として第２の減算カウンタがロ
ード信号を取り込んでから計数を開始するまでの
時間データを設定し、第２の減算カウンタに第２
の設定値として基準点からタイミング信号発生ま
での時間と第１のカウンタに設定された時間の差
を設定するとともに第２の減算カウンタのロード
信号として第１の検出回路から出力される第２の
ロード信号を加えることを特徴とする。

（実施例）以下、図面を用いて詳細に説明する。

第２図は、本考案の一実施例を示す回路図であ
り、第４図と同一部分には同一符号を付けてい
る。第２図において、７は第１の減算カウンタ１
の計数値が零でない所定の値に達したことを検出
してその検出信号を第２の減算カウンタ４にロー
ド信号S_L2として加える第１の検出回路である。
このような検出回路７としては、例えば第１の減
算カウンタ１の各出力ビツトの状態を予め設定さ
れた検出基準値のビツトの状態と比較し、一致し
た時点で一致信号を出力するように構成された公
知のデジタルコンパレータを用いる。ここで、第
１の検出回路７が検出信号を発生する計数値とし
ては、第２の減算カウンタ４の設定値のロードか
ら減算計数を開始するまでに要する時間T_S2に対
応した値を設定するようにする。

第３図は、第２図の動作の一例を示すタイムチ
ヤートであつて、第５図と同様に切換スイツチ３
の可動接点を固定接点Ｂに接続してストローブ信
号S_Sをテストパターン信号S_TPの次のレート周期
で発生させる場合を示したものであり、第５図と
同一波形には同一符号を付けている。すなわち、
第３図において、ａはレート信号S_Rを示し、ｂは
外部から第１の減算カウンタ１に加えられる第１
のロード信号S_L1を示し、ｃは第１の検出回路７
から第２の減算カウンタ４に加えられる第２のロ
ード信号S_L2を示し、ｄは第２の検出回路５から
ストローブ信号発生回路６に加えられる検出信号
S_Zを示し、ｅはストローブ信号発生回路６から出
力されるストローブ信号S_Sを示している。なお、
以下の説明においても第５図と同様に、レート周
期を100ns、第１および第２の減算カウンタ１，
４の設定値のロードから減算計数を開始するまで
に要する時間T_S1，T_S2をそれぞれ10nsとし、ス
トローブ信号S_Sを次のレート周期の立ち上がりか
ら20ns後に発生させるものとする。

まず、レート信号S_Rが立ち上がる時刻t₂に対し
て時間T_S1だけ先行する時刻t₁に第１のロード信
号S_L1が第１の減算カウンタ１に加えられ、時間
T_S1内に第１の減算カウンタ１に第１の設定値
SD₁が取り込まれる。この場合にも第５図と同様
に設定値SD₁としては70nsに相当するデータが取
り込まれる。そして、時間T_S1経過後の時刻t₂に
おいてレート信号S_Rが立ち上がると同時に第１の
減算カウンタ１の減算計数が開始される。第１の
検出回路７は、第１の減算カウンタ１の減算計数
値が第２の減算カウンタ４の設定値のロードから
減算計数を開始するまでに要する時間T_S2に対応
した値（本実施例では10ns）に達した時刻t₃にお
いて第１の減算カウンタ１の計数値が所定の値に
なつたことを検出するとともに、第２の減算カウ
ンタ４に第２のロード信号S_L2を加える。第２の
減算カウンタ４には、第２のロード信号S_L2の立
ち上がりから時間T_S2内に第２の設定値SD₂が取
り込まれる。この場合には、設定値SD₂としては
50nsに相当するデータが取り込まれる。そして、
時刻t₃から時間T_S2経過後の時刻t₄において第１
の減算カウンタ１の計数値が０になると同時に第
２の減算カウンタ４の減算計数が開始され、時刻
t₄から設定時間50nsが経過した時刻t₅において第
２の検出回路５により第２の減算カウンタ４の計
数値が零になつたことが検出されて零検出信号S_Z
がストローブ信号発生回路６に加えられる。これ
により、ストローブ信号発生回路６は零検出信号
S_Zに同期したストローブ信号S_Sを発生することに
なる。

このように構成することにより、ストローブ信
号S_Sは、レート信号S_Rが立ち上がる時点から、第
１の減算カウンタ１の設定値SD₁で設定される時
間T₁および第２の減算カウンタ４の設定値SD₂で
設定される時間T₂を加算した時間T_STが経過した
時点で出力されることになる。なお、ストローブ
信号S_Sをテストパターン信号S_TPと同一のレート
周期内で発生させる場合には、切換スイツチ３の
可動接点を固定接点Ａに接続すればよい。

このような構成によれば、時間T_STの演算にあ
たつては、第１の減算カウンタ１の設定値SD₁で
設定される時間T₁および第２の減算カウンタ４
の設定値SD₂で設定される時間T₂のみを考慮すれ
ばよくて従来のように第２の減算カウンタ４の設
定値のロードから減算計数を開始するまでに要す
る時間T_S2は考慮しなくてもよく、容易に演算す
ることができる。また、従来のように第２の減算
カウンタ４の設定値のロードから減算計数を開始
するまでに要する時間T_S2内でのストローブ信号
S_Sの立ち上がりが制限されることもない。

なお、上記実施例では、ストローブ信号を発生
する回路の例について説明したが、これに限るも
のではなく、各種のタイミング信号の発生回路と
して用いることができるものである。

（考案の効果）以上説明したように、本考案によれば、タイミ
ング信号の発生時間を各減算カウンタの設定値の
みで連続的に設定できるタイミング信号発生装置
が実現でき、実用上の効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体測定装置の要部の一例を示すブ
ロツク図、第２図は本考案の一実施例を示す回路
図、第３図は第２図の動作を説明するタイムチヤ
ート、第４図は従来の装置の一例を示す回路図、
第５図は従来の動作を説明するタイムチヤート、
第６図および第７図はレート信号とストローブ信
号の時間関係説明図、第８図は１台の減算カウン
タを用いた場合の時間関係説明図である。１，４……減算カウンタ、３……切換スイツ
チ、５，７……検出回路、６……ストローブ信号
発生回路。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】周期性を有するレート信号の各周期毎に設定さ
れる基準点からレート周期の２倍に至るまでの任
意の時間経過後にタイミング信号を出力するタイ
ミング信号発生装置において、外部から加えられる第１のロード信号に従つて
レート周期以下の第１の設定値を取り込み減算計
数を行う第１の減算カウンタと、第１のカウンタの計数値が零でない所定の値に
達したことを検出して第２のロード信号を発生す
る第１の検出回路と、第１のロード信号と第２のロード信号を選択的
に出力する切換スイツチと、この切換スイツチを介して加えられるロード信
号に従つてレート周期以下の第２の設定値を取り
込み減算計数を行う第２の減算カウンタと、第２の減算カウンタの計数値が零になつたこと
を検出して零検出信号を発生する第２の検出回路
と、この第２の検出回路の零検出信号に従つて所定
のタイミング信号を発生するタイミング信号発生
回路とを具備し、タイミング信号をレート信号と同一の周期内で
発生させる場合には第２の減算カウンタに第２の
設定値として基準点からタイミング信号発生まで
の時間を設定するとともに第２の減算カウンタの
ロード信号として第１のロード信号を加え、タイミング信号をレート信号の次の周期内で発
生させる場合には第１の減算カウンタに第１の設
定値として基準点から第２の減算カウンタが減算
計数を開始するまでの時間を設定し、第１の検出
回路の検出基準値として第２の減算カウンタがロ
ード信号を取り込んでから計数を開始するまでの
時間データを設定し、第２の減算カウンタに第２
の設定値として基準点からタイミング信号発生ま
での時間と第１のカウンタに設定された時間の差
を設定するとともに第２の減算カウンタのロード
信号として第１の検出回路から出力される第２の
ロード信号を加えることを特徴とするタイミング
信号発生装置。