JPH0339626A - シート状シールの洩れ検査方法及びこの方法を用いた洩れ検査装置 - Google Patents
シート状シールの洩れ検査方法及びこの方法を用いた洩れ検査装置Info
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- JPH0339626A JPH0339626A JP17536489A JP17536489A JPH0339626A JP H0339626 A JPH0339626 A JP H0339626A JP 17536489 A JP17536489 A JP 17536489A JP 17536489 A JP17536489 A JP 17536489A JP H0339626 A JPH0339626 A JP H0339626A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は容器の開口部が例えばアルミのシート状体に
よってシールされた構造の商品のシール部分に洩れが有
るか否かを検査するシート状シールの検査方法及びこの
検査方法を用いた洩れ検査装置を提案するものである。
よってシールされた構造の商品のシール部分に洩れが有
るか否かを検査するシート状シールの検査方法及びこの
検査方法を用いた洩れ検査装置を提案するものである。
「従来の技術」
例えばガラス或いは金属性の容器の開口部をシート状シ
ールによってシールした構造の商品が考えられている。
ールによってシールした構造の商品が考えられている。
この構造の商品は内容物が固形物である場合は比較的実
現が容易であり、実用化されている。しかしながら、液
体或いはゼリー状の流体の場合はシール部分の信頼性に
難点があり、実用化が遅れている。
現が容易であり、実用化されている。しかしながら、液
体或いはゼリー状の流体の場合はシール部分の信頼性に
難点があり、実用化が遅れている。
「発明が解決しようとする課題」
シート状シールの封止状態の信頼性に難点がある理由は
、シート状シールの洩れ検査技術が確立されていないこ
とによる。
、シート状シールの洩れ検査技術が確立されていないこ
とによる。
シート状シールが完全に封止状態を維持しているか否か
を検査することができればシート状シールの信頼性が高
まり実用化が可能となる。
を検査することができればシート状シールの信頼性が高
まり実用化が可能となる。
この発明の目的は容器の開口部を塞ぐシート状シールに
洩れが有るか否かを検査することができる洩れ検査方法
と、その検査方法を用いた検査装置を提案しようとする
ものである。
洩れが有るか否かを検査することができる洩れ検査方法
と、その検査方法を用いた検査装置を提案しようとする
ものである。
「課題を解決するための手段」
この出願の第1発明ではシート状シールが導電性を持つ
場合の洩れ検査方法を提案するものである。
場合の洩れ検査方法を提案するものである。
つまり、第1発明では容器開口部を密封する導電性シー
ト状シールに複数の電極が被着された平板体を被せこの
平板体に形成した排気孔を通して平板体と導電性シート
状シールによって囲まれた空間内の空気を排気し、この
排気によって平板体と導電性シート状シールによって囲
まれる空間内の圧力を容器内の圧力より低下させ、この
圧力の低下によって導電性シート状シールが浮き上るこ
とを複数の電極間の静電容量の変化によって検出し、導
電性シート状シールの洩れの有無を検出するシート状シ
ールの洩れ検査方法を提案する。
ト状シールに複数の電極が被着された平板体を被せこの
平板体に形成した排気孔を通して平板体と導電性シート
状シールによって囲まれた空間内の空気を排気し、この
排気によって平板体と導電性シート状シールによって囲
まれる空間内の圧力を容器内の圧力より低下させ、この
圧力の低下によって導電性シート状シールが浮き上るこ
とを複数の電極間の静電容量の変化によって検出し、導
電性シート状シールの洩れの有無を検出するシート状シ
ールの洩れ検査方法を提案する。
この出願の第2発明では第1発明で提案したシート状シ
ールの洩れ検査方法において、シート状シールの材質が
非導電性である場合の洩れ検査方法を提案するものであ
る。
ールの洩れ検査方法において、シート状シールの材質が
非導電性である場合の洩れ検査方法を提案するものであ
る。
シート状シールが非導電性であることから平板体に接触
検知スイッチを設け、この接触検知スイッチによって非
導電性シート状シールが浮き上がったことを検知する。
検知スイッチを設け、この接触検知スイッチによって非
導電性シート状シールが浮き上がったことを検知する。
この出願の第1発明及び第2発明によればシート状シー
ルの上に電極が形成された平板体または接触検知スイッ
チを具備した平板体を乗せ、平板体に形成した排気孔を
通じて平板体とシート状シールによって囲まれた空間内
の空気を排気す、る。
ルの上に電極が形成された平板体または接触検知スイッ
チを具備した平板体を乗せ、平板体に形成した排気孔を
通じて平板体とシート状シールによって囲まれた空間内
の空気を排気す、る。
この排気によって平板体とシート状シールによって囲ま
れた空間内の圧力は低下する。空間内の圧力が容器内の
圧力より低下した状態において、シート状シールと容器
との間に洩れが有る場合はシート状シールは浮き上がる
。
れた空間内の圧力は低下する。空間内の圧力が容器内の
圧力より低下した状態において、シート状シールと容器
との間に洩れが有る場合はシート状シールは浮き上がる
。
従って、シート状シールが浮き上がったことを検出すれ
ばシート状シールの封止状態が正常か否かを判定するこ
とができる。
ばシート状シールの封止状態が正常か否かを判定するこ
とができる。
この出願の第3発明では第1発明及び第2発明で提案し
た洩れ検査方法を用いた洩れ検査装置を提案するもので
ある。
た洩れ検査方法を用いた洩れ検査装置を提案するもので
ある。
この第3発明で提案した洩れ検査装置によればシート状
シールの移動検知センサが装着された平板体を被検査体
の上に乗せるだけでシート状シールの洩れの有無を検査
することができる。よって被検査体が搬送手段によって
順次送られている各種の製造ラインにおいて、製造ライ
ンの流れの速度を落とすことなく高速度でシート状シー
ルの洩れの有無を検査することができ、よって製造され
る商品の全量を検査することができる。
シールの移動検知センサが装着された平板体を被検査体
の上に乗せるだけでシート状シールの洩れの有無を検査
することができる。よって被検査体が搬送手段によって
順次送られている各種の製造ラインにおいて、製造ライ
ンの流れの速度を落とすことなく高速度でシート状シー
ルの洩れの有無を検査することができ、よって製造され
る商品の全量を検査することができる。
「実施例」
第1図に第1発明で提案した検査方法と、この検査方法
を用いた第3発明で提案した検査装置の−例を示す。
を用いた第3発明で提案した検査装置の−例を示す。
図中10は被検査体を示す、被検査体10は例えばガラ
スの容器11に液体またはゼリー状の内容物12が充填
され、その開口部に例えばアルミ製シー)13が被せら
れ、開口部分をシールした構造とされる。
スの容器11に液体またはゼリー状の内容物12が充填
され、その開口部に例えばアルミ製シー)13が被せら
れ、開口部分をシールした構造とされる。
シール時には内容物12を例えば90℃程度に加熱して
おき、シール後冷却することによって内容物12の熱収
縮によって容器11内の圧力を下げ、シート13に容器
11の内側に引き込む吸引力を与えている。従って、容
器11の内部は外気圧により低い圧力に維持されている
。
おき、シール後冷却することによって内容物12の熱収
縮によって容器11内の圧力を下げ、シート13に容器
11の内側に引き込む吸引力を与えている。従って、容
器11の内部は外気圧により低い圧力に維持されている
。
20は平板体を示す、この平板体20は例えば絶縁板に
よって形成された円盤が用いられる。平板体20の被検
査体10と対向する面には第2図に示すように複数の電
極21.22が設けられる。
よって形成された円盤が用いられる。平板体20の被検
査体10と対向する面には第2図に示すように複数の電
極21.22が設けられる。
この例では電極21を円形電極とし、他方の電極22を
環状電極とした場合を示す。
環状電極とした場合を示す。
平板体20には孔23が形成され、この孔23に吸気装
置30が接続される。
置30が接続される。
吸気装置30は例えば真空ポンプ31と、減圧弁32、
圧力計33.3方弁34とによって構成することができ
る。
圧力計33.3方弁34とによって構成することができ
る。
減圧弁32には圧力計33の測定値が与えられ、管35
内の負圧が一定値を維持するように減圧弁32が制御さ
れる。
内の負圧が一定値を維持するように減圧弁32が制御さ
れる。
3方弁34は検査時に管35と36を継ぎ、非検査時は
管36を大気開放口37に継ぎ孔23を大気に開放する
。
管36を大気開放口37に継ぎ孔23を大気に開放する
。
平板体20には電極21と22との外に環状のシールパ
ツキン24が設けられ、この環状シールパツキン24が
被検査体10の開放部分の縁に接触される。
ツキン24が設けられ、この環状シールパツキン24が
被検査体10の開放部分の縁に接触される。
平板体20は例えばプランジャのような昇降装置2日に
よって上下に移動できるように支持され、被検表体lO
が所定位置に停止したタイ果ングで下降し、被検査体1
0の上に乗せられる。このときシールパツキン24が被
検査体10の開放部分の縁に当接し、平板体20とシー
ト状シール13とによって空間14が形成される。
よって上下に移動できるように支持され、被検表体lO
が所定位置に停止したタイ果ングで下降し、被検査体1
0の上に乗せられる。このときシールパツキン24が被
検査体10の開放部分の縁に当接し、平板体20とシー
ト状シール13とによって空間14が形成される。
この状態で3方弁34を動作させ、管35と36を継ぐ
ことによって空間14内の空気が排気され、空間14内
の圧力が減圧弁32の制御によって決められる圧力まで
低下する。
ことによって空間14内の空気が排気され、空間14内
の圧力が減圧弁32の制御によって決められる圧力まで
低下する。
空間14内の圧力が低下することによってシート状シー
ル13と容器10との間に洩れが無ければシート状シー
ル13は変形しない。
ル13と容器10との間に洩れが無ければシート状シー
ル13は変形しない。
これに対し、シート状シール13と容器11との間に洩
れが有る場合は、その洩れ部分から容器ll内に空気が
侵入し、シート状シール13は平板体20に向かって浮
き上がる。
れが有る場合は、その洩れ部分から容器ll内に空気が
侵入し、シート状シール13は平板体20に向かって浮
き上がる。
シート状シール13が例えばアルミ箔のような導電性を
を持っていることによって電極21と22の間の静電容
量が変化し、シート状シール13の浮き上がりを検出す
ることができる。
を持っていることによって電極21と22の間の静電容
量が変化し、シート状シール13の浮き上がりを検出す
ることができる。
第3図は導電性のシート状シール13が浮き上がったこ
とを検出して信号を発信する信号発信器の構成を示す0
図中46はこの信号発信器の全体を指す。
とを検出して信号を発信する信号発信器の構成を示す0
図中46はこの信号発信器の全体を指す。
電極21と22の間で形成される静電容量はコンデンサ
C3,Ct、Czによってブリッジ回路40を構成する
。ブリッジ回路40はシート状シール13が変形しない
状態で平衡するように電極21と22の間の静電容量と
、コンデンサC3゜Cz、Csの容量値が設定される。
C3,Ct、Czによってブリッジ回路40を構成する
。ブリッジ回路40はシート状シール13が変形しない
状態で平衡するように電極21と22の間の静電容量と
、コンデンサC3゜Cz、Csの容量値が設定される。
ブリッジ回路40の対向接続点A−Bには発振回路41
から交流信号が与えられ、他方の対向接続点C−Dは整
流回路42の入力端子に接続される。
から交流信号が与えられ、他方の対向接続点C−Dは整
流回路42の入力端子に接続される。
ブリッジ回路40が平衡している状態では対向接続点と
C−D間は無信号である。従って、整流回路42の出力
も無信号に維持される。
C−D間は無信号である。従って、整流回路42の出力
も無信号に維持される。
これに対し、電極21と22に向かって導電性のシート
状シール13が近づくと、電極21と22の間の静電容
量が増加し、この容量の増加によってブリッジ回路40
が不平衡状態となり、対向接続点C−D間に交流信号が
発生する。
状シール13が近づくと、電極21と22の間の静電容
量が増加し、この容量の増加によってブリッジ回路40
が不平衡状態となり、対向接続点C−D間に交流信号が
発生する。
この交流信号は整流回路42に入力され整流されて増幅
回路43に入力され増幅される。増幅回路43の出力信
号は良否判定回路44に与えられ、良否判定回路44で
良否の判定が行われて良否判定結果が信号として発信さ
れ、この信号を利用して被検査体10を不良品収容部に
仕分けする。45は電源回路を示し、この電源回路45
によって発振回路41と増幅回路43及び良否判定回路
44に動作電圧を与える。
回路43に入力され増幅される。増幅回路43の出力信
号は良否判定回路44に与えられ、良否判定回路44で
良否の判定が行われて良否判定結果が信号として発信さ
れ、この信号を利用して被検査体10を不良品収容部に
仕分けする。45は電源回路を示し、この電源回路45
によって発振回路41と増幅回路43及び良否判定回路
44に動作電圧を与える。
第4図はこの出願の第2発明で提案するシート状シール
の洩れ検査方法の実施例を示す、第2発明ではシート状
シール13が非導電性の場合の洩れ検査方法を提案する
ものである。
の洩れ検査方法の実施例を示す、第2発明ではシート状
シール13が非導電性の場合の洩れ検査方法を提案する
ものである。
シート状シール13が非導電性であることからシート状
シール13が浮き上がったことを検出する手段として接
触検知スイッチを用いる。接触検知スイッチとしては平
板体20の中心に導電ピン25を貫通させる。導電ピン
25の先端は平板体20の板面かられずかに突出させる
。この突出部分にバネ性を持つ導電性薄板26を取り付
ける。
シール13が浮き上がったことを検出する手段として接
触検知スイッチを用いる。接触検知スイッチとしては平
板体20の中心に導電ピン25を貫通させる。導電ピン
25の先端は平板体20の板面かられずかに突出させる
。この突出部分にバネ性を持つ導電性薄板26を取り付
ける。
導電性薄板26は円盤状にされ、平板体20の面とわず
かな間隙を保って支持される。
かな間隙を保って支持される。
平板体20には電極27が取り付けられる。この例では
電極27を平板体20に埋め込んだ場合を示す。なお、
導電性薄板26には平板体2oに形成する排気孔23と
対向して孔を形成し、排気孔23から空間14の空気を
排気する際に、導電性薄板26が吸引されないように構
成される。
電極27を平板体20に埋め込んだ場合を示す。なお、
導電性薄板26には平板体2oに形成する排気孔23と
対向して孔を形成し、排気孔23から空間14の空気を
排気する際に、導電性薄板26が吸引されないように構
成される。
このようにして電極27と導電性薄板26をわずかな間
隙を保って配置することによってシート状シール13が
浮き上がり、シート状シール13が平板体20に吸着さ
れるとき導電性薄板26は電極27に接触する。
隙を保って配置することによってシート状シール13が
浮き上がり、シート状シール13が平板体20に吸着さ
れるとき導電性薄板26は電極27に接触する。
この結果、接触検知スイッチがオンとなりシート状シー
ル13が浮き上がったことを検出することができる。
ル13が浮き上がったことを検出することができる。
第5図及び第6図に第1発明の変形実施例を示す、第5
図は電極21と22を平板体20を横取する絶縁板に埋
め込むと共に、シールパツキン24も絶縁板に埋め込ん
だ場合を示す。
図は電極21と22を平板体20を横取する絶縁板に埋
め込むと共に、シールパツキン24も絶縁板に埋め込ん
だ場合を示す。
この例のようにシールパツキン24を絶縁板に埋め込む
ことによって電極21と22をシート状シール13に近
づけることができる。この結果、検出感度を向上させる
ことができる。
ことによって電極21と22をシート状シール13に近
づけることができる。この結果、検出感度を向上させる
ことができる。
第6図の例では電極21と22を円錐形に突出させ、シ
ート状シール13に近づけた場合を示す。
ート状シール13に近づけた場合を示す。
このようにしても検出感度を高めることができる。
第7図は洩れ検査装置の変形実施例を示す、この例では
吸気装置30にタンク38を設け、タンク38内の圧力
を負圧源として用い、タンク38の圧力が大きく変動し
たことを検出してシート状シール13に孔が開いている
ことを検出するように横取した場合を示す。
吸気装置30にタンク38を設け、タンク38内の圧力
を負圧源として用い、タンク38の圧力が大きく変動し
たことを検出してシート状シール13に孔が開いている
ことを検出するように横取した場合を示す。
つまり、封止後にシート状シール13に比較的大きな孔
が形成されてしまった場合には、第1図に示した検査装
置では内容物12がこの孔を通じて吸い出されるだけで
シート状シール13が浮き上がらない現象が起き、シー
ト状シール13に孔が開いているにもかかわらず良品と
判定してしまう不都合が起きる。
が形成されてしまった場合には、第1図に示した検査装
置では内容物12がこの孔を通じて吸い出されるだけで
シート状シール13が浮き上がらない現象が起き、シー
ト状シール13に孔が開いているにもかかわらず良品と
判定してしまう不都合が起きる。
このため、この例では吸気装置30にタンク38を設け
、このタンク38の圧力を負圧源として利用する。つま
り、タンク38の前後に弁39A。
、このタンク38の圧力を負圧源として利用する。つま
り、タンク38の前後に弁39A。
39Bを設ける。減圧弁32側に挿入した弁39Aは検
査時に断となり非検査時に続となるように制御される。
査時に断となり非検査時に続となるように制御される。
また弁39Bは検査時に続となり、非検査時は断に制御
される。
される。
このようにして非検査時は弁39Bが断に制御され、弁
39Aが続に制御されるからタンク38は減圧弁32を
通じて真空ポンプ31に接続され、タンク38内を一定
の負圧になるように制御される。
39Aが続に制御されるからタンク38は減圧弁32を
通じて真空ポンプ31に接続され、タンク38内を一定
の負圧になるように制御される。
検査時は弁39Aが断となり、弁39Bが続となるから
、タンク38が平板体20の排気孔23・に継がれる。
、タンク38が平板体20の排気孔23・に継がれる。
この結果、タンク38が負圧源として動作し、平板体2
0とシート状シール13で囲まれる空間14から空気を
吸引する。
0とシート状シール13で囲まれる空間14から空気を
吸引する。
シート状シール13と容器lOとの間に洩れが無ければ
シート状シール13は浮き上ることはない、シート状シ
ール13と容器11との間に洩れが有る場合はシート状
シール13は浮き上がり、この状態は静電容量の変化ま
たは接触検知スイッチによって検出することができる。
シート状シール13は浮き上ることはない、シート状シ
ール13と容器11との間に洩れが有る場合はシート状
シール13は浮き上がり、この状態は静電容量の変化ま
たは接触検知スイッチによって検出することができる。
これに対しシート状シール13に比較的大きな孔が形成
された場合には、検査時にシート状シール13に形成さ
れた孔を通じて内容物12が吸い出される。このとき負
圧源はタンク38であるため吸引量は有限である。従っ
て、タンク38の負圧を使って容器11から内容物12
を吸引するからタンク38の容積と容器11の容積の比
を1に近い値に選定することによりタンク38の圧力は
大きく減少する。この圧力の低下を信号発信器46とは
別に設けた判定器50によって検出することによりシー
ト状シール13の孔を検出することができる。
された場合には、検査時にシート状シール13に形成さ
れた孔を通じて内容物12が吸い出される。このとき負
圧源はタンク38であるため吸引量は有限である。従っ
て、タンク38の負圧を使って容器11から内容物12
を吸引するからタンク38の容積と容器11の容積の比
を1に近い値に選定することによりタンク38の圧力は
大きく減少する。この圧力の低下を信号発信器46とは
別に設けた判定器50によって検出することによりシー
ト状シール13の孔を検出することができる。
よって、タンク38の圧力の減少(圧力の絶対値の減少
)を検出することによってシート状シール13に孔が形
成されていることを検出することができる。
)を検出することによってシート状シール13に孔が形
成されていることを検出することができる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によれば従来は洩れ検査
を行うことができなかったシート状シールの洩れの有無
を検査することができる。
を行うことができなかったシート状シールの洩れの有無
を検査することができる。
この結果、シート状シールの信頼性が高まり、シート状
シールを液体或いはゼリー状の封止に実用することがで
きる。
シールを液体或いはゼリー状の封止に実用することがで
きる。
第1図はこの出願の第1発明及び第3発明の詳細な説明
するための系統図、第2図は第1図に示した実施例に用
いた平板体の構造の一例を示す裏面図、第3図はシート
状シール13の浮上りを検出したことを表す信号を出力
する信号発信器の一例を示すブロック図、第4図はこの
出願の第2発明の実施例を示す断面図、第5図及び第6
図はこの発明の変形実施例を示す断面図、第7図はこの
出願の第3発明の変形実施例を示すブロック図である。 10:非検査体、11:容器、12:内容物、13:シ
ート状シール、14:空間、20:平板体、21.22
:電極、23:排気孔、24:シールパツキン、30:
吸気装置、46:信号発信器。
するための系統図、第2図は第1図に示した実施例に用
いた平板体の構造の一例を示す裏面図、第3図はシート
状シール13の浮上りを検出したことを表す信号を出力
する信号発信器の一例を示すブロック図、第4図はこの
出願の第2発明の実施例を示す断面図、第5図及び第6
図はこの発明の変形実施例を示す断面図、第7図はこの
出願の第3発明の変形実施例を示すブロック図である。 10:非検査体、11:容器、12:内容物、13:シ
ート状シール、14:空間、20:平板体、21.22
:電極、23:排気孔、24:シールパツキン、30:
吸気装置、46:信号発信器。
Claims (3)
- (1)容器開口部を密封する導電性シート状シールに複
数の電極が被着された平板体を被せ、この平板体に形成
した排気孔を通じて上記平板体と上記導電性シート状シ
ールによって囲まれた空間内の空気を排気し、この排気
によって上記空間内の圧力を上記容器内の圧力より低下
させ、この圧力の低下によって上記導電性シート状シー
ルが浮き上がることを上記複数の電極間の静電容量の変
化によって検出し、上記導電性シート状シールの洩れの
有無を検出するシート状シールの洩れ検査方法。 - (2)容器開口部を密封する非導電性シート状シールに
接触検知スイッチを実装した平板体を被せこの平板体に
形成した排気孔を通じて平板体と上記非導電性シート状
シールによって囲まれた空間内の空気を排気し、この排
気によって上記空間内の圧力を上記容器内の圧力より低
下させ、この圧力の低下によって上記導電性シート状シ
ールが浮き上がることを上記接触検知スイッチによって
検出し、上記非導電性シート状シールの洩れの有無を検
出するシート状シールの洩れ検査方法。 - (3)A、容器開口部を密封するシート状シールを洩れ
検査対象とし、この洩れ検査対象となるシート状シール
の上に被せる平板体と、 B、この平板体の上記シート状シールと対向する面に設
けられ、上記シート状シールが浮き上って平板体に近づ
く方向に移動したことを検出するシート状シール移動検
知センサと、 C、上記平板体に形成された排気孔と、 D、この排気孔に接続され、上記平板体とシート状シー
ルとによって形成される空間内の空気を吸引する吸気装
置と、 E、上記シート状シール移動検知センサがシート状シー
ルの移動したことを表す電気信号を発信する信号発信器
と、 によって構成した洩れ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17536489A JPH0339626A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | シート状シールの洩れ検査方法及びこの方法を用いた洩れ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17536489A JPH0339626A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | シート状シールの洩れ検査方法及びこの方法を用いた洩れ検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0339626A true JPH0339626A (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=15994795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17536489A Pending JPH0339626A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | シート状シールの洩れ検査方法及びこの方法を用いた洩れ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0339626A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53125090A (en) * | 1977-04-08 | 1978-11-01 | Oki Electric Ind Co Ltd | Airtightness detector of conductive hermetic vessels |
JPS6342439A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-02-23 | ベントス インコ−ポレ−テツド | 容器のシ−ルの漏洩テスト方法とそのために用いる漏洩検出装置 |
-
1989
- 1989-07-05 JP JP17536489A patent/JPH0339626A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53125090A (en) * | 1977-04-08 | 1978-11-01 | Oki Electric Ind Co Ltd | Airtightness detector of conductive hermetic vessels |
JPS6342439A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-02-23 | ベントス インコ−ポレ−テツド | 容器のシ−ルの漏洩テスト方法とそのために用いる漏洩検出装置 |
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