JPH033776A - 窒化物被覆砥粒の製法 - Google Patents
窒化物被覆砥粒の製法Info
- Publication number
- JPH033776A JPH033776A JP13477389A JP13477389A JPH033776A JP H033776 A JPH033776 A JP H033776A JP 13477389 A JP13477389 A JP 13477389A JP 13477389 A JP13477389 A JP 13477389A JP H033776 A JPH033776 A JP H033776A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sol
- abrasive grains
- film
- powder
- metal oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title description 13
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 19
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 6
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims description 5
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 claims 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 6
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 17
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 108010025899 gelatin film Proteins 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BGGIUGXMWNKMCP-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropan-2-olate;zirconium(4+) Chemical compound CC(C)(C)O[Zr](OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C BGGIUGXMWNKMCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- HHFAWKCIHAUFRX-UHFFFAOYSA-N ethoxide Chemical compound CC[O-] HHFAWKCIHAUFRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は研削砥石等として好適に利用される被覆粉末、
特に被覆砥粒の製造方法に関する。
特に被覆砥粒の製造方法に関する。
砥粒の表面積を大きくして保持力を高め、研削点で発生
した熱を分散させるために、被覆砥粒。
した熱を分散させるために、被覆砥粒。
特にＮｉ被覆砥粒が一般に用いられる。しかし。
このＮ１被覆層は砥石の目詰りを起こし易い。
又、金属窒化物、金属炭化物が耐熱性及び靭性に優れて
いることを利用して、これら金属窒化物、炭化物で被覆
した砥粒も提案されている（特開昭６１−２４７８７３
．同６１−２９７０７９）。しかし。
いることを利用して、これら金属窒化物、炭化物で被覆
した砥粒も提案されている（特開昭６１−２４７８７３
．同６１−２９７０７９）。しかし。
これらの被膜は蒸着、スパッタリング（特開昭６ｌ−２
４７６７３） 、或は気相化学成長法（ＣＶＤ法。
４７６７３） 、或は気相化学成長法（ＣＶＤ法。
特開昭８１−２９７０９）に基づいて形成される。従っ
て、被覆の砥粒に対する被着性が不十分なものとなり、
しかも生産効率が低い。特に、被膜を厚くする場合、こ
の問題はより顕著となり、かなりのコスト高にもつなが
った。
て、被覆の砥粒に対する被着性が不十分なものとなり、
しかも生産効率が低い。特に、被膜を厚くする場合、こ
の問題はより顕著となり、かなりのコスト高にもつなが
った。
そこで１本発明はかかる課題を下記手段によって解決し
た。
た。
金属酸化物ゾルに砥粒を浸漬した後、該浸漬処理された
砥粒を窒化雰囲気で熱処理して、砥粒表面に金属窒化物
被膜を形成することを特徴とする被覆砥粒の製造方法。
砥粒を窒化雰囲気で熱処理して、砥粒表面に金属窒化物
被膜を形成することを特徴とする被覆砥粒の製造方法。
又９本発明は砥粒以外に単なる粉末例えばセラミック粉
末についても同様な処理を施すことによってその特性（
焼結性、耐火性、耐薬品性等）を向上させることも可能
となる。従って１本発明は下記手段をも対象とする。
末についても同様な処理を施すことによってその特性（
焼結性、耐火性、耐薬品性等）を向上させることも可能
となる。従って１本発明は下記手段をも対象とする。
金属酸化物ゾルに粉末を浸漬した後、該浸漬処理された
粉末を窒化雰囲気で熱処理して、粉末表面に金属窒化物
被膜を形成することを特徴とする被覆粉末の製造方法。
粉末を窒化雰囲気で熱処理して、粉末表面に金属窒化物
被膜を形成することを特徴とする被覆粉末の製造方法。
本発明の金属酸化物ゾルとしては、 Ｔ Ｉ Ｏ２ゾル
、Ａｊ２０ ゾル、 Ｚ ｒ Ｏ２ゾル、 Ｙ ２
０ ａゾ３ ル及びＳ ｉＯ２ゾルが好ましい。これらは入手し易く
、又熱処理後の金属酸化物、更には金属窒化物として耐
火性に優れる。その他の遷移金属酸化物例えばＴａ
Ｏ、ＨｆＯ２のゾルでもよい。
、Ａｊ２０ ゾル、 Ｚ ｒ Ｏ２ゾル、 Ｙ ２
０ ａゾ３ ル及びＳ ｉＯ２ゾルが好ましい。これらは入手し易く
、又熱処理後の金属酸化物、更には金属窒化物として耐
火性に優れる。その他の遷移金属酸化物例えばＴａ
Ｏ、ＨｆＯ２のゾルでもよい。
５
これら金属酸化物ゾルは、所定量の金属アルコキシドの
アルコール溶液にアルコール、水及び微量の酸からなる
アルコール溶液を滴下して、金属アルコキシドを加水分
解、更には脱水縮合することにより、調整される。ゾル
粒子の平均粒径は小さいものほど好ましく２例えば５０
〜５０００人のもの。
アルコール溶液にアルコール、水及び微量の酸からなる
アルコール溶液を滴下して、金属アルコキシドを加水分
解、更には脱水縮合することにより、調整される。ゾル
粒子の平均粒径は小さいものほど好ましく２例えば５０
〜５０００人のもの。
更には１０００Å以下のものを用いる。又、ゾル濃度（
金属固形分ｗｔ％）は、ゾル組成によって異なるが２例
えばＴｌＯ２ゾルの場合１０．Ｂｖｔ％にするとよい。
金属固形分ｗｔ％）は、ゾル組成によって異なるが２例
えばＴｌＯ２ゾルの場合１０．Ｂｖｔ％にするとよい。
浸漬処理においては、ゾルがゲル化を生じさせない粘度
になるように調整したゾル溶液中に。
になるように調整したゾル溶液中に。
粉末（砥粒を含む。以下同じ）を浸漬させるとよい。こ
の場合、砥粒としてはダイヤモンド。
の場合、砥粒としてはダイヤモンド。
Ｃ−ＢＮ、Ａ矛 ０．ＳｉＣ砥粒などに広く適８
用でき２粒度についても特に限定されない。
浸漬処理された粉末は酸化又は不活性雰囲気中にて３０
０〜８００°Ｃ１特に５００℃程度で予備熱処理するこ
とが好ましい。これによって、金属酸化物ゲルで被覆さ
れた粉末を得る。又、金属酸化物ゾルの調整時に加水分
解等によって生じる副生成物１例えばアルコール、水を
完全に除去でき、しかもゲル化のための乾燥等を別途必
要としない。
０〜８００°Ｃ１特に５００℃程度で予備熱処理するこ
とが好ましい。これによって、金属酸化物ゲルで被覆さ
れた粉末を得る。又、金属酸化物ゾルの調整時に加水分
解等によって生じる副生成物１例えばアルコール、水を
完全に除去でき、しかもゲル化のための乾燥等を別途必
要としない。
そして、この金属酸化物ゾルの浸漬処理及び予備処理を
複数回繰返すことにより、簡便にゲル被膜を厚くするこ
とができる。通例のように乾燥等によってゲル化させ、
浸漬、ゲル化を繰返すことによりゲル被膜を厚くすると
、後述する窒化雰囲気での熱処理工程において、前記加
水分解等による副生成物が一気に除去されるので、被膜
にクラック等を生じ易くなる。
複数回繰返すことにより、簡便にゲル被膜を厚くするこ
とができる。通例のように乾燥等によってゲル化させ、
浸漬、ゲル化を繰返すことによりゲル被膜を厚くすると
、後述する窒化雰囲気での熱処理工程において、前記加
水分解等による副生成物が一気に除去されるので、被膜
にクラック等を生じ易くなる。
窒化雰囲気での熱処理によって、砥粒表面に被着された
金属酸化物が窒化して、金属窒化物被膜が形成される。
金属酸化物が窒化して、金属窒化物被膜が形成される。
窒化雰囲気としては、ＮＨ３が好ましい。加熱分解によ
って還元性雰囲気を形成しくＮＨ→ｌ／２ Ｎ ＋３
／２ Ｎ２） 、金属酸化物ゲ２ ル被膜の窒化を低温下で可能にする。又１分解によって
ＮＨを生成するＮＨ４ＯＨ等も挙げられる。熱処理温度
を１０００９Ｃ以上にすれば、Ｎ２ガスでもよい。又、
Ｃ（カーボン）等の還元剤などを添加してもよい。窒化
を促進できる。加熱温度は８００℃以上、好ましくは１
０００℃以上にする。例えば、 Ｔ ｉＯ２ゾル（ゲル
）をアンモニア雰囲気で加熱すればＴｉＮ被膜を得る。
って還元性雰囲気を形成しくＮＨ→ｌ／２ Ｎ ＋３
／２ Ｎ２） 、金属酸化物ゲ２ ル被膜の窒化を低温下で可能にする。又１分解によって
ＮＨを生成するＮＨ４ＯＨ等も挙げられる。熱処理温度
を１０００９Ｃ以上にすれば、Ｎ２ガスでもよい。又、
Ｃ（カーボン）等の還元剤などを添加してもよい。窒化
を促進できる。加熱温度は８００℃以上、好ましくは１
０００℃以上にする。例えば、 Ｔ ｉＯ２ゾル（ゲル
）をアンモニア雰囲気で加熱すればＴｉＮ被膜を得る。
又、ＳｉＯ２ゾル（ゲル）をカーボンを混合して窒素雰
囲気で加熱すればＳ ｌ ３ Ｎ ４被膜を得る。金属
窒化物被膜の厚みについても、特に限定されない。例え
ば、砥粒としてその表面積を大きくして保持力を高めた
い場合、 １０μｍ以下にするとよく、又金属窒化物の
高耐熱性、高靭性をより活用したい場合、粉末の粒径よ
りも被膜の厚みを大にするとよい。
囲気で加熱すればＳ ｌ ３ Ｎ ４被膜を得る。金属
窒化物被膜の厚みについても、特に限定されない。例え
ば、砥粒としてその表面積を大きくして保持力を高めた
い場合、 １０μｍ以下にするとよく、又金属窒化物の
高耐熱性、高靭性をより活用したい場合、粉末の粒径よ
りも被膜の厚みを大にするとよい。
実施例Ａ
実施例１
チタニウムイソプロポキシドＴｉ ［ＯＣＲ（ＣＨ）
コ ０．１−と無水Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，５ｎａｆｆｉと
を２ 室温で撹拌しながら混合する。この混合液に。
コ ０．１−と無水Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，５ｎａｆｆｉと
を２ 室温で撹拌しながら混合する。この混合液に。
Ｃ２Ｈ５０Ｈ０，４ｄ、 Ｈ２Ｏ［１，１−及びｕｃ、
＋２０ 、００８ ｖＱのアルコール性水溶液をビユレ
ットで滴下して、加水分解する。こうしてＴ ｉＯ２ゾ
ルを調整した。
＋２０ 、００８ ｖＱのアルコール性水溶液をビユレ
ットで滴下して、加水分解する。こうしてＴ ｉＯ２ゾ
ルを調整した。
次に、このＴ １０２ゾルにダイヤモンド砥材＃ １
４０／ １７０を０．１５ｍ＋ｎ／Ｓの浸漬速度で浸漬
する。
４０／ １７０を０．１５ｍ＋ｎ／Ｓの浸漬速度で浸漬
する。
この浸漬砥材を５００℃でｌｏｍｉｎ加熱して０．０９
μｌ厚のＴ ｉＯ２ゲル被膜を形成させる。この操作を
５回繰返すことにより、 ０．４５μｍ厚のＴ ｉＯ２
ゲル被膜を形成した。更に５００℃で１０〜１２０分加
熱した後、ＮＨ３ガス雰囲気にて１０５０°Ｃで１ ｈ
ｒ、保持して、 ０．４５μｍ厚のＴｉＮ被膜ダイヤモ
ンド砥粒を得た。
μｌ厚のＴ ｉＯ２ゲル被膜を形成させる。この操作を
５回繰返すことにより、 ０．４５μｍ厚のＴ ｉＯ２
ゲル被膜を形成した。更に５００℃で１０〜１２０分加
熱した後、ＮＨ３ガス雰囲気にて１０５０°Ｃで１ ｈ
ｒ、保持して、 ０．４５μｍ厚のＴｉＮ被膜ダイヤモ
ンド砥粒を得た。
実施例２
Ｃ−ＢＮ砥材＃８０／ １００を用い、ＮＨ３ガス雰囲
気での加熱処理温度を１０００°Ｃとする以外、実施例
１と同様にしてＴｉＮ被膜Ｃ−ＢＮ砥粒を得た。
気での加熱処理温度を１０００°Ｃとする以外、実施例
１と同様にしてＴｉＮ被膜Ｃ−ＢＮ砥粒を得た。
実施例３
アルミナ砥＄４’＃２００を用い、ＮＨ３ガス雰囲気で
の加熱処理温度を１１００℃とする以外、実施例１と同
様にしてＴｉＮ被膜アルミナ砥粒を得た。
の加熱処理温度を１１００℃とする以外、実施例１と同
様にしてＴｉＮ被膜アルミナ砥粒を得た。
実施例４
アルミニウムイソプロポキシドＡＪ ［０ＣＨ（ＣＨ）
１０．１ｍｏｌと無水Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，５ｇｍ２ とを室温で撹拌しながら混合する。この混合液に、 Ｃ
ＨＯＨ０，４ｇｍ、 Ｈ２Ｏ０，１−及び５ ＨＣ４０，００８ｍ１のアルコール性水溶液をビユレッ
トで滴下して、加水分解する。こうしてＡ℃２０ ゾル
を調整した。
１０．１ｍｏｌと無水Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，５ｇｍ２ とを室温で撹拌しながら混合する。この混合液に、 Ｃ
ＨＯＨ０，４ｇｍ、 Ｈ２Ｏ０，１−及び５ ＨＣ４０，００８ｍ１のアルコール性水溶液をビユレッ
トで滴下して、加水分解する。こうしてＡ℃２０ ゾル
を調整した。
次に、このＡ（２０３ゾルを用いてダイヤモンド砥材を
３回浸漬・加熱処理することにより０．２４μｌ厚のＡ
（０ゲル被膜を形成し、又ＮＨ３ガ３ ス雰囲気にて１２００℃で５ ｈｒ、保持する以外、実
施例１と同様にしてＡｊ２Ｎ被膜ダイヤモンド砥粒を得
た。
３回浸漬・加熱処理することにより０．２４μｌ厚のＡ
（０ゲル被膜を形成し、又ＮＨ３ガ３ ス雰囲気にて１２００℃で５ ｈｒ、保持する以外、実
施例１と同様にしてＡｊ２Ｎ被膜ダイヤモンド砥粒を得
た。
実施例５
ジルコニウムｔｅｒｔ−ブトキシドＺｒ ［ＯＣ（Ｃ
Ｈ）］ ０．Ｉｎｄと無水Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，５−と
３ ３ ３ を室温で撹拌しながら混合する。この混合液に。
Ｈ）］ ０．Ｉｎｄと無水Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，５−と
３ ３ ３ を室温で撹拌しながら混合する。この混合液に。
ＣＨＯＨＯ，４ｍｌ、 Ｈ２００−１ｍｏｆ！及びＨＣ
１５ ｏ、ｏｏｇｍｌのアルコール性水溶液を滴下して、加水
分解する。こうしてＺ ｒ Ｏ２ゾルを調整した。
１５ ｏ、ｏｏｇｍｌのアルコール性水溶液を滴下して、加水
分解する。こうしてＺ ｒ Ｏ２ゾルを調整した。
次に、このＺ ｒ Ｏ２ゾルを用いてダイヤモンド砥材
を５回浸漬・加熱処理することにより０．４０μｌ厚の
ＺｒＯゲル被膜を形成し、又ＮＨ３ガス雰囲気にて１２
００°Ｃで５ｈｒ、保持する以外、実施例１と同様にし
てＺｒＮ被膜ダイヤモンド砥粒を得た。
を５回浸漬・加熱処理することにより０．４０μｌ厚の
ＺｒＯゲル被膜を形成し、又ＮＨ３ガス雰囲気にて１２
００°Ｃで５ｈｒ、保持する以外、実施例１と同様にし
てＺｒＮ被膜ダイヤモンド砥粒を得た。
実施例６
イソ トリウムエトキシドＹ （ＯＣ２Ｈ５）３０．１
−と無水Ｃ２Ｈ５０Ｈ０，５ｍＰとを室温で撹拌しなが
ら混合する。この混合液に、 Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，４Ｉ
［ｌｆ！、 Ｈ２Ｏ０，Ｌｍｌ及びＨＣｊｑＯ，００８
−のアルコール性水溶液を滴下して、加水分解する。こ
うしてＹ２Ｏ３ゾルを調整した。
−と無水Ｃ２Ｈ５０Ｈ０，５ｍＰとを室温で撹拌しなが
ら混合する。この混合液に、 Ｃ２Ｈ５０ＨＯ，４Ｉ
［ｌｆ！、 Ｈ２Ｏ０，Ｌｍｌ及びＨＣｊｑＯ，００８
−のアルコール性水溶液を滴下して、加水分解する。こ
うしてＹ２Ｏ３ゾルを調整した。
次に、このＹ２Ｏ３ゾルを用いてダイヤモンド砥材を６
回浸漬・加熱処理することにより０．４５μｍ厚のＺｒ
Ｏゲル被膜を形成し、又ＮＨ３ガス雰囲気にて１２５０
℃で５ ｈｒ、保持する以外、実施例１と同様にしてＹ
Ｎ被膜ダイヤモンド砥粒を得た。
回浸漬・加熱処理することにより０．４５μｍ厚のＺｒ
Ｏゲル被膜を形成し、又ＮＨ３ガス雰囲気にて１２５０
℃で５ ｈｒ、保持する以外、実施例１と同様にしてＹ
Ｎ被膜ダイヤモンド砥粒を得た。
実施例７
珪素エトキシドＳｉ（ＯＣ２Ｈ５）４２５ｇ。
ＣＨ０Ｈ３７，Ｇｇ、 Ｈ２Ｏ２３，５ｇ及びＨＣ（５
０，３ｇ混合して、 Ｓ ｉ ０２ゾルを調整した。
次に、このＳ ｉＯ２ゾルを用いてダイヤモンド砥材を
５回浸漬・加熱処理することにより０．４５μｍ厚のＳ
ｉＯ２ゲル被膜を形成し、又カーボン粉末（平均粒径
０．１μｍ）と混合して窒素雰囲気にて１２５０℃で５
ｂｒ、保持する以外、実施例１と同様にして８１３Ｎ４
被膜ダイヤモンド砥粒を得た。
５回浸漬・加熱処理することにより０．４５μｍ厚のＳ
ｉＯ２ゲル被膜を形成し、又カーボン粉末（平均粒径
０．１μｍ）と混合して窒素雰囲気にて１２５０℃で５
ｂｒ、保持する以外、実施例１と同様にして８１３Ｎ４
被膜ダイヤモンド砥粒を得た。
実施例８
実施例７と同様のＳ ｉＯ２ゾルを用いて、アルミナ砥
粒＃２００を６回浸漬・加熱処理することにより０．５
８μｍ厚のＳ Ｉ Ｏ２ゲル被膜を形成し、又カーボン
粉末（平均粒径０，１μｍ）と混合して窒素雰囲気にて
１２５０℃で５ ｈｒ、保持する以外、実施例１と同様
にして５１３Ｎ４披膜アルミナ砥粒を得た。
粒＃２００を６回浸漬・加熱処理することにより０．５
８μｍ厚のＳ Ｉ Ｏ２ゲル被膜を形成し、又カーボン
粉末（平均粒径０，１μｍ）と混合して窒素雰囲気にて
１２５０℃で５ ｈｒ、保持する以外、実施例１と同様
にして５１３Ｎ４披膜アルミナ砥粒を得た。
実施例９
実施例７と同様の８１０２ゾルを用いて、アルミナ砥材
＃３２５を３６０回浸漬・加熱処理することにより３５
μｍ厚のＳ ｉＯ２ゲル被膜を形成し、又カーボン粉末
（平均粒径０．１μｍ）と混合して窒素雰囲気にて１５
５０℃で２ｈｒ保持する以外、実施例１と同様にして５
ｉａＮ４被膜アルミナ砥粒を得た。
＃３２５を３６０回浸漬・加熱処理することにより３５
μｍ厚のＳ ｉＯ２ゲル被膜を形成し、又カーボン粉末
（平均粒径０．１μｍ）と混合して窒素雰囲気にて１５
５０℃で２ｈｒ保持する以外、実施例１と同様にして５
ｉａＮ４被膜アルミナ砥粒を得た。
比較例
実施例１と同様のダイヤモンド砥料にＣＶＤ法によって
０．４５μｍ厚のＴｉＮ被膜を形成しく比較例１）、又
同じ砥材にメツキによって０．４５μｍ厚のＮｉ被膜を
形成した（比較例２） 〔比較試験〕 こうした実施例１〜９及び比較例１２によって得られた
被覆砥粒を１４個の超硬合金製硬質ボール（直径４．６
＋ｎｍ）とともに強化硬質ガラスビン（直径１６．５ｍ
ｍ Ｘ ３０ Ａ ）の中に装入して、そのガラスビン
を１．５Ｏｒ、ｐ、ｍ、の速度で１５分間回転さぜるこ
とにより、被膜密着性を調べた。その密着性は。
０．４５μｍ厚のＴｉＮ被膜を形成しく比較例１）、又
同じ砥材にメツキによって０．４５μｍ厚のＮｉ被膜を
形成した（比較例２） 〔比較試験〕 こうした実施例１〜９及び比較例１２によって得られた
被覆砥粒を１４個の超硬合金製硬質ボール（直径４．６
＋ｎｍ）とともに強化硬質ガラスビン（直径１６．５ｍ
ｍ Ｘ ３０ Ａ ）の中に装入して、そのガラスビン
を１．５Ｏｒ、ｐ、ｍ、の速度で１５分間回転さぜるこ
とにより、被膜密着性を調べた。その密着性は。
剥離の程度、即ち
によって評価した。この試験結果も併せて、製造条件及
び被膜特性をまとめて下記第１表に示す。
び被膜特性をまとめて下記第１表に示す。
Ｃ以下余白）
１
第 １
表
＊１ （比較例１）：ＣＶＤ法によって被膜形成＊２（
比較例２）：メッキによって被膜形成２ 上記表から明らかなように、実施例１〜９によって得ら
れた被覆砥粒は剥離の割合は小さく（３５ｗｔ％以下）
被膜密着性に優れていた。これに対して、比較例１．２
によって得られた被覆砥粒はいずれも試験後において全
面剥離（１００ｗｔ％剥離）を生じた。
比較例２）：メッキによって被膜形成２ 上記表から明らかなように、実施例１〜９によって得ら
れた被覆砥粒は剥離の割合は小さく（３５ｗｔ％以下）
被膜密着性に優れていた。これに対して、比較例１．２
によって得られた被覆砥粒はいずれも試験後において全
面剥離（１００ｗｔ％剥離）を生じた。
又、実施例９の結果から、被膜を厚く形成した場合、剥
離の割合を極めて低く抑えることができることも確認で
きた。
離の割合を極めて低く抑えることができることも確認で
きた。
更に２本実施例に係る被覆ダイヤモンド砥粒を用いて製
造したメタルボンドダイヤモンド砥石は、被膜を有しな
い従来のダイヤモンド砥粒を用いて製造したメタルボン
ドダイヤモンド砥粒と比較して約１．５倍の研削比の向
上、使用寿命の延長を可能にすることが確認された。
造したメタルボンドダイヤモンド砥石は、被膜を有しな
い従来のダイヤモンド砥粒を用いて製造したメタルボン
ドダイヤモンド砥粒と比較して約１．５倍の研削比の向
上、使用寿命の延長を可能にすることが確認された。
実施例Ｂ
平均粒径ｏ、ｅμｍのＳｉ Ｎ を用い、ＮＨ３ガ
４ ス雰囲気での加熱処理温度を１２００℃とする以外。
４ ス雰囲気での加熱処理温度を１２００℃とする以外。
実施例１と同様にしてＴｉＮ被覆Ｓｉ３Ｎ４粉末を得た
。
。
この粉末を用いて焼結したところ、ＴｉＮ１覆を有しな
い粉末に比して、焼成性を高めることかできた。即ち、
１５００°Ｃ２圧力１５０ｋｇ／ｃ＋＃で焼結させた
ところ、実施例粉末は対理論密度９７％になるのに対し
、比較例粉末では対理論密度９５％にすぎなかった。
い粉末に比して、焼成性を高めることかできた。即ち、
１５００°Ｃ２圧力１５０ｋｇ／ｃ＋＃で焼結させた
ところ、実施例粉末は対理論密度９７％になるのに対し
、比較例粉末では対理論密度９５％にすぎなかった。
本発明によれば、砥粒への被膜の被着力が高められ、又
被膜自体が耐熱性及び靭性に優れている。従って、砥石
等として利用した場合、被膜剥離による目詰り発生を抑
制でき、研削性能を高め（研削比１．５以上）、耐久性
を向上できる。
被膜自体が耐熱性及び靭性に優れている。従って、砥石
等として利用した場合、被膜剥離による目詰り発生を抑
制でき、研削性能を高め（研削比１．５以上）、耐久性
を向上できる。
又２本発明による粉末はその焼結性を高めることができ
る。
る。
Claims (6)
- （１）金属酸化物ゾルに砥粒を浸漬した後、該浸漬処理
された砥粒を窒化雰囲気で熱処理して、砥粒表面に金属
窒化物被膜を形成することを特徴とする被覆砥粒の製造
方法。 - （２）金属酸化物ゾルがＴｉＯ＿２ゾル、Ａｌ＿２Ｏ＿
３ゾル、ＺｒＯ＿２ゾル、Ｙ＿２Ｏ＿３ゾル及びＳｉＯ
＿２ゾルの少なくとも一種である請求項１記載の製造方
法。 - （３）金属酸化物ゾルが、金属アルコキシドの加水分解
、脱水縮合によって生じる請求項１又は２記載の製造方
法。 - （４）窒化雰囲気がＮＨ＿３又はＮ＿２雰囲気である請
求項１記載の製造方法。 - （５）３００〜８００℃で予備熱処理する請求項１記載
の製造方法。 - （６）金属酸化物ゾルに粉末を浸漬した後、該浸漬処理
された粉末を窒化雰囲気で熱処理して、粉末表面に金属
窒化物被膜を形成することを特徴とする被覆粉末の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13477389A JPH033776A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 窒化物被覆砥粒の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13477389A JPH033776A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 窒化物被覆砥粒の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033776A true JPH033776A (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=15136229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13477389A Pending JPH033776A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 窒化物被覆砥粒の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033776A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995016547A1 (en) * | 1993-12-16 | 1995-06-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article |
| JP2008513227A (ja) * | 2004-09-23 | 2008-05-01 | エレメント シックス （プロプライエタリイ）リミテッド | 多結晶研磨材及びその製造方法 |
| JP2016221651A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | 株式会社クリスタル光学 | 砥粒 |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP13477389A patent/JPH033776A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995016547A1 (en) * | 1993-12-16 | 1995-06-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article |
| JP2008513227A (ja) * | 2004-09-23 | 2008-05-01 | エレメント シックス （プロプライエタリイ）リミテッド | 多結晶研磨材及びその製造方法 |
| JP2008513566A (ja) * | 2004-09-23 | 2008-05-01 | エレメント シックス （プロプライエタリイ）リミテッド | 被覆した研磨材料及びその製造方法 |
| US8118896B2 (en) | 2004-09-23 | 2012-02-21 | Antionette Can | Coated abrasive materials and method of manufacture |
| US9624135B2 (en) | 2004-09-23 | 2017-04-18 | Antionette Can | Polycrystalline abrasive materials and method of manufacture |
| JP2016221651A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | 株式会社クリスタル光学 | 砥粒 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6596040B2 (en) | Functionally graded coatings for abrasive particles and use thereof in vitreous matrix composites | |
| CN100551879C (zh) | 立方氮化硼表面溶胶凝胶法镀覆TiO2/Al2O3复合薄膜工艺 | |
| JP2014040589A (ja) | 被覆した研磨材料及びその製造方法 | |
| Roy et al. | Solgel‐processed mullite coating—a review | |
| JPS58211863A (ja) | コ−テイング付き複合改質珪素−アルミニウム−酸素窒素化物切削工具 | |
| KR100454715B1 (ko) | ＭｏＳｉ₂―Ｓｉ₃Ｎ₄복합피복층 및 그 제조방법 | |
| US8685357B2 (en) | Firing support for ceramics and method for obtaining same | |
| JP5739189B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具の製造方法 | |
| JPH055782B2 (ja) | ||
| JPH033776A (ja) | 窒化物被覆砥粒の製法 | |
| TW201008641A (en) | Method for making glass frit powders using aerosol decomposition | |
| US6221942B1 (en) | Zircon-carbon for ceramic composite fiber coatings and fine-grained zircon powder | |
| JP3119098B2 (ja) | ダイヤモンド砥粒、砥石及びそれらの製造方法 | |
| JP2013053344A (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具の製造方法 | |
| CN108793958A (zh) | 一种提高钢基表面耐磨陶瓷涂料层抗热震性的方法 | |
| JP2595203B2 (ja) | 高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金及びその製造方法 | |
| JP2001354486A (ja) | 表面処理済みアルミニウム窒化物およびその製造方法 | |
| JPS6135159B2 (ja) | ||
| JP3014871B2 (ja) | アルミナ基材上への窒化珪素の被覆方法 | |
| JPS62224676A (ja) | 切削加工用切削工具 | |
| JPS631278B2 (ja) | ||
| CN109385600A (zh) | 具有复合渗层的钛铝合金件及其制备方法、具有金刚石涂层的钛铝合金件及其制备方法 | |
| JPH0499884A (ja) | セラミック硬化皮膜及びその製造方法 | |
| JP2731242B2 (ja) | 高強度・高靱性セラミックス体 | |
| JPH0761615B2 (ja) | 被覆高硬質粉末及びその製造方法 |