JPH0337436A

JPH0337436A - 除振器

Info

Publication number: JPH0337436A
Application number: JP1170002A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kobayashi; 秀雄小林
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1989-06-30
Filing date: 1989-06-30
Publication date: 1991-02-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、Ｉ・ンネル顕微鏡等に使用される除振器に関
する。

［従来の技術］試料に探針を近付けて３次元に駆動してトンネル電流を
検出するような走査形トンネル顕微鏡では、該トンネル
電流を得るために探針先端と試料表面との間の距離をｌ
ｎｍ程度まで接近させる必要がある。そのため、僅かな
振動によっても試料と探針先端とか接触して該探針の原
子尖端が破損したり、または試料が破損したりする場合
がある。

このような原子尖端の破損した探針では原子レベルの分
解能が得られなくなるため、走査形トンネル顕微鏡装置
においては、該装置外部からの振動を除去するために設
置面との間に除振器を配置して、探針及び試料の振動を
規制するようにしている。

従来、この除振器としては、第４図に示すような弾性体
４１と非弾性部材４２とが鉛直方向に交互に積層されて
形成された除振器等が使用されている。

［発明か角７決しようとする課題］しかし、上述したような弾性体と非弾性部材を鉛直方向
に交互に積層することにより形成された除振器では、積
層方向（垂直方向）の振動成分は除去されるものの、水
平方向の振動成分が十分減衰されないことが問題とされ
ている。

本発明は上述した問題点を考慮し、垂直及び水平方向の
振動を規制することのできる小形な除振器を提供するこ
とを目的としている。

［課題を解決するための手段］本発明は、弾性体と非弾性部材とを鉛直方向に交互に積
層して形成される除振器において、凸部を有する第１の
非弾性部材と、該第１の非弾性部材の凸部が遊嵌される
凹部を有する第２の非弾性部材とを有し、該第１の部材
と第２の部材が積層された際に該第１の部材端部と第２
の部材端部との対接面に弾性体が挿入されると共に、前
記昂１の部組と第２の部組との遊嵌部に引目生体が挿入
されていることを特徴としている。

［実施例］以下、本発明の実施例を図面に址づいて説明する。第１
図は本発明の一実施例による除振器を説明するための構
成図、第２図は木兄用による除振器を走査形トンネル顕
微鏡に用いた状態を説明するための図、第３図は他の実
施例を説明するための図である。

第１図において、１は四部１ａを有する非弾性部材、２
及び３は凹部２ａ、３ａ及び凸部２ｂ３ｂを有する非弾
性部材、４は凸部４ｂを有する非弾性部材である。

非弾性部材１の底板６に接する端面は捩子５によって該
底板６に固定されている。そして、該非弾性部材１の他
方の端面上には弾性体９ａを介して非弾性部材２が積層
されており、該非弾性部材１の凹部１ａには非弾性部材
２の凸部２ｂが遊嵌されている。ここで、該遊嵌部分に
は弾性体１０ａが挿入されている。さらに、非弾性部材
２の上部端面上には弾性体９ｂを介して非弾性部材３が
積層されており、該非弾性部材２の四部２ａには非弾性
部材３の凸部３ｂか遊嵌されると共に、該遊嵌部分には
俳性体］、　Ｏｂが挿入されている。そして、非弾性部
材３の」二部端面上には弾性体９ｃを介して非弾性部材
４が積層されており、該非弾性部材３の凹部３ａには非
弾性部材４の凸部４ｂが遊嵌されると共に、該遊嵌部分
には弾性体］０Ｃが挿入されている。そして、該非弾性
部材４の上部端面ば捩子７によって基板８に固定されて
いる。また、各非弾性部材にはピン］１が設けられてお
り、異なる弾性部材に設けられたピン間に環状の弾性部
月’　１２　ａ〜１２ｄを架けて各弾性部材同士を引っ
張ることにより、柱状の除振ユニットが構成されている
。

ところで、上記弾性体９ａ〜９ｃ及び１０ａ〜１０ｃに
は、いずれもゴムＯリング等の環状の弾性体か使用され
ているため、該弾性体つと１−０の間の遊嵌部分は気密
状態となる。そのため、該遊嵌部分に形成される空間を
他と同等の気圧状態に保つために、各弾性部材の中心軸
部分と底板６及び基板８に通気孔１３を設けると共に、
各弾性部材には通気孔１３から前記遊嵌部の空間に連通
ずる通気孔１４が設けられている。

上述したような構成による除振ユニットでは、積層され
た各非弾性部材の接面に設けられた弾性体９ａ〜９ｃに
よって、底板と基板の間の鉛直方向の振動成分か減衰さ
れる。そして、各非弾性部材の四部と凸部の遊嵌された
部分に挿入された弾性体］−０ａ〜１０ｃによって底板
と基板の間の水平方向の振動成分が減衰される。

さて、上述したような構成による除振ユニットを走査形
トンネル顕微鏡に用いた場合について第２図に基づいて
説明する。

第２図において２１は底板、２２は除振ユニット、２３
は基板、２４は探針駆動機構、２６は探針、２７は試料
ステージ、２８は試料ホルダである。底板２１上に配置
された除振ユニット２２上に益金２３が配置され、さら
に該基台２３上に探針駆動機構２４及び試料ステージ２
７が配置されている。第２図中、除振ユニット２２は２
基しか描かれていないが、通常基台２４は底板２１との
間に設けられた４基の除振ユニットによって支持されて
いる。

次に、第３図に基づいて本発明による除振器の他の実施
例を説明する。第３図において、３１は凸部３１ａを有
する非弾性部材、３２は凹部３２ａ、３２ｂを有する非
弾性部材、３４は凸部３１ａを有する弁脚性部組である
。

非弾性部材３１の底板６に接する面は捩子５によって該
底板６に固定されている。そして、該非弾性部材３１の
他方の端面上には弾性体９ａを介して非弾性部材３２が
積層されており、該非弾性部材３１の凸部３１．　ａは
非弾性部材３２の凹部３２ａと遊嵌されている。ここで
、該遊嵌部分には弾性体１０ａが挿入されている。さら
に、非弾性部材３２の上部端面上には弾性体９ｂを介し
て非弾性部材３３が積層されており、該非弾性部材３２
の凹部３２ｂには非弾性部材３３の凸部３３ａが遊嵌さ
れると共に、該遊嵌部分には弾性体１０ｂが挿入されて
いる。そして、非弾性部材３３の上部端面は捩子７によ
って基板８に固定されている。本実施例の場合において
も、積層された各非弾性部材の接面に設けられた弾性体
９ａ、９ｂによって、底板と基板の間の鉛直方向の振動
成分が減衰される。そして、各非俳性部材の凹部と凸部
の遊嵌された部分に挿入された弾性体１０ａ、］Ｏｂに
よって底板と基板の間の水平方向の振動酸分か減衰され
る。

なお、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本
発明は種々変形して実施することができる。例えば、上
述した実施例においては、非弾性部材を４段積層して除
振ユニットを構成したが、該ユニットは２段以上であれ
ば何段積層されていても良い。また、上述した実施例に
おいては、弾性体としてゴムＯリングを用いたが、該弾
性体は０リング以外の弾性体を用いても良い。

［発明の効果コ以上の説明から明らかなように、本発明によれば、弾性
体と非弾性部材とを鉛直方向に交互に積層して形成され
る除振器において、凸部を有する第１の非弾性部材と、
該第１の非弾性部材の凸部か遊嵌される凹部を有する第
２の非弾性部材とを有し、該第１の部材と第２の部材が
積層された際に該第１の部材端部と第２の部材端部との
対接面に弾性体が挿入されると共に、前記第１の部材と
第２の部材との遊嵌部に弾性体を挿入したことにより、
垂直及び水平方向の振動を規制することのできる小形な
除振器が提供される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による除振器を説明するため
の構成図、第２図は本発明による除振器を走査形トンネ
ル顕微鏡用いた状態を説明するための図。第３図は他の
実施例を説明するための図、第４図は従来例を説明する
ための図である。１．２，３，４：非弾性部材ｌａ、２ａ、３ａ・非弾性部材凹部２ｂ、　　３ｂ、４ｂ　ニー１目１性部材凸部５：捩子
　　　　　６：底板７・捩子　　　　　８：基板９ａ、９ｂ、９ｃ：Ｏリング１０ａ、］Ｏｂ、１０ｃ：Ｏリング１１：ピン］２ａ〜１２ｄ：Ｏリング１３、通気孔１４：通気孔

Claims

【特許請求の範囲】

　弾性体と非弾性部材とを鉛直方向に交互に積層して形
成される除振器において、凸部を有する第１の非弾性部
材と、該第１の非弾性部材の凸部が遊嵌される凹部を有
する第２の非弾性部材とを有し、該第１の部材と第２の
部材が積層された際に該第１の部材端部と第２の部材端
部との対接面に弾性体が挿入されると共に、前記第１の
部材と第２の部材との遊嵌部に弾性体が挿入されている
ことを特徴とする除振器。