JPH0334529A - 電解コンデンサ素子の電解液真空含浸方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電解コンデンサ素子の電解液真空含浸方法及
び装置に係り、特に真空とした貯溜槽内で電解液中の空
気を真空脱泡した後該電解液を真空含浸槽へ真空圧によ
り吸い上げて供給して電解コンデンサ素子に電解液を含
浸させることにより、大型の電解コンデンサ素子の中心
部にまで電解液を含浸させ、電気的特性の優れた電解コ
ンデンサ素子を製作することができる電解コンデンサ素
子の電解液真空含浸方法及び装置に関する。

従来の技術 従来、複数の電解コンデンサ素子のリード線をクランプ
治具によって整列挾持して電解コンデンサ素子を真空含
浸槽内に搬送して、該真空含浸槽内を真空状態にして電
解コンデンサ素子の本体内部の空気を排除した後、電解
液を供給してこれを該素子の本体内部に含浸させる方法
及び装置が実用に供されている。

しかし該従来方法及び装置によると、真空含浸槽に供給
される電解液は大気中に解放されていて該液内部に空気
を含んでいるため該電解液が真空とされた真空含浸槽へ
供給されたとき該液内部に含まれていた空気が細かい気
泡となって拡散してその一部が電解コンデンサ素子内部
へ電解液と共に浸入してピンホール状の未含浸部分を形
成してしまい、該素子を用いた電解コンデンサの電気的
特性を劣化させるという欠点があった。また真空含浸槽
内において電解液中の空気が急速に泡となって拡散する
ので該電解液が沸騰状態となって各部に飛び跳ね、例え
ばリード線に付着して後工程での半田付は作業での半田
付は不良の原因となる欠点があった。またこれが、自動
組立機の稼動率を低下させる原因ともなっていた。

更に、電解液の脱泡が真空含浸槽内で行われるため、真
空含浸槽内の圧力を必要とする真空度にまで高めるため
には比較的長い時間を要して含浸作業の作業効率が低下
すると共に、大型の電解コンデンサ素子の中心部にまで
十分電解液を含浸させることができないという欠点があ
った。またこのような現象は高耐圧の電解コンデンサに
使用される粘度の高い電解液においては著しく、粘度の
高い電解液を含浸させるためには大型の装置を用いなけ
ればならないという欠点があった。

また、真空含浸の終了後真空含浸槽内の残余の電解液を
貯溜槽へ返送するためダイヤプラム式ポンプ等の専用ポ
ンプを備えていたので、装置が大型となると共に製作費
が高価となる欠点があった。

目　　的 本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされ
たものであって、その目的とするところは、真空とした
貯溜槽内で電解液中の空気を真空脱泡した後、該電解液
を真空含浸槽へ真空圧により吸い上げて供給して電解コ
ンデンサ素子に電解液を含浸させることによって、ピン
ホールの発生を防止すると共に、大型の電解コンデンサ
素子であってもその中心にまで電解液を含浸させること
であり、これによって電解コンデンサ素子の電気的特性
を高めることである。

また他の目的は、真空含浸槽内での電解液の沸騰をなく
すことにより、該電解液の飛び跳ねを防止してリード線
等への電解液の付着を皆無とし、半田付は不良を防止す
ることである。

更に他の目的は、真空含浸槽内に保持された電解コンデ
ンサ素子に真空脱泡して空気を含まない電解液を供給し
て浸漬させて含浸させることにより、比較的小型の装置
を用いて粘度の高い電解液を大型の電解コンデンサ素子
の中心部にまで含浸させて高耐圧の電解コンデンサ素子
を製作できるようにすることである。

また他の目的は、真空含浸槽、貯溜槽、脱液槽及び予備
槽を夫々開閉弁を介してパイプで連通接続して真空圧を
用いて真空含浸槽及び脱液槽内の電解液を貯溜槽へ回収
すると共に該貯溜槽の電解液が不足したとき予備槽から
電解液を補給することにより、電解液供給及び回収のた
めの専用ポンプを不用として装置の製作費を安価にする
と共に、電解液が大気圧に解放される時間を最小として
咳液への空気のｌ昆入を防止することである。

構成 要するに本発明方法（請求項１）は、電解コンデンサ素
子に電解液を真空中で含浸させる真空含浸槽と前記電解
液を貯溜する貯溜槽とを開閉弁を介して前記電解液の供
給パイプ及び回収パイプとで連通接続し、前記貯溜槽を
真空として該貯溜槽内の前記電解液中の空気を真空脱泡
した後前記貯溜槽の圧力を大気圧とすると共に前記真空
含浸槽内を真空として前記貯溜槽内の前記電解液を前記
供給パイプから真空圧により吸い上げて供給して前記電
解コンデンサ素子に前記電解液を含浸させた後、前記真
空含浸槽内の圧力を大気圧とすると共に前記貯溜槽内を
真空として前記真空含浸槽内の前記電解液を前記回収パ
イプから真空圧により前記貯溜槽に回収することにより
、前記電解液中の空気を脱泡した状態で前記電解コンデ
ンサ素子に含浸させることを特徴とするものである。

また、本発明方法（請求項２）は、貯溜槽内の電解液の
空気を真空脱泡した後真空とした真空含浸槽へ供給して
電解コンデンサ素子に前記電解液を含浸させ、残余の前
記電解液を真空とした前記貯溜槽へ回収すると共に、前
記含浸した電解コンデンサ素子から滴下する前記電解液
を受ける脱液槽に溜まった前記電解液を真空とした前記
貯溜槽に真空圧により回収し、また前記貯溜槽内の前記
電解液が所定の量より少なくなったとき予備槽内の前記
電解液を真空にした前記貯溜槽へ真空圧により補充する
ことを特徴とするものである。

また、本発明装置（請求項３）は、電解コンデンサ素子
を収容して真空中で電解液を含浸させる真空含浸槽と、
前記電解液を貯溜すると共に内部の圧力を真空とするこ
とにより前記電解液中の空気を真空脱泡して前記真空含
浸槽に前記電解液を供給し、また前記真空含浸槽から前
記電解液を回収する貯溜槽と、前記真空含浸槽及び該貯
溜槽内の圧力を所定のタイミングに従って真空とする真
空装置とを備えたことを特徴とするものである。

また、本発明装置（請求項４）は、電解コンデンサ素子
を収容した真空中で電解液を含浸させる真空含浸槽と、
前記電解液を貯溜すると共に内部の圧力を真空とするこ
とにより前記電解液中の空気を真空脱泡して前記真空含
浸槽に前記電解液を供給しまた前記真空含浸槽から前記
電解液を回収する貯溜槽と、前記電解液を含浸した前記
電解コンデンサ素子から滴下する前記電解液を受けて前
記貯溜槽に返送する脱液槽と、前記電解液を貯え前記貯
溜槽の前記電解液の量が所定量より少なくなったとき前
記電解液を補充する予備槽と、前記真空含浸槽と前記貯
溜槽、前記脱液槽と前記貯溜槽及び前記予備槽と前記貯
溜槽とを夫々連通接続して前記各槽間で前記電解液を授
受する開閉弁を備えたパイプ群と、前記真空含浸槽及び
前記貯溜槽内の圧力を所定のタイミングに従って真空と
する真空装置とを備えたことを特徴とするものである。

以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。本発
明に係る電解コンデンサ素子の真空含浸装置ｌは、真空
含浸槽２と、貯溜槽３と、脱液槽４と、予備゛槽５と、
パイプ群６と、真空装置８とを備えている。

第１図及び第２図において、真空含浸槽２は、クランプ
治具９により搬送された複数の電解コンデンサ素子１０
を収容して真空にされ、その中に電解液１１が供給され
て該電解液が電解コンデンサ素子１０に含浸されるよう
にしたもので、高品質のアルミニウム合金鋳物等の材料
で製作されており、箱形状の含浸槽本体１２と密閉Ｍ２
Ｓとから溝底されていて、含浸槽本体１２の上端部１２
ａにはＯリング等のシール部材１４が装着され、密閉蓋
１３で密閉できるようになっている。

含浸槽本体１２は仕切り板１２ｂにより液室１２ｃと溢
水室１２ｄとに分離されていて、液室１２ｃ内に電解液
１１を注入して電解コンデンサ素子ｌＯに含浸させ、余
分の電解液１１を仕切り板１２ｂから流出させ電解コン
デンサ素子１０のリード線１０ａへの付着を防止するよ
うにしである。また液室１２ｃの底部には供給口１２ｅ
及び排出口１２ｆが、溢水室１２ｄの底部には排出口１
２ｇが形成されていて、夫々後述する如くパイプ群６が
接続されている。また液室１２ｃ内には電解コンデンサ
素子１０の本体１０ｂを挟持する挾持部材１５と挾持弾
性体１６とが対向して配設されていて、揺動輪１８を図
示しない装置により謡動させることにより互いに接近又
は離脱する方向に移動させるようになっている。

密閉Ｍｌａには蓋支え軸１９が固着されていてＬ字形案
内溝２０で案内されながら移動させることにより開閉す
るようになっている。

クランプ治具９は、第３図も参照して、複数の電解コン
デンサ素子ｌＯのリード線１０ａの上端を挾持して該電
解コンデンサ素子を搬送するようにしたものであって、
一対の支持部２１と、該支持部に回動自在に枢着された
一対の平行板２２゜２３とからなる。支持部２１にはク
ランプ治具９を搬送装置（図示せず）によって搬送する
ための搬送溝２１ａが形成されており、ひんじ軸２４に
は複数のねじりばね２５が嵌装され、該ねじりばねの両
端（図示せず）は平行板２２．２３に固定され、該平行
板をその下端２２ａ、２３ａが互いに閉じる方向に押圧
付勢している。平行板２２゜２３の上１２２ｂ、２３ｂ
には図示しない外部の作動機構によってこれらの平行板
を開くための突起２２ｃ、２３ｃが夫々一対ずつ形成さ
れている。

貯溜槽３は、電解液１１を貯溜すると共に該電解液を真
空脱泡して真空含浸槽２へ供給するものであって、例え
ば、約５００ｃｃ程度の容積を持つガラス、ポリプロピ
レン等の樹脂、アルミニウム又はステンレス等の金属で
製作された密閉容器である。上部３　ａ　＆ｅはパイプ
群６及び貯溜された電解液１１の液面高さを検知する液
面センサ２６が配設され、該液面が所定の高さより低く
なると予備槽５から電解液１１を補充するようになって
いる。

脱液槽４は、含浸された電解コンデンサ素子１０から滴
下する余剰の電解液１１を受けるための箱であって、底
部４ａには排出口４ｂが形成され、該排出口に接続され
たパイプを通して該電解液を貯溜槽３へ返送するように
なっている。

予備槽５は、電解液１１を収納する箱であって、貯溜槽
３内の電解液１１が所定量より少なくなったとき該予備
槽内の電解液を貯溜槽３へ補給するように常時大気圧に
開放されている。

パイプ群６は、真空含浸槽２、貯溜槽、３、脱液槽４及
び予備槽５とを互いに連通接続して所定のタイミングで
夫々の電解液を給排するためのもの゛であって、真空含
浸槽２の供給口１２ｅは、開閉弁２８ａを途中に備えた
供給パイプ２９によって貯溜槽３の底部３ｂよりＬｏｓ
ｍ程度上方の位置と連通接続され、貯溜槽３内の電解液
１１を真空圧により真空含浸槽２へ供給するようになっ
ている。

また真空含浸槽２の２つの排出口１２ｆ及び１２ｇは、
同じく開閉弁２８ｂ及び２８ｃを介して回収パイプ３０
により貯溜槽３の上方部３Ｃと連通接続されて液室１２
ｃ及び溢水室１２ｄ内の電解液１１を貯溜槽３へ返送す
るようになっている。更に、パイプ３０の中間点３０ａ
及び３０ｂには、夫々脱液槽４の排出口４ｂに接続され
たパイプ３１及び予備槽５の底部５ａよりわずか上方に
一端を開口したパイプ３２が開閉弁２８ｄ及び２８ｅを
介して連通接続されている。

真空装置８は、真空含浸槽２及び貯溜槽３内の圧力を真
空にするためのものであって、公知の真空ポンプ３３の
回転軸３４に固定されたプーリ３５とモータ３６の回転
軸３８に固定されたプーリ３９とにベルト４０が巻き掛
けられていてモータ３６の回転が真空ポンプ３３に伝達
されるようになっている。そして真空ポンプ３３は、ホ
ース４１によってエアパルプ４２を介して真空含浸槽２
と、またホース４３によってエアパルプ４４を介して貯
溜槽３と連通接続されている。また真空含浸槽２及び貯
溜槽３には、夫々の内部圧力を検知する真空度センサ４
５が、更に真空含浸槽２には真空とされた内部を大気と
連通されることにより大気圧にもどすための開放弁４６
が設けられている。

そして本発明方法（請求項１）は、電解コンデンサ素子
１０に電解液１１を真空中で含浸される真空含浸槽２と
電解液１１を貯溜する貯溜槽３とを開閉弁２８　ａ、　
　２８　ｂ及び２８ｃを介して電解液の供給パイプ２９
及び回収パイプ３０とで連通接続し、貯溜槽３を真空と
して貯溜槽３内の電解液１１内の空気を真空脱泡した後
貯溜槽３の圧力を大気圧とすると共に、真空含浸槽２内
を真空として貯溜槽３内の電解液１１を供給パイプ２９
から真空圧により吸い上げて供給して電解コンデンサ素
子１０に電解液１１を含浸させた後、真空含浸槽２内の
圧力を大気圧とすると共に貯溜槽３内を真空として真空
含浸槽２内の電解液１１を回収パイプ３０から真空圧に
より貯溜槽３に回収することにより、電解液１１中の空
気を脱泡した状態で電解コンデンサ素子１０に含浸させ
る方法である。

また本発明方法（請求項２）は、貯溜槽３内の電解液１
１の空気を真空脱泡した後、真空とした真空含浸槽２へ
供給して電解コンデンサ素子１０に電解液１１を含浸さ
せ、残余の電解液１１を真空とした貯溜槽３へ回収する
と共に、含浸した電解コンデンサ素子１０から滴下する
電解液１１を受ける脱液槽４に溜まった電解液１１を真
空とした貯溜槽３に真空圧により回収し、また貯溜槽３
内の電解液１１が所定の量より少なくなったとき予備槽
５内の電解液１１を真空にした貯溜槽３へ真空圧により
補充する方法である。

作用 本発明は、上記のように構成されており、以下その作用
について説明する。第１図及び第５図において、複数個
の電解コンデンサ素子１０を整列挾持したクランプ治具
９　（第３図参照〉が図示しない搬送装置により真空含
浸槽２の上方まで搬送され、密閉蓋１３の開いた含浸槽
本体１２内に搬入されて該電解コンデンサ素子を挾持部
材１５と挾持弾性体１６とが液室１２ｃ内で挾持した後
、平行板２２及び２３が開かれてリード線１０ａの挟持
を開放し電解コンデンサ素子１０を含浸槽本体１２の内
部に残してクランプ治具９のみが退避する。該搬入作業
と並行して、真空装置８の作用によりエアパルプ４４を
開いて貯溜槽３内の空気を吸引して真空状態として、電
解液ｌｌ内の空気を吸引して脱泡する。

ここで第５図のタイムチャート線が示す如く密閉蓋１３
が真空含浸槽２を密閉する（点ａ）と共にエアバルブ４
２を開いて（点ｂ）真空装置８により真空含浸槽２内の
空気を吸引して真空にする。

また、開閉弁２８ｄを開く　（点Ｃ）とにより、今まで
真空とされていた貯溜槽３内へ脱液槽４に溜まっていた
電解液１１が大気と共に開閉弁２８ｄ、パイプ３１を通
って流入して貯溜槽３の圧力は大気圧となる。一方真空
含浸槽２内の空気は真空装置８により吸引されて時間と
共に真空度が高められ、該真空度が約２０１−−ルに達
すると、これを真空度センサ４５が検知してエアバルブ
４２が閉じられる（点ｄ）。次に開閉弁２８ａが開かれ
る（点ｅ）と貯溜槽３内の脱泡の終了した電解液１１は
真空圧によって真空含浸槽２へ供給パイプ２９及び開閉
弁２８ａを通って吸い上げられて液室１２ｃに供給され
、該液室１２ｃに挾持された電解コンデンサ素子ｌＯを
浸漬して所定時間保持されるので、該電解コンデンサ素
子内部にあった空気は気泡４８として排出されて該電解
コンデンサ素子の中心部にまで電解液１１が浸透する（
第４図参照）。また、真空含浸槽２へ供給される電解液
１１は、貯溜槽３で脱泡されているので、従来装置のよ
うに真空含浸槽２内で沸騰することがないので、リード
線１０ａを電解液１１で汚すこともない。所定の含浸時
間が経過すると開閉弁２８ａは閉じられ、（点ｆ）次い
で開放弁４６が開放され（点ｇ）で真空含浸槽２の圧力
を大気圧にすると共に、開閉弁２８ｄが閉じられる（点
ｈ）。そして所定時間（ｔ、）後エアバルブ４４が開か
れるので（点ｉ）、貯溜槽３内の空気は再び真空装置８
によりホース４３を通って吸引されて該貯溜槽内３は真
空となる。貯溜槽３の圧力が所定の真空圧に達すると真
空センサ４５がこれを検知して開閉弁２８ｂを開き（点
ｊ）、大気圧とされた液室１２ｃ内の電解液１１を真空
圧によって開閉弁２８ｂ及び回収パイプ３０を通して吸
引し、貯溜槽３に回収する。また、同時に含浸の終了し
た電解コンデンサ素子１０を該真空含浸槽から搬出する
ために密閉蓋１３が図示しない装置により開放される（
点ｈ）。そして液室１２ｃ内の電解液１１を回収するに
十分な所定時間が経過すると開閉弁２８ｂが閉じられ（
点１）、開閉弁２８ｃが開けられ（点ｍ）て溢水室１２
ｄ内にある電解液１１を回収パイプ３０を通し、同様に
して貯溜槽３に真空圧によって回収した後開閉弁２８ｃ
を閉じる（点ｎ）。

次に電解コンデンサ素子ｌＯに電解液１１を含浸させた
ことにより消費された量の電解液１１を補充するため、
開閉弁２８ｃが閉しられてから時間ｔ２経過後に開閉弁
２８ｅが開かれる（点０）と、大気圧状態の予備槽５に
収納されている電解液１１は貯溜槽３の真空圧によって
吸引されてパイプ３２及び開閉弁２８ｅを通って貯溜槽
３へ補充され、該貯溜槽３の電解液１１の液面１１ａが
所定の高さになると液面センサ２６がこれを検知して開
閉弁２８ｅを閉じて（点ｐ）、電解液１１の補充が終了
する。このようにして常に消費された量だけの電解液１
１が補充されるので貯溜槽３には一定量の電解液１１が
確保されており、作業者は予備槽５へ適宜電解液１１を
注入するだけで、貯溜槽３の電解液１１の量に特別の注
意を払う必要はない。

一方、密閉Ｍ１３が開放された真空含浸槽２内にクラン
プ治具１が再び搬入され（点ｑ）、平行板２２及び２３
でリード線１０ａを挾持して含浸された電解コンデンサ
素子１０を搬出しく点ｒ）、脱液槽４に搬送して余剰の
電解液１１を滴下させ、又は圧縮空気を吹き付けて取り
除く。そして再び新しい電解コンデンサ素子ｌＯを整列
挾持したクランプ治具９を搬送して真空含浸槽２へ搬入
しく点Ｓ）で、挾持部材１５と挾持弾性体１６との間で
挾持した後クランプ治具９のみを搬出しく点ｔ）、次に
エアバルブ４４を閉じて（点Ｕ）貯溜槽３を真空状態に
保持して電解液１１を真空脱泡してｌサイクルの動作を
終了する。

上記した含浸のサイクルが次々と繰り返されて自動的に
電解コンデンサ素子１０の含浸が行われる。そして電解
？ｆｆ１ｌｌは含浸工程のほとんどの時間真空中にある
ので、外部から空気が浸入する機会が少なく、また脱泡
された状態で電解コンデンサ素子１０を含浸するので従
来、例えば外径１６１１程度のものまでしか処理できな
かった容器の装置においても外径１３ｍｍ以上の電解コ
ンデンサ素子ｌＯの中心部にまで高粘度の電解液１１を
完全に含浸させることができる。また、電解？＆１１の
各槽間の授受は真空圧だけによって行われ、専用のポン
プ等を必要としないので、故障のおそれもなく、また装
置の製作費も大幅に低減させることができる。

効果 本発明は、上記のように真空とした貯溜槽内で電解液中
の空気を真空脱泡した後、該電解液を真空含浸槽へ真空
圧により吸い上げて供給して電解コンデンサ素子に電解
液を含浸させるようにしたので、ピンホール等による未
含浸部の発生が防止できると共に、大型の電解コンデン
サ素子であってもその中心部にまで電解液を含浸させる
ことができる効果があり、またこの結果電解コンデンサ
素子の電気的特性を高めることができる効果がある。ま
た真空含浸槽内での電解液の沸騰をなくしたので、該液
の飛び跳ねを防止してリード線への電解液の付着を皆無
にできる効果があり、またこの結果半田付は不良の発生
が防止できる効果がある。

更に真空とされた真空含浸槽内に保持された電解コンデ
ンサ素子に真空脱泡して空気を含まない電解液を供給し
て浸漬させて含浸させるようにしたので、比較的小型の
装置を用いて粘度の高い電解液を大型の電解コンデンサ
素子の中心部にまで含浸されて高耐圧の電解コンデンサ
素子を製作することができる効果がある。

また、真空含浸槽、貯溜槽、脱液槽及び予備槽を夫々開
閉弁を介してパイプで連通接続して真空圧を用いて真空
含浸槽及び脱液槽内の電解液を貯溜槽へ回収すると共に
、該貯溜槽の電解液が不足したとき予備槽から電解液を
補給するようにしたので、電解液を供給又は回収するた
めの専用ポンプを不要化できる効果があり、またこの結
実装置を安価に製作することができる効果がある。

また電解液が大気圧に解放される時間を最小として該液
への空気の混入を防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例に係り、第１図は電解液真空含浸
装置の全体構成を示す説明図、第２図は真空含浸槽の部
分縦断面図、第３図は電解コンデンサ素子を挾持する状
態を示すクランプ治具の斜視図、第４図は電解コンデン
サ素子が電解液に浸漬されて含浸される状態を示す部分
縦断面拡大図、第５図は電解液真空含浸装置の作動の様
子を説明するタイムチャートである。 １は電解液真空含浸装置、２は真空含浸槽、３は貯溜槽
、４は脱液槽、５は予備槽、６はパイプ群、８は真空装
置、１０は電解コンデンサ素子、１１は電解液、２８　
ａ、　　２８　ｂ、　　２８　ｃ２８ｄ、２８ｅは開閉
弁、２９は供給パイプ、３０は回収パイプである。 句

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　電解コンデンサ素子に電解液を真空中で含浸させる
   真空含浸槽と前記電解液を貯溜する貯溜槽とを開閉弁を
   介して前記電解液の供給パイプ及び回収パイプとで連通
   接続し、前記貯溜槽を真空として該貯溜槽内の前記電解
   液中の空気を真空脱泡した後前記貯溜槽の圧力を大気圧
   とすると共に前記真空含浸槽内を真空として前記貯溜槽
   内の前記電解液を前記供給パイプから真空圧により吸い
   上げて供給して前記電解コンデンサ素子に前記電解液を
   含浸させた後、前記真空含浸槽内の圧力を大気圧とする
   と共に前記貯溜槽内を真空として前記真空含浸槽内の前
   記電解液を前記回収パイプから真空圧により前記貯溜槽
   に回収することにより、前記電解液中の空気を脱泡した
   状態で前記電解コンデンサ素子に含浸させることを特徴
   とする電解コンデンサ素子の電解液真空含浸方法。 ２　貯溜槽内の電解液の空気を真空脱泡した後真空とし
   た真空含浸槽へ供給して電解コンデンサ素子に前記電解
   液を含浸させ、残余の前記電解液を真空とした前記貯溜
   槽へ回収すると共に、前記含浸した電解コンデンサ素子
   から滴下する前記電解液を受ける脱液槽に溜まった前記
   電解液を真空とした前記貯溜槽に真空圧により回収し、
   また前記貯溜槽内の前記電解液が所定の量より少なくな
   ったとき予備槽内の前記電解液を真空にした前記貯溜槽
   へ真空圧により補充することを特徴とする電解コンデン
   サ素子の真空含浸方法。 ３　電解コンデンサ素子を収容して真空中で電解液を含
   浸させる真空含浸槽と、前記電解液を貯溜すると共に内
   部の圧力を真空とすることにより前記電解液中の空気を
   真空脱泡して前記真空含浸槽に前記電解液を供給し、ま
   た前記真空含浸槽から前記電解液を回収する貯溜槽と、
   前記真空含浸槽及び該貯溜槽内の圧力を所定のタイミン
   グに従って真空とする真空装置とを備えたことを特徴と
   する電解コンデンサ素子の電解液真空含浸装置。 ４　電解コンデンサ素子を収容した真空中で電解液を含
   浸させる真空含浸槽と、前記電解液を貯溜すると共に内
   部の圧力を真空とすることにより前記電解液中の空気を
   真空脱泡して前記真空含浸槽に前記電解液を供給しまた
   前記真空含浸槽から前記電解液を回収する貯溜槽と、前
   記電解液を含浸した前記電解コンデンサ素子から滴下す
   る前記電解液を受けて前記貯溜槽に返送する脱液槽と、
   前記電解液を貯え前記貯溜槽の前記電解液の量が所定量
   より少なくなったとき前記電解液を補充する予備槽と、
   前記真空含浸槽と前記貯溜槽、前記脱液槽と前記貯溜槽
   及び前記予備槽と前記貯溜槽とを夫々連通接続して前記
   各槽間で前記電解液を授受する開閉弁を備えたパイプ群
   と、前記真空含浸槽及び前記貯溜槽内の圧力を所定のタ
   イミングに従って真空とする真空装置とを備えたことを
   特徴とする電解コンデンサ素子の電解液真空含浸装置。