JPH0333065Y2 - - Google Patents
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- JPH0333065Y2 JPH0333065Y2 JP7094688U JP7094688U JPH0333065Y2 JP H0333065 Y2 JPH0333065 Y2 JP H0333065Y2 JP 7094688 U JP7094688 U JP 7094688U JP 7094688 U JP7094688 U JP 7094688U JP H0333065 Y2 JPH0333065 Y2 JP H0333065Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は半導体ウエーハ立替装置に関し、詳し
くは半導体装置の製造に使用され、複数の半導体
ウエーハをキヤリアとボート間で一括して移し替
える装置に関するものである。
くは半導体装置の製造に使用され、複数の半導体
ウエーハをキヤリアとボート間で一括して移し替
える装置に関するものである。
半導体装置の製造は、多数の半導体素子を形成
した半導体ウエーハ〔以下単にウエーハと称す〕
を種々の処理工程にて加工処理することにより行
われる。この各種処理工程のうち、例えば不純物
拡散等の熱処理工程では、上記ウエーハの片面の
みを処理するため、第10図に示すように複数の
ウエーハ1,1…を、ウエーハ専用保持治具〔後
述のボート〕上に、二枚ずつその裏面同士を密着
させて植立させた状態で、定ピツチで若干傾倒さ
せて整列保持するBack To Back方式が採用さ
れている。このBack To Back方式による熱処
理工程とその前後工程間では、二つのウエーハ専
用保持治具、即ち、複数のウエーハ1,1…を一
枚ずつその表面を同一方向に向けて定ピツチでウ
エーハ収納溝2,2…に整列収納する第11図に
示すような枠状のテフロン製キヤリア3と、複数
のウエーハ1,1…を二枚ずつその裏面同士を密
着させて植立させた状態でウエーハ保持溝4,4
…に若干傾倒させて定ピツチで整列保持する第1
2図に示すような筏状の石英ガラス製ボート5と
の間で、上記ウエーハ1,1…を一括して移し替
える必要がある。
した半導体ウエーハ〔以下単にウエーハと称す〕
を種々の処理工程にて加工処理することにより行
われる。この各種処理工程のうち、例えば不純物
拡散等の熱処理工程では、上記ウエーハの片面の
みを処理するため、第10図に示すように複数の
ウエーハ1,1…を、ウエーハ専用保持治具〔後
述のボート〕上に、二枚ずつその裏面同士を密着
させて植立させた状態で、定ピツチで若干傾倒さ
せて整列保持するBack To Back方式が採用さ
れている。このBack To Back方式による熱処
理工程とその前後工程間では、二つのウエーハ専
用保持治具、即ち、複数のウエーハ1,1…を一
枚ずつその表面を同一方向に向けて定ピツチでウ
エーハ収納溝2,2…に整列収納する第11図に
示すような枠状のテフロン製キヤリア3と、複数
のウエーハ1,1…を二枚ずつその裏面同士を密
着させて植立させた状態でウエーハ保持溝4,4
…に若干傾倒させて定ピツチで整列保持する第1
2図に示すような筏状の石英ガラス製ボート5と
の間で、上記ウエーハ1,1…を一括して移し替
える必要がある。
上記キヤリア3とボート5間でのBack To
Back方式によるウエーハ移し替えは、第13図
に示すようにキヤリア3及びボート5を位置決め
載置したキヤリアベース6及びボートベース7間
に配置されたホルダ8にて、上記キヤリア3或い
はボート5から移送されたウエーハ1,1…をそ
の整列状態を変更させて密着或いは分離し、空の
ボート5或いはキヤリア3へローデイング或いは
アンローデイングする。
Back方式によるウエーハ移し替えは、第13図
に示すようにキヤリア3及びボート5を位置決め
載置したキヤリアベース6及びボートベース7間
に配置されたホルダ8にて、上記キヤリア3或い
はボート5から移送されたウエーハ1,1…をそ
の整列状態を変更させて密着或いは分離し、空の
ボート5或いはキヤリア3へローデイング或いは
アンローデイングする。
このキヤリア3或いはボート5からホルダ8へ
のウエーハ移し替えは、上記キヤリアベース6及
びボートベース7の下方に夫々設けられたプツシ
ヤ9,10により行われる。上記プツシヤ9,1
0はキヤリアベース6及びボートベース7の下方
に昇降動自在に配設したプツシヤベース11,1
2上に固定配置され、その上面には複数のウエー
ハ受け溝13,13…14,14…が定ピツチで
刻設されている。ウエーハローデイング或いはア
ンローデイング時、上記キヤリア3或いはボート
5からホルダ8へのウエーハ移し替えは、キヤリ
アベース6或いはボートベース7をホルダ8の下
方に移送し、その上でプツシヤベース11,12
を上昇させ、プツシヤ9,10の突上げ動作によ
りキヤリア3或いはボート5上のウエーハ1,1
…を一旦プツシヤ9,10のウエーハ受け溝1
3,13…14,14…に移し替え、更にホルダ
8に移し替えてこのホルダ8にて整列保持する。
のウエーハ移し替えは、上記キヤリアベース6及
びボートベース7の下方に夫々設けられたプツシ
ヤ9,10により行われる。上記プツシヤ9,1
0はキヤリアベース6及びボートベース7の下方
に昇降動自在に配設したプツシヤベース11,1
2上に固定配置され、その上面には複数のウエー
ハ受け溝13,13…14,14…が定ピツチで
刻設されている。ウエーハローデイング或いはア
ンローデイング時、上記キヤリア3或いはボート
5からホルダ8へのウエーハ移し替えは、キヤリ
アベース6或いはボートベース7をホルダ8の下
方に移送し、その上でプツシヤベース11,12
を上昇させ、プツシヤ9,10の突上げ動作によ
りキヤリア3或いはボート5上のウエーハ1,1
…を一旦プツシヤ9,10のウエーハ受け溝1
3,13…14,14…に移し替え、更にホルダ
8に移し替えてこのホルダ8にて整列保持する。
ところで、前述した従来の半導体ウエーハ立替
装置15では、キヤリア3或いはボート5からホ
ルダ8へウエーハ1,1…を一旦移し替える際
に、上記キヤリア3或いはボート5に保持された
ウエーハ1,1…を各プツシヤ9,10で突上げ
て上記ホルダ8に移送している。この時、キヤリ
ア3或いはボート5のウエーハ収納溝2,2…或
いはウエーハ保持溝4,4…〔第11図及び第1
2図参照〕とホルダ8のガイド溝〔図示せず〕と
が位置ずれしたり、或いはウエーハ1,1…自体
の反り等によつて、その移し替え途中で上記ウエ
ーハ1,1…が引掛かることがある。この場合、
上記プツシヤ9,10が突上げ動作を続行するた
め、ウエーハ1,1…に過負荷がかかつて上記ウ
エーハ1,1…が破損するという問題があつた。
装置15では、キヤリア3或いはボート5からホ
ルダ8へウエーハ1,1…を一旦移し替える際
に、上記キヤリア3或いはボート5に保持された
ウエーハ1,1…を各プツシヤ9,10で突上げ
て上記ホルダ8に移送している。この時、キヤリ
ア3或いはボート5のウエーハ収納溝2,2…或
いはウエーハ保持溝4,4…〔第11図及び第1
2図参照〕とホルダ8のガイド溝〔図示せず〕と
が位置ずれしたり、或いはウエーハ1,1…自体
の反り等によつて、その移し替え途中で上記ウエ
ーハ1,1…が引掛かることがある。この場合、
上記プツシヤ9,10が突上げ動作を続行するた
め、ウエーハ1,1…に過負荷がかかつて上記ウ
エーハ1,1…が破損するという問題があつた。
そこで、本考案の目的は上記問題点を適切な手
段にて改善した半導体ウエーハ立替装置を提供す
ることにある。
段にて改善した半導体ウエーハ立替装置を提供す
ることにある。
本考案は前記問題点に鑑みて提案されたもの
で、複数のウエーハを一枚ずつ定ピツチで整列収
納し、キヤリアベース上に位置決め載置したキヤ
リア、或いはウエーハを二枚ずつその裏面同士を
密着させて定ピツチで整列保持し、ボートベース
上に位置決め載置したボートから、それから隔
離、例えば、それらの上方に配置されたホルダ
へ、キヤリアベース及びボートベース下方に上下
動自在に配置されたプツシヤベース上のプツシヤ
の突上げ動作によりウエーハを一括して移し替え
る装置であつて、キヤリアベース及びボートベー
ス下方の各プツシヤをプツシヤベースに対して退
入動作可能に装着し、そのプツシヤの退入動作を
検出する過負荷検知手段を上記プツシヤ及びプツ
シヤベースに配設したことにより前記目的を達成
した半導体ウエーハ立替装置である。
で、複数のウエーハを一枚ずつ定ピツチで整列収
納し、キヤリアベース上に位置決め載置したキヤ
リア、或いはウエーハを二枚ずつその裏面同士を
密着させて定ピツチで整列保持し、ボートベース
上に位置決め載置したボートから、それから隔
離、例えば、それらの上方に配置されたホルダ
へ、キヤリアベース及びボートベース下方に上下
動自在に配置されたプツシヤベース上のプツシヤ
の突上げ動作によりウエーハを一括して移し替え
る装置であつて、キヤリアベース及びボートベー
ス下方の各プツシヤをプツシヤベースに対して退
入動作可能に装着し、そのプツシヤの退入動作を
検出する過負荷検知手段を上記プツシヤ及びプツ
シヤベースに配設したことにより前記目的を達成
した半導体ウエーハ立替装置である。
本考案によれば、キヤリア或いはボートのウエ
ーハをホルダに移し替える際に、上記ウエーハが
引掛かれば、これによりウエーハを整列保持した
プツシヤが、上昇動するプツシヤベースに対して
退入動作し、このプツシヤの退入動作を過負荷検
知手段によつて検出し、その検出信号に基づいて
上記ウエーハ移し替え動作を停止させる。
ーハをホルダに移し替える際に、上記ウエーハが
引掛かれば、これによりウエーハを整列保持した
プツシヤが、上昇動するプツシヤベースに対して
退入動作し、このプツシヤの退入動作を過負荷検
知手段によつて検出し、その検出信号に基づいて
上記ウエーハ移し替え動作を停止させる。
本考案に係る半導体ウエーハ立替装置の一実施
例を第1図乃至第9図を参照しながら説明する。
尚、第1図乃至第3図、第4図及び第5図は上記
半導体ウエーハ立替装置のキヤリア部、ボート部
構成を、第6図乃至第9図は半導体ウエーハ立替
装置の全体構成を示す。
例を第1図乃至第9図を参照しながら説明する。
尚、第1図乃至第3図、第4図及び第5図は上記
半導体ウエーハ立替装置のキヤリア部、ボート部
構成を、第6図乃至第9図は半導体ウエーハ立替
装置の全体構成を示す。
第6図乃至第9図に示す半導体ウエーハ立替装
置20は、複数のウエーハ1,1…を一枚ずつ定
ピツチでその表面を同一方向に向けてウエーハ収
納溝2,2…に整列収納する枠状のテフロン製キ
ヤリア3〔第11図参照〕が位置決め載置された
水平動自在なキヤリアベース21を有するキヤリ
ア部22と、複数のウエーハ1,1…を二枚ずつ
その裏面同士を密着させて植立させた状態でウエ
ーハ保持溝4,4…に若干傾倒させて定ピツチで
整列保持する筏状の石英ガラス製ボート5(第1
2図参照〕が位置決め載置された水平動自在なボ
ートベース23を有し、上記キヤリア部22とボ
ート部24の中間ポジシヨンP0上方に配置され、
キヤリア3或いはボート5から移し替えられたウ
エーハ1,1…を一時的に収納保持し、二対の上
下回転ローラ25〜28を使用して上記ウエーハ
1,1…を密着或いは分離させてその整列状態を
変更する上下動自在なホルダ29を有するホルダ
部30とでその主要部を構成する。上記ボート部
24では、第9図に示すようにボート5上にウエ
ーハ1,1…を微小角度傾倒させて整列保持して
いるので、上記ウエーハ1,1…を正確に起立さ
せるため、上記ボートベース23をウエーハ1,
1…の傾倒方向とは逆方向に微小角度傾斜させて
配置している。またホルダ部30には、第8図に
示しているように、ホルダ29を上下動させるた
めのホルダ昇降機構31を設ける。尚、上述した
キヤリア部22、ボート部24及びホルダ部30
の各部は制御部〔図示せず〕によつて後述の如く
駆動制御される。
置20は、複数のウエーハ1,1…を一枚ずつ定
ピツチでその表面を同一方向に向けてウエーハ収
納溝2,2…に整列収納する枠状のテフロン製キ
ヤリア3〔第11図参照〕が位置決め載置された
水平動自在なキヤリアベース21を有するキヤリ
ア部22と、複数のウエーハ1,1…を二枚ずつ
その裏面同士を密着させて植立させた状態でウエ
ーハ保持溝4,4…に若干傾倒させて定ピツチで
整列保持する筏状の石英ガラス製ボート5(第1
2図参照〕が位置決め載置された水平動自在なボ
ートベース23を有し、上記キヤリア部22とボ
ート部24の中間ポジシヨンP0上方に配置され、
キヤリア3或いはボート5から移し替えられたウ
エーハ1,1…を一時的に収納保持し、二対の上
下回転ローラ25〜28を使用して上記ウエーハ
1,1…を密着或いは分離させてその整列状態を
変更する上下動自在なホルダ29を有するホルダ
部30とでその主要部を構成する。上記ボート部
24では、第9図に示すようにボート5上にウエ
ーハ1,1…を微小角度傾倒させて整列保持して
いるので、上記ウエーハ1,1…を正確に起立さ
せるため、上記ボートベース23をウエーハ1,
1…の傾倒方向とは逆方向に微小角度傾斜させて
配置している。またホルダ部30には、第8図に
示しているように、ホルダ29を上下動させるた
めのホルダ昇降機構31を設ける。尚、上述した
キヤリア部22、ボート部24及びホルダ部30
の各部は制御部〔図示せず〕によつて後述の如く
駆動制御される。
上記キヤリア部22及びボート部24には、キ
ヤリアベース21及びボートベース23を、待機
ポジシヨンP1,P2とその中間ポジシヨンP0間で
夫々移送するベース移送機構32,33がその直
下方に配設される。また、キヤリアベース21及
びボートベース23の下部には、キヤリア3及び
ボート5とホルダ29との間でウエーハ1,1…
を移し替えるプツシヤ機構34,35を装設す
る。
ヤリアベース21及びボートベース23を、待機
ポジシヨンP1,P2とその中間ポジシヨンP0間で
夫々移送するベース移送機構32,33がその直
下方に配設される。また、キヤリアベース21及
びボートベース23の下部には、キヤリア3及び
ボート5とホルダ29との間でウエーハ1,1…
を移し替えるプツシヤ機構34,35を装設す
る。
本考案の特徴は上記キヤリア部22及びボート
部24の各プツシヤ機構34,35にある。尚、
この各プツシヤ機構34,35は略同一構造であ
るため、以下にまとめて説明すると、第1図乃至
第3図、第4図及び第5図に示すように、上面に
ウエーハ1,1…を起立状態で整列保持する複数
のウエーハ受け溝36,36…37,37…が前
後方向に沿つて定ピツチで刻設されたテフロン製
プツシヤ38,39を、4本のガイドロツド4
0,40…41,41…を介してプツシヤベース
42,43に上下方向に沿つて摺動自在に装着
し、上記プツシヤベース42,43をキヤリアベ
ース21及びボートベース23と一体のベースフ
レーム44,45にガイド軸46,46、47,
47を介して上下方向に摺動可能に装着する。上
記プツシヤベース42,43には、ベースフレー
ム44,45に固設された駆動源であるエアシリ
ンダ48,49のシリンダヘツド50,51を連
結し、このエアシリンダ48,49の作動により
プツシヤベース42,43を昇降動させる。上記
プツシヤ38,39の下面にネジ込みにより第1
図に示すように、ピン52,52、第4図に示す
ようにピン53,53を突設し、このピン52,
52,53,53先端をプツシヤベース42,4
3の孔〔図示せず〕に挿入し、上記ピン52,5
2,53,53のフランジ部54,54,55,
55とプツシヤベース42,43間に圧縮コイル
バネ56,56,57,57を上記ピン52,5
2,53,53に外挿させて張設する。また、上
記プツシヤ38,39及びプツシヤベース42,
43にプツシヤ38,39のプツシヤベース4
2,43側に向う退入動作を検出する過負荷検知
手段58,59を設ける。この過負荷検知手段5
8,59は、上記プツシヤ38,39の下面にネ
ジ込みによりピン60,61を突設し、このピン
60,61による遮光の有無を検出するフオトセ
ンサ62,63をプツシヤベース42,43に対
応させて固着したものである。尚、前述した圧縮
コイルバネ56,56,57,57に内挿された
ピン52,52,53,53によりフオトセンサ
62,63を遮光して検出するようにしてもよ
く、適宜設計変更可能である。
部24の各プツシヤ機構34,35にある。尚、
この各プツシヤ機構34,35は略同一構造であ
るため、以下にまとめて説明すると、第1図乃至
第3図、第4図及び第5図に示すように、上面に
ウエーハ1,1…を起立状態で整列保持する複数
のウエーハ受け溝36,36…37,37…が前
後方向に沿つて定ピツチで刻設されたテフロン製
プツシヤ38,39を、4本のガイドロツド4
0,40…41,41…を介してプツシヤベース
42,43に上下方向に沿つて摺動自在に装着
し、上記プツシヤベース42,43をキヤリアベ
ース21及びボートベース23と一体のベースフ
レーム44,45にガイド軸46,46、47,
47を介して上下方向に摺動可能に装着する。上
記プツシヤベース42,43には、ベースフレー
ム44,45に固設された駆動源であるエアシリ
ンダ48,49のシリンダヘツド50,51を連
結し、このエアシリンダ48,49の作動により
プツシヤベース42,43を昇降動させる。上記
プツシヤ38,39の下面にネジ込みにより第1
図に示すように、ピン52,52、第4図に示す
ようにピン53,53を突設し、このピン52,
52,53,53先端をプツシヤベース42,4
3の孔〔図示せず〕に挿入し、上記ピン52,5
2,53,53のフランジ部54,54,55,
55とプツシヤベース42,43間に圧縮コイル
バネ56,56,57,57を上記ピン52,5
2,53,53に外挿させて張設する。また、上
記プツシヤ38,39及びプツシヤベース42,
43にプツシヤ38,39のプツシヤベース4
2,43側に向う退入動作を検出する過負荷検知
手段58,59を設ける。この過負荷検知手段5
8,59は、上記プツシヤ38,39の下面にネ
ジ込みによりピン60,61を突設し、このピン
60,61による遮光の有無を検出するフオトセ
ンサ62,63をプツシヤベース42,43に対
応させて固着したものである。尚、前述した圧縮
コイルバネ56,56,57,57に内挿された
ピン52,52,53,53によりフオトセンサ
62,63を遮光して検出するようにしてもよ
く、適宜設計変更可能である。
上記構成からなる半導体ウエーハ立替装置20
におけるウエーハローデイング及びアンローデイ
ング時の移し替え動作を以下説明する。
におけるウエーハローデイング及びアンローデイ
ング時の移し替え動作を以下説明する。
まず、ウエーハローデイング時、複数のウエー
ハ1,1…を一枚ずつ整列収納したキヤリア3を
キヤリア部22のキヤリアベース21上に位置決
め載置する。そして上記キヤリアベース21を中
間ポジシヨンP0までベース移送機構32により
移送し、その間にホルダ部30のホルダ29をホ
ルダ昇降機構31によりキヤリア3の上方近傍位
置まで下降させ、その後、上記キヤリア3のウエ
ーハ1,1…をこのポジシヨンP0でプツシヤ機
構34によりホルダ部30のホルダ29に移送す
る。次に待機ポジシヨンP1に初期復帰させたキ
ヤリアベース21上に、前記キヤリア3のウエー
ハ1,1…とは逆方向に向けた複数のウエーハ
1,1…を一枚ずつ整列収納した次のキヤリア3
を半ピツチずらして位置決め載置し、前述と同一
動作を繰返して上記ウエーハ1,1…をホルダ2
9に移送する。このホルダ29では上下回転ロー
ラ25〜28を使用して上記ウエーハ1,1…を
二枚ずつその裏面同士を密着させてその整列状態
を設定する。そしてホルダ29内の密着状態にあ
るウエーハ1,1…を、中間ポジシヨンP0にベ
ース移送機構33により移送されたボートベース
23上の空のボート5に移し替える。
ハ1,1…を一枚ずつ整列収納したキヤリア3を
キヤリア部22のキヤリアベース21上に位置決
め載置する。そして上記キヤリアベース21を中
間ポジシヨンP0までベース移送機構32により
移送し、その間にホルダ部30のホルダ29をホ
ルダ昇降機構31によりキヤリア3の上方近傍位
置まで下降させ、その後、上記キヤリア3のウエ
ーハ1,1…をこのポジシヨンP0でプツシヤ機
構34によりホルダ部30のホルダ29に移送す
る。次に待機ポジシヨンP1に初期復帰させたキ
ヤリアベース21上に、前記キヤリア3のウエー
ハ1,1…とは逆方向に向けた複数のウエーハ
1,1…を一枚ずつ整列収納した次のキヤリア3
を半ピツチずらして位置決め載置し、前述と同一
動作を繰返して上記ウエーハ1,1…をホルダ2
9に移送する。このホルダ29では上下回転ロー
ラ25〜28を使用して上記ウエーハ1,1…を
二枚ずつその裏面同士を密着させてその整列状態
を設定する。そしてホルダ29内の密着状態にあ
るウエーハ1,1…を、中間ポジシヨンP0にベ
ース移送機構33により移送されたボートベース
23上の空のボート5に移し替える。
次にウエーハアンローデイング時、複数のウエ
ーハ1,1…を二枚ずつその裏面同士を密着させ
て整列保持したボート5をボート部24のボート
ベース23上に位置決め載置する。そして上記ボ
ートベース23をベース移送機構33により中間
ポジシヨンP0まで移送し、その間にホルダ部3
0のホルダ29をホルダ昇降機構31によりボー
ト5の上方近傍位置まで下降させ、その後、ボー
ト5のウエーハ1,1…をこのポジシヨンP0で
プツシヤ機構31によりホルダ部30のホルダ2
9に移送する。このホルダ29では、ウエーハロ
ーデイング時とは逆に上下回転ローラ25〜28
を使用して二枚ずつその裏面同士が密着したウエ
ーハ1,1…を一枚ずつ分離し、その後、中間ポ
ジシヨンP0にベース移送機構32により移送さ
れたキヤリアベース21上の空のキヤリア3に同
一動作を二回繰返して移し替える。
ーハ1,1…を二枚ずつその裏面同士を密着させ
て整列保持したボート5をボート部24のボート
ベース23上に位置決め載置する。そして上記ボ
ートベース23をベース移送機構33により中間
ポジシヨンP0まで移送し、その間にホルダ部3
0のホルダ29をホルダ昇降機構31によりボー
ト5の上方近傍位置まで下降させ、その後、ボー
ト5のウエーハ1,1…をこのポジシヨンP0で
プツシヤ機構31によりホルダ部30のホルダ2
9に移送する。このホルダ29では、ウエーハロ
ーデイング時とは逆に上下回転ローラ25〜28
を使用して二枚ずつその裏面同士が密着したウエ
ーハ1,1…を一枚ずつ分離し、その後、中間ポ
ジシヨンP0にベース移送機構32により移送さ
れたキヤリアベース21上の空のキヤリア3に同
一動作を二回繰返して移し替える。
上記ウエーハローデイング及びアンローデイン
グ時、中間ポジシヨンP0にてキヤリア3及びボ
ート5のウエーハ1,1…ををプツシヤ機構3
4,35によりホルダ29に移し替えるに際して
は、例えばエアシリンダ48,49の作動により
シリンダヘツド50,51を突出させ、ガイド軸
46,46,47,47を介してプツシヤベース
42,43を上昇させる。このプツシヤベース4
2,43の上昇に追従してプツシヤ38,39を
突上げ動作させ、キヤリアベース21及びボート
ベース23の開口窓孔m,nを介してキヤリア3
及びボート5のウエーハ1,1…を上記プツシヤ
38,39のウエーハ受け溝36,36…37,
37…に移し替える。このプツシヤ38,39の
突上げ動作によりプツシヤ38,39上に起立状
態で整列保持されたウエーハ1,1…をホルダ2
9内に移し替える。
グ時、中間ポジシヨンP0にてキヤリア3及びボ
ート5のウエーハ1,1…ををプツシヤ機構3
4,35によりホルダ29に移し替えるに際して
は、例えばエアシリンダ48,49の作動により
シリンダヘツド50,51を突出させ、ガイド軸
46,46,47,47を介してプツシヤベース
42,43を上昇させる。このプツシヤベース4
2,43の上昇に追従してプツシヤ38,39を
突上げ動作させ、キヤリアベース21及びボート
ベース23の開口窓孔m,nを介してキヤリア3
及びボート5のウエーハ1,1…を上記プツシヤ
38,39のウエーハ受け溝36,36…37,
37…に移し替える。このプツシヤ38,39の
突上げ動作によりプツシヤ38,39上に起立状
態で整列保持されたウエーハ1,1…をホルダ2
9内に移し替える。
この時、キヤリア3及びボート5のウエーハ収
納溝2,2…及びウエーハ保持溝4,4…と、ホ
ルダ29内のガイド溝とが位置ずれしたり、或い
はウエーハ1,1…自体の反り等によつてウエー
ハ1,1…が引掛かつてプツシヤ38,39に過
負荷が加わると、上記プツシヤ38,39が圧縮
コイルバネ56,56,57,57の弾性力に抗
してプツシヤベース42,43に対して退入動作
する。このプツシヤ38,39の退入動作により
ピン60,61が下降して、このピン60,61
をフオトセンサ62,63で検知する。このよう
に上述のような不具合が発生した場合、上記フオ
トセンサ62,63から送出された検出信号に基
づいてプツシヤ38,39の突上げ動作を自動的
に停止させる。このプツシヤ38,39の停止時
には、エアシリンダ48,49を応答良好に作動
停止させる必要がある。そのため、上記エアシリ
ンダ48,49のエア切換弁として3位置形セン
タークローズ電磁弁を使用し、更に、この電磁弁
をクローズ状態に切換える直前に上記エアシリン
ダ48,49に逆方向、即ち、シリンダヘツド5
0,51の退入方向にエア圧を加えることによ
り、フオトセンサ62,63の検出信号に基づい
て応答性良く、プツシヤ38,39を停止させ、
上記エアシリンダ48,49内でのエア残圧の影
響を可及的に抑止している。
納溝2,2…及びウエーハ保持溝4,4…と、ホ
ルダ29内のガイド溝とが位置ずれしたり、或い
はウエーハ1,1…自体の反り等によつてウエー
ハ1,1…が引掛かつてプツシヤ38,39に過
負荷が加わると、上記プツシヤ38,39が圧縮
コイルバネ56,56,57,57の弾性力に抗
してプツシヤベース42,43に対して退入動作
する。このプツシヤ38,39の退入動作により
ピン60,61が下降して、このピン60,61
をフオトセンサ62,63で検知する。このよう
に上述のような不具合が発生した場合、上記フオ
トセンサ62,63から送出された検出信号に基
づいてプツシヤ38,39の突上げ動作を自動的
に停止させる。このプツシヤ38,39の停止時
には、エアシリンダ48,49を応答良好に作動
停止させる必要がある。そのため、上記エアシリ
ンダ48,49のエア切換弁として3位置形セン
タークローズ電磁弁を使用し、更に、この電磁弁
をクローズ状態に切換える直前に上記エアシリン
ダ48,49に逆方向、即ち、シリンダヘツド5
0,51の退入方向にエア圧を加えることによ
り、フオトセンサ62,63の検出信号に基づい
て応答性良く、プツシヤ38,39を停止させ、
上記エアシリンダ48,49内でのエア残圧の影
響を可及的に抑止している。
尚、上記過負荷検知手段58,59の検知感度
は、圧縮コイルバネ56,56、57,57の長
さ、線径等によつて調整し得る。即ち、上記圧縮
コイルバネ56,56,57,57の長さは、プ
ツシヤ38,39にネジ込まれたピン52,5
2,53,53を突出退入させそのフランジ部5
4,54,55,55を上下させることにより行
われ、これでも調整不可能な場合には、線径の異
なる他の圧縮コイルバネと交換することにより感
度調整する。また、プツシヤ38,39のピン6
0,61の突出長によつてもそのネジ込み状態を
変更することにより調整可能である。
は、圧縮コイルバネ56,56、57,57の長
さ、線径等によつて調整し得る。即ち、上記圧縮
コイルバネ56,56,57,57の長さは、プ
ツシヤ38,39にネジ込まれたピン52,5
2,53,53を突出退入させそのフランジ部5
4,54,55,55を上下させることにより行
われ、これでも調整不可能な場合には、線径の異
なる他の圧縮コイルバネと交換することにより感
度調整する。また、プツシヤ38,39のピン6
0,61の突出長によつてもそのネジ込み状態を
変更することにより調整可能である。
上記実施例では、負荷荷検知手段として、ピン
とフオトセンサを用いて遮光によりプツシヤの退
入動作を検出するようにしているが、この考案で
は、その他、例えば、孔開きリードとフオトセン
サを使つた遮光状態から透光状態になることによ
り検出するようにしたり、反射型フオトセンサの
反射具合で検出するようにしてもよい。
とフオトセンサを用いて遮光によりプツシヤの退
入動作を検出するようにしているが、この考案で
は、その他、例えば、孔開きリードとフオトセン
サを使つた遮光状態から透光状態になることによ
り検出するようにしたり、反射型フオトセンサの
反射具合で検出するようにしてもよい。
考案の効果
本考案によれば、キヤリアベース及びボートベ
ース下方の各プツシヤをプツシヤベースに対して
退入動作可能に装着し、そのプツシヤの退入動作
を検出する過負荷検知手段を上記プツシヤ及びプ
ツシヤベースの少なくとも一方に配設したから、
キヤリア或いはボートからホルダへのプツシヤに
よるウエーハ移し替え時、上記ウエーハの引掛か
りによるプツシヤの過負荷状態を自動的に検知で
き、上記ウエーハの破損を未然に防止することが
可能となり、信頼性の高い半導体ウエーハ立替装
置を提供できると共に製品の歩留まりも大幅に向
上する。
ース下方の各プツシヤをプツシヤベースに対して
退入動作可能に装着し、そのプツシヤの退入動作
を検出する過負荷検知手段を上記プツシヤ及びプ
ツシヤベースの少なくとも一方に配設したから、
キヤリア或いはボートからホルダへのプツシヤに
よるウエーハ移し替え時、上記ウエーハの引掛か
りによるプツシヤの過負荷状態を自動的に検知で
き、上記ウエーハの破損を未然に防止することが
可能となり、信頼性の高い半導体ウエーハ立替装
置を提供できると共に製品の歩留まりも大幅に向
上する。
第1図乃至第9図は本考案に係る半導体ウエー
ハ立替装置の一実施例を説明するためのもので、
第1図は半導体ウエーハ立替装置のキヤリア部を
示す拡大側面図、第2図は第1図装置の正面図、
第3図は第1図装置の平面図、第4図は半導体ウ
エーハ立替装置のボート部を示す拡大側面図、第
5図は第4図装置の正面図、第6図は半導体ウエ
ーハ立替装置の全体構成を示す正面図、第7図は
第6図装置の平面図、第8図は第6図装置の側面
図、第9図は第6図装置のボート部を示す側面図
である。第10図はボート上でのBack To
Back方式によるウエーハを示す側面図、第11
図はウエーハを整列収納したキヤリアを示す斜視
図、第12図はウエーハを整列保持したボートを
示す斜視図、第13図は従来の半導体ウエーハ立
替装置の概略構成図である。 1……半導体ウエーハ、3……キヤリア、5…
…ボート、21……キヤリアベース、23……ボ
ートベース、29……ホルダ、38,39……プ
ツシヤ、42,43……プツシヤベース、58,
59……過負荷検知手段。
ハ立替装置の一実施例を説明するためのもので、
第1図は半導体ウエーハ立替装置のキヤリア部を
示す拡大側面図、第2図は第1図装置の正面図、
第3図は第1図装置の平面図、第4図は半導体ウ
エーハ立替装置のボート部を示す拡大側面図、第
5図は第4図装置の正面図、第6図は半導体ウエ
ーハ立替装置の全体構成を示す正面図、第7図は
第6図装置の平面図、第8図は第6図装置の側面
図、第9図は第6図装置のボート部を示す側面図
である。第10図はボート上でのBack To
Back方式によるウエーハを示す側面図、第11
図はウエーハを整列収納したキヤリアを示す斜視
図、第12図はウエーハを整列保持したボートを
示す斜視図、第13図は従来の半導体ウエーハ立
替装置の概略構成図である。 1……半導体ウエーハ、3……キヤリア、5…
…ボート、21……キヤリアベース、23……ボ
ートベース、29……ホルダ、38,39……プ
ツシヤ、42,43……プツシヤベース、58,
59……過負荷検知手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハを一枚づつ定ピツチで整
列収納し、キヤリアベース上に位置決め載置した
キヤリア、或は半導体ウエーハを二枚づつその裏
面同士を密着させて定ピツチで整列保持し、ボー
トベース上に位置決め載置したボートから、それ
らから隔離して配置されたホルダへ、キヤリアベ
ース及びボートベース下方に上下動自在に配置さ
れたプツシヤベース上のプツシヤの突上げ動作に
より半導体ウエーハを一括して移し替える装置で
あつて、 キヤリアベース及びボートベース下方の各プツ
シヤをプツシヤベースに対して退入動作可能に装
着し、 上記プツシヤ及びプツシヤベースの少なくとも
一方に配設されるピンと、上記ピンの遮光の有無
を検知するフオトセンサとからなり、そのプツシ
ヤの退入動作を検出する過負荷検知手段を設けた
ことを特徴とする半導体ウエーハ立替装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7094688U JPH0333065Y2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7094688U JPH0333065Y2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01173941U JPH01173941U (ja) | 1989-12-11 |
JPH0333065Y2 true JPH0333065Y2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=31296159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7094688U Expired JPH0333065Y2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0333065Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8317450B2 (en) * | 2008-10-30 | 2012-11-27 | Lam Research Corporation | Tactile wafer lifter and methods for operating the same |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP7094688U patent/JPH0333065Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01173941U (ja) | 1989-12-11 |
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