JPH0332557A - 製造ライン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、製造ラインの保守技術さらには保守データの
管理方式に適用して特に有効な技術に関し、例えば半導
体装置の製造ラインの管理に利用して有効な技術に関す
る。

［従来の技術］ 従来、多数の製造設備が設置されてなる生産ラインにお
いて、各製造設備における故障や軽微な不具合を、端末
装置とキー人力式の不具合計数装置によってデータとし
てコンピュータに送り、それを処理、整理して出力する
機能を持たせたオンラインシステムが提案されている（
特開昭６１−６０１０４号）。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記のような従来のデータ収集システム
にあっては、各製造設備の故障や不具合の発生率すなわ
ちその製造設備の稼動準もしくは信頼性を知ることはで
きるが、製造設備より収集したデータを製品の歩留りや
品質の向」二に寄与させるようにはしていなかった。

しかるに、半導体装置の生産ラインにおいては故障や軽
微な不具合はもちろん、チャーブ等の部品の交換やレジ
スト等の薬品の交換、補給、さらには設備の清掃といっ
た保守の内容や頻度によっても製品の歩留りや品質が影
響を受けることが明らかになった。

従って、このような保守に関する情報もデータとして収
集し、ホストコンピュータへ送り、製品の歩留りや品質
と保守情報との関係を解析することで、保守の内容や時
期を出力して作業者に知らせることが可能となる。

また、保守に関する情報はその種類が非常に多いので、
従来のように端末機のキーボードを使って入力する方法
では入力、操作が面倒で人手と時間がかかるとともに、
専用のキー人力装置（不具合計数機）を使う方法では装
置の汎用性がないためコスト高になったり入力項目を増
やすことが難しいという問題点があった。

この発明は上記のような問題点に着目してなされたもの
で、その目的とするところは、製造ラインの保守作業を
適正化し、ラインを安定に稼動させ、もって製品の歩留
り、品質を向上させることができ、しかもデータの入力
作業も簡単な製造ライン管理技術を提供することにある
。

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴に
ついては、本明細書の記蓮および添附図面から明らかに
なるであろう。

［課題を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、Ｉｌ造設備の保守情報等の非数値データをコ
ード化して、バーコード等で表示した一覧表を作威し、
製造ライン上の各製造設備に上記−覧表とその上のコー
ドを光学的に読取り可能な読取装置を設置し、それらの
読取装置から入力されたデータを収集してホストコンピ
ュータへ送信してデータベースに蓄積させるようにする
ものである。

［作用］ 上記した手段によれば、製品の特性や欠陥等のデータも
データベースに入れてホストコンピュータにより保守情
報との関係を解析して次の保守内容と時期を決定して出
力させることで、保守作業の、適正化、４造ラインの安
定稼動を図り、もって品質や歩留りの向上に反映させる
ことができる。

また、保守情報の入力作業が非常に簡単で、しかも、入
力項目の増加・変更が容易であるため多岐にわたって保
守情報を蓄積することができるようになる。

［実施例コ 第１図には本発明を半導体装置の製造ラインに適用した
場合の一実施例が示されている。

第１図において、ｌａ、ｌｂ・・・・はエツチング装置
やホトレジスト処理装置、イオン注入装置、スパッタリ
ング装置等のＩＣ用の製造装置で、各製造装置には例え
ばペンシル型のバーコードリーダ２が配置されている。

バーコードリーダ２は。

装置がコンピュータを備えているときはそのコンピュー
タに接続され、装置がコンピュータを備えバーコードリ
ーダ２が接続されるようになっているゆ 上記入力端末機３およびコンピュータ付製造装置１ｂは
ローカルエリアネットワーク４を介してデータ収集用コ
ンビミータ５に接続されている。

第１図には一つの製造ラインしか示されていないが、複
数の製造ラインがあるときは各製造ラインごとにデータ
収集用コンピュータ５が設けられ、収集したデータ１士
ホストコンピュータ１０へ送信され、付属のデータベー
ス１１内に蓄積されるようになっている。

また、特に制限されないが製造ラインには試験装置６も
配備されており、製造された製品について測定された各
製品の特性等のデータもネットワーク４を介してコンピ
ュータ５に収集され、データベース１１内に蓄積される
。さらに、製造ラインで生じた不良品について図示しな
い検査装置で検査を行って得られた欠陥データもホスト
コンピュータのデータベース１１に入力されるようにな
っている。

保守情報の入力は、例えば第２図に示すように部品交換
や清掃、薬品の交換等の保守項目とバーコードＢＣを一
覧表の形で印刷したタグシート７を各製造装置１ａ、ｌ
ｂ、・・・・ごとに配備しておいて、作業者がタグシー
ト７上のバーコードＢＣをバーコードリーダ２でなぞる
ことによって行えるようになっている。入力された保守
情報は製造装置付属のコンピュータもしくは入力端末機
３ごとに与えられた識別情報とともにデータ収集用コン
ピユータＳに転送され、いずれの製造装置における保守
情報か識別される。コンピュータ５は収集したデータに
自己のタイマからの信号に基づいて日時データを付加し
、定期的にホストコンピュータ１０へ送信する。ただし
、製造装置１ａ、１ｂ、・・・・の識別情報もタグシー
ト７上に印刷しておいてバーコードの形で入力させるこ
とができる。

上記タグシート−７は、一つの製造ライン上の全製造装
置に関する保守情報をすべて記入しておいて共通シート
として配備してもよいし、入力項目数が多いときは各製
造装置ごとに専用のタグシートを配備しておくようにし
てもよい。

上記実施例では、製品の特性や欠陥データの他、保守情
報もデータベースに蓄積されるのでホストコンピュータ
で保守情報と製品の特性、欠陥との関係を解析し、保守
の内容や時期等を決定してＣＲＴ表示器１２やプリンタ
等に出力することができる。特にＩＣの製造ラインでは
、製造装置の部品の交換といったことでも製品の特性が
大きく変わることが多い。例えば縮小露光装置でランプ
を交換するとそれによってアライメントの精度が変わる
ことがある。従って、実施例のように保守情報もデータ
ベースに蓄積することで製品の品質、歩留りの向上を図
ることができる。

なお、上記実施例ではバーコードで保守情報を入力する
ようにしているが、バーコード表の代わりに第３図に示
すような７トリツクス状のパターンが印刷されたタグシ
ー１−を用いるようにしてもよい、また、保守項目を印
刷したタグシートの他に１作業者名を印刷したタグシー
トを用意しておくか、各作業者の名札もしくはＩＤカー
ドに名前を示すバーコードをつけておいて、保守作業時
に作業者名も入力できるようにしてもよい。

以上説明したように上記実施例は、製造装置の保守情報
等の非数値データをコード化して、バーコード等で表示
した一覧表を作成し、製造ライン上の各製造装置に上記
−覧表とその上のコードを光学的に読取り可能な読取装
置を配備し、それらの読取装置から入力されたデータを
収集してホストコンピュータへ送信してデータベースに
蓄積させるようにしたので、製品の特性や欠陥等のデー
タもデータベースに入れてホストコンピュータにより保
守情報との関係を解析して次の保守内容と時期を決定し
て出力させることで保守作業の適正化、および製造ライ
ンの安定稼動を図り、品質や歩留りを向上させることが
できるという効果がある。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば上記実施例では保
守情報の入力手段として白黒２値パターンと光学的読取
装置を用いているが、それらの代わりに凹凸でコードを
表したタグシートとそれを検知する接触式センサを用い
て入力するようにすることも可能である。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造ラ
インに適用し、た場合について説明したが、この発明は
それに限定されるものでなく、複数の製造設備もしくは
装置からなる製造ラインや組立ラインー酸に利用するこ
とができる。

［発明の効果］ 本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば下記のとおりである
。

すなわち、製造ラインの保守作業を適正化し、ラインを
安定に稼動させ、もって製品の歩留り、品質を向上させ
ることができ、しかもデータの入力作業も簡単かつ短時
間に行えるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用した製造ライン管理システムの一
実施例を示すシステム構成図、第２図は保守項目を表示
したタグシートの一例を示す図、 第３図はコード化の他の例を示す図である。 ｌａ、ｌｂ・・・・製造装置、２・・・・光学的読取装
置（バーコードリーダ）、３・・・・入力端末機、４・
・・・伝送媒体（ローカルネットワーク）、７・・・・
タグシート、１１・・・・データベース。 第 図 第 図 第３ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、製造装置もしくはその近傍に設置した入力端末機に
   、光学的読取装置を接続し、かつ上記製造装置または／
   および上記入力端末機とコンピュータとを電送媒体を介
   して接続するとともに、各製造装置ごとに複数の非数値
   情報をコード化して表示したタグシートを配備し、上記
   光学的読取装置により上記タグシートのコードを読み取
   らせて非数値情報を入力し、コンピュータで収集、蓄積
   可能にしてなることを特徴とする製造ライン。 ２、上記タグシートには非数値情報がバーコードで表示
   されていることを特徴とする請求項１記載の製造ライン
   。 ３、上記非数値情報は上記製造装置に関する保守内容で
   あることを特徴とする請求項１もしくは２記載の製造ラ
   イン。