JPH0332306A - 磁気浮上制御装置 - Google Patents
磁気浮上制御装置Info
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- JPH0332306A JPH0332306A JP16320489A JP16320489A JPH0332306A JP H0332306 A JPH0332306 A JP H0332306A JP 16320489 A JP16320489 A JP 16320489A JP 16320489 A JP16320489 A JP 16320489A JP H0332306 A JPH0332306 A JP H0332306A
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 26
- 239000013598 vector Substances 0.000 abstract description 13
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はフィルム２軸延伸機のクリップ浮上やタリンル
ーム内の搬送機などに用いる磁気浮上装置に関する。
ーム内の搬送機などに用いる磁気浮上装置に関する。
磁気浮上装置には電磁石地上設債型のものど、電磁石地
上設置型のもの（磁気浮上ｉｅレソト）は電磁石可動側
設ｉｎもの（磁気浮上・・ト）に比べて次のような利点
がある。
上設置型のもの（磁気浮上ｉｅレソト）は電磁石可動側
設ｉｎもの（磁気浮上・・ト）に比べて次のような利点
がある。
（１）電池または受電装置、電磁石、それらの制御回路
を磁気浮上用動体に搭載する必要がない。そのため可搬
１（量を大きくできる。
を磁気浮上用動体に搭載する必要がない。そのため可搬
１（量を大きくできる。
（２） 非接触給電の必要がなくコンパクト化できる
。
。
第２図は従来装置および本発明に使用する宙磁石地上設
置型磁気浮上パし・ットの説明図であり、第３図はその
ＡＡ断面図である。図中、１は地上に固定されたレール
、２！ｉパレソト又は浮上体である。パレット２は第２
図に釦いて紙面に平行上方向にリニアモータ又はチェノ
（図示省略）等により駆動牽引さハる。またレー、１１
１には浮上用電磁石３，４と、案内用電龜石５，６と、
各電磁石とパレット２１′ｌｉ１のギャップ量を検出す
るセンサ７゜８ 、９ 、７０が設置されている。セン
サ７．８は上下方「ム」のギャップ量を検知し５、セン
サ９，１０は水平力１ＪＪのギャップを検出する。電磁
石とセンサは多数あるので図では電磁石と１ニンサの番
号に右添字をつけて区別している（添字については以下
同じ）。
置型磁気浮上パし・ットの説明図であり、第３図はその
ＡＡ断面図である。図中、１は地上に固定されたレール
、２！ｉパレソト又は浮上体である。パレット２は第２
図に釦いて紙面に平行上方向にリニアモータ又はチェノ
（図示省略）等により駆動牽引さハる。またレー、１１
１には浮上用電磁石３，４と、案内用電龜石５，６と、
各電磁石とパレット２１′ｌｉ１のギャップ量を検出す
るセンサ７゜８ 、９ 、７０が設置されている。セン
サ７．８は上下方「ム」のギャップ量を検知し５、セン
サ９，１０は水平力１ＪＪのギャップを検出する。電磁
石とセンサは多数あるので図では電磁石と１ニンサの番
号に右添字をつけて区別している（添字については以下
同じ）。
垂直方向センサ７．８で検出したギャップ量と、垂直方
向目標ギャップ量が一致するように浮上用電磁石３，４
を働かせ、六平方向センサ９，１０で検出したギャップ
量と、水平方向目標ギャップ量が一致するように、案内
用電磁石５，６を働かせれば、ノｅレット２はレール１
や磁石３，４，５．６に接触することなく浮上する。そ
してリニアモータたはチェノ（図示省略）等により浮上
した１１牽引走行させることができる。結局、浮上も案
内も電磁石の吸引力を制御して遠戚するものである。電
磁石の制御は第４図に示すように一人力出力系として扱
っていた。即ち電磁石Ｘ（Ｘは第２図、第３図の電磁石
を代表させて示している）の制御信号は電磁石Ｘの位置
での目標ギヤツプ量Ｘとその電磁石位置でのギヤング量
ｇｚ、更に必要に応じてギヤツプ量化速度ｋｘ等を用い
て決めていた。
向目標ギャップ量が一致するように浮上用電磁石３，４
を働かせ、六平方向センサ９，１０で検出したギャップ
量と、水平方向目標ギャップ量が一致するように、案内
用電磁石５，６を働かせれば、ノｅレット２はレール１
や磁石３，４，５．６に接触することなく浮上する。そ
してリニアモータたはチェノ（図示省略）等により浮上
した１１牽引走行させることができる。結局、浮上も案
内も電磁石の吸引力を制御して遠戚するものである。電
磁石の制御は第４図に示すように一人力出力系として扱
っていた。即ち電磁石Ｘ（Ｘは第２図、第３図の電磁石
を代表させて示している）の制御信号は電磁石Ｘの位置
での目標ギヤツプ量Ｘとその電磁石位置でのギヤング量
ｇｚ、更に必要に応じてギヤツプ量化速度ｋｘ等を用い
て決めていた。
第２図を簡略化して書き直したのが第５図である。第５
図ではパレット２はび上用電磁石３ 。
図ではパレット２はび上用電磁石３ 。
３ｎ＋ｌ”ｎ”ｎ＋１で支持されている。該電磁石とパ
レット２の接極子面渣でのギヤツブｉをそれぞれ蛛 ｇ３ｎＴｇ５ｎ＋１１ｇ４ｎＩｇ４ｎ＋１とする０例え
ば電磁石３ｎの吸引力を変化させたとキｇ３ｎのみ変化
すれば都合が良いが、他の電磁石位置でのギヤラフ°量
ｇ３ｎ＋１ｐｇ４ｎ＊！４Ｂ＋１も変化してし筐う。こ
れを電磁石３ｎの吸引力による干渉ということにする。
レット２の接極子面渣でのギヤツブｉをそれぞれ蛛 ｇ３ｎＴｇ５ｎ＋１１ｇ４ｎＩｇ４ｎ＋１とする０例え
ば電磁石３ｎの吸引力を変化させたとキｇ３ｎのみ変化
すれば都合が良いが、他の電磁石位置でのギヤラフ°量
ｇ３ｎ＋１ｐｇ４ｎ＊！４Ｂ＋１も変化してし筐う。こ
れを電磁石３ｎの吸引力による干渉ということにする。
１他の電磁石についても同様である。
この干渉は各電磁石が浮上体（ここではパレット２）に
対して充分小さければ問題はない。しかし電磁石が浮上
体に対して相対的に大きくなると無視できなくなりうま
く浮上させられなくなる。
対して充分小さければ問題はない。しかし電磁石が浮上
体に対して相対的に大きくなると無視できなくなりうま
く浮上させられなくなる。
先の出Ｈ％願昭６３−１０４８７５ ｒ磁気浮上制御装
置」は第６図（ａ）のように進行方向に対して直角方向
の電磁石による干渉が大きい場合についての発明であっ
た。しかしその発明では第６図（ｂ’ｌのように進行方
向にも、進行方向に直角な方向にも電＝５− 磁石が浮上体に対して大きい場合の干渉に対しては効果
が小さい。また浮上体か走行方向に移動するにつれて浮
上体の重心と支持する電磁石間の走行方向の距離か大き
く変化する。そのため電磁石間の負荷分担の割合が大き
く変化する。この間の事情を簡単なビーム支１毛につい
て税関したのが第７図である。第７図（ｂ）は第７図（
ａ）のように重量Ｗのビームを距離ｔ。だけ離れたＲ１
． Ｒ２の力で支持しようとしたとき、力の作用点と重
心との相対距ｌｘが変化したとき、釣合を保つためには
支持力Ｒ１，Ｒ２がどう変化するかを示している。この
ように電磁石と浮上体の重心との相対距離が変化すると
電磁石の負荷量は大きく変化し、大負荷の場合は安定浮
上ができない場合もある。
置」は第６図（ａ）のように進行方向に対して直角方向
の電磁石による干渉が大きい場合についての発明であっ
た。しかしその発明では第６図（ｂ’ｌのように進行方
向にも、進行方向に直角な方向にも電＝５− 磁石が浮上体に対して大きい場合の干渉に対しては効果
が小さい。また浮上体か走行方向に移動するにつれて浮
上体の重心と支持する電磁石間の走行方向の距離か大き
く変化する。そのため電磁石間の負荷分担の割合が大き
く変化する。この間の事情を簡単なビーム支１毛につい
て税関したのが第７図である。第７図（ｂ）は第７図（
ａ）のように重量Ｗのビームを距離ｔ。だけ離れたＲ１
． Ｒ２の力で支持しようとしたとき、力の作用点と重
心との相対距ｌｘが変化したとき、釣合を保つためには
支持力Ｒ１，Ｒ２がどう変化するかを示している。この
ように電磁石と浮上体の重心との相対距離が変化すると
電磁石の負荷量は大きく変化し、大負荷の場合は安定浮
上ができない場合もある。
本発明は以上のようＺ問題点を解決する制御装置を提供
することを目的とする。
することを目的とする。
本発明に係る磁気浮上制御装置は
（１） 汀−１二、案内に必要な各′「Ｅ磁石の付性
に於けるギャップ量、ギャップ量の変化速庭、′Ｉ［ｊ
磁石電流、浮上体の走行力向における位置等を検出し、
該ギャッゾ′量、ギャップ量の変化速度等を総合評価し
て各々の電磁石の発生力を制御すると共に、浮」一体の
走行に応じて必要な電磁石を切換える。
に於けるギャップ量、ギャップ量の変化速庭、′Ｉ［ｊ
磁石電流、浮上体の走行力向における位置等を検出し、
該ギャッゾ′量、ギャップ量の変化速度等を総合評価し
て各々の電磁石の発生力を制御すると共に、浮」一体の
走行に応じて必要な電磁石を切換える。
（２） 浮上体の走行方向Ｖ（ふ・しｙるｆｉ７．
ｔｆ’１を検出し、浮上体の重心位置と電磁石間の相対
位置を求め、それに募ついてその位置にふされしい制御
パラメータ（Ｃ変化させて制御を行う。
ｔｆ’１を検出し、浮上体の重心位置と電磁石間の相対
位置を求め、それに募ついてその位置にふされしい制御
パラメータ（Ｃ変化させて制御を行う。
ことを特徴とする。
（＋Ｊ ｆ／上、集１ツ（こ必要な各尾磁石位１灯に
於けるギャップ量、ギャップ量の変化速度、電磁石電流
等を、総合的に評価して各電磁石の吸引力の制御を行う
ので、各電磁石相互の干渉があっても、安定な浮上、案
内を実現することができる。
於けるギャップ量、ギャップ量の変化速度、電磁石電流
等を、総合的に評価して各電磁石の吸引力の制御を行う
ので、各電磁石相互の干渉があっても、安定な浮上、案
内を実現することができる。
また浮上体の移動に応じて使用する電磁石を切換えて行
くので安定な浮上走行が実現できる。
くので安定な浮上走行が実現できる。
（２）浮上体の重心を電磁石との間の相対距Ｉｆｆによ
りＳ１川徊１ｚｅラメータを変化さ→ノＺ）ので１１・
辷磁ネコの■′」荷分担量が大きく変化してもそれに対
応した制御を行う事ができる。したがって大負荷の場合
でも安定浮上させることができる。
りＳ１川徊１ｚｅラメータを変化さ→ノＺ）ので１１・
辷磁ネコの■′」荷分担量が大きく変化してもそれに対
応した制御を行う事ができる。したがって大負荷の場合
でも安定浮上させることができる。
第１図は本発明の実施例の、磁気浮上制御装置のブロッ
ク線図を示す。
ク線図を示す。
第１図において２１は制御演算部であり、ギヤツプ目標
値ｇ”、ギヤツブ量ｇ、ギャップ変化速度点から制御パ
ラメータＰを用いて演算を行い電磁石制御信号７９Ｍを
発生ずる。ｇ ”ｐｇ′＋＋ゑｉｖＰ！Ｍはベクトルで
あり、それらの各装束はその時点での磁気浮上、案内に
必要な電磁石についての量となる。任意の電磁石Ｘの点
に釦けるギャップ目標値をｇ７ 、ギャップ量をｇＸ、
ギャップ変化速度をｇ Ｘ ％紋型磁石の電磁石制御信
号をＶＸと表わすことにする。第２図において現時点で
の有効な電磁石を３ｎ、４ｎＰ５ｎ９６ｎ、３ｎ＋１，
４ｎ＋１２５ｎ＋１，６ｎ＋１とすればｇ ”＝ ｆ（
ｇ”３ ｎ’ ｇ”４ｙ、ｐ ｇ”５．ｓ ｇ”６．ｐ
ｇ”６．Ｈｌ ＋ ｇ”４ ｎ＋１１ ”５ｎ−ｔｌ
＋’６ｎ＋１ ）・ となる、又、他のベクトルも同様に次のようになる。
値ｇ”、ギヤツブ量ｇ、ギャップ変化速度点から制御パ
ラメータＰを用いて演算を行い電磁石制御信号７９Ｍを
発生ずる。ｇ ”ｐｇ′＋＋ゑｉｖＰ！Ｍはベクトルで
あり、それらの各装束はその時点での磁気浮上、案内に
必要な電磁石についての量となる。任意の電磁石Ｘの点
に釦けるギャップ目標値をｇ７ 、ギャップ量をｇＸ、
ギャップ変化速度をｇ Ｘ ％紋型磁石の電磁石制御信
号をＶＸと表わすことにする。第２図において現時点で
の有効な電磁石を３ｎ、４ｎＰ５ｎ９６ｎ、３ｎ＋１，
４ｎ＋１２５ｎ＋１，６ｎ＋１とすればｇ ”＝ ｆ（
ｇ”３ ｎ’ ｇ”４ｙ、ｐ ｇ”５．ｓ ｇ”６．ｐ
ｇ”６．Ｈｌ ＋ ｇ”４ ｎ＋１１ ”５ｎ−ｔｌ
＋’６ｎ＋１ ）・ となる、又、他のベクトルも同様に次のようになる。
ｇ ＝ｆＣｇ５ｎ＊ｇ４ｎ＊ｇ５ｎｊｇ６ｎｖｇ５ｎ
＋１ｐｇ４ｎ＋１ｐＫ５ｎ＋１ｐｇ６ｎ＋１ ） ｇ ＝’（ｇ３ｎ＊ｇ４ｎｐＭ５ｎ＋Ｍ６ｎ＋ｇ３ｎ−
Ｈｐｇ４ｎ＋１ｔｇ５ｎ４１＋”６ｎ＋１ ） ■ＥＭ ＝ｆ （Ｖ ３ ｎｅ Ｖ ４ ｎｔ Ｖ ５
ｎｅ Ｖ ６ ｎｅ Ｖ ３ ｎｅ １１ Ｖ ４
ｎ＋１ ｙ Ｖ ５ ｎｅ Ｉ ＪＶ６ｎ＋１ ） ｇ’ｇ’ｇ からＶＦ、Ｍを導出するには、多変数制
御理論、例えば非干渉制御理論又は最適レギュレータ等
の理論を用いる。
＋１ｐｇ４ｎ＋１ｐＫ５ｎ＋１ｐｇ６ｎ＋１ ） ｇ ＝’（ｇ３ｎ＊ｇ４ｎｐＭ５ｎ＋Ｍ６ｎ＋ｇ３ｎ−
Ｈｐｇ４ｎ＋１ｔｇ５ｎ４１＋”６ｎ＋１ ） ■ＥＭ ＝ｆ （Ｖ ３ ｎｅ Ｖ ４ ｎｔ Ｖ ５
ｎｅ Ｖ ６ ｎｅ Ｖ ３ ｎｅ １１ Ｖ ４
ｎ＋１ ｙ Ｖ ５ ｎｅ Ｉ ＪＶ６ｎ＋１ ） ｇ’ｇ’ｇ からＶＦ、Ｍを導出するには、多変数制
御理論、例えば非干渉制御理論又は最適レギュレータ等
の理論を用いる。
２２は走行方向の浮上体の位置信号りから、現時点で用
いるべき電磁石の組を決める電磁石選択論理部である。
いるべき電磁石の組を決める電磁石選択論理部である。
浮上方向は常に４個の電磁石で支持させるので第５図の
場合には最初（３ｎ、４，５ｎ、６ｎ。
場合には最初（３ｎ、４，５ｎ、６ｎ。
３ｎ＋４，４ｎ＋４，５ｎ＋１，６ｎ＋１）の電磁石を
選択する。更に走行した段階では（３ｎ、４，５ｎ６ｎ
）は浮上体からはずれてし筐うので（３ｎ＋ｊ ” ｎ
＋１ ” ｎｅｉ ” ｎ＋１ Ｆ ３ｎ＋２ ” ｎ
＋２５ｎ＋２ ” ｎ＋２ ）の電磁石を選択する。電
磁石選択論理部２２は選択した電磁石番号を２３．２４
，２５．２６の切換部に出力する。
選択する。更に走行した段階では（３ｎ、４，５ｎ６ｎ
）は浮上体からはずれてし筐うので（３ｎ＋ｊ ” ｎ
＋１ ” ｎｅｉ ” ｎ＋１ Ｆ ３ｎ＋２ ” ｎ
＋２５ｎ＋２ ” ｎ＋２ ）の電磁石を選択する。電
磁石選択論理部２２は選択した電磁石番号を２３．２４
，２５．２６の切換部に出力する。
切換部２３は全ての電磁石位置におけるギヤツブ目標値
ｇ〜（添字ばＸで代表させる）を入力し、電磁石選択論
理部２２から出力された選択電磁番号に従って該電磁石
部のギャップ目標値のみをベクトルｇ”として制御演算
部２１に出力する。同様に切換部２ｆは全ての電磁石位
置におけるギヤツブ量ｇＸ（添字はＸで代表させる）を
入力し、電磁石選択論理部２２から出力された選択電磁
石番号に従って該電磁石部のギャップ量のみをベクトル
ｇとして制御演算部２１に出力する。同様に切換部２５
は全ての電磁石位置におけるギャップ変化速度を入力し
、電磁石選択論理部２２から出力された選択電磁石番号
に従って該電磁石部のギャップ変化速度のみをベクトル
ことして制御演算部２１へ出力する。切換部２６は制御
演算部２１で計算された電磁石制御信号■。９を入力し
、出力側には全ての電磁石の制御信号端子がきている。
ｇ〜（添字ばＸで代表させる）を入力し、電磁石選択論
理部２２から出力された選択電磁番号に従って該電磁石
部のギャップ目標値のみをベクトルｇ”として制御演算
部２１に出力する。同様に切換部２ｆは全ての電磁石位
置におけるギヤツブ量ｇＸ（添字はＸで代表させる）を
入力し、電磁石選択論理部２２から出力された選択電磁
石番号に従って該電磁石部のギャップ量のみをベクトル
ｇとして制御演算部２１に出力する。同様に切換部２５
は全ての電磁石位置におけるギャップ変化速度を入力し
、電磁石選択論理部２２から出力された選択電磁石番号
に従って該電磁石部のギャップ変化速度のみをベクトル
ことして制御演算部２１へ出力する。切換部２６は制御
演算部２１で計算された電磁石制御信号■。９を入力し
、出力側には全ての電磁石の制御信号端子がきている。
切換部２６は電磁石選択論理部２１から出力された選択
電磁石番号に従って該電磁石の制御信号端子のみにベク
トルＶＥＭの対応する信号を出力する。
電磁石番号に従って該電磁石の制御信号端子のみにベク
トルＶＥＭの対応する信号を出力する。
このとき選択されなかった電磁石の制御信号端子にはゼ
ロ又は一定バイアス値を出力する。２７は制御定数計算
回路であシ走行方向の浮上体の位置しの関数として制御
パラメータを計算して制御演算部２１に出力する。
ロ又は一定バイアス値を出力する。２７は制御定数計算
回路であシ走行方向の浮上体の位置しの関数として制御
パラメータを計算して制御演算部２１に出力する。
な訃第１図ではｇは制御演算部２１の入力として与えら
れるとして書いているが制御演算部２１の内部でｇを微
分演算したり又は位相進み演算を行って近似することも
可能である。咬た電磁石は全て多変数系として扱う場合
について記しているが、干渉の影響の小さい電磁石が含
壕れている場合にはその電磁石については従来のように
一人力−出力系として扱うことも可能である。
れるとして書いているが制御演算部２１の内部でｇを微
分演算したり又は位相進み演算を行って近似することも
可能である。咬た電磁石は全て多変数系として扱う場合
について記しているが、干渉の影響の小さい電磁石が含
壕れている場合にはその電磁石については従来のように
一人力−出力系として扱うことも可能である。
本発明は前述のように構成されているので以下に記載す
るような効果を奏する。
るような効果を奏する。
（１）走行方向の浮上体の位置により使用電磁石を切換
えることにより、走行方向にも分散配置された電磁石間
での有機的な制御ができ、よシ安定々浮上走行が可能と
なる。
えることにより、走行方向にも分散配置された電磁石間
での有機的な制御ができ、よシ安定々浮上走行が可能と
なる。
（２）走行方向の浮上体の位置により制御パラメータを
変化させることもできるので、各電磁石の負荷分担がス
ムースに行われ更に安定な浮上走わが可能となる。
変化させることもできるので、各電磁石の負荷分担がス
ムースに行われ更に安定な浮上走わが可能となる。
第１図は本発明の実施例の制御系のブＯツク線図を示す
図、 第２図は電磁石地上設置型磁気浮上ペレソトの説明図、 第３図は第２図のＡＡ断面図、 第４図は従来の制御方法の説明図、 第５図〜第６図は干渉の説明図、 第７図は負荷分担の説明図である。 ２ノ・・・制御演算部、２２・・・電磁石選択論理部、
２３．２４，２５，２６・・・切換郁、 ２７・・・制
御定数計算回路、Ｌ・・・走行方向の浮上体の付荷、ｇ
”・・・目標ギャソプ量のベクトル、ｇ・・・ギャソプ
士仕のベクトル、ｇ・・・ギャップ変化速度のベクトル
、■９Ｍ・・・電磁石制御信号のベクトル。 位 味 を 糎 第 （ｂ） 図 手 続 り竹 正 書
図、 第２図は電磁石地上設置型磁気浮上ペレソトの説明図、 第３図は第２図のＡＡ断面図、 第４図は従来の制御方法の説明図、 第５図〜第６図は干渉の説明図、 第７図は負荷分担の説明図である。 ２ノ・・・制御演算部、２２・・・電磁石選択論理部、
２３．２４，２５，２６・・・切換郁、 ２７・・・制
御定数計算回路、Ｌ・・・走行方向の浮上体の付荷、ｇ
”・・・目標ギャソプ量のベクトル、ｇ・・・ギャソプ
士仕のベクトル、ｇ・・・ギャップ変化速度のベクトル
、■９Ｍ・・・電磁石制御信号のベクトル。 位 味 を 糎 第 （ｂ） 図 手 続 り竹 正 書
Claims (2)
- （１） 浮上体位置信号（Ｌ）を入力する電磁石選択論
理部（２２）及び制御定数計算回路（２７）と、各電磁
石位置におけるギャップ目標値を入力する切換部（２３
）と、各電磁石位置におけるギャップ量を入力する切換
部（２４）と、各電磁石位置におけるギャップ変化量を
入力する切換部（２５）と制御演算部（２１）と、電磁
石制御信号を入力する切換部（２６）を有する磁気浮上
制御装置において、 前記電磁石選択論理部（２２）は、浮上体の走行方向に
おける位置を検出し、該走行位置によりその位置での浮
上及び案内に必要な電磁石の組を選択し、選択した電磁
石番号の信号を切換弁（２３，２４，２５，２６）に出
力し、 前記切換弁（２３，２４，２５）は前記選択電磁石番号
に従って、該電磁石部のみの信号を制御演算部（２１）
出力し、 前記制御演算部（２１）は切換部（２３，２４，２５）
からの信号を入力するとともに、制御定数計算回路（２
７）から制御パラメータ（Ｐ）を入力し、電磁石制御信
号（Ｖ＿Ｅ＿Ｍ）を切換部（２６）に出力し、前記切換
部（２６）は、前記選択電磁石番号に従って該電磁石部
のみの制御信号を電磁石に出力することを特徴とする磁
気浮上制御装置 - （２） 浮上体の走行方向における位置を検出し、それ
を基に電磁石と浮上体との相対位置を求め、制御パラメ
ータ（Ｐ）を変化させることを特徴とする請求項（１）
記載の磁気浮上制御装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16320489A JPH0332306A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 磁気浮上制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16320489A JPH0332306A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 磁気浮上制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332306A true JPH0332306A (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=15769263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16320489A Pending JPH0332306A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 磁気浮上制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0332306A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0564315A (ja) * | 1991-08-29 | 1993-03-12 | Ebara Corp | 磁気浮上搬送装置の制御方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139201A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-26 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 磁気浮上式直線スライダ |
| JPS61277303A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気浮上移送装置 |
| JPS62110472A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-21 | Toshiro Higuchi | 非接触型アクチユエ−タ |
| JPS62160004A (ja) * | 1986-01-06 | 1987-07-16 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 磁気浮上搬送装置 |
-
1989
- 1989-06-26 JP JP16320489A patent/JPH0332306A/ja active Pending
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