JPH0331144A

JPH0331144A - 縦型ウエハ搬送装置

Info

Publication number: JPH0331144A
Application number: JP16469689A
Authority: JP
Inventors: Yoshiji Fujita; 藤田　佳児
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1989-06-27
Filing date: 1989-06-27
Publication date: 1991-02-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、例えばシンクロトロン放射光（以下ＳＲと略
する）を用いて露光を行なう露光装置において、ウェハ
の位置決めをおこなうテーブルにウェハを供給する、ま
たはテーブルからウェハを除去するウェハ搬送装置に関
するものである。

従来の技術近年、半導体は微細化の一途をたどっている。

そのなかで微細なパターンを焼き付ける一つの方法とし
てＳＲを光源とする露光方法がある。このＳＲを光源と
する露光方法には、シンクロトロン装置が水平面におか
れるためＳＲは水平面上に放射されること、放射された
光は非常に吸収されやすいため通常のミラーやレンズを
通して光の方向を変えられないという問題点がある。し
たがって、露光装置を縦型にすることでその解決がはか
られている。露光装置を縦型にすると、水平面」二で運
ばれて（るウェハを立て、ウェハ位置決めテーブルに供
給する必要がある。以下、図面を参照にしながら、従来
の縦型ウェハの搬送装置について説明する。

第２図は第一の従来例として水平型のウェハ搬送装置を
もとにして設計された縦型ウェハ搬送装置である。ここ
で便宜上ｘ、ｙ、ｚ方向を図のようにとる。第２図にお
いて３１は水平方向の搬送装置、３２はウェハおこし部
である。３３から４２までが縦型ウェハ搬送装置である
。３３がウェハ吸着部を備えたウェハ受渡し部材であり
、３４がら３７までは、ウェハ平面に垂直な方向（Ｚ方
向）すに駆動させるユニット、すなわち３４は搬送テーブル、
３５はリニアガイド、３６はボールねじ。

３７はモータである。３８から４１まではウェハ平面に
平行でかつ水平（Ｘ方向）に動かすユニット、すなわち
３８は搬送テーブル、３９はリニアガイド、４０はボー
ルねじ、４１はモータである。

また、４２はベースである。さらに、４３はウェハ位置
決めテーブルであり、４４は前記ウェハ位置決めテーブ
ルに装着された、ウェハ吸着部である。

以上のように構成された縦型ウェハ搬送装置について、
以下その動作について説明する。

まず、水平方向の搬送装置３１により運ばれてきたウェ
ハを、ウェハおこし部３２で垂直方向へ立てる。一方、
縦型ウェハ搬送装置はあらかじめ、ウェハ吸着部材をの
せたテーブル３４を、−Ｚ方向へ移動しておき、この状
態でテーブル３８をＸ方向へ移動し、おこしたウェハの
裏側に吸着部材を位置決めする。次にテーブル３４を２
方向へ移動することにより、ウェハおこし部３２からウ
ェハ受渡し部材３３へとウェハの受渡しをおこない、ウ
ェハ受渡し部材３３がウェハを吸着する。吸着後、−Ｘ
方向へテーブル３８を動かすことにより、吸着されたウ
ェハを位置決めテーブルの前面に運ぶ。ついで再びテー
ブル３４を−Ｘ方向に動がすことにより、ウェハ受渡し
部材３３に吸着されたウェハを位置決めテーブル４３上
の吸着面４４へと受渡しをおこなう。

ここで、第３図に、搬送されてきたウェハをウェハおこ
し部３２からウェハ受渡し部材３３へと受渡しをおこな
うときの断面図を示す。ここで４５はウェハの断面であ
る。第３図に示すように、ウェハおこし部３２のウェハ
ならい面とウェハ受渡し部材３３のウェハならい面との
間で、誤差が存在すると、ウェハはウェハおこし部３２
にもウェハ受渡し部材３３にもどちらの面にも沿わない
時が存在し、ウェハの受渡しを失敗してウェハを落下さ
せてしまうことがあった。同様に、ウェハ受渡し部材３
３から位置決めテーブル上の吸着面４４へとウェハを受
渡しするときも、失敗して落下させてしまうことがあっ
た。

ついで第二の従来例について第４図をもちいて説明する
。第４図は特開昭６２−２９５４３０号公報等で知られ
る構成を示したものであり、５１は位置決めテーブル、
５２はウエノ１保持具、５３はウェハを供給する水平方
向の搬送装置である。

第４図において、水平方向の搬送装置５３によって運ば
れてきたウェハは、ウェハ受渡しを確実におこなうため
に、水平面上で、ウエノ１保持具５２に受は渡される。

ウエノ１保持具５２は位置決めテーブル５１に回動可能
に取り付けられており、回動することによって、ウェハ
は位置決めテーブル５１に平行になるように装着される
。

しかしながら、第４図のような構成では、確かに水平面
上でウェハの受渡しがなされるために、ウェハの落下は
防ぐことはできるが、精密な位置決めが要求される位置
決めテーブルに、ウエノ１を保持しながら回動させる機
構を取り付けなければならず、テーブルの機構が複雑と
なり、さらに、テーブルの慣性が増加するため位置決め
テーブルの制御特性を劣化させてしまうという欠点を有
していた。

発明が解決しようとする課題以上の如く第一の従来例では、ウェハがウェハおこし部
から縦型搬送装置へ受は渡されるときと、搬送装置から
位置決めテーブルに受渡される時に、ウェハ搬送装置と
テーブルの相対的な位置ずれによって、ウェハを落下さ
せてしまうことがあった。

また、第二の従来例では、位置決めテーブルに、回動可
能なウェハを吸着保持する機構を設けることにより、位
置決めテーブルの機構が複雑になり、かつ慣性が増加し
、位置決めテーブルの制御特性を劣化させる要因となっ
ていた。

本発明は、上記ふたつの問題点に鑑み、位置決めテーブ
ルに複雑な機構を搭載する事なく、ウェハの落下を防止
できる、ウェハ搬送装置を提供するものである。

課題を解決するための手段上記問題点を解決するために、本発明の縦型ウェハ搬送
装置は、ウェハを吸着させるため加工された吸着部をも
つウェハ受渡し部材と、前記ウェハ受渡し部材を支持す
るアームと、前記吸着部材と前記アームとのあいだに双
方に接続された弾性体を配する構成を備えたものである
。

作用以下、第５図を用いてこの作用を説明する。第５図は本
発明によって得られるウェハの受渡し部分の一例の断面
図を示す。第５図において、６１はウェハおこし部であ
り、６２はウェハを吸着させるため加工された吸着部を
持つウェハ受渡し部材、６３はアーム、６４．６５．６
６は弾性体である。また、６７はウェハである。

いま、ウェハおこし部６１から、搬送装置のウェハ受渡
し部材６２ヘウエハが受は渡されるときを考える。ウェ
ハおこし部６１のウェハならい面とウェハ受渡し部材６
２のウェハならい面との誤差があっても、ウェハ受渡し
部材６２は弾性体６４〜６６を介してアーム６３に支持
されているため、弾性体６４〜６６の弾性変形によって
ウェハ受渡し部材６２のウェハならい面がウェハおこし
部６１のウェハならい面と一致することができる。した
がってウェハを受は渡す際のどちらの面にも沿わないと
きをなくすことができ、ウェハの落下を防止することが
できる。

以上のように本発明は上記した構成によって、位置決め
テーブルの制御特性を低下させることなく、ウェハの受
渡し時において、ウェハの落下を防止することができる
。

実施例以下本発明の一実施例の縦型ウェハ搬送装置について、
図面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の第１の実施例におけるウェハ搬送装置
を示すものである。ここでは、便宜上Ｘ。

ｙ、Ｘ方向を図のようにとる。第１図において１は水平
方向の搬送装置、２はウェハおこし部である。３から１
５までが縦型ウェハ搬送装置である。３はウェハ吸着部
を備えたウェハ受渡し部材であり、４はウェハ受渡し部
材３を支持するアーム、５〜７はウェハ受渡し部材３と
アーム４とに接続された弾性体である。８から１１まで
は、ウェハ平面に垂直な方向（Ｘ方向）に駆動させるユ
ニット、すなわち８は搬送テーブル、９はリニアガイド
、１０はボールねじ、１１はモータである。１２から１
５まではウェハ平面に平行でかつ水平（Ｘ方向）に動か
すユニッ＋、すなわち１２は搬送テーブル、１３はリニ
アガイド、１４はボールねじ、１５はモータである。１
６はウェハ位置決めテーブルであり、１７は前記ウェハ
位置決めテーブルに装着された、ウェハ吸着部である。

まず、水平方向の搬送装置１により運ばれてきたウェハ
を、ウェハおこし部２で垂直方向へ立てる。一方、縦型
ウェハ搬送装置はあらかじめ、ウェハ吸着部材をのせた
テーブル８を、−２方向へ移動しておき、この状態でテ
ーブル１２をＸ方向へ移動し、おこしたウェハの裏側に
吸着部材を位置決めする。次にテーブル８をＸ方向へ移
動することにより、ウェハおこし部２からウェハ受渡し
部材３へとウェハの受渡しをおこない、ウェハ受渡し部
材３がウェハを吸着する。このとき、ウェハおこし部２
のウェハならい面と部材３のウェハならい面とがずれて
いても、ウェハ受渡し部材３とアーム４に接続された弾
性体の変形によって、ウェハ受渡し部材３のウェハなら
い面は、ウェハおこし部２のウェハならい面と一致する
。したがってウェハは落下することな（ウェハ受渡し部
材３に吸着される。

ウェハがウェハ受渡し部材３に吸着された後、Ｘ方向へ
テーブル１２を動かすことにより、吸着されたウェハを
位置決めテーブルの前面に運ぶ。

ついで再びテーブル８を−Ｘ方向に動かすことにより、
ウェハ受渡し部材３に吸着されたウェハを位置決めテー
ブル１６上の吸着面１７へと受渡しをおこなう。ここに
おいても、ウェハ受渡し部材３のウェハならい面と、位
置決めテーブル１６の吸着面１７がずれていても、ウェ
ハ受渡し部材３とアーム４とに接続された弾性体の変形
によって、ウェハ受渡し部材３のウェハならい面を吸着
面１７と一致させることができ、ウェハの落下なしにウ
ェハを受は渡すことができる。

発明の効果以上のように本発明は、縦型ウェハ搬送装置において、
ウェハを吸着させるため加工された吸着部をもつウェハ
受渡し部材と、前記ウェハ受渡し部材を支持するアーム
と、前記ウェハ受渡し部材と前記アームとのあいだに双
方に接続された弾性体を設けることによって、位置決め
テーブルの制御特性を低下させることな（、ウェハの受
渡し時において、ウェハの落下を防止することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明第１の実施例における縦型ウェハ搬送装
置の構成図、第２図は従来の縦型ウェハ搬送装置の構成
図、第３図は第２図においてのウェハ受渡し時の断面図
、第４図は第二の従来例の図、第５図は本発明の詳細な
説明するウェハ受渡し時の断面図である。１・・・・・・水平方向のウェハ搬送装置、２・・・・
・・ウェハおこし部、３・・・・・・ウェハ受渡し部材
、４・・・・・・アーム、５〜７・・・・・・弾性体、
８・・・・・・テーブル、９・・・・・・リニアガイド
、１０・・・・・・ボールネジ、１１・・・・・・モー
タ、１２・・・・・・テーブル、１３・・・・・・リニ
アガイド、１４・・・・・・ボールネジ、１５・・・・
・・モータ、１６・・・・・・位置決めテーブル、１７
・・・・・・吸着面。

Claims

【特許請求の範囲】

ウェハを吸着させるため加工された吸着部をもつウェハ
受渡し部材と、前記ウェハ受渡し部材を支持するアーム
と、前記ウェハ受渡し部材と前記アームとに接続された
弾性体と、前記アームを少なくとも一方向以上に動かす
ことのできる機構を備えたことを特徴とする縦型ウェハ
搬送装置。