JPH03290627A - エレクトロクロミック素子及びその製造方法 - Google Patents
エレクトロクロミック素子及びその製造方法Info
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- JPH03290627A JPH03290627A JP2092927A JP9292790A JPH03290627A JP H03290627 A JPH03290627 A JP H03290627A JP 2092927 A JP2092927 A JP 2092927A JP 9292790 A JP9292790 A JP 9292790A JP H03290627 A JPH03290627 A JP H03290627A
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Landscapes
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は各種デイスプレィや調光装置に用いられるエレ
クトロクロミック素子及びその製造に適した方法に関す
るものである。
クトロクロミック素子及びその製造に適した方法に関す
るものである。
[従来の技術]
従来、この種のエレクトロクロミック素子として、第5
図に示すように上下一対の透明な基板51.52を対向
配置し、各基板51.52の内面に透明電極53.54
を形成するとともに両透明電極53.54間に還元発色
膜55、電解質56及び酸化発色膜57を重ね合わせて
配設したものがある。前記透明電極53.54としては
ITO〔5重量%の二酸化スズ(SnOz)を含有する
酸化インジウム(InzOs):lが、酸化発色膜57
としては導電性高分子である電解重合膜としてのポリア
ニリンが、また電解質56としては、過塩素酸リチウム
(LiCA’04)、四フッ化硼素すチウム(LiBF
4)等をプロピレンカーボネートに溶解した有機電解液
が一般的に使用されている。前記のように構成されたエ
レクトロクロミック素子においては、その製造時及び駆
動時に次のような問題がある。
図に示すように上下一対の透明な基板51.52を対向
配置し、各基板51.52の内面に透明電極53.54
を形成するとともに両透明電極53.54間に還元発色
膜55、電解質56及び酸化発色膜57を重ね合わせて
配設したものがある。前記透明電極53.54としては
ITO〔5重量%の二酸化スズ(SnOz)を含有する
酸化インジウム(InzOs):lが、酸化発色膜57
としては導電性高分子である電解重合膜としてのポリア
ニリンが、また電解質56としては、過塩素酸リチウム
(LiCA’04)、四フッ化硼素すチウム(LiBF
4)等をプロピレンカーボネートに溶解した有機電解液
が一般的に使用されている。前記のように構成されたエ
レクトロクロミック素子においては、その製造時及び駆
動時に次のような問題がある。
〈製造時〉:
前記酸化発色膜57は電解重合法によって形成される。
この方法では第6図に示すように、アニリン、HC10
4等を含有する水溶液からなる電解液Aに、ITOより
なる透明電極54が形成された基板52と対向電極59
とを浸漬する。そして、これらの両電極54.59間に
電圧を印加して、透明電極54上にポリアニリンを析出
させ、目的の酸化発色膜57を製膜する。しかしながら
、この方法による酸化発色膜57の製膜時には、前記電
解液Aに含有しているHCzO+等の酸によって透明電
極54が部分的に溶解してしまう。
4等を含有する水溶液からなる電解液Aに、ITOより
なる透明電極54が形成された基板52と対向電極59
とを浸漬する。そして、これらの両電極54.59間に
電圧を印加して、透明電極54上にポリアニリンを析出
させ、目的の酸化発色膜57を製膜する。しかしながら
、この方法による酸化発色膜57の製膜時には、前記電
解液Aに含有しているHCzO+等の酸によって透明電
極54が部分的に溶解してしまう。
〈駆動時〉:
エレクトロクロミック素子の駆動時には電解質56中で
次に示す反応(1)、(2)が起こる。
次に示す反応(1)、(2)が起こる。
そして、これらの反応によって生じたHCi04、HF
等の酸が酸化発色膜57を通過して透明電極54に接触
し、その結果、同透明電極54が部分的に溶解する。
等の酸が酸化発色膜57を通過して透明電極54に接触
し、その結果、同透明電極54が部分的に溶解する。
前記のように製造時又は駆動時に透明電極54が部分的
に溶解すると、その透明電極54表面から酸化発色膜5
7が剥離する傾向が見られる。このことを確認するため
に、前記酸化発色膜57の駆動試験直後、透明電極54
に対する同酸化発色膜57の密着性を調べたところ、こ
の酸化発色膜57は水流あるいは軽く触れるだけで簡単
に剥離してしまった。前記した酸化発色膜57の剥離は
エレクトロクロミック素子の発色ムラ等の不良の原因と
なる。
に溶解すると、その透明電極54表面から酸化発色膜5
7が剥離する傾向が見られる。このことを確認するため
に、前記酸化発色膜57の駆動試験直後、透明電極54
に対する同酸化発色膜57の密着性を調べたところ、こ
の酸化発色膜57は水流あるいは軽く触れるだけで簡単
に剥離してしまった。前記した酸化発色膜57の剥離は
エレクトロクロミック素子の発色ムラ等の不良の原因と
なる。
一方、実開昭64−29627号公報には、透明電極上
に金属薄膜を形成したエレクトロクロミック素子が開示
されている。この技術によれば、金属薄膜によって酸化
発色膜を保護し、この酸化発色膜が酸に溶解するを防止
することが可能である。
に金属薄膜を形成したエレクトロクロミック素子が開示
されている。この技術によれば、金属薄膜によって酸化
発色膜を保護し、この酸化発色膜が酸に溶解するを防止
することが可能である。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、透明電極上に金属薄膜を設けた従来技術におい
ては、透過率が下がる同金属薄膜の表面が平滑であるた
めに酸化発色膜の密着性が十分でなく、金属薄膜から酸
化発色膜が剥離することがある等の問題が新たに生ずる
。
ては、透過率が下がる同金属薄膜の表面が平滑であるた
めに酸化発色膜の密着性が十分でなく、金属薄膜から酸
化発色膜が剥離することがある等の問題が新たに生ずる
。
本発明は前述した事情に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は発色膜の製膜時や製品駆動時に透明電極が溶解
するのを防止するとともに発色膜が剥離するを確実に阻
止し、発色ムラ等の不良を低減できるエレクトロクロミ
ック素子を提供することにあり、さらには、そのエレク
トロクロミック素子の製造に適した方法を提供すること
にある。
の目的は発色膜の製膜時や製品駆動時に透明電極が溶解
するのを防止するとともに発色膜が剥離するを確実に阻
止し、発色ムラ等の不良を低減できるエレクトロクロミ
ック素子を提供することにあり、さらには、そのエレク
トロクロミック素子の製造に適した方法を提供すること
にある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために第一の発明は、一対の電極の
うち少なくとも一方を透明電極とし、両電極間に発色膜
及び電解質を重ね合わせて配設したエレクトロクロミッ
ク素子において、前記透明電極及び発色膜間には、微細
な多数の孔を有する金属酸化膜を介在させ、前記発色膜
の一部を同金属酸化膜の孔内に入り込ませたエレクトロ
クロミック素子をその要旨とする。
うち少なくとも一方を透明電極とし、両電極間に発色膜
及び電解質を重ね合わせて配設したエレクトロクロミッ
ク素子において、前記透明電極及び発色膜間には、微細
な多数の孔を有する金属酸化膜を介在させ、前記発色膜
の一部を同金属酸化膜の孔内に入り込ませたエレクトロ
クロミック素子をその要旨とする。
また、第二の発明は金属薄膜が形成された透明電極を陽
極とし、この陽極と対向電極を電解液に浸漬し、両者間
に電圧を印加することにより前記金属薄膜を陽極酸化し
て、微細な多数の孔を有する金属酸化膜を形成し、その
金属酸化膜上に導電性高分子からなる電解重合膜を形成
するエレクトロクロミック素子の製造方法をその要旨と
する。
極とし、この陽極と対向電極を電解液に浸漬し、両者間
に電圧を印加することにより前記金属薄膜を陽極酸化し
て、微細な多数の孔を有する金属酸化膜を形成し、その
金属酸化膜上に導電性高分子からなる電解重合膜を形成
するエレクトロクロミック素子の製造方法をその要旨と
する。
[作用コ
第一の発明においては、透明電極及び発色膜間に形成さ
れた金属酸化膜は、発色膜の製膜時に透明電極表面が酸
に溶解するのを阻止するとともに、エレクトロクロミッ
ク素子の駆動時に電解質内で生成する酸によって透明電
極が溶解するのを防止する。また、前記金属酸化膜には
微細な多数の孔が形成され、同孔内へ発色膜の一部か入
り込んでいるので、発色膜はアンカー効果によりこの金
属酸化膜に対し強固に密着する。従って、金属酸化膜か
ら発色膜が剥離することが防止される。
れた金属酸化膜は、発色膜の製膜時に透明電極表面が酸
に溶解するのを阻止するとともに、エレクトロクロミッ
ク素子の駆動時に電解質内で生成する酸によって透明電
極が溶解するのを防止する。また、前記金属酸化膜には
微細な多数の孔が形成され、同孔内へ発色膜の一部か入
り込んでいるので、発色膜はアンカー効果によりこの金
属酸化膜に対し強固に密着する。従って、金属酸化膜か
ら発色膜が剥離することが防止される。
第二の発明においては、金属薄膜が形成された透明電極
を陽極とし、この陽極と対向電極とを電解液に浸漬し、
両者間に電圧を印加する。すると、金属薄膜が陽極酸化
されて微細な多数の孔を有する金属酸化膜が形成され、
その金属酸化膜上に導電性高分子からなる電解重合膜が
形成される。電解重合膜の製膜時にはその一部が前記金
属酸化膜の孔内へ入り込む。
を陽極とし、この陽極と対向電極とを電解液に浸漬し、
両者間に電圧を印加する。すると、金属薄膜が陽極酸化
されて微細な多数の孔を有する金属酸化膜が形成され、
その金属酸化膜上に導電性高分子からなる電解重合膜が
形成される。電解重合膜の製膜時にはその一部が前記金
属酸化膜の孔内へ入り込む。
[第一実施例]
以下、第一の発明を具体化した第一実施例を第1.2図
に従って説明する。
に従って説明する。
本実施例のエレクトロクロミック素子は、ポリメチルメ
タクリレート、ポリカーボネート等の合成樹脂又はガラ
スからなる透明な一対の基板I。
タクリレート、ポリカーボネート等の合成樹脂又はガラ
スからなる透明な一対の基板I。
2を備えている。上側の基板I下面及び下側の基板2上
面には、それぞれイオンブレーティング法によって膜厚
約2000人の上下両透明電極3゜4が形成されている
。
面には、それぞれイオンブレーティング法によって膜厚
約2000人の上下両透明電極3゜4が形成されている
。
下部透明電極4の上面には膜厚約1000人の金属酸化
膜5が形成されている。この金属酸化膜5はアルミニウ
ムからなる金属薄膜500人を蒸着により形成し、その
後、陽極酸化処理して得られた酸化アルミニウム(Af
tO3)膜である。金属酸化膜5は化学的に安定であり
、特に耐酸性に優れ、かつ、内部及び表面に微細な多数
の孔6を有している。前記金属酸化膜5の上面には、ポ
リアニリンからなる膜厚約6000人の酸化発色膜7が
電解重合法によって形成されており、その酸化発色膜7
の一部は金属酸化膜5の孔6内に入り込んでいる。本実
施例では、これらの下部透明電極4、金属酸化膜5及び
酸化発色膜7が積層された基板2を以下、エレクトロク
ロミック基板14という。
膜5が形成されている。この金属酸化膜5はアルミニウ
ムからなる金属薄膜500人を蒸着により形成し、その
後、陽極酸化処理して得られた酸化アルミニウム(Af
tO3)膜である。金属酸化膜5は化学的に安定であり
、特に耐酸性に優れ、かつ、内部及び表面に微細な多数
の孔6を有している。前記金属酸化膜5の上面には、ポ
リアニリンからなる膜厚約6000人の酸化発色膜7が
電解重合法によって形成されており、その酸化発色膜7
の一部は金属酸化膜5の孔6内に入り込んでいる。本実
施例では、これらの下部透明電極4、金属酸化膜5及び
酸化発色膜7が積層された基板2を以下、エレクトロク
ロミック基板14という。
一方、前記上部透明電極3の下面には、酸化タングステ
ンからなる還元発色膜8が形成されている。下部透明電
極4及び上部透明電極3は、両者間に配設されたスペー
サ9により所定間隔に離間され、これらの下部透明電極
4、上部透明電極3及びスペーサ9によって囲まれた空
間に電解質10が配設されている。この電解質IOとし
ては、濃度IM程度の過塩素酸リチウム、四フッ化硼素
リチウム等をプロピレンカーボネートに溶解した有機電
解液が用いられている。
ンからなる還元発色膜8が形成されている。下部透明電
極4及び上部透明電極3は、両者間に配設されたスペー
サ9により所定間隔に離間され、これらの下部透明電極
4、上部透明電極3及びスペーサ9によって囲まれた空
間に電解質10が配設されている。この電解質IOとし
ては、濃度IM程度の過塩素酸リチウム、四フッ化硼素
リチウム等をプロピレンカーボネートに溶解した有機電
解液が用いられている。
上下両透明電極3,4の一端には電極取出し部11が設
けられ、両電極取出し部11に一対のリード線12が接
続されている。また、前記スペーサ9の外側はエポキシ
樹脂よりなる封止材13によって封止されている。
けられ、両電極取出し部11に一対のリード線12が接
続されている。また、前記スペーサ9の外側はエポキシ
樹脂よりなる封止材13によって封止されている。
次に、前記エレクトロクロミック基板14の製造方法に
ついて第3図(a)〜(c)を参照して説明する。
ついて第3図(a)〜(c)を参照して説明する。
■金属薄膜16の形成
まず、下部透明電極4が形成された基板2を準備し、真
空蒸着法によってこの下部透明電極4上にアルミニウム
を蒸着させ、膜厚約500人の金属薄膜16を形成する
。本実施例における真空蒸着の条件は以下の通りである
。
空蒸着法によってこの下部透明電極4上にアルミニウム
を蒸着させ、膜厚約500人の金属薄膜16を形成する
。本実施例における真空蒸着の条件は以下の通りである
。
・蒸着材料・・・アルミニウム
・真空度・・・7XlO−2Pa
・不活性ガス・・・アルゴン
・高周波電源の出力・・・100W
・基板温度・・・100°C
■金属薄膜16の陽極酸化処理
第3図(a)に示すように、白金板を陰極17とし、前
記■において金属薄膜16が形成された下部透明電極4
を陽極とし、これらを電解液B中に浸漬し、両極17,
4に所定の電圧を印加する。
記■において金属薄膜16が形成された下部透明電極4
を陽極とし、これらを電解液B中に浸漬し、両極17,
4に所定の電圧を印加する。
すると、金属薄膜16を構成するアルミニウムが陽極酸
化されて酸化アルミニウムが生成される。
化されて酸化アルミニウムが生成される。
その結果、第3図(b)に示すように、微細な多数の孔
6を有する金属酸化膜5が得られる。なお、本実施例で
の陽極酸化処理の条件は以下の通りである。
6を有する金属酸化膜5が得られる。なお、本実施例で
の陽極酸化処理の条件は以下の通りである。
・電解液B−HC1040,2mol/lを含有した水
溶液 ・印加電圧・・・基準電極としての銀−塩化銀電極に対
して0.68 V ・化成時間・・・15分 ■酸化発色膜7の形成 第3図(C)に示すように、前記■で用いた電解液Bと
は異なる電解液Cに、金属酸化膜5が形成された基板2
と対向電極18とを浸漬し、金属酸化膜5に正の電圧を
印加するとともに対向電極18に負の電圧を印加して電
解重合を行う。すると、金属酸化膜5上にポリアニリン
が析出し、電解重合膜としての酸化発色膜7が製膜され
る。酸化発色膜7の製膜時には、その一部が金属酸化膜
5の孔6内へ入り込む。本実施例での電解重合の条件は
以下の通りである。
溶液 ・印加電圧・・・基準電極としての銀−塩化銀電極に対
して0.68 V ・化成時間・・・15分 ■酸化発色膜7の形成 第3図(C)に示すように、前記■で用いた電解液Bと
は異なる電解液Cに、金属酸化膜5が形成された基板2
と対向電極18とを浸漬し、金属酸化膜5に正の電圧を
印加するとともに対向電極18に負の電圧を印加して電
解重合を行う。すると、金属酸化膜5上にポリアニリン
が析出し、電解重合膜としての酸化発色膜7が製膜され
る。酸化発色膜7の製膜時には、その一部が金属酸化膜
5の孔6内へ入り込む。本実施例での電解重合の条件は
以下の通りである。
・電解液C・” HCIO40,2mol/1及びアニ
リン0、1 mol/lを含有した水溶液 ・重合電流密度・・・500mA/rrr・重合時間・
・・30分 このようにして、基板2上に下部透明電極4、金属酸化
膜5及び酸化発色膜7が積層されて目的とするエレクト
ロクロミック基板14が得られる。
リン0、1 mol/lを含有した水溶液 ・重合電流密度・・・500mA/rrr・重合時間・
・・30分 このようにして、基板2上に下部透明電極4、金属酸化
膜5及び酸化発色膜7が積層されて目的とするエレクト
ロクロミック基板14が得られる。
このエレクトロクロミック基板14を用いて構成した本
実施例のエレクトロクロミック素子においては、リード
線12を介して酸化発色膜7及び還元発色膜8にそれぞ
れ電圧を印加すると、酸化発色膜7で酸化反応が起こる
とともに還元発色膜8で還元反応が起こり、その結果、
両発色膜7,8が青色に着色される。また、リード線1
2に逆電圧を印加すると上記とは逆の反応が起こって消
色される。
実施例のエレクトロクロミック素子においては、リード
線12を介して酸化発色膜7及び還元発色膜8にそれぞ
れ電圧を印加すると、酸化発色膜7で酸化反応が起こる
とともに還元発色膜8で還元反応が起こり、その結果、
両発色膜7,8が青色に着色される。また、リード線1
2に逆電圧を印加すると上記とは逆の反応が起こって消
色される。
ところで、本実施例では下部透明電極4上に直接酸化発
色膜7を形成するのではなく、金属酸化膜5を介して下
部透明電極4上に酸化発色膜7を形成した。そして、こ
の金属酸化膜5は耐酸性の良い酸化アルミニウムによっ
て構成されている。
色膜7を形成するのではなく、金属酸化膜5を介して下
部透明電極4上に酸化発色膜7を形成した。そして、こ
の金属酸化膜5は耐酸性の良い酸化アルミニウムによっ
て構成されている。
このため、電解重合法を用いて酸化発色膜7を製膜する
際に、下部透明電極4が形成された基板2を酸性の電解
液Cに浸漬しても、金属酸化膜5が電解液Cに接触する
ものの下部透明電極4は電解液Cに直接接触しない。し
かも、この金属酸化膜5は電解液Cに溶解しない。従っ
て、前記下部透明電極4の電解液Cによる溶解が金属酸
化膜5によって阻止される。
際に、下部透明電極4が形成された基板2を酸性の電解
液Cに浸漬しても、金属酸化膜5が電解液Cに接触する
ものの下部透明電極4は電解液Cに直接接触しない。し
かも、この金属酸化膜5は電解液Cに溶解しない。従っ
て、前記下部透明電極4の電解液Cによる溶解が金属酸
化膜5によって阻止される。
また、本実施例のエレクトロクロミック素子の使用時に
は、前述した反応式(1)、(2)に基づき電解質lO
が反応してHCzOi 、HF等の酸が生ずる。これら
の酸は酸化発色膜7を通過して下部透明電極4側へ浸透
する。しかし、前述のように、同下部透明電極4上には
金属酸化膜5が形成されているので、この金属酸化膜5
によって前記酸の下部透明電極4への浸透が遮断され、
その結果、下部透明電極4の溶解が防止される。
は、前述した反応式(1)、(2)に基づき電解質lO
が反応してHCzOi 、HF等の酸が生ずる。これら
の酸は酸化発色膜7を通過して下部透明電極4側へ浸透
する。しかし、前述のように、同下部透明電極4上には
金属酸化膜5が形成されているので、この金属酸化膜5
によって前記酸の下部透明電極4への浸透が遮断され、
その結果、下部透明電極4の溶解が防止される。
さらに、本実施例では金属酸化膜5表面の孔6内に酸化
発色膜7の一部が入り込んでいるので、表面が平らな金
属薄膜を形成した従来技術に比べ、金属酸化膜5と酸化
発色膜7との密着性が向上する。
発色膜7の一部が入り込んでいるので、表面が平らな金
属薄膜を形成した従来技術に比べ、金属酸化膜5と酸化
発色膜7との密着性が向上する。
このように、本実施例では下部透明電極4が酸によって
溶解しないことに加え、金属酸化膜5表面に対し酸化発
色膜7がアンカー効果によって強固に密着しているので
酸化発色膜7の剥離を防止できる。このことを確認する
ために、前記酸化発色膜7の駆動試験後、金属酸化膜5
に対する酸化発色膜7の密着性を調べたところ、この酸
化発色膜7は濡れた布でこすっても剥離しなかった。従
って、酸化発色膜7の剥離に基づくエレクトロクロミッ
ク素子駆動時の発色ムラ等の不良を低減できる。
溶解しないことに加え、金属酸化膜5表面に対し酸化発
色膜7がアンカー効果によって強固に密着しているので
酸化発色膜7の剥離を防止できる。このことを確認する
ために、前記酸化発色膜7の駆動試験後、金属酸化膜5
に対する酸化発色膜7の密着性を調べたところ、この酸
化発色膜7は濡れた布でこすっても剥離しなかった。従
って、酸化発色膜7の剥離に基づくエレクトロクロミッ
ク素子駆動時の発色ムラ等の不良を低減できる。
なお、本実施例では陽極酸化処理用の電解液BとしてH
ClO4を用いたが、これに代えてHBF 4 、 H
2S 04 、 HClを用いてもよい。
ClO4を用いたが、これに代えてHBF 4 、 H
2S 04 、 HClを用いてもよい。
[第二実施例]
次に、第二の発明を具体化した第二実施例について説明
する。本実施例のエレクトロクロミック素子は前記第一
実施例と同二構成であるが、エレクトロクロミック基板
14の製造に際し、金属薄膜16の陽極酸化処理及び酸
化発色膜7の製膜を同時に行っている点が第一実施例と
大きく異なっている。
する。本実施例のエレクトロクロミック素子は前記第一
実施例と同二構成であるが、エレクトロクロミック基板
14の製造に際し、金属薄膜16の陽極酸化処理及び酸
化発色膜7の製膜を同時に行っている点が第一実施例と
大きく異なっている。
すなわち、第4図(a)に示すように、金属薄膜16が
形成された下部透明電極4を陽極とし、これと対向電極
19とを電解液り中に浸漬し、金属薄膜16に正の電圧
を印加するとともに対向電極I9に負の電圧を印加する
。すると、第4図(b)に示すように、金属薄膜16を
構成するアルミニウムが陽極酸化されて、微細な多数の
孔6を有する釡属酸化膜5が形成されると同時に、この
金属酸化膜5上にポリアニリンよりなる酸化発色膜7が
製膜される。このとき、酸化発色膜7の一部が金属酸化
膜5の孔6内へ入り込む。なお、本実施例での処理条件
は以下の通りである。
形成された下部透明電極4を陽極とし、これと対向電極
19とを電解液り中に浸漬し、金属薄膜16に正の電圧
を印加するとともに対向電極I9に負の電圧を印加する
。すると、第4図(b)に示すように、金属薄膜16を
構成するアルミニウムが陽極酸化されて、微細な多数の
孔6を有する釡属酸化膜5が形成されると同時に、この
金属酸化膜5上にポリアニリンよりなる酸化発色膜7が
製膜される。このとき、酸化発色膜7の一部が金属酸化
膜5の孔6内へ入り込む。なお、本実施例での処理条件
は以下の通りである。
・電解液D−HCl 040.2mol/l及びアニリ
ン0、1 mol/lを含有した水溶液 ・重合電流密度・・・500mA/rr?・重合時間・
・・60分 このように本実施例によれば、共通の電解液りを用い、
重合電流密度や重合時間を調整することで、金属薄膜1
6の陽極酸化処理と酸化発色膜7の電解重合とを同時に
行うことができる。従って、処理層等の装置が1つです
み、前記第一実施例に比べ処理装置やその設置スペース
等の点で有利となるばかりか、製造工程を簡略化して製
造効率の向上を図ることが可能になる。
ン0、1 mol/lを含有した水溶液 ・重合電流密度・・・500mA/rr?・重合時間・
・・60分 このように本実施例によれば、共通の電解液りを用い、
重合電流密度や重合時間を調整することで、金属薄膜1
6の陽極酸化処理と酸化発色膜7の電解重合とを同時に
行うことができる。従って、処理層等の装置が1つです
み、前記第一実施例に比べ処理装置やその設置スペース
等の点で有利となるばかりか、製造工程を簡略化して製
造効率の向上を図ることが可能になる。
なお、前記酸化発色膜7の製膜直後、酸化発色膜7の密
着性を調べてみたが、この酸化発色膜7は前記第一実施
例と同様に金属酸化膜5に対し強固に密着していた。
着性を調べてみたが、この酸化発色膜7は前記第一実施
例と同様に金属酸化膜5に対し強固に密着していた。
なお、本発明は前記実施例の構成に限定されるものでは
なく、例えば以下のように発明の趣旨から逸脱しない範
囲で任意に変更してもよい。
なく、例えば以下のように発明の趣旨から逸脱しない範
囲で任意に変更してもよい。
(1)ITOよりなる下部透明電極4上に金属酸化膜5
を形成する方法としては、真空蒸着以外にもスパッタリ
ング等の他の物理蒸着(PVD)や化学蒸着(CVD)
を用いることもできる。
を形成する方法としては、真空蒸着以外にもスパッタリ
ング等の他の物理蒸着(PVD)や化学蒸着(CVD)
を用いることもできる。
(2)前記実施例では上下両電極を透明電極3゜4とし
たが、片方の電極が不透明であってもよい。
たが、片方の電極が不透明であってもよい。
[発明の効果コ
以上詳述したように第一の発明のエレクトロクロミック
素子によれば、発色膜の製膜時や製品駆動時に透明電極
が酸に溶解するのを金属酸化膜によって防止できるとと
もに、金属酸化膜の孔内へ発色膜の一部が入り込んでい
るので、その金属酸化膜から発色膜が剥離するのを確実
に阻止し、発色ムラ等の不良を低減できる。
素子によれば、発色膜の製膜時や製品駆動時に透明電極
が酸に溶解するのを金属酸化膜によって防止できるとと
もに、金属酸化膜の孔内へ発色膜の一部が入り込んでい
るので、その金属酸化膜から発色膜が剥離するのを確実
に阻止し、発色ムラ等の不良を低減できる。
また、第二の発明のエレクトロクロミック素子の製造方
法によれば、金属薄膜を陽極酸化することにより微細な
多数の孔を有する金属酸化膜を容易に得ることができる
。
法によれば、金属薄膜を陽極酸化することにより微細な
多数の孔を有する金属酸化膜を容易に得ることができる
。
第1〜3図は本発明を具体化した第一実施例を示し、第
1図はエレクトロクロミック素子の断面図、第2図は同
じく要部拡大断面図、第3図(a)〜(C)はエレクト
ロクロミック基板の製造方法を示す断面図、第4図(a
)、(b)は第二実施例のエレクトロクロミック基板の
製造方法を示す断面図であり、第5,6図は従来技術を
示し、第5図はエレクトロクロミック素子の断面図、第
6図は電解重合法によって酸化発色膜を形成する状態を
示す断面図である。 3・・・上部透明電極、4・・・下部透明電極、5・・
・金属酸化膜、6・・・孔、7・・・電解重合膜として
の酸化発色膜、8・・・還元発色膜、10・・・電解質
、16・・・金属薄膜、19・・・対向電極、D・・・
電解液。
1図はエレクトロクロミック素子の断面図、第2図は同
じく要部拡大断面図、第3図(a)〜(C)はエレクト
ロクロミック基板の製造方法を示す断面図、第4図(a
)、(b)は第二実施例のエレクトロクロミック基板の
製造方法を示す断面図であり、第5,6図は従来技術を
示し、第5図はエレクトロクロミック素子の断面図、第
6図は電解重合法によって酸化発色膜を形成する状態を
示す断面図である。 3・・・上部透明電極、4・・・下部透明電極、5・・
・金属酸化膜、6・・・孔、7・・・電解重合膜として
の酸化発色膜、8・・・還元発色膜、10・・・電解質
、16・・・金属薄膜、19・・・対向電極、D・・・
電解液。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、一対の電極(3、4)のうち少なくとも一方を透明
電極(4)とし、両電極(3、4)間に発色膜(7、8
)及び電解質(10)を重ね合わせて配設したエレクト
ロクロミック素子において、前記透明電極(4)及び発
色膜(7)間には、微細な多数の孔(6)を有する金属
酸化膜(5)を介在させ、前記発色膜(7)の一部を同
金属酸化膜(5)の孔(6)内に入り込ませたことを特
徴とするエレクトロクロミック素子。 2、金属薄膜(16)が形成された透明電極(4)を陽
極とし、この陽極と対向電極(19)を電解液(D)に
浸漬し、両者間に電圧を印加することにより前記金属薄
膜(16)を陽極酸化して、微細な多数の孔(6)を有
する金属酸化膜(5)を形成し、その金属酸化膜(5)
上に導電性高分子からなる電解重合膜(7)を形成する
ことを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2092927A JPH03290627A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | エレクトロクロミック素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2092927A JPH03290627A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | エレクトロクロミック素子及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03290627A true JPH03290627A (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=14068129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2092927A Pending JPH03290627A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | エレクトロクロミック素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03290627A (ja) |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP2092927A patent/JPH03290627A/ja active Pending
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