JPH03266574A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPH03266574A JPH03266574A JP2066017A JP6601790A JPH03266574A JP H03266574 A JPH03266574 A JP H03266574A JP 2066017 A JP2066017 A JP 2066017A JP 6601790 A JP6601790 A JP 6601790A JP H03266574 A JPH03266574 A JP H03266574A
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- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 claims description 15
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 10
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ラインアドレス型CCDによる信号読み出し回路と受光
素子を組合わせた固体撮像装置に関し、受光素子面積の
広がりがなく、従って、高い解像度を確保できる固体撮
像装置を提供することを目的とし、 ラインアドレス型CCDによる信号読出し回路を組合わ
せた行方向にm 〔m≧1の整数3個、列方向にn 〔
n≧2の整数3個の受光素子よりなるセンサアレイに対
して、走査ミラーで列方向の視野走査を行い、1素子の
走査時間に時分割的に列方向のn素子に蓄積した電荷を
順次出力するとともに、各素子より得られる特定点より
の入射光に対応する電荷をk画素分、時間遅れ積分回路
で積分した画像信号を得る固体撮像装置において、列方
向の1受光素子に対する走査距離dに対して、列方向の
素子間隔を(1+1/n)dに設定側る構成とし、また
、行方向に素子間隔をdとする構成とした。
素子を組合わせた固体撮像装置に関し、受光素子面積の
広がりがなく、従って、高い解像度を確保できる固体撮
像装置を提供することを目的とし、 ラインアドレス型CCDによる信号読出し回路を組合わ
せた行方向にm 〔m≧1の整数3個、列方向にn 〔
n≧2の整数3個の受光素子よりなるセンサアレイに対
して、走査ミラーで列方向の視野走査を行い、1素子の
走査時間に時分割的に列方向のn素子に蓄積した電荷を
順次出力するとともに、各素子より得られる特定点より
の入射光に対応する電荷をk画素分、時間遅れ積分回路
で積分した画像信号を得る固体撮像装置において、列方
向の1受光素子に対する走査距離dに対して、列方向の
素子間隔を(1+1/n)dに設定側る構成とし、また
、行方向に素子間隔をdとする構成とした。
この発明は固体撮像装置に関し、特に、ラインアドレス
型CCDによる信号読み出し回路と受光素子を組合わせ
た固体撮像装置に関するものである。
型CCDによる信号読み出し回路と受光素子を組合わせ
た固体撮像装置に関するものである。
第3図はラインアドレス型のCCDと組合わせた2次元
配列の受光素子の概念図、第4図はこのラインアドレス
型CCDを用いた固体撮像素子による撮像装置の1例を
示すものである。
配列の受光素子の概念図、第4図はこのラインアドレス
型CCDを用いた固体撮像素子による撮像装置の1例を
示すものである。
第3図に示すように、行方向m個、列方向にn個(この
場合m=4、n=4)の受光素子1ij(i、jはそれ
ぞれm、nより小さい正の整数であって、上記mxnの
マトリックス上での各素子の配列位置を表す。)をそれ
ぞれ間隔dを保って配列した2次元センサアレイ1が構
成される。このセンサアレイ1の各素子1ijには、第
3図に示すようにスイッチ素子2ijの一端が接続され
、該各スイッチ素子2ijの他端は列方向に共通な電荷
伝送線LJ(Ll 〜L、)を介して垂直転送用CCD
2に人力され、また、スイッチ2ijの制御端子には行
方向に共通なアドレス線Ai(A、〜A4)が接続され
、ラインアドレス走査回路3によってアドレス制御され
るようになっている。
場合m=4、n=4)の受光素子1ij(i、jはそれ
ぞれm、nより小さい正の整数であって、上記mxnの
マトリックス上での各素子の配列位置を表す。)をそれ
ぞれ間隔dを保って配列した2次元センサアレイ1が構
成される。このセンサアレイ1の各素子1ijには、第
3図に示すようにスイッチ素子2ijの一端が接続され
、該各スイッチ素子2ijの他端は列方向に共通な電荷
伝送線LJ(Ll 〜L、)を介して垂直転送用CCD
2に人力され、また、スイッチ2ijの制御端子には行
方向に共通なアドレス線Ai(A、〜A4)が接続され
、ラインアドレス走査回路3によってアドレス制御され
るようになっている。
第4図に示すように上記のように構成されたラインアド
レス型CCDのセンサアレイ1に対して、走査ミラー駆
動装置13によって特定の角度回動される走査ミラー7
と集光レンズ8によって水平方向(列方向)に走査され
るようになっている。
レス型CCDのセンサアレイ1に対して、走査ミラー駆
動装置13によって特定の角度回動される走査ミラー7
と集光レンズ8によって水平方向(列方向)に走査され
るようになっている。
第5図は上記2次元センサアレイ1の各素子1ijより
電荷を取出す場合の動作タイミングを示すものである。
電荷を取出す場合の動作タイミングを示すものである。
アドレス走査回路3からの指示に基づいて1素子の走査
に要する特定時間Tの間に第5図(a)(b)(c)(
d)に示すようにアドレスラインAiにA、→A2→A
3→A4の順にスイッチ信号を印加し、各行に属するス
イッチ2ijを行単位で期間t、(=T/8)ONにし
、電荷蓄積電極20に電荷の蓄積をし、その後の期間t
z (= T / 8 )で第5図(e)に示すよ
うに上記電極20と一体になった垂直転送用CCD2で
この電荷を読出す。上記走査ミラー7は、上記特定時間
Tの間に第6図に示すように、各素子間隔dを走査し、
例えば最初の走査時間T、(サフィックスは走査の回数
を表す)で素子111に特定点よりの入射光による電荷
を蓄積し、垂直転送用CCD2より出力したとすれば、
次の時間T2で素子112に、上記特定点の画像信号を
蓄積し、CCD2より出力する手順をに回繰り回す。
に要する特定時間Tの間に第5図(a)(b)(c)(
d)に示すようにアドレスラインAiにA、→A2→A
3→A4の順にスイッチ信号を印加し、各行に属するス
イッチ2ijを行単位で期間t、(=T/8)ONにし
、電荷蓄積電極20に電荷の蓄積をし、その後の期間t
z (= T / 8 )で第5図(e)に示すよ
うに上記電極20と一体になった垂直転送用CCD2で
この電荷を読出す。上記走査ミラー7は、上記特定時間
Tの間に第6図に示すように、各素子間隔dを走査し、
例えば最初の走査時間T、(サフィックスは走査の回数
を表す)で素子111に特定点よりの入射光による電荷
を蓄積し、垂直転送用CCD2より出力したとすれば、
次の時間T2で素子112に、上記特定点の画像信号を
蓄積し、CCD2より出力する手順をに回繰り回す。
このようにして出力された各素子1ijよりの画像信号
は、第4図に示すプリアンプ9を介して変換器10でデ
ィジタル信号に変換されて、時間遅れ積分回路(TDI
演算回路)11に入力され、このTDI演算回路11で
上記特定点の画像信号が順次に回加え合わされ、画像表
示装置14に表示される。
は、第4図に示すプリアンプ9を介して変換器10でデ
ィジタル信号に変換されて、時間遅れ積分回路(TDI
演算回路)11に入力され、このTDI演算回路11で
上記特定点の画像信号が順次に回加え合わされ、画像表
示装置14に表示される。
尚、走査ミラー駆動回路13.2次元センサアレイ1、
TDI演算回路11の各動作は制御回路12によって周
期制御されている。
TDI演算回路11の各動作は制御回路12によって周
期制御されている。
上記のようにラインアドレス型の垂直転送用CCD2を
用いた場合には、受光素子1ijとCCD2とが異なる
場所に配置できるので電荷蓄積用電極20の面積が大き
くとれ、−度に多くの電荷量が取り扱え、明るい画像を
得ることができる利点がある。
用いた場合には、受光素子1ijとCCD2とが異なる
場所に配置できるので電荷蓄積用電極20の面積が大き
くとれ、−度に多くの電荷量が取り扱え、明るい画像を
得ることができる利点がある。
上記構成によると、第5図に示すように列方向の各スイ
ッチ2ijは、特定時間T内で時分割的に順次T/4時
間遅れでONされる。しかしながら、第6図(a)に示
すように例えば特定時間T1で素子111で受光した特
定点の入射光を、次の特定時間T2では素子112で、
更にその次の特定時間T、には素子113で受光するこ
とになるので、上記特定点よりの入射光位置にあるT1
〜T4の時間での各受光素子は第6図(b)に示す位置
でそれぞれ開口(スイッチ211〜214がONになる
位置に対応)し、結果として等価的な受光素子面積が2
.5倍に広がり、解像度が低くなり、得られる画像が不
鮮明となる。
ッチ2ijは、特定時間T内で時分割的に順次T/4時
間遅れでONされる。しかしながら、第6図(a)に示
すように例えば特定時間T1で素子111で受光した特
定点の入射光を、次の特定時間T2では素子112で、
更にその次の特定時間T、には素子113で受光するこ
とになるので、上記特定点よりの入射光位置にあるT1
〜T4の時間での各受光素子は第6図(b)に示す位置
でそれぞれ開口(スイッチ211〜214がONになる
位置に対応)し、結果として等価的な受光素子面積が2
.5倍に広がり、解像度が低くなり、得られる画像が不
鮮明となる。
この発明は上記従来の事情に鑑みて提案されたものであ
って、受光素子面積の広がりがなく、従って、高い解像
度を確保できる固体撮像装置を提供することを目的とす
るものである。
って、受光素子面積の広がりがなく、従って、高い解像
度を確保できる固体撮像装置を提供することを目的とす
るものである。
上記目的を達成するためにこの発明は以下の手段を採用
する。すなわち、ラインアドレス型CCDによる信号読
出し回路を組合わせた行方向にm〔m≧1の整数3個、
列方向にn 〔n≧2の整数3個の受光素子1ijより
なるセンサアレイ1に対して、走査ミラー7で列方向の
視野走査を行い、1素子の走査時間Tに時分割的に列方
向のn素子に蓄積した電荷を順次出力するとともに、各
素子1ijより得られる特定点よりの入射光に対応する
電荷をに画素分、時間遅れ積分回路11で積分した画像
信号を得る固体撮像装置において、列方向の1受光素子
1ijに対する走査距離dに対して、列方向の素子間隔
を(1+17n)dに設定にしたものである。
する。すなわち、ラインアドレス型CCDによる信号読
出し回路を組合わせた行方向にm〔m≧1の整数3個、
列方向にn 〔n≧2の整数3個の受光素子1ijより
なるセンサアレイ1に対して、走査ミラー7で列方向の
視野走査を行い、1素子の走査時間Tに時分割的に列方
向のn素子に蓄積した電荷を順次出力するとともに、各
素子1ijより得られる特定点よりの入射光に対応する
電荷をに画素分、時間遅れ積分回路11で積分した画像
信号を得る固体撮像装置において、列方向の1受光素子
1ijに対する走査距離dに対して、列方向の素子間隔
を(1+17n)dに設定にしたものである。
上記構成によって、第2図に示すように特定時間T1で
素子111で特定点からの入射光を受光し、次いで特定
時間T2で素子112で上記点からの入射光を受光しよ
うとするとき、素子111が電荷蓄積時間となっている
時間T2の最初のTz / 4周期は素子112が距離
d/4、開口位置より手前にあり、時間T2の第2のT
2/4周期、すなわち、素子112に対応するスイッチ
212がONとなり、素子112が電荷蓄積を開始する
時間に、該素子112は、時間T、で素子111で特定
点からの入射光の受光を開始した位置に位置するように
なる。以下、時間T3の第3のT。
素子111で特定点からの入射光を受光し、次いで特定
時間T2で素子112で上記点からの入射光を受光しよ
うとするとき、素子111が電荷蓄積時間となっている
時間T2の最初のTz / 4周期は素子112が距離
d/4、開口位置より手前にあり、時間T2の第2のT
2/4周期、すなわち、素子112に対応するスイッチ
212がONとなり、素子112が電荷蓄積を開始する
時間に、該素子112は、時間T、で素子111で特定
点からの入射光の受光を開始した位置に位置するように
なる。以下、時間T3の第3のT。
/4周期に素子113が、上記素子111が特定点から
の受光を開始した位置に来るといった手順が繰り返され
、特定点からの入射光の受光を開始する各素子の相対位
置が一致する。これによって、受光面積は本来の素子の
面積を維持する。
の受光を開始した位置に来るといった手順が繰り返され
、特定点からの入射光の受光を開始する各素子の相対位
置が一致する。これによって、受光面積は本来の素子の
面積を維持する。
第1図はこの発明の1実施例を示す概念図である。m行
、n列の2次元センサアレイ1の各受光素子1ijが行
方向(副走査方向)には、所定間隔dで配置され、列方
向走査方向には間隔(1+1/n)dで配置される。尚
、このセンサアレイ1以外の構成は第3図に示す従来例
と全く同様であるので説明を省略する。
、n列の2次元センサアレイ1の各受光素子1ijが行
方向(副走査方向)には、所定間隔dで配置され、列方
向走査方向には間隔(1+1/n)dで配置される。尚
、このセンサアレイ1以外の構成は第3図に示す従来例
と全く同様であるので説明を省略する。
第2図は上記のように各素子が配列されたセンサアレイ
1を用いての走査手順を示すものである。
1を用いての走査手順を示すものである。
上記構成のセンサアレイ1に対し、時間Tで1回dの距
離を走査し、スイッチ2ij及び垂直転送用CCD2に
よる転送タイミングは、第5図に示した従来例と全く同
様、時間T/4ごとにラインアドレス走査回路3によっ
て列方向にスイッチ2ijを順次ONにして電荷蓄積電
極20に電荷を蓄積し、その後に垂直転送用CCD2で
蓄積した電荷をTDI演算回路11に転送する。
離を走査し、スイッチ2ij及び垂直転送用CCD2に
よる転送タイミングは、第5図に示した従来例と全く同
様、時間T/4ごとにラインアドレス走査回路3によっ
て列方向にスイッチ2ijを順次ONにして電荷蓄積電
極20に電荷を蓄積し、その後に垂直転送用CCD2で
蓄積した電荷をTDI演算回路11に転送する。
いま、最初の蓄積転送時間T+ (=T)に受光素子
111で特定点からの入射光を受光するものとすれば、
このT、の期間の最初のT1/4周期で第5図に示すよ
うに、受光素子111に対応するスイッチ211はON
となり、電荷蓄積を行う。
111で特定点からの入射光を受光するものとすれば、
このT、の期間の最初のT1/4周期で第5図に示すよ
うに、受光素子111に対応するスイッチ211はON
となり、電荷蓄積を行う。
このとき、同一列の他の受光素子112〜114は、そ
れぞれ第2のTI/4周期〜第4のT+/4周期で他の
点からの入射光を受光していることになる。
れぞれ第2のTI/4周期〜第4のT+/4周期で他の
点からの入射光を受光していることになる。
走査ミラー7とセンサアレイ1の相対位置が走査に従っ
て距離d移動したとき、次の蓄積転送時間Tzが開始す
るが、この開始時点では受光素子112は特定点の入射
光位置より距離d/4手前の位置にあることになる。し
かしながら、受光素子112の蓄積転送は、蓄積転送時
間T2の開始時点よりT2/4後であるので、受光素子
112の蓄積転送が開始する時点、すなわち、第2のT
2/4周期では受光素子112は、特定点の入射光位置
に移動していることになる。同様に蓄積転送時間T3に
おける受光素子113が蓄積転送を開始するのは、第3
のT3/4周期であるから、蓄積転送時間T3の開始時
点で特定位置の入射光位置より距離d/2手前にあれば
よいことになり、更に、蓄積転送時間T4の開始時間に
は、受光素子114は特定点の入射光位置より距離3d
/4手前に位置しておれば、受光素子114は蓄積転送
時間T4の第4のT4/4周期に特定位置の入射光を受
光するようになる。
て距離d移動したとき、次の蓄積転送時間Tzが開始す
るが、この開始時点では受光素子112は特定点の入射
光位置より距離d/4手前の位置にあることになる。し
かしながら、受光素子112の蓄積転送は、蓄積転送時
間T2の開始時点よりT2/4後であるので、受光素子
112の蓄積転送が開始する時点、すなわち、第2のT
2/4周期では受光素子112は、特定点の入射光位置
に移動していることになる。同様に蓄積転送時間T3に
おける受光素子113が蓄積転送を開始するのは、第3
のT3/4周期であるから、蓄積転送時間T3の開始時
点で特定位置の入射光位置より距離d/2手前にあれば
よいことになり、更に、蓄積転送時間T4の開始時間に
は、受光素子114は特定点の入射光位置より距離3d
/4手前に位置しておれば、受光素子114は蓄積転送
時間T4の第4のT4/4周期に特定位置の入射光を受
光するようになる。
これによって、特定位置の入射光を受光する走査方向各
素子の位置は、第2図(b)に示すように等価的に同じ
になり、元の受光素子の大きさ(この場合d/2)がそ
のまま維持できることになる。
素子の位置は、第2図(b)に示すように等価的に同じ
になり、元の受光素子の大きさ(この場合d/2)がそ
のまま維持できることになる。
尚、センサアレイ1が2次元である場合についてのみ説
明したが、この発明は走査方向に1次元に配列されたセ
ンサアレイ1(m=1)の場合にも適用できる。更に、
画像の縦横の長さを同一にするため行方向の素子間隔を
dとしているが必ずしもこの値である必要はない。
明したが、この発明は走査方向に1次元に配列されたセ
ンサアレイ1(m=1)の場合にも適用できる。更に、
画像の縦横の長さを同一にするため行方向の素子間隔を
dとしているが必ずしもこの値である必要はない。
以上説明したように、この発明は走査位置と入射光の位
置関係だけでなく、各素子の電荷蓄積時間をも考慮して
走査方向の素子間隔を調整しているので、対象となる受
光素子の電荷蓄積時間が開始するときに、特定点からの
入射光が、該受光素子の位置にくるようになって、受光
素子の幅を等価的に広げることなく撮像でき、従って、
鮮明な画像を得ることができる効果がある。
置関係だけでなく、各素子の電荷蓄積時間をも考慮して
走査方向の素子間隔を調整しているので、対象となる受
光素子の電荷蓄積時間が開始するときに、特定点からの
入射光が、該受光素子の位置にくるようになって、受光
素子の幅を等価的に広げることなく撮像でき、従って、
鮮明な画像を得ることができる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例を示す概念図、第2図はこ
の発明のタイミング図、第3図は従来のセンサアレイの
構成図、第4図は本発明あるいは従来の2次元センサに
適用される固体撮像装置の概念図、第5図は従来のセン
サアレイの動作タイミング図、第6図は従来のセンサア
レイの構成による特定位置よりの入射光位置と各受光素
子の位置関係を示すタイミング図である。 図中、 1ij・・・受光素子、 1・・・二次元センサアレイ、 7・・・走査ミラー T・・・走査時間、 11・・・積分回路。
の発明のタイミング図、第3図は従来のセンサアレイの
構成図、第4図は本発明あるいは従来の2次元センサに
適用される固体撮像装置の概念図、第5図は従来のセン
サアレイの動作タイミング図、第6図は従来のセンサア
レイの構成による特定位置よりの入射光位置と各受光素
子の位置関係を示すタイミング図である。 図中、 1ij・・・受光素子、 1・・・二次元センサアレイ、 7・・・走査ミラー T・・・走査時間、 11・・・積分回路。
Claims (2)
- (1)ラインアドレス型CCDによる信号読出し回路を
組合わせた行方向にm〔m≧1の整数〕個、列方向にn
〔n≧2の整数〕個の受光素子(1ij)よりなるセン
サアレイ(1)に対して、走査ミラー(7)で列方向の
視野走査を行い、1素子の走査時間(T)に時分割的に
列方向のn素子に蓄積した電荷を順次出力するとともに
、各素子(1ij)より得られる特定点よりの入射光に
対応する電荷をk画素分、時間遅れ積分回路(11)で
積分した画像信号を得る固体撮像装置において、 列方向の1受光素子(1ij)に対する走査距離dに対
して、列方向の素子間隔を(1+1/n)dに設定にし
たことを特徴とする固体撮像装置。 - (2)行方向の各素子(1ij)の配列間隔が走査距離
dと同じである請求項1に記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2066017A JPH03266574A (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2066017A JPH03266574A (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03266574A true JPH03266574A (ja) | 1991-11-27 |
Family
ID=13303745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2066017A Pending JPH03266574A (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03266574A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010150494A1 (ja) * | 2009-06-25 | 2010-12-29 | Nec東芝スペースシステム株式会社 | 撮像装置、撮像方法及び撮像回路 |
-
1990
- 1990-03-15 JP JP2066017A patent/JPH03266574A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010150494A1 (ja) * | 2009-06-25 | 2010-12-29 | Nec東芝スペースシステム株式会社 | 撮像装置、撮像方法及び撮像回路 |
JP2011009996A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Nec Toshiba Space Systems Ltd | 撮像装置、撮像方法及び撮像回路 |
US9357100B2 (en) | 2009-06-25 | 2016-05-31 | Nec Corporation | Image capturing apparatus, image capturing method, and image capturing circuit |
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