JPH03263339A - Film carrier and semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は、テープオートメイテッドボンディング(TA
B)用のフィルムキャリアのリードに関し。[Detailed Description of the Invention] [Summary] The present invention provides tape automated bonding (TA
Regarding the lead of the film carrier for B).
インナーリードポンディング(ILB)時のストレスに
よるリード変形を防止することを目的とし■テープオー
トメイテッドボンディングを行うフィルムキャリアにお
いて。■For film carriers that perform tape automated bonding with the aim of preventing lead deformation due to stress during inner lead bonding (ILB).
ICチップのコーナーの位置に相当するフィルムキャリ
ア上の相対するリードの幅がその他のリードの幅より太
くなっているように。Just like the width of the opposing leads on the film carrier corresponding to the corner positions of the IC chip is wider than the width of the other leads.
■前記フィルムキャリアを使用してマウントするように
構成する。(2) It is configured to be mounted using the film carrier.
本発明は、 TABのフィルムキャリアのリードに関す
る。The present invention relates to a TAB film carrier lead.
近年、LSIの高集積化に伴い、その接続するビン数も
増加の一途を辿っている。In recent years, as LSIs become more highly integrated, the number of connected bins continues to increase.
そのため、 TAB構造による。すなわち、チップ上の
バンプに、−括数百本のリードをボンディングし、更に
、そのリードを一括ボンディングでパッケージパターン
に接続する方法が採られるようになってきた。Therefore, it depends on the TAB structure. That is, a method has been adopted in which hundreds of leads are bonded to bumps on a chip, and the leads are then connected to a package pattern by batch bonding.
第4図は従来例の説明図である。 FIG. 4 is an explanatory diagram of a conventional example.
図において、11はICチップ、12はフィルムキャリ
ア、13はリード、14はバンブ、15はパッケージ、
16はビン、17はキャップ、18はソルダー、19
はヒートシンク である。In the figure, 11 is an IC chip, 12 is a film carrier, 13 is a lead, 14 is a bump, 15 is a package,
16 is a bottle, 17 is a cap, 18 is a solder, 19
is a heat sink.
現行のフィルムキャリアを用いるTAB構造では第4図
(a)に模式断面図で示すような構造となっている。The TAB structure using the current film carrier has a structure as shown in a schematic cross-sectional view in FIG. 4(a).
即ち、ICチップ11はリード13を介してパッケージ
15と接続されている。That is, the IC chip 11 is connected to the package 15 via the leads 13.
このインナリードポンディング(ILB)されたり一ド
13の状態を詳細に見ると、第4図(b)に示すように
、フィルムキャリア12上にパタニングされたリード1
3はバンプ14を介して、ICチップ11と接続されて
いる。If we look in detail at the state of the leads 13 after inner lead bonding (ILB), we can see that the leads 13 patterned on the film carrier 12 are shown in FIG.
3 is connected to the IC chip 11 via bumps 14.
前記のように、 118時にフィルムキャリア12上の
リードをICチップ11上のバンブ14に加熱接合する
際に、フィルムキャリア12のフィルム母材及びリード
材の熱膨張及び収縮によって、特にコーナー付近にねじ
れ等の応力が生じ、歪みがたまって、リード13が変形
して曲がったり、ずれたりする。As mentioned above, when the leads on the film carrier 12 are heat-bonded to the bumps 14 on the IC chip 11 at 118, due to thermal expansion and contraction of the film base material and lead material of the film carrier 12, twisting occurs particularly near the corners. Stresses such as these are generated, distortion accumulates, and the leads 13 are deformed and bent or shifted.
そのために、その後のアウターリードポンディング(O
LB)でパッケージ15上のリード接続パターンと位置
合わせが良好にできなくなる。Therefore, subsequent outer lead pounding (O
LB), the lead connection pattern on the package 15 cannot be properly aligned.
第1図は本発明の原理説明図である。 FIG. 1 is a diagram explaining the principle of the present invention.
図において、1はICチップ、2はフィルムキャリア
3はコーナーリード、4はリードである。In the figure, 1 is an IC chip, 2 is a film carrier
3 is a corner lead and 4 is a lead.
解決手段として、テープオートメイテッドポンディング
を行うフィルムキャリアにおいて、ICチップのコーナ
ーの位置に相当するフィルムキャリア上の相対するリー
ドの幅がその他のリードの幅より太くなっているように
し、前記フィルムキャリアを使用してマウントする。As a solution, in a film carrier that performs tape automated bonding, the width of opposing leads on the film carrier corresponding to the corner positions of the IC chip is made wider than the width of other leads, and the film carrier Mount it using
本発明では、ICチップのコーナ一部分のリードを太く
強化するので、 118時の加熱によっても歪んだり曲
がったりしない。In the present invention, the leads at the corners of the IC chip are thickened and strengthened, so they will not be distorted or bent even when heated at 118 o'clock.
よって、正常なポンディングが可能となる。Therefore, normal pounding is possible.
第2図、第3図は本発明の詳細な説明図である。 FIGS. 2 and 3 are detailed explanatory diagrams of the present invention.
図において、1はICチップ、2はフィルムキャリア、
3はコーナーリード、4はリード、5はパッケージ、6
はビン、7はキャップ、8はソルダー 9はヒートシン
ク、10はフィンである。In the figure, 1 is an IC chip, 2 is a film carrier,
3 is corner lead, 4 is lead, 5 is package, 6
is a bottle, 7 is a cap, 8 is a solder, 9 is a heat sink, and 10 is a fin.
第1図、第2図により第1の実施例を説明する。A first embodiment will be explained with reference to FIGS. 1 and 2.
第1図に示すように、600本のビンを有するLSIに
おいて 、−辺当たり150本のリードのうち、コーナ
ーの相対する8本のコーナーリード4の幅を通常のり一
ド3の40μm幅に対して、60μmと太(する。As shown in Figure 1, in an LSI with 600 bins, of the 150 leads per side, the width of the eight corner leads 4 facing each other at the corners is 40 μm compared to the 40 μm width of the normal glued lead 3. The thickness is 60 μm.
第2図(a)に示すように、各辺のコーナーより、中心
に向かって少しづつ細くした例である。As shown in FIG. 2(a), this is an example in which each side is tapered little by little from the corner toward the center.
一番端のコーナーリード4が60μm幅で、内側に4μ
mずつ狭くして、40μm幅になったらそのままとする
。The corner lead 4 at the end is 60μm wide, with 4μm inside.
Narrow the width in m increments until it becomes 40 μm wide, then leave it as it is.
上記の例では、コーナーリード4を均一な幅で太くした
が、実際にはILBよりOLBの方が難しく。In the above example, the corner leads 4 are made thick with a uniform width, but in reality, OLB is more difficult than ILB.
特に金・錫反応による接合では、 018間の合金ショ
ートを発生し易いので、第2図(b)に示すように、
OLBの部分のみを通常の40μm幅とし、その他の部
分を60μm幅とした。Particularly in bonding by gold-tin reaction, alloy shorts between 018 and 018 are likely to occur, so as shown in Figure 2(b),
Only the OLB portion was made to have a normal width of 40 μm, and the other portions were made to have a width of 60 μm.
以上9本発明のリードを使用したフィルムキャリアを用
いて、実際に半導体装置をマウントした第2の実施例を
第3図に示す。FIG. 3 shows a second embodiment in which a semiconductor device is actually mounted using a film carrier using the leads of the present invention.
第3図(a)はフィルムキャリア2のリード3を、IC
チップ1上のバンプ4にILBを行った断面図である。FIG. 3(a) shows the lead 3 of the film carrier 2 connected to the IC
3 is a cross-sectional view of bumps 4 on chip 1 subjected to ILB. FIG.
続いて、リード3をパッケージ5にOLBを行い。Next, lead 3 is subjected to OLB to package 5.
キャップを被せるが、第3図(b)はLSIチップがフ
ェイスダウンタイプの場合であり、第3図(C)はLS
Iチップがフェイスアップタイプの場合である。Figure 3 (b) shows the case where the LSI chip is a face-down type, and Figure 3 (C) shows the case where the LSI chip is a face-down type.
This is a case where the I-chip is a face-up type.
以上説明したように5本発明によれば、 ILB後のリ
ード変形の心配がないため、 ILBのボンデング条件
を強めにでき例えば金・錫接続では温度を320°Cか
ら350“Cへと上げられるので、接合性が向上する。As explained above, according to the present invention, there is no need to worry about lead deformation after ILB, so the ILB bonding conditions can be strengthened, and the temperature can be raised from 320°C to 350"C for gold-tin connections, for example. Therefore, bondability is improved.
また、パッケージのリード接続パターンとの位置合わせ
が容易となって2位置ずれ不良や接合不良が減少し、約
10%の歩留りアップとともに。In addition, alignment with the package lead connection pattern becomes easier, reducing two-position misalignment defects and bonding defects, and increasing yield by about 10%.
リード間の信頼性の向上が図られる。Reliability between leads can be improved.
第4図は従来例の説明図
である。
図において。
1はICチップ、 2はフィルムキャリアはコーナ
ーリード。
はパッケージ。
はキャップ
はヒートシンク。
4はリード
6はビン。
8はソルダー
lOはフィンFIG. 4 is an explanatory diagram of a conventional example. In fig. 1 is an IC chip, 2 is a film carrier with a corner lead. is a package. The cap is a heat sink. 4 is lead and 6 is bottle. 8 is solder lO is fin
Claims (1)
ムキャリアにおいて、 ICチップのコーナーの位置に相当するフィルムキャリ
ア上の相対するリードの幅がその他のリードの幅より太
くなっていることを特徴とするフィルムキャリア。 2)前記請求項1記載のフィルムキャリアを使用してマ
ウントすることを特徴とする半導体装置。[Claims] 1) A film carrier for tape automated bonding, characterized in that the width of opposing leads on the film carrier corresponding to the corner positions of the IC chip is wider than the width of other leads. film carrier. 2) A semiconductor device mounted using the film carrier according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2061554A JP2533216B2 (en) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | Film carrier and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2061554A JP2533216B2 (en) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | Film carrier and semiconductor device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH03263339A true JPH03263339A (en) | 1991-11-22 |
JP2533216B2 JP2533216B2 (en) | 1996-09-11 |
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ID=13174448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2061554A Expired - Fee Related JP2533216B2 (en) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | Film carrier and semiconductor device |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2533216B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0729941A (en) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Nec Corp | Carrier tape for tab type semiconductor device |
JP2010529673A (en) * | 2007-06-07 | 2010-08-26 | シリコン・ワークス・カンパニー・リミテッド | Pad layout structure of semiconductor chip |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2061554A patent/JP2533216B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0729941A (en) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Nec Corp | Carrier tape for tab type semiconductor device |
JP2010529673A (en) * | 2007-06-07 | 2010-08-26 | シリコン・ワークス・カンパニー・リミテッド | Pad layout structure of semiconductor chip |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2533216B2 (en) | 1996-09-11 |
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