JPH03263009A - 光軸アライメント装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザダイオードなどのビーム発光径が微小
な発光素子とマイクロフレネルレンズなどの光学素子と
をパッケージに実装する工程に先立って、発光素子の光
軸と光学素子の光軸とを正確に一致させるための光軸ア
ライメント装置に関する。

（従来の技術） このような発光素子と光学素子それぞれの光軸を一致さ
せるための光軸アライメント装置としては、発光素子を
発光素子用自動ステージに取り付ける一方、光学素子を
光学素子用自動ステージに取り付けておき、発光素子の
高輝度出射点像と、この発光素子の中心点像とをテレビ
カメラで撮影するととしに、それぞれの撮影画像をテレ
ビモニタに映し出し、そのテレビモニタに映し出されて
いる各撮影像が一致するように、各自動ステージをマニ
ュアル制御するものがある。

この先軸アライメント装置では、テレビモニタを目視確
認しながらの面倒で効率の悪いマニュアル操作が必要で
あること、各機がテレビカメラの撮影視野範囲外である
こともあり、このような場合では、その像が撮影視野内
に入るようにテレビカメラを調整する必要があるが、こ
れの調整作業がたいへんであるといった不具合がある。

そこで、本出願人は、かかる不具合を解消するために、
第５図に示すような光軸アライメント装置を、平成元年
１０月２６日付けで特願平１−２８０７２０号として出
願している。第５図は、その先軸アライメント装置の概
略構成図である。

第５図を参照して、発光素子用自動ステージｌは、変位
信号の入力に応答して、直交座標系の３方向であるＸ、
Ｙ、Ｘ方向およびＺ軸回りの回転方向であるθ方向に相
互に独立して変位可能に構成されており、その上部に発
光素子ホルダ２が取り付けられ、発光素子中ルダ２にビ
ーム発光径が微小なレーザダイオードなどの発光素子Ａ
を装着するようになっている。

発光素子用自動ステージ１の横に配置された光学素子用
自動ステージ３は、発光素子用自動ステージ１と同様に
、変位信号の入力に応答して、Ｘ。

Ｙ、Ｘ方向およびθ方向に相互に独立して変位可能に構
成されており、その上部に光学素子ホルダ４が取り付け
られ、光学素子ホルダ４にマイクロフレネルレンズなど
の光学素子Ｂを装着するようになっている。

光学素子ホルダ４に装着された光学素子Ｂを挟んで、発
光素子ホルダ２に装着された発光素子Ａとは反対側に、
撮影部５か配置されている。この撮影部５は、ズーム倍
率の大きな電動ズームレンズ５ｂ２と精密アライメント
用テレビカメラ５ｂとから構成されている。

テレビカメラ５ｂを比較的広い撮影視野で撮影する粗ア
ライメント用として用いるときはこの電動ズームレンズ
５ｂ２を広角モードにし、テレビカメラ５ｂを比較的狭
い撮影視野で撮影する精密アライメント用として用いる
ときはこの電動ズームレンズ５ｂ２を挟角モードにする
ようになっている。このテレビカメラ５ｂの光軸はＸ方
向に平行に固定されており、これを基準光軸Ｑとしてい
る。

光学素子用自動ステージ３とテレビカメラ５ｂとの間に
比較的面積の大きなスクリーン６が基準光軸Ｑに対して
垂直な姿勢で配置されている。発光素子Ａから光ビーム
の高輝度出射点像、およびこの光ビームが光学素子Ｂを
通過して得られる光学素子Ｂの像がスクリーン６に投影
さ杵るようになっており、スクリーン６上の像を裏側か
らテレビカメラ５ｂで撮影できるようになっている。

テレビカメラ５ｂが撮影した画像データは、画像処理部
７に導かれるようになっている。この画像処理部７は、
テレビカメラ５ｂか′撮影したスクリーン６上の６像の
画像データ（発光素子Ａの高輝度出射点像の画像データ
および光学素子Ｂの像の画像データ）を入力し、スクリ
ーン６上に広がった６像の中心点を抽出し、その中心点
データをマイクロコンピュータ８に出力するように構成
されている。

マイクロコンピュータ８は、次のように構成されている
。基準光軸ｇに対する高輝度出射点像の中心点のずれ方
向およびずれ量を演算し、あるいは、基準光軸ρに対す
る光学素子Ｂの投影像の中心点のずれ方向およびずれ量
を演算し、その演算結果に基づいてステージドライバ９
を介して発光素子用自動ステージ１または光学素子用自
動ステージ３に変位信号を与えて、これらを個別的に制
御するようになっている。

すなわち、光軸アライメントの初期段階においては、レ
ンズドライバ１０を駆動して電動ズームレンズ５ｂ２を
広角モードにしてテレビカメラ５ｂを粗アライメントモ
ードにしてその撮影視野を広げたうえで、高輝度出射点
像の中心点のずれ方向およびずれ量に対応したステージ
変位方向とステージ変位量とをステージドライバ９に与
えることにより、高輝度出射点像の中心点をテレビカメ
ラ５ｂの基準光軸Ｑに近付けたうえで、つぎに、レンズ
ドライバ夏０を駆動して電動ズームレンズ５ｂ２を挟角
モードにてテレビカメラ５ｂを精密アライメントモード
にしてその撮影視野を狭くしたうえで、画像処理部７に
、高輝度出射点像の中心点を抽出する動作を行わせて、
その高輝度出射点像の中心点のずれ方向およびずれ量に
対応したステージ変位方向とステージ変位量をステージ
ドライバ９に与えることにより、前記のずれ量がゼロ、
つまり、高輝度出射点像の中心点が基準光軸Ｑに一致す
るように発光素子用自動ステージｌを制御するようにな
っている。

さらに、高輝度出射点像の中心点が基準光軸ａに一致し
たのちに、精密アライメントモードにあるテレビカメラ
５ｂによる光学素子の投影像の中心点のずれ方向および
ずれ量にそれぞれ対応したステージ変位方向およびステ
ージ変位量をステージドライバ９に与えることによりそ
の投影像の中心点のずれ量をゼロにするように光学素子
用自動ステージ３を制御するようになっている。

以上のように、テレビカメラ５ｂと各自動ステージ１，
３との間で、発光素子Ａ、光学素子Ｂからの投影系と撮
影系、ならびに、画像処理部７、マイクロコンピュータ
８、ステージドライバ９、およびレンズドライバＩＯを
介してフィードバックループが形成されている。

この動作を第６図を参照して説明する。ステップＳｌに
おいては、ズームレンズ５ｂ２が挟角モードのときでテ
レビカメラ５ｂの撮影視野が狭い状態のとき（狭い撮影
視野のことをＶｎ）に、発光素子Ａの高輝度出射点像が
その狭撮影視野Ｖｎ内に入ったかどうかを判断する。光
軸アライメントか行われていない初期段階では、通常、
高輝度出射点像の中心点は基準光軸ρから相当にずれて
いて入っていないのでステップＳ２に進むが、入ってい
るときはステップＳ５に進む。

ステップＳ２においては、ズームレンズ５ｂ２を広角モ
ードにしてテレビカメラ５ｂの撮影視野を広く（この広
い撮影視野のことをＶｖという。）した状態で、高輝度
出射点像の中心点が基準光軸ａに対してずれている方向
および量を算出し、ステップＳ３でそのずれ方向および
ずれ量に応じたステージ変位方向とステージ変位量をス
テージドライバ９に与え、これによって、高輝度出射点
像の中心点がテレビカメラ５ｂの狭い撮影視野Ｖｎに向
けて近付くように発光素子用自動ステージｌを制御する
。

ステップＳ４で、高輝度出射点像の中心点が狭い撮影視
野Ｖｎに入ったかどうかを判断し、入っていない場合は
入るまでステップＳ２→Ｓ３−５４の動作を繰り返す。

狭い撮影視野Ｖｎ内に入るとステップＳ５に進んで、基
準光軸ａに対する狭い撮影視野Ｖｎでの高輝度出射点像
の中心点のずれ方向およびずれ量に応じたステージ変位
方向とステージ変位量をステージドライバ９に与え、こ
れによって、高輝度出射点像の中心点が基準光軸Ｑに接
近するように発光素子用自動ステージｌを制御する。

ステップＳ７で高輝度出射点像の中心点の基準光軸ｇに
対するずれ量がゼロになったかどうかを判断し、なって
いない場合にはゼロになるまでステップ５５−Ｓ６−Ｓ
７の動作を繰り返す。

そのずれ量がゼロになると、ステップＳ８に進んで、狭
い撮影視野Ｖｎでの光学素子投影像の中心点の基準光軸
Ｃに対するずれ方向およびずれ量を算出し、ステップＳ
９でそれに応じたステージ変位方向およびステージ変位
量をステージドライバ９に与え、これによって、光学素
子投影像の中心点が基準光軸Ｑに接近するように光学素
子用自動ステージ３を制御する。

ステップＳＩＯで光学素子投影像の中心点と基準光軸Ｃ
との間のずれ量がゼロになったかどうかを判断し、なっ
ていない場合にはゼロになるまでステップＳ８→Ｓ９→
ＳＩＯの動作を繰り返す。

ゼロになると一連の動作を終了する。

（発明が解決しようとする課題） ところで、第５図の光軸アライメント装置においては、
上述の光軸アライメントに先立って、発光素子の出力光
の光量をあらかじめ設定値に設定しておかないと、次の
不都合がある。

すなわち、この先袖アライメントにおいては、レーザダ
イオードなどの発光素子の出力パワーを制御する回路が
付いていないために、同一の電源で発光素子を駆動して
も、この発光素子からどれだけのパワーの光出力が出力
されるかは分からない段階である。

このような段階で発光素子の光出力が極端に大きくなっ
ていると、テレビカメラに直接、その大きなパワーの光
出力があたると、そのテレビカメラが破壊してしまうこ
とがある。

また、光軸アライメントのため、テレビカメラで発光素
子の高輝度出射点像の中心点を検出するのであるが、こ
の中心点の検出は、該中心点が他の部分よりも輝度が大
きくなっていることを用いている。ところが、発光素子
の光出力のパワーが設定値を越えて大きくなっていると
、テレビカメラては、発光素子の高輝度出射点像の中心
点が最高輝度にはならず、その周辺部分の広い領域にわ
たって最高輝度の部分が発生してしまって、該中心点の
検出ができなくなる。これでは、光軸アライメントがで
きないことになる。

そこで、これまでは、発光素子用自動ステージに発光素
子を取り付ける前に、該発光素子を他の光出力測定手段
で測定し、その測定結果から、その発光素子の駆動電源
の大きさを決定し、これによって、発光素子用自動ステ
ージに発光素子を取り付けてそれを駆動していた。

しかしながら、このような方式では、発光素子毎に光出
力測定、駆動電源の大きさの決定、発光素子の発光素子
用自動ステージへの取り付け、といった労力と時間とが
かかる作業が必要となるという不具合があった。

したがって、本発明においては、発光素子とテレビカメ
ラのような撮影部との間に、光透過率可変フィルタと出
力光測定センサとを介在させて、発光素子の光出力が大
きくても、撮影部にあたる光出力の大きさを出力光測定
センサて測定し、その測定値に基づいて撮影部に対する
光出力の大きさを光透過率可変フィルタで調節できるよ
うにして、テレビカメラのような撮影部に不具合をもた
らしたり、あるいは、高輝度出射点像の検出を正確にで
きるようにすることを目的としている。

（課題を解決するための手段） このような目的を達成するために、本発明の光軸アライ
メント装置においては、発光素子用自動ステージ、光学
素子用自動ステージ、撮影部、光透過早変換用自動ステ
ージ、出力光測定センサ用自動ステージ、および制御手
段を有したものであって、発光素子用自動ステージは、
出力光径が微小な発光素子を保持しており、かつ、変位
信号の入力に応答して任意の方向に変位可能なものであ
り、光学素子用自動ステージは、前記発光素子と対向し
た状態で光学素子を保持しており、かつ変位信号の入力
に応答して任意の方向に変位可能なものであり、撮影部
は、発光素子からの出力光に基づく高輝度出射点像と、
この出力光による光学素子の像とを撮影可能な位置に配
置されており、かつ、該撮影位置が基準光軸に一致する
ように固定されており、光透過早変換用自動ステージは
、光透過率か可変の光透過早可変フィルタを光学素子用
自動ステージと撮影部との間で保持しており、かつ、光
透過率可変信号の入力に応答して該光透過早可変フィル
タの光透過率を可変制御するものであり、出力光測定セ
ンサ用自動ステージは、出力光測定センサを光透過早可
変フィルタと撮影部との間で保持しており、かつ、変位
信号の入力に応答して変位可能なものであり、該出力光
測定センサは、光透過率可変うイルタを介する発光素子
の出力光の光量を測定出力するものであり、 そして、制御手段は、撮影部の出力に基づき前記各機の
基準光軸からのずれに関する画像データを得るとともに
、この画像データから前記各機の中心点が基準光軸に一
致するように前記発光素子用自動ステージと光学素子用
自動ステージとを変位制御する変位信号を出力するもの
であり、かつ、出力光測定センサ出力に基づき、前記光
透過率を小さい方から大きくしていって、前記撮影部に
対する出力光の光量を設定値に設定するような光透過率
可変信号を光透過早変換用自動ステージに対して出力す
るものであることを特徴としている。

（作用） 制御手段は、光透過早可変フィルタの光透過率を、最初
は小さくするような光透過率可変信号を光透過早変換用
自動ステージに出力するとともに、出力光測定センサ用
自動ステージに変位信号を出力して該自動ステージを駆
動して出力光測定センサを出力光の測定位置上に変位さ
せる。

これによって、光透過早変換用自動ステージは、光透過
早可変フィルタの光透過率を小さくすることで、発光素
子からの出力光は、光透過早可変フィルタでその光透過
率に合わせて減衰されて、撮影部にはその減衰にあった
光量の出力光が照射される。例えばその光透過率が０％
であれば、この撮影部への出力光の光量はゼロとなる。

そして、制御手段は光透過早可変フィルタの光透過率を
上げていくような光透過率可変信号を光透過早変換用自
動ステージに出力するとともに、出力光測定センサ出力
に基づき、出力光が設定値に到達したかどうかを検出す
る。

制御手段は、光透過早可変フィルタの光透過率かある値
のときに、出力光が設定値に到達したことを出力光測定
センサから検出したときに、出力光測定センサ用自動ス
テージに変位信号を出力して該自動ステージを変位させ
て、該出力光の測定位置から出力光測定センサが退避す
るように該自動ステージを変位させる。そして、これ以
降、制御手段は、発光素子用自動ステージと光学素子用
自動ステージとに、それぞれ、変位信号を出力してこれ
らを駆動して光軸アライメントを行う。

したがって、このような光軸アライメントにおいては、
撮影部には発光素子からの出力光が極端に大きく照射さ
れるとか、その出力光による撮影部上での発光素子の高
輝度出射点像の飽和がなくなり、その高輝度出射点像の
中心点の基準光軸への一致制御が容易に可能となる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。

第１図は本発明の実施例に係る光軸アライメント装置の
概略構成図であり、第５図と対応する部分には同一の符
号を付し、同一の符号に係る部分についてのここでの詳
しい説明は省略する。

本実施例において特徴とする構成は、次の通りである。

すなわち、本実施例の光軸アライメント装置は、第５図
の従来例の構成に加えて、光透過早変換用自動ステージ
１３、光透過早可変フィルタ１４、出力光測定センサ用
自動ステージ１５、出力光測定センサ１６、および出力
光測定部１７を具備したことに特徴を有している。

光透過早変換用自動ステージ１３は、光透過早可変フィ
ルタ１４を保持しており、かつ、ステージドライバ１１
を介してマイクロコンピュータ１２から与えられる光透
過率可変信号の入力に応答して該光透過早可変フィルタ
１４の光透過率を可変制御するようになっている。この
光透過率可変フィルタ■４の構成および特性については
後述する。

出力光測定センサ用自動ステージ１５は、出力光測定セ
ンサ１６を保持しており、かつ、ステージドライバ１１
を介してマイクロコンピュータ１２から与えられる変位
信号の入力に応答して変位可能なようになっている。出
力光測定センサ１６は、光透過早可変フィルタ１４を介
する発光素子Ａの出力光の光量を測定出力することがで
きるものである。

マイクロコンピュータ１２は、制御手段として、前述の
従来例と同様に撮影部５の出力に基づき高輝度出射点像
と光学素子投影像それぞれの基準光軸Ｑからのずれに関
する画像データを得るとともに、この画像データから前
記各機の中心点が基準光軸Ｃに一致するように、発光素
子用自動ステージｌと光学素子用自動ステージ３とを変
位制御する変位信号を出力するものである。

マイクロコンピュータ１２はまた、出力光測定部１７を
介して入力された出力光測定センサ１６の出力に基づき
、発光素子Ａの出力光の光量を設定値にするための光透
過率可変信号を光透過早変換用自動ステージに対して出
力するものである。

第２図および第３図を参照して光透過早可変フィルタ１
４について説明する。

光透過早可変フィルタ１４の一例は、第２図（ａ）のよ
うに、回転孔１４ａに光透過早変換用自動ステージ１３
の回転駆動軸１３ａが挿入固定されており、かつ、この
回転孔１４ａを中心にして８個の光透過率可変部１４１
−１４８を有している。

各光透過率可変部１４１〜１４８はこの記載順序で光透
過率が大きくなるものであり、光透過率可変部１４１は
光透過率が０％、光透過率可変部Ｉ４８は光透過率が１
００％となる。途中の各先途中可変部１４２〜１４７は
、光透過率が０〜１００％の間で等分に変化するように
なっている。

光透過早可変フィルタ１４の他の一例は、第２図（ｂ）
のように、前記と同様の回転孔１４ａを有しているとと
もに、その回転孔１４ａを中心にして連続的に光透過率
が可変する光透過率可変部１４９を備えている。この光
透過率可変部１４９は、図示の１５０のところで、矢印
の反時計回り方向に光透過率か大きくなるものであり、
１５０の部分を境にして右側が光透過率が０％であり、
左側が光透過率が１００％であり、この０％から１００
％の間で矢印の反時計回り方向に進むにつれてその光透
過率が連続的に大きくなっていくようになっている。

光透過早可変フィルタ１４のさらに他の一例として、第
２図（Ｃ）のように、矩形状のもので光透過率が連続的
に図で右側から左側へ変化するもので構成してもよい。

この第２図（Ｃ）の光透過早可変フィルタＩ４では、光
透過早変換用自動ステージ１３の回転駆動軸１３ａに挿
入できないので、この第２図（ｃ）の場合では、光透過
早変換用自動ステージ１３でこれをスライド駆動するよ
うにするとよい。

いずれにしても、光透過早変換用自動ステージ１３は、
マイクロコンピュータ１２からの光透過率可変信号の入
力に応答して、第２図（ａ）とか第２図（ｂ）の光透過
早可変フィルタ１４の回転角を制御して、その光透過率
を第３図のように制御する。第３図の点線は、第２図（
ａ）の光透過早可変フィルタであり、実線は第２図（ｂ
）のそれである。

つぎに、動作をマイクロコンピュータ１２を中心にして
、かつ、第４図のフローチャートを参照して説明する。

この場合の説明は、第２図（ａ）の光透過早可変フィル
タ１４を代表例に挙げて行つ。

まず、ステップＳｌｌにおいて、ステージドライバ１１
を介して光透過率可変信号を光透過早変換用自動ステー
ジ１３に与えることで、その回転駆動軸１３ａを駆動し
、これによって、光透過早可変フィルタ１４の光透過率
可変部１４１を選択して光透過率が０％になるように設
定する。ついで、ステップＳ１２において、ステージド
ライバ１１を介して出力光測定センサ用自動ステージ】
６を駆動して出力光測定センサ１６を基準光軸Ｑ上に移
動させる。ステップ９１３においては、出力先測定セン
サ１６からの出力を出力光測定部１７を介して入力し、
該出力光の光量を測定する。

ステップＳ１４においは、その出力光の光量の測定値が
、あらかじめ設定した設定値に到達したかどうかの判断
を行い、この出力光測定値がその設定値に到達していな
いと判断したときは、ステップＳ１５において、ステー
ジドライバ１１を介して光透過早変換用自動ステージ１
３に光透過率可変信号を与え、これによって、光透過率
可変フィルタ１４の光透過率可変部を１４１から１４２
に可変し、ステップＳ１３に戻る。こうして、出力光測
定値が設定値に到達するまで、ステップＳ１３→Ｓ１４
→Ｓ１５の動作を繰り返し、光透過率可変部を１４２→
１４３というよう？こ選択していく。

そして、出力光測定値が設定値に到達すると、ステップ
Ｓ１６では、ステージドライバ１１を介して変位信号を
出力光測定センサ用自動ステージ１５に与え、これによ
って、出力光測定センサ１６を基準光軸ｅから元の位置
に退避移動させる。

そののちは、ステップＳ＋７、つまり、第６図のフロー
チャートにおけるステップ５ｌ−ＳＩＯで光軸アライメ
ントを行う。この先軸アライメントについては既に述べ
ているので、その説明は省略する。

このようにして、本実施例の光軸アライメント装置にお
いては、発光素子Ａの出力光が強くても、その出力光は
光透過率可変フィルタ１４でそれが有する光透過率に応
じて遮光されて減衰されたうえで、テレビカメラ５ｂに
照射されることになる結果、その出力光を小さな値から
設定値に到達させることができる。

（発明の効果） 以上説明したことから明らかなように本発明によれば、
発光素子からの出力光の光量を調節して撮影部に該出力
光を照射させるように、その光透過率可変フィルタを駆
動し、その出力光が小さい方から設定値に到達できるよ
うにしたから、レーザダイオードのような発光素子の出
力パワーの大きさが分からず、いきなり、大きな出力パ
ワーが撮影部に照射されてその撮影部が破壊されてしま
うとか、あるいは、その輝度の大きさで高輝度出射点像
の中心点の画像データを得る場合に、その高輝度出射点
像の周辺部分の輝度が、その中心点の輝度に等しくなっ
て飽和し、前記画像データと周辺部分の画像データとの
判別ができなくなるようなことがなくなり、該中心点の
画像データから光軸アライメントを正確に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明に係り、第１図は本発明の
実施例に係る光軸アライメント装置の概略構成図、第２
図は光透過率可変フィルタの各側を示す図、第３図は光
透過率可変フィルタの特性を示す図、第４図は動作説明
に供するフローチャートである。 第５図は従来例の光軸アライメント装置の概略構成図、
第６図は実施例と従来例の動作説明に供するフローチャ
ートである。 ｌ・・・発光素子用自動ステージ、３・・・光学素子用
自動ステージ、Ａ・・発光素子、Ｂ・・・光学素子、５
撮影部、１２・・・マイクロコンピュータ、１３光透過
率変換用自動ステージ、１４・・・光透過率可変フィル
タ、１５・・・出力光測定センサ用自動ステーン、１６
・・・出力光測定センサ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］発光素子用自動ステージ（１）、光学素子用自動
   ステージ（３）、撮影部（５）、光透過率変換用自動ス
   テージ（１３）、出力光測定センサ用自動ステージ（１
   ５）、および制御手段（１２）を有したものであって、 発光素子用自動ステージ（１）は、出力光径が微小な発
   光素子（Ａ）を保持しており、かつ、変位信号の入力に
   応答して任意の方向に変位可能なものであり、 光学素子用自動ステージ（３）は、前記発光素子（Ａ）
   と対向した状態で光学素子（Ｂ）を保持しており、かつ
   変位信号の入力に応答して任意の方向に変位可能なもの
   であり、 撮影部（５）は、発光素子（Ａ）からの出力光に基づく
   高輝度出射点像と、この出力光による光学素子（Ｂ）の
   像とを撮影可能な位置に配置されており、かつ、該撮影
   位置が基準光軸（ｌ）に一致するように固定されており
   、 光透過率変換用自動ステージ（１３）は、光透過率が可
   変の光透過率可変フィルタ（１４）を光学素子用自動ス
   テージ（３）と撮影部（５）との間で保持しており、か
   つ、光透過率可変信号の入力に応答して該光透過率可変
   フィルタ（１４）の光透過率を可変制御するものであり
   、 出力光測定センサ用自動ステージ（１５）は、出力光測
   定センサ（１６）を光透過率可変フィルタ（１４）と撮
   影部（５）との間で保持しており、かつ、変位信号の入
   力に応答して変位可能なものであり、該出力光測定セン
   サ（１６）は、光透過率可変フィルタ（１４）を介する
   発光素子（Ａ）の出力光の光量を測定出力するものであ
   り、制御手段（１２）は、撮影部（５）の出力に基づき
   前記各像の基準光軸（ｌ）からのずれに関する画像デー
   タを得るとともに、この画像データから前記各像の中心
   点が基準光軸（ｌ）に一致するように前記発光素子用自
   動ステージ（１）と光学素子用自動ステージ（３）とを
   変位制御する変位信号を出力するものであり、かつ、出
   力光測定センサ（１６）出力に基づき、前記光透過率を
   小さい方から大きくしていって前記撮影部（５）に対す
   る出力光の光量を設定値にするような光透過率可変信号
   を光透過率変換用自動ステージ（１５）に対して出力す
   るものである ことを特徴とする光軸アライメント装置。