JPH0326039U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0326039U JPH0326039U JP8637289U JP8637289U JPH0326039U JP H0326039 U JPH0326039 U JP H0326039U JP 8637289 U JP8637289 U JP 8637289U JP 8637289 U JP8637289 U JP 8637289U JP H0326039 U JPH0326039 U JP H0326039U
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- Japan
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- ion
- ion extraction
- emitter
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- power source
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- Granted
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の実施例に係り、
第１図はイオン源の構成図、第２図はエミツタ部
の他の構成を示す断面図である。第３図は従来の
液体金属イオン源の構成図である。 １……イオン源、２……エミツタ部、１２……
加熱用電源、１４……電源スイツチ、１６……ガ
スチエンバ、１６ａ……イオン引出電極部、１６
ｂ……隔壁部、１８……ガス導入管、２２……イ
オン引出用電源。
第１図はイオン源の構成図、第２図はエミツタ部
の他の構成を示す断面図である。第３図は従来の
液体金属イオン源の構成図である。 １……イオン源、２……エミツタ部、１２……
加熱用電源、１４……電源スイツチ、１６……ガ
スチエンバ、１６ａ……イオン引出電極部、１６
ｂ……隔壁部、１８……ガス導入管、２２……イ
オン引出用電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 液体金属が垂下されるエミツタ部と、このエミ
ツタ部の加熱用電源と、前記エミツタ部に対向配
置されたイオン引出電極部と、このイオン引出電
極部と前記エミツタ部との間にイオン引出用の電
圧を印加するイオン引出用電源とを備えたイオン
源において、 前記イオン引出電極部から前記エミツタ部を囲
む隔壁部を延設してガスチエンバを構成し、かつ
、このガスチエンバの隔壁部を貫通して前記エミ
ツタ部近傍に開口するガス導入管を設ける一方、
液体金属とガスのイオン種の選択に応じて前記加
熱用電源をオン・オフする電源スイツチを設けた
ことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989086372U JPH0722842Y2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989086372U JPH0722842Y2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0326039U true JPH0326039U (ja) | 1991-03-18 |
| JPH0722842Y2 JPH0722842Y2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=31635897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989086372U Expired - Lifetime JPH0722842Y2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722842Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57151849U (ja) * | 1981-03-18 | 1982-09-24 | ||
| JPS63216248A (ja) * | 1987-03-03 | 1988-09-08 | Jeol Ltd | ガスフエ−ズイオン源 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1989086372U patent/JPH0722842Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57151849U (ja) * | 1981-03-18 | 1982-09-24 | ||
| JPS63216248A (ja) * | 1987-03-03 | 1988-09-08 | Jeol Ltd | ガスフエ−ズイオン源 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0722842Y2 (ja) | 1995-05-24 |