JPS6416051U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6416051U JPS6416051U JP11018887U JP11018887U JPS6416051U JP S6416051 U JPS6416051 U JP S6416051U JP 11018887 U JP11018887 U JP 11018887U JP 11018887 U JP11018887 U JP 11018887U JP S6416051 U JPS6416051 U JP S6416051U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- chamber
- oven
- container
- source chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図、第2図は本考案の実施例を示す。第3
図は、従来技術によるモデル的なイオン源を示す
。 1……イオン源室、2……金属蒸気導入管、3
……オーブンチヤンバー、4……オーブン容器、
5……加熱機構、6……固体金属、7……オーブ
ンチヤンバーの蓋、8……オーブン容器の蓋、9
……支持柱、10……接続部、11……磁石。
図は、従来技術によるモデル的なイオン源を示す
。 1……イオン源室、2……金属蒸気導入管、3
……オーブンチヤンバー、4……オーブン容器、
5……加熱機構、6……固体金属、7……オーブ
ンチヤンバーの蓋、8……オーブン容器の蓋、9
……支持柱、10……接続部、11……磁石。
Claims (1)
- イオン源室とオーブンチヤンバーを連結してな
るイオン源において、イオン源室の上側にオーブ
ンチヤンバーのオーブン容器を配置し、前記オー
ブン容器よりの金属蒸気導入管をイオン源室の上
壁の内側に導いたことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11018887U JPS6416051U (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11018887U JPS6416051U (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6416051U true JPS6416051U (ja) | 1989-01-26 |
Family
ID=31347117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11018887U Pending JPS6416051U (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6416051U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60235346A (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-22 | Mitsubishi Electric Corp | イオンビ−ム発生装置 |
-
1987
- 1987-07-17 JP JP11018887U patent/JPS6416051U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60235346A (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-22 | Mitsubishi Electric Corp | イオンビ−ム発生装置 |