JPH03259150A - 感光性組成物 - Google Patents

感光性組成物

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JPH03259150A
JPH03259150A JP5738690A JP5738690A JPH03259150A JP H03259150 A JPH03259150 A JP H03259150A JP 5738690 A JP5738690 A JP 5738690A JP 5738690 A JP5738690 A JP 5738690A JP H03259150 A JPH03259150 A JP H03259150A
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JP
Japan
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muconic acid
polymer
acid
photosensitive composition
photosensitive
Prior art date
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Pending
Application number
JP5738690A
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English (en)
Inventor
Tatatomi Nishikubo
忠臣 西久保
Tameichi Ochiai
落合 為一
Noriaki Takahashi
徳明 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Kasei Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 木1発明は感光性組成物に係り、詳しくは、新規感光性
ポリマーを含有する高特性感光性組成物に関する。
[従来の技術] 従来、感光性組成物はレジスト材料、画像形成材料、塗
料などに用いられており、感光性組成物を構成する感光
性基どしては、ジアゾ化合物、ギノンジアジド化合物、
光ラジカル重合性化合物、アジド化合物、ケイ皮酸化合
物、重クロム酸塩光酸発生剤などが知られCいる。
[発明が解決しようとする課題] 感光性1月酸物に要求される特性とし2.C5■ 組成
物溶液としての安定性 ■ 光硬化物の#f溶剤性 ■ 露光時における高速光反応性 などが挙げられるが、−1記感光性基より構成される従
来の!感光性組成物ては、これらの要求特性か」分に満
足されておらず、組成物溶液か不安定である、光硬化物
の耐溶剤性に劣る、露光時におりる空気中酸素による光
反応速度の減少などの点で欠点があった。このため、従
来、上記■−■の特性を満足する高特性感光性組成物の
出現が強く望まれていた。
本発明は上記従来の問題点を解決し、ト記■〜■のいず
れの特性をも十分に満足する新規感光性組成物を提供す
ることを目的とする。
[課題を解決するための手段及び作用]請求項(1)の
感光性組成物は、ムコン酸から誘導される単位を構成成
分として有するポリマーを含有することを特徴とする 請求項(2)の感光性組成物は、 ■ ムコン酸から誘導される単位を構成成分として有す
るポリマー ■ 光増感剤 及び ■ 塗布溶剤 を含有することを特徴とする。
即ち、本発明者らは、従来の感光性組成物の欠点を解決
すべく検意検討を重ねた結果、ムコン酸から誘導される
単位を構成成分として含有するポリマー(以下、「ムコ
ン酸ポリマー」と略す。)が感光性を有すること、及び
、ムコン酸ポリマーを有する感光性組成物が前記■〜■
の特性に著しく優れることを見出し、本発明を完成させ
た。
以下に本発明の詳細な説明する。
本発明に用いられるムコン酸ポリマーとは、ポリマー中
に下記構造式(1)で表されるムコン酸から誘導される
単位を構成成分として含有するポリマーである。
本発明に係るムコン酸ポリマーの原料物質となるムコン
酸には、cis−cis、cis−trans及びtr
ans−transの3種類の異性体が存在するが本発
明においてはいずれの異性体を出発原料として用いても
構わない。即ち、cis体とtrans体の混合で用い
ることもできるし、実質的に1種類の異性体例えばci
s−cis体のみで用いても良い。また、本発明に係る
ムコン酸ポリマーは上記構造式(I)で示される単位を
構成成分として有するものであれば良く、このような構
成成分を主鎖に有していても側鎖に有していても良い。
本発明において特に好ましいムコン酸ポリマーとしては
、ムコン酸とジオール、ジアミン、ジェポキシ又はジイ
ソシアネート等とを反応させて得られるポリマー、或い
は、ムコン酸のカルボキシル基の一方に例えばエステル
基、アミド基などを導入したものを、他方の酸基で他の
ポリマーに反応させて側鎖に導入したポリマーなどが挙
げられる。
本発明において、ムコン酸とは、ムコン酸のみならずム
コン酸誘導体、例えばムコン酸ジエステル、ムコン酸ク
ロライド等をも含み、従って、本発明に係るムコン酸ポ
リマーには、例えばジエステルとジアルコール化合物と
のエステル交換反応で得られるムコン酸ポリエステル、
ムコン酸クロライドとジアミン化合物との反応により得
られるムコン酸ポリアミドなども含まれる。
また、ムコン酸ポリマーは分子中にカルボキシル基、ス
ルホン酸基などを導入させて、アルカリ水可溶型のフォ
トポリマーとして使用することもできる。その他用途に
応じたポリマーの修飾も前記構造式(1)を分子中に有
する範囲で可能である。
なお、上記ムコン酸ポリマーのうち、ムコン酸ポリアミ
ドは、例えばムコン酸ジクロライトのクロロホルム溶液
をヘキサメチレンジアミン、1.4−フェニレンジアミ
ン、ピペラジン等のジアミン化合物と水酸化ナトリウム
よりなる水溶液中に激しく攪拌しながら滴下する界面重
縮合て得ることができる。その他、ジアミン化合物とト
リエチルアミン等の有機三級アミンのDMF (ジメチ
ルホルムアミド)溶液を低温でムコン酸ジクロライドの
DMF溶液に滴下後攪拌する溶液重縮合でも得ることが
できる。
また、ムコン酸ポリエステルは、例えば、ムコン酸ジエ
チルとエチレングリコール、プロピレングリコール、ヒ
ドロキノン等のジオール化合物の過剰量とでエステル交
換反応を行ない、その後減圧下で過剰のジオール化合物
を留去しながら分子量を大きくしていく方法で得ること
ができる。その他、ジオールの代りにC1−X−(12
(ここでXはアルキレン基などの2価の有機基を示す。
)で表わされる化合物を用いてムコン酸と反応させるこ
とも可能である。
本発明に係るムコン酸ポリマーの分子量は、いわゆるオ
リゴマーから重量平均分子呈100万以−1−の範囲の
ものまで任意である1、一般には、ムコン酸ポリ′・“
−の分子量の増加とともにその感度イ)上昇するか、反
面、ゲル化し易くなフたり、溶解性が低1したりするな
どの不具合を生じる場合があるため、使用目的に応じて
適宜設定する。
本発明においては、−1−記ムコン酸ポリマーと共に、
光増感剤をイ3(用するのが好まI、・い。光増感剤と
し・では、〜般にケイ皮酸、フエ二し/ノジアタリレル
酸系ポリマーの増感剤として知られ゛〔いるものをすべ
て用いることができる。また1、三重項増感剤とし2で
称されるもの、光重合開始剤及び光重合開始剤系の分光
増感剤として知られているものを用いるごともできる。
光増感剤の具体例としでは、例λば、感光性高分−丁(
「機能性高分子シリーズ」)講談社)などに記載のもの
が挙げられる。」−記ムコン酸ポリマーに公知のケイ皮
酸基含有ポリマーに対する増感剤等の光増感剤を添加す
るごとにより、得られる感光性組成物の感度は渭し、く
土?する。
更に、本発明においでは上記ム:l :)酸ポリ?及び
必要に応じて光増感剤を塗布溶剤に□′溶解しで使用す
ることが好まし・い。!lF春溶剤としズは、適当な沸
点を持ち各成分を溶解又は分散し91Jるbのであれば
いずれも使用可能であるが、例えは、メチルコチルラト
ン、メチルイソブロビルシト)・、メチルイソブチルケ
トン、メチルセロソルブ、エチルセtilffソルブ、
プチルセロソルゾ、シクロへ八−ジノン、セロソルブア
セテ・−ト、ブチルセ0ソルブ:2“セテート、カルピ
トール、カルビト−ルアセア−1・、プロピレングリコ
ール千ツメチルニーアル、プロピレングリコール千ノエ
チルエーデル、ジプロピレングリコールモノメチルエー
テル、ジブ0ピレングリコール千ノエチルエーテル、ジ
ブロビL/ングリコール千ツメチルニーアルyセデート
、ジブロビレングリコールモノユチルエーテルアセテー
 ト、ソルベントナフサ、N−メチルピロリドン、乳酸
エチル、キシレ〕′、トルエン等が挙げられる。
■ムコン酸ポリマー、■光増感剤及び■塗布溶剤を含有
しC成る本発明の感光性組成物の成分配合割合は、■ム
コン酸ポリマー及び■光#1感剤を含有する実質的固形
分1.7刻し、G)ムコン酸ポリマー 60〜99.9
重量%、■光増感剤0.1〜20重量%、好ましくは0
.5〜5重量%の範囲であることが望ましい。しかして
、塗布溶剤は全組成物中10〜・90重量%、特に30
〜80重量%の範囲であることが好ましい。
なお、本発明の感光性組成物は、■ムコン酸ポリマー、
■光増感剤及び@塗布溶剤の他、必要に応じて、各種有
機系、又は無機系の化合物の適当量を混合して用いるこ
ともできる。例えば、熱重合禁止剤、着色剤、露光可視
画剤、難燃化剤、消泡剤、塗布性改良剤、紫外線吸収剤
、フィラーなどを配合しても良い。
本発明の感光性組成物は、例えばフォトレジスト、エツ
チングレジスト等の種々のフオトフアプリケー・シコン
用レジスト;PS版、しレキソ版。
樹脂凸版等の製版材料:ネームプレート1カラーブルー
フ等の画像形成材料:パッシベーション膜9 ソルダー
レジスト、導線保護膜等の絶縁旧H、U V塗料、UV
インキ、光硬化充填剤等どして幅広い分野に有効に用い
ることができる。
[゛灸施例] 以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するか
、本発明はその要旨を超えない限り以下の3F、施例に
限定されるものではない。
実施例1 水20ynj2に1.3−ジー4−ピペリシルプロパン
5mmoi及び水酸化ナトリウム10mmoflを溶解
させた。この溶7夜に30℃にで攪拌しなからムコン酸
ジクロライド5mmoj2をクロロポルム20m1に溶
かした溶液を徐々に滴下し、滴下終了後、2時間更に攪
拌した。反応終了後、透明は反応生成液をメタノールに
加えることにより白色固体を得た。この白色固体を乾燥
して下記(II)式で示す。ポリアミドを得た。
得られたポリアミドのm−クレゾール中にて0.5g/
d℃で測定した30℃における粘度はη、p、c== 
1 、 29であった。
上記ポリアミド2gをm−クレゾール40gに溶解し、
得られた感光液をリン酸中で陽極酸化皮膜を形成した砂
目量てアルミ板の上に約3μの厚さに塗布した。塗膜を
60℃で20分乾燥後、2kW超高圧水銀灯で3分間露
光した。m−クレゾールで現像すると21段ステップで
3段のネガ画像が得られ、解像性も充分であった。
実施例2 実施例1で得られたムコン酸ポリアミド2g及び下記(
III )式で示される化合物0.05gをm−クレゾ
ール40gに溶解して感光液を調製し、露光量を30秒
としたこと以外は実施例1と同様に評価を行なったとこ
ろ、21段ステップで4段ネガ画像が得られ、解像性も
充分であった。
実施例3 下記(TV)式で示されるポリニスチルを用いたこと以
外は、実施例2と同様に調液し、感光性を評価したとこ
ろ21段ステップで4段のネガ画像が得られた。
一→(:O(:H−C)1−CH−CH−COOCH2
C)I20Th−・・・(rV)実施例4 実施例2で調製した感光液をガラス板上にスピナーを用
いて3000rpmで塗布した。
!00,400,1600,6400mJ/ctr?で
得られた感光膜を露光し、UVスペクトルの変化を追フ
なところ、第1図に示すように、ムコン酸の光による分
解が観測された。第1図において、270mμのピーク
の上から順に未露光(■)、100mJ/cm”(■)
、400m J / c ff12(■) 、  16
00mJ/cm’ (■)。
6400mJ/cm”(■)露光に対応している。
なお、露光量はオーク製作所UV430AP1を用いて
測定した。
[発明の効果コ 以上詳述した通り、感光性組成物は、ムコン酸ポリマー
の優れた感光性を生かした新規な組成物であり、組成物
溶液としたの安定性、光硬化物の耐溶剤性、露光時にお
ける高速光反応性等の特性に優れることから、レジスト
材料、製版材料1画像形成材料等の光学材料への応用が
期待される。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例4の結果を示すUVスペクトル線図であ
る。 第1図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ムコン酸から誘導される単位を構成成分として有
    するポリマーを含有することを特徴とする感光性組成物
  2. (2)(a)ムコン酸から誘導される単位を構成成分と
    して有するポリマー (b)光増感剤 及び (c)塗布溶剤 を含有することを特徴とする感光性組成物。
JP5738690A 1990-03-08 1990-03-08 感光性組成物 Pending JPH03259150A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009203349A (ja) * 2008-02-28 2009-09-10 Fujifilm Corp フォトレジスト用化合物、フォトレジスト液、およびこれを用いるエッチング方法
US7709519B2 (en) 2004-06-04 2010-05-04 Astellas Pharma Inc. Benzimidazolylidene propane-1,3 dione derivative or salt thereof
US7960562B2 (en) 2005-03-31 2011-06-14 Astellas Pharma Inc. Propane-1,3-dione derivative or salt thereof

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