JP2676662B2 - 感光性ポリアミド組成物及び光硬化膜の形成法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この出願の第１の発明は、概略、
感光性芳香族ポリアミドと光重合開始剤とが一般式 Ｒ
−Ｏ−（Ｃ_２Ｈ_４−Ｏ−）ｎ−Ｒ（ｎは３〜４であり、
Ｒは低級アルキル基である。）で示されるポリエーテル
化合物を主として含有する有機溶媒中に、特定の濃度で
均一に溶解している感光性ポリアミド組成物（溶液組成
物）に係わるものである。

【０００２】この出願の第２の発明は、前記の感光性ポ
リアミド組成物（溶液組成物）を基材に塗布し乾燥して
感光性芳香族ポリアミドと光重合開始剤とを含有する感
光性組成物の薄膜（感光性薄膜）を形成し、その感光性
薄膜に光照射して、該感光性薄膜を光硬化させて光硬化
膜を形成する方法に係わるものである。

【０００３】この発明の感光性ポリアミド組成物（溶液
組成物）は、極めて保存安定性の優れた感光性ポリアミ
ドの溶液組成物であり、少ない露光量の光照射によって
容易に光硬化膜を形成することができる光感度の優れた
感光性薄膜を基材上に容易に形成することができる。

【０００４】また、この発明の感光性ポリアミド組成物
を使用する光硬化膜の形成法によれば、基材上に形成し
た『感光性芳香族ポリアミドと光重合開始剤とを含有す
る感光性薄膜』を（必要であればパターン状マスクを介
して）光照射して光硬化膜を形成させ、必要であれば、
現像液で該薄膜の未露光部分（未硬化部分）を除去する
現像操作を行うことによって、電子部材の絶縁保護膜
（オーバーコート膜）を形成したり、カラー撮像素子
や、カラーディスプレー等の微細色分解用のカラーフィ
ルターなどの着色パターン部材を製造することができ
る。

【０００５】

【従来技術の説明】従来、感光性ポリアミドは、特公平
３−１５９２９号公報、特公平２−５９１７０号公報、
特開昭６０−１２４６２４号公報などに示されているよ
うな種々の可溶性の感光性芳香族ポリアミドが知られて
おり、また、感光性ポリアミド組成物としては、感光性
芳香族ポリアミド、光重合性単量体、光重合開始剤、熱
重合防止剤およびＮ−メチル−２−ピロリドン、ジグラ
イム等の有機極性溶媒からなる樹脂液組成物が、特開昭
６１−３７８０８号公報において知られている。

【０００６】前記の公知の感光性芳香族ポリアミドは、
溶媒への溶解性が充分ではなかったり、溶媒中でゲル化
したり、その溶液組成物の長期保存安定性が劣るという
問題、あるいは、公知の感光性ポリアミドの溶液組成物
から形成された感光性薄膜を光硬化させるにはかなり多
くの露光量の光照射が必要となるという問題があり、実
用的には必ずしも満足すべきものではなく、特に、無機
充填剤、着色剤などの種々の添加剤と共に使用する場
合、高速で光硬化膜を連続的に形成する場合などには極
めて高い光感度が要求されることがあり、それらの場合
に光感度において必ずしも充分ではないことがあった。
このために、感光性ポリアミドについて、その光感度を
効果的に向上させる試みがなされているけれども、充分
に有効な実用的な手段がなかったのである。

【０００７】

【本発明が解決しようとする問題点】この発明は、感光
性芳香族ポリアミドが均一に溶解されていて容易にゲル
化することなく保存安定性に優れている溶液組成物を提
供すること、および、充分に高い光感度を示しうる『感
光性芳香族ポリアミドを主成分とする感光性薄膜』を容
易に形成できる感光性ポリアミド組成物（溶液組成物）
を提供することを目的とするものである。また、この発
明は、感光性ポリアミド組成物（溶液組成物）を使用し
て感光性薄膜を形成し、その感光性薄膜を少ない露光量
で光照射して、光硬化膜を容易に形成することができる
方法を提供することを目的としている。

【０００８】

【問題点を解決するための手段】この出願の第１の発明
は、感光性芳香族ポリアミドおよび光重合開始剤が、１
〜５０重量％の濃度で、一般式（Ｉ） Ｒ−Ｏ−（Ｃ_２
Ｈ_４−Ｏ−）_ｎ−Ｒ（但し、ｎは３〜４であり、Ｒは、
低級アルキル基である。）で示されるポリエーテル化合
物を５０重量％以上含有する有機溶媒中に、均一に溶解
していることを特徴とする感光性ポリアミド組成物に関
する。

【０００９】この出願の第２の発明は、前記の感光性ポ
リアミド組成物（溶液組成物）を、基材上に塗布し、乾
燥して、感光性芳香族ポリアミドと光重合開始剤とを含
有する感光性薄膜（乾燥膜）を形成し、その感光性薄膜
に光照射して、該感光性薄膜を光硬化させることを特徴
とする光硬化膜の形成法に関する。

【００１０】この発明の組成物において使用される感光
性芳香族ポリアミドとしては、特開昭６１−３７８０８
号公報などに記載されている炭素−炭素不飽和結合を有
する可溶性の感光性芳香族ポリアミドが、感光性能、耐
熱性などの点において、好適に挙げることができる。

【００１１】前記の感光性芳香族ポリアミドとしては、
例えば、下記一般式（ＩＩ）

【化１】 （但し、Ａｒ_１及びＡｒ_２はそれぞれ芳香族残基を示
し、Ａｒ_２は感光性基を有する芳香族残基を示す。）で
示される構成単位を４０〜１００モル％、特に５０〜１
００モル％、および、

【００１２】下記一般式（ＩＩＩ）

【化２】 （但し、Ａｒ_３はＡｒ_１と同じ芳香族残基であってもＡ
ｒ_１と異なる芳香族残基であってもよく、また、Ａｒ_４
はＡｒ_２以外の芳香族残基を示す。）で示される構成単
位を０〜６０モル％、特に０〜５０モル％の割合で有す
る耐熱性芳香族ポリアミドであることが好ましい。

【００１３】前記の感光性芳香族ポリアミドとしては、
一般式（ＩＩ）で示される構成単位のみからなる感光性
芳香族ポリアミドを４０重量％以上、特に５０重量％以
上と、一般式（ＩＩＩ）で示される構成単位のみからな
る芳香族ポリアミドを６０重量％未満、特に５０重量％
未満の割合で混合された芳香族ポリアミドの混合物であ
ってもよい。

【００１４】前記一般式（ＩＩ）及び（ＩＩＩ）におい
て、Ａｒ_１及びＡｒ_３で示される芳香族残基は、芳香族
ジカルボン酸類に基づく２価の芳香族残基が最適であ
り、前記芳香族ジカルボン酸類としては、例えば、テレ
フタル酸、イソフタル酸、４，４’−ジカルボキシビフ
ェニル、４，４’−ジカルボキシジフェニルメタン、
４，４’−ジカルボキシジフェニルエーテルなどの芳香
族ジカルボン酸、またはそれらの酸ハロゲン化物を挙げ
ることができる。芳香族ジカルボン酸類としては、芳香
族ジカルボン酸のハロゲン化物、特に芳香族ジカルボン
酸塩化物が最適である。

【００１５】また、前記一般式（ＩＩ）において、Ａｒ
_２で示される感光性基を有する芳香族残基は、「感光性
の炭素−炭素不飽和結合を有する有機基〔エチレン基、
アセチレン基、（メタ）アクリロイル基〕等の感光性基
を有する芳香族ジアミン」に基づく２価の芳香族残基が
最適である。

【００１６】そのような芳香族ジアミンとしては、例え
ば３，５−ジアミノ安息香酸エチル（メタ）アクリル酸
エステル、２，４−ジアミノ安息香酸エチル（メタ）ア
クリル酸エステル、３，５−ジアミノ安息香酸ジグリシ
ジル（メタ）アクリレートエステル、２，４−ジアミノ
安息香酸ジグリシジル（メタ）アクリレートエステル、
３，５−ジアミノ安息香酸ケイ皮酸エステル、２，４−
ジアミノ安息香酸ケイ皮酸エステル等の安息香酸エステ
ル類、３，５−ジアミノベンジル（メタ）アクリレー
ト、２，４−ジアミノベンジル（メタ）アクリレート等
のベンジル（メタ）アクリレート類、４−（メタ）アク
リルアミド−３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、
２−（メタ）アクリルアミド−３，４’−ジアミノジフ
ェニルエーテル、４−シンナムアミド−３，４’−ジア
ミノジフェニルエーテル、３，４’−ジ（メタ）アクリ
ルアミド−３’，４−ジアミノジフェニルエーテル、
３，４’−ジシンナムアミド−３’，４−ジアミノジフ
ェニルエーテル、４−メチル−２’−〔２−（メタ）ク
リロイルオキシエトキシカルボニル〕−３，４’−ジア
ミノジフェニルエーテル等のジフェニルエーテル類、
４，４’−ジアミノカルコン、３，３’−ジアミノカル
コン、３，４’−ジアミノカルコン、３’，４−ジアミ
ノカルコン等のカルコン類などを挙げることができる。

【００１７】また、一般式（ＩＩＩ）において、Ａｒ_４
で示される芳香族残基は、「感光性基を有していない芳
香族ジアミン」に基づく２価の芳香族残基である。前記
の感光性基を有していない芳香族ジアミンとしては、例
えば、（ｉ）３，５−ジアミノ安息香酸、パラフェニレ
ンジアミン、メタフェニレンジアミン、２，４−ジアミ
ノトルエンなどの１個のベンゼン環を有する芳香族ジア
ミン、（ｉｉ）４，４’−ジアミノジフェニルエーテ
ル、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ｏ−トリジ
ン、ｏ−トルイジンスルホン、４，４’−ジアミノベン
ゾフェノン等の２個のベンゼン環を有する芳香族ジアミ
ン、

【００１８】（ｉｉｉ）１，４−ビス（４−アミノフェ
ノキシ）ベンゼン、２，２−ビス（４−アミノフェノキ
シフェニル）プロパン、９，９−ビス（４−アミノフェ
ニル）−１０−アンスロン、１，５−ジアミノアントラ
キノン、１，４−ジアミノアントラキノン、１−ジメチ
ルアミノ−４−（３，５−ジアミノベンゾフェノン）−
ナフタレン等の３個以上のベンゼン環を有する芳香族ジ
アミンなどを挙げることができる。

【００１９】前記の感光性芳香族ポリアミドは、例え
ば、前述の芳香族ジカルボン酸類からなる酸成分と、前
述の感光性基を有する芳香族ジアミン及び前述の感光性
基を有していない芳香族ジアミンからなる芳香族ジアミ
ン成分とを、大略等モル使用して、有機極性溶媒中、８
０℃以下の反応温度で、１〜２０時間、重合反応を行う
ことにより製造される。

【００２０】前記の感光性芳香族ポリアミドにおいて、
一般式（ＩＩＩ）で示される構成単位の存在はポリアミ
ドの熱的性質を向上させる効果があるが、多くなり過ぎ
ると、ポリマー鎖中での感光性基の濃度が低くなり光感
度が低下するので、前記の割合の範囲内となるように適
宜調整することが好ましい。

【００２１】また、前記の感光性芳香族ポリアミドは、
該芳香族ポリアミドの濃度が０．５ｇ／１００ｍｌ；Ｎ
−メチル−２−ピロリドンである溶液を調製して、３０
℃の温度で測定した対数粘度が０．２〜３．５、特に
０．４〜２．５程度であることが好ましい。

【００２２】前記の感光性芳香族ポリアミドは、例え
ば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル
アセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチル
スルホキシド、ヘキサメチレンホスホルアミド、ジグラ
イム、トリグライム、テトラグライム、γ−ブチロラク
トンなどの有機極性溶媒に可溶性である。

【００２３】前記の感光性芳香族ポリアミドは、芳香族
ポリアミドを含有する溶液中に、メタクリル酸クロライ
ド、ケイ皮酸クロライド、酢酸クロライド、塩化ベンジ
ル、パラアジド塩化ベンゾイル等の反応性有機化合物を
添加し、約−５〜１００℃の温度で０．１〜５０時間、
反応させて、ポリアミドのアミド結合の水素原子を、ア
セチル基、メタクロイル基、シンナモイル基、パラアジ
ドベンゾイル基等の有機基へと置換反応させた変性ポリ
アミドであってもよい。

【００２４】この発明の組成物において使用される光重
合開始剤としては、例えば、ビスアジド化合物、ミヒラ
ーズケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエ
ーテル、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１，２−ベン
ゾ−９，１０−アントラキノン、ベンジル、アニシル、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ア
セトフェノン、ベンゾフェノン、１，５−アセナフテ
ン、チオキサントン又はその誘導体、アントラニル酸ジ
メチルアミノベンゾエート等の光重合開始剤を挙げるこ
とができる。

【００２５】前記の光重合開始剤として使用されるビス
アジド化合物としては、４，４’−ジアジドカルコン、
４，４’−ジアジドベンザルアセトン、２，６−ジ−
（４’−アジドベンザル）シクロヘキサノン、４，４’
−ジアジドスチルベン等を好適に挙げることができる。
また、光重合開始剤として使用される前記のチオキサン
トン類としては、２，４−ジエチルチオキサントン、２
−クロルチオキサントン等を挙げることができる。

【００２６】上記光重合開始剤の配合量は、前記感光性
芳香族ポリアミド１００重量部に対して、０．２〜４０
重量部、特に０．５〜３０重量部程度の割合となる量と
することが好ましい。前記の配合量が少な過ぎると、得
られる組成物の光感度が低くなり、また、多くなり過ぎ
ると得られる組成物から形成される光硬化膜の耐熱性が
低下することがある。

【００２７】この発明の感光性ポリアミド組成物（溶液
組成物）において使用する有機溶媒は、一般式（Ｉ）Ｒ
−Ｏ−（Ｃ_２Ｈ_４−Ｏ−）_ｎ−Ｒ（但し、ｎは３〜４の
範囲内、好ましくは３であり、そして、Ｒは、メチル
基、エチル基、プロピル基などの炭素数１〜４の低級ア
ルキル基、特にメチル基、エチル基である。）で示され
るポリエーテル化合物を、５０重量％以上、好ましくは
６０〜１００重量％含有する有機溶媒が好ましい。

【００２８】前記のポリエーテル化合物としては、沸点
が２００〜３００℃、特に２１０〜２８０℃程度である
ものが好ましく、特に、トリエチレングリコールジメチ
ルエーテル（トリグライム）、テトラエチレングリコー
ルジメチルエーテル（テトラグライム）などを好適に挙
げることができる。

【００２９】この発明の組成物において使用する有機溶
媒は、前記の一般式（Ｉ）で示されるポリエーテル化合
物と共に、沸点が前記のポリエーテル化合物の沸点より
１〜１００℃程度、特に１〜５０℃程度低く、しかも、
前記の感光性芳香族ポリアミドを、２５℃で、０．５〜
６重量％、特に１〜５重量％程度溶解することができる
他の可溶性有機溶媒を、有機溶媒の全量に対して４０重
量％以下、特に３５重量％以下程度併用することができ
る。

【００３０】前記の他の可溶性有機溶媒としては、例え
ば、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、Ｎ，Ｎ−
ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルア
セトアミド（ＤＭＡｃ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭ
ＳＯ）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（ジグ
ライム）、γ−ブチロラクトンなどの有機溶媒を挙げる
ことができる。

【００３１】また、この発明の組成物においては、前記
の感光性芳香族ポリアミドを実質的に溶解しないか、ま
たは、０．５重量％未満までしか溶解しないような貧溶
媒を、有機溶媒の全量に対して１０重量％以下、特に５
重量％程度以下であれば、前記一般式（Ｉ）で示される
ポリエーテル化合物および前記の他の可溶性有機溶媒と
共に併用することもできる。

【００３２】また、この発明の組成物は、種々の配合手
順で調製することができ、その溶液組成物の調製法が特
に限定されることはないが、例えば、感光性芳香族ポリ
アミドを前記のポリエーテル化合物を主成分とする有機
溶媒に均一に溶解した溶液を調製し、その溶液に光重合
開始剤などを添加することによって調製することが好ま
しい。

【００３３】この発明の組成物は、該感光性芳香族ポリ
アミド及び光重合開始剤の合計の濃度が２〜４０重量
％、特に５〜２０重量％程度であり、そして、その容液
の回転粘度（２５℃）が０．０５〜１０００ポイズ、特
に０．１〜５００ポイズ程度である溶液組成物が好まし
い。

【００３４】この発明の組成物には、必要に応じて、有
機顔料、ジカルボン酸化合物、界面活性剤などの添加剤
を加えてもよく、また、前記の感光性薄膜が支持体（基
材）と充分に密着させるためにシランカップリング剤な
どの結合促進剤を加えてもよい。

【００３５】また、この発明の組成物には、ハイドロキ
ノン、２，６−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール（Ｂ
ＨＴ）、メチルエーテルハイドロキノン、フェノチアジ
ン等の熱重合防止剤が配合されていてもよい。

【００３６】この発明の光硬化膜の形成法においては、
例えば、前述の感光性ポリアミド組成物（溶液組成物）
を基材上に０〜６０℃の温度で塗布し１８０℃以下の温
度で乾燥して、感光性薄膜（乾燥塗膜）を形成し、次い
で、その感光性薄膜上に（必要であればパターンマスク
を介して）超高圧水銀灯の平行光線を光照射して、該感
光性薄膜を（各パターン状に）光硬化し、その後、必要
であれば、現像溶液に浸漬させて、該感光性薄膜の未露
光部分（未硬化部分）を溶出させ除去する現像を行っ
て、光硬化膜を基材上に形成させるのである。

【００３７】前記の感光性ポリアミド組成物（溶液組成
物）を基材の表面へ塗布するには、例えば、回転塗布
法、ロールコート法、浸漬法、スプレー法等の方法によ
り行うことができる。前記の塗布膜の乾燥は、熱風乾燥
器、ホットプレートなどにより、１８０℃以下、特に５
０〜１５０℃の温度で１〜６０分間、特に２〜３０分間
程度行って、有機溶媒を実質的に除去して感光性薄膜を
形成することが好ましい。この乾燥の際には減圧状態で
行ってもよい。

【００３８】また、前記の感光性薄膜（乾燥後の皮膜）
の厚さは、通常、０．１〜１０．０μｍ、特に０．２〜
５．０μｍ程度であることが好ましい。前述のように、
パターン状マスクを介してに光照射されて光硬化した薄
膜（光硬化膜）が形成された基材を現像液に浸漬させ
て、感光性薄膜の未硬化部分を除去する『現像』を行う
場合には、該未硬化部分に超音波を作用させてもよい。

【００３９】上記の現像液としては、Ｎ，Ｎ−ジメチル
ホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチ
ルスルホキシド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ヘキサ
メチレンホスホルアミド、ジグライム、トリグライム、
シクロヘキサノン、γ−ブチルラクトン等の「感光性重
合体を溶解させることができる有機極性溶媒Ａ」からな
る現像液、或いは、これらの有機極性溶媒Ａとメタノー
ル、エタノール、エチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブ、エチルカルビトール、ブチルカルビトール等の「ア
ルコール性水酸基を有する有機溶媒Ｂ」との混合系の現
像液を用いることが好ましい。

【００４０】前記の混合系現像液においては、前記有機
極性溶媒Ａを１０〜５０重量％の配合割合、及び、アル
コール性水酸基を有する有機溶媒Ｂを５０〜９０重量％
の配合割合で含有していることが好ましい。前記混合系
現像液は、前記有機極性溶媒Ａの配合割合が余りに少な
くなり過ぎると感光性ポリアミド組成物の塗膜の未露光
部分が充分に溶解せずに着色パターンを確実に形成でき
ない場合があるので好ましくない。

【００４１】前述の現像後、パターン状に光硬化した光
硬化膜を、１，１，１−トリクロルエタン、エタノー
ル、イソプロピルアルコール、エチルカルビトール、水
など水酸基を有する溶媒によりリンスし、次いで、熱風
乾燥器、ホットプレート等により、約２５０℃以下、特
に２３０℃以下の温度で、１〜６０分間、特に２〜３０
分間、熱処理（ポストベーク）することが好ましい。

【００４２】この発明の光硬化膜の形成法においては、
例えば、洗剤等で充分に脱脂し乾燥した方形のガラスな
どの基板（一辺の長さ：約１０〜１５ｃｍ）上に、塗布
膜を乾燥した後の感光性薄膜の厚さが０．１〜１００μ
ｍ、特に０．５〜５０μｍとなるように、感光性ポリア
ミド組成物（溶液組成物）をスピンコートで塗布して
（コートして）塗布膜を形成し、約５０〜１５０℃、特
に６０〜１００℃の温度で、０．１〜５０分間、特に１
〜２０分間、乾燥させて、有機溶媒を実質的に除去し
て、乾燥された感光性薄膜を形成することが好ましい。

【００４３】次いで、前述のようにして形成された感光
性薄膜に、必要であれば４〜１００μｍまでのストライ
プパターンを有するパターンを介して、高圧水銀灯（５
ｍＷ／ｃｍ^２）で露光して、光硬化薄膜を形成し、必要
であれば、光硬化薄膜を有する基板を、前述のように、
現像溶液に浸漬すると共に、高い周波数の超音波を作用
させる現像操作を行って、未露光部分を実質的に除去し
て、光硬化膜（パターン状光硬化膜も含む）が形成され
ている基板を得ることができる。

【００４４】

【実施例】以下、炭素−炭素不飽和結合を有する感光性
芳香族ポリアミドの製造例およびこの発明の感光性ポリ
アミド組成物の調製例、ならびに、光硬化膜の形成法の
実施例を例示して、この発明をさらに詳しく説明する。

【００４５】参考例１ 〔感光性の芳香族ポリアミドの製造〕三ッ口フラスコに
乾燥した空気を通してフラスコ内のガスを置換した後、
３，５−ジアミノ安息香酸エチルメタクリル酸エステル
１１９．９８ｇを入れ、これにＮ−メチル−２−ピロリ
ドン（ＮＭＰ）７２０ミリリットルを加えて溶解させ
た。この溶液を冷却後、０℃に冷却し攪拌しながら、テ
レフタル酸ジクロライド９１．１６ｇを少しづつ加え
た。この際に発熱があり、溶液の温度が上昇するが、約
１０℃以下に維持した。この溶液を、さらに、氷水中
で、２時間攪拌し、重合反応を行った。

【００４６】次いで、反応液にＮＭＰ５００ミリリット
ルを加えて希釈した後、この溶液をＮＭＰ１リットルと
水１０リットルとの混合液に加えて芳香族ポリアミドを
析出させ、その析出物を濾過・回収し乾燥して芳香族ポ
リアミド白色粉末１６７．８ｇを得た。得られた感光性
芳香族ポリアミドの粉末の対数粘度（濃度；０．５ｇ／
１００ミリリットル溶媒、溶媒；ＮＭＰ、測定温度；３
０℃）は０．８８であった。

【００４７】実施例１ 〔感光性ポリアミド組成物（溶液組成物）の調製〕有機
溶媒としてのトリエチレングリコールジメチルエーテル
（トリグライム）７０ｇに、熱重合防止剤としてハイド
ロキノンモノメチルエーテル（ＭＥＨＱ）６０ｍｇを加
えて、均一に溶解させた溶液を調製し、次いで、その溶
液に、参考例１で製造した感光性芳香族ポリアミド（対
数粘度：０．８８）５ｇを加えて、充分に攪拌して、均
一に溶解させて粘稠な溶液を調製した。

【００４８】そして、前述のようにして調製した溶液
に、光重合開始剤としてジエチルチオキサントン２００
ｍｇ、ベンジル７５ｍｇ、ジメチルアミノ安息香酸エチ
ルエステル１５０ｍｇを加え、さらに、密着促進剤とし
てγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン２００
ｍｇを加えて攪拌し、最後に、その溶液を１μｍのフッ
素樹脂製のフィルター（テフロンフィルター）を用いて
加圧濾過し、２５℃の溶液粘度が２００センチポイズの
感光性芳香族ポリアミド組成物（溶液組成物）を調製し
た。この感光性芳香族ポリアミド組成物は、約１カ月
間、０〜５℃の温度に維持して保存したが、実質的に何
らの変質もなく安定に保存することができた。

【００４９】〔光硬化膜（パターン状）の形成〕感光性
芳香族ポリアミド組成物（溶液組成物）を、ガラス基板
上での乾燥膜の膜厚が２．０μｍになるように、該基板
上に回転塗布（スピンコート）して塗布膜を形成し、そ
して、その塗布膜を８０℃で１０分間乾燥して有機溶媒
を実質的に除去し、ガラス基板上に膜厚２．０μｍの感
光性薄膜（乾燥膜）を形成した。

【００５０】次いで、該感光性薄膜に対して、濃度差が
階段状に付けられた（グレーススケール：ｋｏｄａｋ
Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ Ｓｔｅｐ Ｔａｂｌｅ Ｎ
ｏ．２）を介して、超高圧水銀灯の光源で６０秒間で３
００ｍｊの露光量による光照射を窒素雰囲気下で行い、
該感光性薄膜を光硬化した。

【００５１】次いで、露光された薄膜が形成されている
基板を、γ−ブチロラクトン及びエチルセロソルブの混
合液（γ−ブチロラクトンとエチルセロゾルブとの容量
比が３０：７０である）からなる現像液に常温で浸漬す
ると同時に、１５Ｗの超音波（２７ＫＨｚの周波数）を
作用させながら、９０秒間、現像操作を行って光硬化膜
付き基板を形成した。（なお、前記感光性薄膜の未光硬
化部分は、６０秒間の前述の現像によって、現像液に溶
解し除去された。）

【００５２】その基板について、最後に、エチルセロソ
ルブでリンスし、その後、その基板を２００℃で３０分
間熱処理して、光硬化膜（厚さ２．０μｍ）が形成され
た基板を製造した。

【００５３】前述のようにして形成された光硬化膜につ
いて、残存膜厚と光照射された露光量を調べたところ、
１００％の残膜の必要な露光量は３０ｍｊでであった。

【００５４】実施例２〜６及び比較例１ 〔感光性ポリアミド組成物（溶液組成物）の調製〕有機
溶媒として、第１表に示す種類の混合溶媒などを使用し
たほかは、実施例１と同様にして、第１表に示す溶液粘
度（２５℃）の感光性芳香族ポリアミド組成物（溶液組
成物）を調製した。実施例２〜６において調整された各
感光性芳香族ポリアミド組成物は、約１カ月間、０〜５
℃の温度でそれぞれ保存したが、いずれも実質的に何ら
の変質もなく安定に保存することができた。

【００５５】〔光硬化膜の形成〕各感光性芳香族ポリア
ミド組成物（溶液組成物）を使用したほかは、実施例１
と同様にして、光硬化膜を基板上に形成した。前述のよ
うにして光硬化膜を形成する際の露光量を、第１表にそ
れぞれ示す。

【００５６】

【表１】

【００５７】比較例２ トリグライムの代わりにジグライムのみを用いたほか
は、実施例１と同様にして感光性芳香族ポリアミド組成
物を調整した。前記感光性芳香族ポリアミド組成物（溶
液組成物）を使用したほかは、実施例１と同様にして、
感光性薄膜（乾燥膜）を基板上に形成したが、溶液組成
物の塗布膜を高温で乾燥する際に感光性芳香族ポリアミ
ドが簡単にゲル化してしまい、乾燥膜上にパターン状の
光照射をしても未露光部分を除去する現像をすることが
できなかった。

【００５８】実施例７ 〔感光性ポリアミド組成物（緑色）の調製〕有機溶媒と
してトリグライム５０ｇ及びジグライム３０ｇからなる
混合溶媒を使用し、そして、参考例１で製造した感光性
芳香族ポリアミド５ｇ、緑色顔料であるフタロシアニン
グリーン２ｇ、光重合開始剤として、４，４’−ジアジ
ドカルコン２００ｍｇを使用したほかは、実施例１と同
様にして、緑色顔料が均一に分散している感光性ポリア
ミド組成物を調製した。

【００５９】〔緑色光硬化膜の形成〕前記の感光性ポリ
アミド組成物を使用したほかは、実施例１と同様にし
て、緑色光硬化膜（膜厚：１．５μｍ）が形成された基
板を作成した。その場合の８０％残膜の露光量は５０ｍ
ｊであった。

【００６０】比較例３ 〔感光性ポリアミド組成物（緑色）の調製〕トリグライ
ムの代わりに、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを使用した
ほかは、実施例７と同様にして緑色顔料が分散している
感光性ポリアミド組成物を調製した。

【００６１】〔緑色光硬化膜の形成〕その感光性ポリア
ミド組成物を使用したほかは、実施例７と同様にして、
緑色光硬化膜（膜厚：１．５μｍ）が形成された基板を
作成した。その場合の８０％残膜の露光量は１００ｍｊ
であった。

【００６２】

【発明の作用効果】この発明は、概略、感光性芳香族ポ
リアミドと光重合開始剤とが、トリグライムなどの特定
のポリエーテル化合物を主成分とする有機溶媒中に均一
に溶解している感光性ポリアミド組成物（溶液組成
物）、また、前記感光性ポリアミド組成物（溶液組成
物）を使用して感光性薄膜を形成し、光照射して光硬化
膜を形成する方法に係わる。この発明の感光性ポリアミ
ド組成物は、保存安定性が優れていると共に、容易に塗
布膜および乾燥膜（感光性薄膜）を形成することがで
き、また、その感光性薄膜は、少ない露光量で光硬化膜
を形成することができる優れた光感度を有するものであ
る。

【００６３】この発明の感光性ポリアミド組成物は、そ
の組成物の塗膜（皮膜）を基材上に形成し、その乾燥膜
上に少ない露光量で光照射してパターン状に光硬化さ
せ、最後に、現像液で該塗膜の未露光部分（未硬化部
分）を除去する現像操作を行うことによって、光硬化膜
（着色光硬化膜も含む）を形成することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−1141（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−242254（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−37808（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−12123（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−180993（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】感光性芳香族ポリアミドおよび光重合開始
   剤が、１〜５０重量％の濃度で、一般式（Ｉ） Ｒ−Ｏ
   −（Ｃ_２Ｈ_４−Ｏ−）ｎ−Ｒ（ただし、ｎは３〜４であ
   り、Ｒは、低級アルキル基である。）で示されるポリエ
   ーテル化合物を５０重量％以上含有する有機溶媒中に均
   一に溶解していることを特徴とする感光性ポリアミド組
   成物。
2. 【請求項２】感光性芳香族ポリアミドおよび光重合開始
   剤が、１〜５０重量％の濃度で、一般式（Ｉ） Ｒ−Ｏ
   −（Ｃ_２Ｈ_４−Ｏ−）ｎ−Ｒ（ただし、ｎは３〜４であ
   り、Ｒは、低級アルキル基である。）で示されるポリエ
   ーテル化合物を５０重量％以上含有する有機溶媒中に均
   一に溶解している感光性ポリアミド組成物を、基材上に
   塗布し、乾燥して、感光性芳香族ポリアミドと光重合開
   始剤とを含有する感光性薄膜を形成し、その感光性薄膜
   に光照射して、該感光性薄膜を光硬化させることを特徴
   とする光硬化膜の形成法。