JPH03256667A - 磁気ヘッド研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 浮上型の磁気ヘッド等の製造時にそのスライダーの浮上
レール面をラッピングする研磨装置に関し、 生産性及び品質の向上を目的とし、 駆動手段により回転駆動される回転定盤と、該回転定盤
の上で自由回転可能で且つ着脱自在に設けられた研磨用
ホルダーとよりなり、該研磨用ボルダ−は研磨すべき複
数個の磁気ヘッドスライダ−の位置を決める位置決め手
段を有し、且つ該磁気ヘッドスライダ−を真空吸着する
小孔を有する柔軟な部材と、該柔軟部材を介して磁気ヘ
ッドスライダ−を押圧し、且つ前記柔軟部材の小孔に真
空を供給する通路を有し、且つ該真空通路に一端を接続
し、他端に真空パイプが接続された回転管接手が設けら
れた押圧部材とを具備して成るように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は浮上型磁気ヘッド等の製造時にそのスライダー
の浮上レール面をラッピングする研磨装置に関する。

磁気ディスク装置は近年高記録密度化が進み、磁気ヘッ
ドの浮上量は近年０．１５Ｉａ付近まで低下して来てい
る。この浮上量の低下に対応するため、磁気ヘッドの媒
体対向面には現在、平面度が０．０５−以下の高度の平
面性が求められ、この加工のために微小なダイヤモンド
粒子によるラッピングが行なわれているが、現在この作
業の高能率化が課題となっている。

〔従来の技術〕

従来の浮上型磁気ヘッドの製造方法を第３図に示す。こ
の製造方法は、先ず同図（ａ）に示すように、Ａｌ２Ｏ
３・ＴｉＣで形成されたセラミック基板１にヨーク２及
びコイル３からなる多数の磁気ヘッド素子を薄膜法によ
り形成し、これを−点鎖線で示すように棒状に切り出し
、この複数個のヘッド素子を有する棒状体を同図（ｂ）
に示すように研磨加工によりスライダー４を形成した後
、点鎖線で示す位置で切断分離して同図（Ｃ）の如く、
各個の磁気へラド５とし、その後、この切断によって生
じた浮上レール面４ａの歪を修正するため１個１個につ
いてそのスライダー面４ａをハンドラツブしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来の磁気ヘッドの製造方法では、そのハンドラツ
ブ作業は、元来熟練を要する個人作業であるため、能率
が悪く、仕上りにばらつきが生ずるという問題がある。

また磁気ヘッドは近年、小型化が進み、それに伴ってハ
ンドラツブ作業が益々困難となり、作業の機械化に対す
る要求が強くなっている。

本発明は上記従来の問題点に鑑み、生産性及び品質の向
上を可能とした磁気ヘッドの研磨装置を提供することを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために本発明の磁気ヘッドの研磨装
置では、駆動手段により回転駆動される回転定盤１０と
、該回転定盤１０の上で自由回転可能で且つ着脱自在に
設けられた研磨用ホルダー１１とよりなり、該研磨用ホ
ルダー１１は研磨すべき複数個の磁気ヘッドスライダ−
１４の位置を決める位置決め手段を有し、且つ該磁気ヘ
ッドスライダ−１４を真空吸着する小孔１８を有する柔
軟な部材１３と、該柔軟部材１３を介して磁気ヘッドス
ライダ−１４を押圧し、且つ前記柔軟部材１３の小孔１
８に真空を供給する通路１９を有し、且つ該真空通路１
９に一端を接続し他端に真空バイブ２０が接続された回
転管接手１６が設けられた押圧部材１５とを具備して成
ることを特徴とする。

〔作　用〕

研磨用ホルダー１１は研磨すべき磁気ヘッドスライダ−
１４を位置決めし、真空吸着して保持できるため、回転
定盤１０にセットする前に磁気ヘッドスライダ−１４を
保持したまま自由に持ち運びができる。また研磨時の加
圧は柔軟部材１３を介して加重が加えられるので複数の
磁気ヘッドスライダ−１４には平均した加圧力が加えら
れる。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例を示す図であり、（ａ）は縦断
面図、（ｂ）はａ図のｂ−ｂ線における断面図である。

同図において、１０は回転定盤であり、１１は該回転定
盤の上に該回転定盤１０の回転中心軸１２に対して偏心
して自由回転できるように載置された研磨用ホルダーで
ある。この該研磨用ホルダー１１は、ゴム等で形成され
た円板状の柔軟部材１３と、該柔軟部材１３を介して磁
気ヘッドスライダ−１４を押圧する押圧部材１５と、該
押圧部材１５の上部中央に設けられた真空パイプ用の回
転管接手１６とよりなり、前記柔軟部材１３は多数の磁
気ヘッドスライダ−１４を位置決めする手段としての凹
部１７が形成され、且つ該凹部１７に収容された磁気ヘ
ッドスライダー１４をそれぞれ真空吸引するための小孔
１８が形成されている。また押圧部材１５には、該押圧
部材に設けられた回転管接手１６と柔軟部材１３の小孔
１８とをつなぐ真空吸引用の通路１９が形成されている
。なお、回転管接手１６の他方には真空ポンプに接続さ
れた真空パイプ２０が接続されている。また２１は磁気
ヘッド１４に加えられる荷重が柔軟部材１３と押圧部材
１５の重量のみでは不足する場合に押圧部材１５の上に
載置できるようにした重錘であり、２２．２２’は回転
定盤１０が回転したときに研磨用ホルダー１１が自由回
転でき且つ移動しないように位置決とするローラである
。

このように構成された本実施例は、磁気ヘッドスライダ
−１４を柔軟部材１３の凹部１７に収容し、真空パイプ
２０から真空吸引することにより磁気ヘッドスライダ−
１４を真空吸着し保持することができ、その状態で持ち
運びすることができる。この状態で回転定盤１０の上に
載置し該回転定盤を回転することにより研磨ホルダー１
１も回転し磁気ヘッドスライダ−１４の浮上レール面を
ラッピングすることができる。この場合、各磁気ヘッド
スライダ−１４は柔軟な柔軟部材１３で押圧されるため
平均した加圧力で押圧される。

第２図は本発明の他の実施例を示す図である。

同図において、第１図と同一部分は同一符号を付して示
した。

本実施例が第１図に示した前実施例と異なるところは、
前実施例の柔軟部材１３に設けられた磁気ヘッドスライ
ダ−の位置決め手段としての凹部１７の側壁を別部材と
したことである。即ち柔軟部材１３は真空吸着用の小孔
１８のみを有する円板状とし、別に磁気ヘッドスライダ
−を収容する穴２３を同一円周上に穿設した金属製円板
２４を設けて柔軟部材１３に接着したことである。

このように構成された本実施例は前実施例と全く同様な
作用・効果ををする。

なお、研磨ホルダー１１は回転定盤１０の回転軸に対し
て必らずしも偏心して設ける必要はない。

〔発明の効果〕

以上説明した様に本発明によれば多数の磁気ヘッドスラ
イダ−の浮上レール面を同時に機械的にラッピングでき
るので、ヘッド加工の高能率化がはかれる。さらに、加
工の作業において個人差がなくなり、生産の均一化がは
かれ、高信頼な磁気ヘッドの生産が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す図、 第２図は本発明の他の実施例を示す図、第３図は従来の
磁気ヘッドの製造方法を示す図である。 図において、 １０は回転定盤、 １１は研磨用ホルダー、 １２は回転定盤の回転中心軸、 １３は柔軟部材、 １４は磁気ヘッドスライダ− １５は押圧部材、 １６は回転管接手、 １７は凹部、 １８は小穴、 １９は真空通路、 ２０は真空パイプ、 ２１は重錘、 ２２．２２’　はローラ、 ２３は穴、 ２４は金属製円板 を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、駆動手段により回転駆動される回転定盤（１０）と
   、該回転定盤（１０）の上で自由回転可能で且つ着脱自
   在に設けられた研磨用ホルダー（１１）とよりなり、該
   研磨用ホルダー（１１）は研磨すべき複数個の磁気ヘッ
   ド支持基板（１４）の位置を決める位置決め手段を有し
   、且つ該磁気ヘッド支持基板（１４）を真空吸着する小
   孔（１８）を有する柔軟な部材（１３）と、該柔軟部材
   （１３）を介して磁気ヘッド支持基板（１４）を押圧し
   、且つ前記柔軟部材（１３）の小孔（１８）に真空を供
   給する通路（１９）を有し、且つ該真空通路（１９）に
   一端を接続し他端に真空パイプ（２０）が接続された回
   転管接手（１６）が設けられた押圧部材（１５）とを具
   備して成ることを特徴とする磁気ヘッド研磨装置。