JPH03252105A - 永久磁石の固定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、永久磁石の固定方法に関し、特に、高真空
環境下で用いられる装置に永久磁石を固定する方法に関
する。

［従来の技術および発明が解決しようとする課題］近年
、高性能永久磁石である希土類磁石の需要が増大してい
るが、希土類磁石は着磁後の機械加工（穴開は等）が困
難であるため、一般にエポキシ系高分子材料の接着剤を
用いて、取付部材の取付面に固定している。

しかしながら、高真空中で永久磁石を用いる場合には、
上記固定方法では接着剤から発生するガスが真空環境を
汚染するため望ましくない。

それゆえに、この発明の主たる目的は、ガスを発生する
接着剤を用いることなく、永久磁石を取付部材に固定す
る方法を提供することである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、永久磁石を固定すべき取付部材の取付面に
、楔状の溝を設け、この溝断面と同じ断面の永久磁石を
溝の中に挿入し、その後、永久磁石の端面の少なくとも
１つに当接するようにして、押え板を取付部材に固定す
ることにより、永久磁石を固定するようにしたものであ
る。

［作用］ この発明では、楔状の断面形状の溝を有する取付部材に
、同じ断面形状を有する永久磁石を挿入し、永久磁石の
両側あるいは片側に押え板を当接させて、押え板をボル
ト等により、あるいは圧入により取付部材に固定するよ
うにしたので、接着剤を用いることなく、永久磁石を固
定することができる。

［発明の実施例コ 第１図ないし第４図はこの発明の一実施例の永久磁石の
固定方法を説明するための図であり、特に、第１図は取
付部材に永久磁石を固定した状態を示す図であり、第２
図は取付部材の溝の形状を示す断面図であり、第３図お
よび第４図は永久磁石の固定の態様を説明するための平
面図である。

次に、第１図ないし第４図を参照して、この発明の一実
施例の永久磁石の固定方法について説明する。

取付部材２０に、第２図に示すような楔状の溝２１が形
成される。溝２１は、第３図に示すように取付部材２０
の一方端から他方端まで設けられていてもよく、また、
第４図に示すように、その一部に設けられてもよい。こ
の溝２１の中に、溝と同じ断面形状を有する永久磁石３
０が挿入され、所定の位置まで移動される。次に、永久
磁石３０の端面に当接するようにして、押え板４０が取
付部材２０に取付けられる。押え板４０は第３図に示す
ように、永久磁石３０の両側から取付られるか、あるい
は、第４図に示すように、永久磁石３０の一方側に取付
けられる。押え板４０は、真空用のガス抜き穴を有する
ボルト４１により、取付部材２０に固定される。ボルト
４１を用いて固定する代わりに、押え板４０を溝２１に
圧入するようにしてもよい。　このような方法により、
接着剤を用いることなく、永久磁石を取付部材に固定す
ることができる。　第５図はこの発明の一実施例が適用
された磁気浮上搬送装置の断面図である。

第６図は第５図に示す可動子および電磁石の斜視図であ
る。次に、第５図および第６図を参照して、この発明の
一実施例が適用された磁気浮上搬送装置について説明す
る。

第５図において、丁字形の可動子１は、案内レール２を
構成する２本のレール２ａ、２ｂの間に設けられる。可
動子１は搬送物を載置するためのテーブル１ａを含む。

テーブル１ａの下部には、所定の間隔を隔てて永久磁石
３ａ、３ｂが設けられる。これに対向して、レール２ａ
、２ｂの上部には永久磁石３ａ、３ｂに反発する永久磁
石４ａ。

４ｂか設けられる。永久磁石３ａ、３ｂ、４ａ。

４ｂは上記固定方法によりレール２に取付けられる。永
久磁石３ａ、３ｂと永久磁石４ａ、４ｂとの反発力によ
り、可動子１は案内レール２上に案内レール２から所定
間隔を隔てて支持される。

第５図に示すようにレール２ｂ側に、案内用永久磁石レ
ール５が設けられ、これと対向する可動子１の一方側面
には吸引用永久磁石６か設けられる。永久磁石５，６は
上記固定方法によりレール２ｂ、可動子１にそれぞれ取
付けられる。永久磁石５．６はそれぞれ対向する面が吸
引し合うように磁化されている。また、レール２側には
、永久磁石レール５の上方および下方に案内用変位セン
サ７ａ、７ｂがそれぞれ設けられ、可動子１側には、こ
れらと対向して案内用センサターゲット８ａ、８ｂがそ
れぞれ設けられる。

一方、レール２ａ側には、案内用電磁石９ａおよび９ｂ
が設けられ、これと対向する可動子１の他方側面には、
軟鉄部材１０ａおよび１０ｂが設けられる。

案内用永久磁石レール５と吸引用永久磁石６との間で吸
引力を作用させる一方で、案内用変位センサ７ａ、７ｂ
により案内用サンサターゲット８ａ、８ｂとの間のギャ
ップを検出し、これが目標値に一致するように、案内用
電磁石９ａ、９ｂの磁気吸引力を制御することにより、
可動子１の案内方向（第５図に示す矢印Ａ方向）の支持
か行なわれる。

第６図に示すように、可動子１の側面下部に設けられた
軟鉄部材１０ｂに対する電磁石９ｂの磁気吸引力と、可
動子１の側面上部に設けられた軟鉄部材１０ａに対する
電磁石９ａ（第６図では、２点鎖線による仮想線で示す
）の磁気吸引力とを制御することにより、可動子１のロ
ーリングは拘束される。

可動子１の進行方向の駆動は、浮上方向への外乱を小さ
くできることから、コアレスＤＣモータが用いられる。

このモータは、レール２側に設けられたコアレスＤＣモ
ータコイル１１と可動子１側に設けられたコアレスＤＣ
モータ用永久磁石１２からなる。コアレスＤＣモータ用
永久磁石１２は、上記固定方法により可動子１に取付け
られる。

このようにして、磁気浮上搬送装置に設けられた永久磁
石は、接着剤を用いることなく取付けられ、固定されて
いるので、磁気浮上搬送装置が高真空環境下で用いられ
ても、その環境を汚染することはない。

なお、永久磁石の材料としては、ポーラスな希土類磁性
部材が用いられる。このような磁性部材は、ガスが貯留
されやすく、高真空環境下においてガスが徐々に放散さ
れ、環境を汚染することになる。これを防止するために
、第７図に示すように、永久磁石となる磁性材料を着磁
する前に、磁性材料５０の表面に非磁性金属材料５１を
気相メツキあるいは湿式メツキによりメツキする。メツ
キの膜厚は、ガスの通り抜けを防止するために数１０μ
ｍ以上とすることが好ましい。

また、コアレスＤＣモータコイル１１の積層硅素鋼板に
も、上記と同様のメツキか施される。これは、積層硅素
鋼板は多数の隙間を有していて、その隙間にガスが貯留
されやすいからである。

さらに、第５図に示す案内用電磁石９ａ、９ｂおよび案
内用変位センサ７ａ、７ｂのように複雑な形状をしてい
て、メツキか適用できない場合には、第８図に示すよう
封止構造が適用される。第８図において、取付部材６０
には、取付穴６１が設けられ、取付穴６１には、電磁石
７０が設けられる。電磁石７０はモールド材６２てモー
ルドされ、その上面あるいは周囲は非磁性金属薄膜６３
で覆われ、該金属薄膜は取付部材６０に溶接６４により
取付られる。これにより、電磁石からのガスの発生は防
止される。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、楔状の断面形状の溝
を有する取付部材に、同じ断面形状した永久磁石を挿入
し、永久磁石の両側あるいは片側に押え板を当接させて
、該押え板をボルト等によりあるいは圧入により取付部
材に固定するようにしたので、接着剤を用いることなく
、永久磁石を取付部材に固定することができる。したか
って、永久磁石を高真空環境下で用いても、ガスが発生
することなく、環境の汚染は防止される。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図はこの発明の一実施例の永久磁石の
固定方法を説明するための図であり、特に、第１図は取
付部材に永久磁石を固定した状態を示す図であり、第２
図は取付部材の溝の形状を示す断面図であり、第３図お
よび第４図は永久磁石の固定の態様を説明するための平
面図である。 第５図はこの発明の一実施例が適用された磁気浮上搬送
装置の断面図である。第６図は第５図に示す可動子およ
び電磁石の斜視図である。第７図および第８図はこの発
明の一実施例で用いられる永久磁石あるいは電磁石を封
止する構造を説明するための図である。 図において２０は取付部材、２１は溝、３０は永久磁石
、４０は押え板、４１はボルトを示す。 第２図 第３図 第４図 第 ５ 図 第 図 第 図 手 続 補 正 書坊炙 ６、補正の対象 図面 ７、補正の内容 願書に最初に添付した図面の浄書・別紙のとお１、事件
の表示 平成２年特許願第 ０３９１ 号 り （内容に変更なし）。 以上 ２、発明の名称 永久磁石の固定方法 ３、補正をする者 事件との関係

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　永久磁石を固定すべき取付部材の取付面に、楔状の溝
   を設け、この溝断面と同じ断面の永久磁石を前記溝の中
   に挿入し、前記永久磁石の端面の少なくとも１つに当接
   するようにして、押え板を前記取付部材に固定すること
   により、永久磁石を固定することを特徴とする、永久磁
   石の固定方法。