JPH03249545A - パーティクル発生器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、所望物質の微小粉末粒子を極少量だけパーテ
ィクルとして発生させるパーティクル発生器に関する。

〈従来の技術〉 従来から知られているパーティクル発生器は、ポリエチ
レンなどの疑似パーティクルを超純水中に一定濃度で浮
遊させ該浮遊パーティクルと一緒に水を一定流量で吸い
上げ、アトマイザ−などで噴霧してのち加熱するなどし
て水分を蒸発させてパーティクルを発生させるようにな
っていた。

然しなから、このような従来例においては、発生するパ
ーティクルがポリスチレン系のものに限定され、任意の
粒子をパーティクルとして発生できないという欠点があ
った。また、注入する気体の流量が大で（例えば、２０
１／ｍｉｎ、程度）あり、分析計用キャリアカスなどを
注入気体として用いる場合には使用量が大きくなってコ
スト高になるという欠点もあった。

〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明は、かかる従来例の欠点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、ポリスチレン系に限定されることな
く極少量の微小粉末粒子を１ゲずつ発生できると共に該
発生量をある程度増減できるようなパーティクル発生器
を提供することにある。

く問題点を解決するだめの手段〉 上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、パーテ
ィクル発生器において、衝撃波を発生する火花放電部と
、該火花放電部で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積さ
れた微小粉末粒子を舞い上らせる振動膜と、前記火花放
電部で発生した衝撃波を所定の強度で前記振動膜に伝達
する放電ルームと、前記振動膜が振動して内部空間に微
小粉末粒子が舞い上がるバッファールームと、該バッフ
ァールームに清浄な気体を導くためのガス導入口と、前
記微細粉末粒子を含んだ気体を前記バッファールームか
ら導出する導出口とを設け、所望物質の微小粉末粒子を
極少量だけパーティクルとして発生させるようにしたこ
とにある。

〈実施例〉 以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第１
図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、１は放−
＠極２　ａ　、　２　ｂ　、コンデンサＣ抵抗Ｒ１およ
び可変高圧電源３からなり衝撃波を発生する火花放電部
、４は火花放電部】で発生した衝撃波を受けて振動し蓄
積された微小粉末粒子を舞い上らせる振動膜、６は火花
放電部１で発生した衝撃波を所定の強度で振動Ｍ４に伝
達する放電ルーム、７は振動１１！ｉ！４が振動して内
部空間に微小粉末粒子か舞い上がるバッファールーム、
８は例えばアルゴンカスのような清浄な気体Ｇ１をバッ
ファールーム７に導くためのガス導入口、９は微細粉末
粒子５を含んだ気体Ｇ２をバッファールム７から導出す
る導出口である。

このような構成からなる本発明の実施例において、最初
、振動膜４の上に消耗物質の微小粉末粒子５を置き、バ
ッファールーム内にカス導入口８からキャリアガスとし
ての清浄気体Ｇ、が流される。次に、可変高圧電源３を
オンにして火花放電部１を駆動し、放電電極２ａ、２ｂ
間に火花放電を開始させる。このようにして火花放電が
起こると衝撃波が発生し、該衝撃波が放電ルーム６内で
反響して振動膜４に伝わる。このようにして膜４が振動
すると、Ｉ！１４の上に置かれた微小粉末粒子５が極少
量だけバッファールーム７内に舞い上るようになる。こ
のようにして舞い上った微小粉末粒子は、ガス導入口８
から導入された上記キャリアガスに乗ってガス導出口９
からパーティクルとして導出される。

ところで、次のような変更をすることにより、パーティ
クル発生量をある程度コントロールできる。■放電ルー
ム６とバッファールーム７の容量を数＋ｎＬ１〜数百ｍ
ｌの範囲で変える。■振動膜４の材質を合成樹脂（可能
ならばポリエチレン系の帯電しない樹脂）や金属に変え
る。■振動膜４の厚さを数十μｍ〜１ｍｍに変える。■
高圧電源３の電圧を数百Ｖ〜数ＡＶの範囲で変える。■
放電電極２ａ、２ｂの間隔を数ｍｍ〜数十ｍｍの範囲で
変える。

尚、本発明は上述の実施例に限定されることなく種々の
変形が可能であり、例えば第２図に示すように、第１図
のガス導出口９から導出される気体Ｇ２をガス導入口１
１を介して第２バツフアルーム１０に導いてのちガス導
出口１２を介して所望気体（即ち、所望濃度のパーティ
クルを含んだ気体）としてカス導出口１２から導出する
ようにしても良い、また、衝撃波の発生は火花に限定す
るものではなく、例えば圧電素子で行っても良いものと
する。

〈発明の効果〉 以上詳しく説明したように、本発明は、パーティクル発
生器において、衝撃波を発生ずる火花放電部と、該火花
放電部で発生した衝撃波を受けて振動し′＠積された微
小粉末粒子を舞い上らせる振動膜と、前記火花放電部で
発生した衝撃波を所定の強度で前記振動膜に伝達する放
電ルームと、前記振動膜が振動して内部空間に微小粉末
粒子が舞い上がるバッファールームと、該バッファール
ームに清浄な気体を導くためのガス導入口と、前記微細
粉末粒子を含んだ気体を前記バッファールムから導出す
る導出口とを設け、所望物質の微小粉末粒子を極少量だ
けパーティクルとして発生させるように構成した。

このため、微小粉末粒子を振動により空中に拡散させて
パーティクルとして取出し、微小粉末であれば任意のパ
ーティクルを発生できるという利点がある。また、火花
放電の衝撃波による振動によりパーティクルを発生させ
るなめ、火花放電の強弱や時間間隔を変えたりしてパー
ティクル発生量をコントロールできるという利点もある
。

従って、本発明によれば、ポリスチレン系に限定される
ことなく極少量の微小粉末粒子を１ゲずつ発生できると
共に該発生量をある程度増減できるようなパーティクル
発生器が実現する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構成説明図、第２図は本発明的
の実施例の構成説明図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 衝撃波を発生する火花放電部と、該火花放電部で発生し
   た衝撃波を受けて振動し蓄積された微小粉末粒子を舞い
   上らせる振動膜と、前記火花放電部で発生した衝撃波を
   所定の強度で前記振動膜に伝達する放電ルームと、前記
   振動膜が振動して内部空間に微小粉末粒子が舞い上がる
   バッファールームと、該バッファールームに清浄な気体
   を導くためのガス導入口と、前記微細粉末粒子を含んだ
   気体を前記バッファールームから導出する導出口とを具
   備し、所望物質の微小粉末粒子を極少量だけパーティク
   ルとして発生させることを特徴とするパーティクル発生
   器。