JP2722754B2 - パーティクル発生器 - Google Patents
パーティクル発生器Info
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- JP2722754B2 JP2722754B2 JP4741290A JP4741290A JP2722754B2 JP 2722754 B2 JP2722754 B2 JP 2722754B2 JP 4741290 A JP4741290 A JP 4741290A JP 4741290 A JP4741290 A JP 4741290A JP 2722754 B2 JP2722754 B2 JP 2722754B2
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- powder particles
- particles
- shock wave
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、所望物質の微小粉末粒子を極少量だけパー
ティクルとして発生させるパーティクル発生器に関す
る。
ティクルとして発生させるパーティクル発生器に関す
る。
〈従来の技術〉 従来から知られているパーティクル発生器は、ポリエ
チレンなどの疑似パーティクルを超純水中に一定濃度で
浮遊させ該浮遊パーティクルと一緒に水を一定流量で吸
い上げ、アトマイザーなどで噴霧してのち加熱するなど
して水分を蒸発させてパーティクルを発生させるように
なっていた。
チレンなどの疑似パーティクルを超純水中に一定濃度で
浮遊させ該浮遊パーティクルと一緒に水を一定流量で吸
い上げ、アトマイザーなどで噴霧してのち加熱するなど
して水分を蒸発させてパーティクルを発生させるように
なっていた。
然しながら、このような従来例においては、発生する
パーティクルがポリスチレン系のものに限定され、任意
の粒子をパーティクルとして発生できないという欠点が
あった。また、注入する気体の流量が大で（例えば、20
l/min.程度）あり、分析計用キャリアガスなどを注入気
体として用いる場合には使用量が大きくなってコスト高
になるという欠点もあった。
パーティクルがポリスチレン系のものに限定され、任意
の粒子をパーティクルとして発生できないという欠点が
あった。また、注入する気体の流量が大で（例えば、20
l/min.程度）あり、分析計用キャリアガスなどを注入気
体として用いる場合には使用量が大きくなってコスト高
になるという欠点もあった。
〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明は、かかる従来例の欠点に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、ポリスチレン系に限定されること
なく極少量の微小粉末粒子を１ケずつ発生できると共に
該発生量をある程度増減できるようなパーティクル発生
器を提供することにある。
であり、その目的は、ポリスチレン系に限定されること
なく極少量の微小粉末粒子を１ケずつ発生できると共に
該発生量をある程度増減できるようなパーティクル発生
器を提供することにある。
〈問題点を解決するための手段〉 上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、パー
ティクル発生器において、衝撃波を発生する火花放電部
と、該火花放電部で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積
された微小粉末粒子を舞い上らせる振動膜と、前記火花
放電部で発生した衝撃波を所定の強度で前記振動膜に伝
達する放電ルームと、前記振動膜が振動して内部空間に
微小粉末粒子が舞い上がるバッファールームと、該バッ
ファールームに清浄な気体を導くためのガス導入口と、
前記微小粉末粒子を含んだ気体を前記バッファールーム
から導出する導出口とを設け、所望物質の微小粉末粒子
を極少量だけパーティクルとして発生させるようにした
ことにある。
ティクル発生器において、衝撃波を発生する火花放電部
と、該火花放電部で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積
された微小粉末粒子を舞い上らせる振動膜と、前記火花
放電部で発生した衝撃波を所定の強度で前記振動膜に伝
達する放電ルームと、前記振動膜が振動して内部空間に
微小粉末粒子が舞い上がるバッファールームと、該バッ
ファールームに清浄な気体を導くためのガス導入口と、
前記微小粉末粒子を含んだ気体を前記バッファールーム
から導出する導出口とを設け、所望物質の微小粉末粒子
を極少量だけパーティクルとして発生させるようにした
ことにある。
〈実施例〉 以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第
１図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、１は放
電電極2a,2b,コンデンサC,抵抗R,および可変高圧電源３
からなり衝撃波を発生する火花放電部、４は火花放電部
１で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積された微小粉末
粒子を舞い上らせる振動膜、６は火花放電部１で発生し
た衝撃波を所定の強度で振動膜４に伝達する放電ルー
ム、７は振動膜４が振動して内部空間に微小粉末粒子が
舞い上がるバッファールーム、８は例えばアルゴンガス
のような清浄な気体G1をバッファールーム７に導くため
のガス導入口、９は微小粉末粒子５を含んだ気体G2をバ
ッファールーム７から導出する導出口である。
１図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、１は放
電電極2a,2b,コンデンサC,抵抗R,および可変高圧電源３
からなり衝撃波を発生する火花放電部、４は火花放電部
１で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積された微小粉末
粒子を舞い上らせる振動膜、６は火花放電部１で発生し
た衝撃波を所定の強度で振動膜４に伝達する放電ルー
ム、７は振動膜４が振動して内部空間に微小粉末粒子が
舞い上がるバッファールーム、８は例えばアルゴンガス
のような清浄な気体G1をバッファールーム７に導くため
のガス導入口、９は微小粉末粒子５を含んだ気体G2をバ
ッファールーム７から導出する導出口である。
このような構成からなる本発明の実施例において、最
初、振動膜４の上に消耗物質の微小粉末粒子５を置き、
バッファールーム内にガス導入口８からキャリアガスと
しての清浄気体G1が流される。次に、可変高圧電源３を
オンにして火花放電部１を駆動し、放電電極2a,2b間に
火花放電を開始させる。このようにして火花放電が起こ
ると衝撃波が発生し、該衝撃波が放電ルーム６内で反響
して振動膜４に伝わる。このようにして膜４が振動する
と、膜４の上に置かれた微小粉末粒子５が極少量だけバ
ッファールーム７内に舞い上るようになる。このように
して舞い上った微小粉末粒子は、ガス導入口８から導入
された上記キャリアガスに乗ってガス導出口９からパー
ティクルとして導出される。
初、振動膜４の上に消耗物質の微小粉末粒子５を置き、
バッファールーム内にガス導入口８からキャリアガスと
しての清浄気体G1が流される。次に、可変高圧電源３を
オンにして火花放電部１を駆動し、放電電極2a,2b間に
火花放電を開始させる。このようにして火花放電が起こ
ると衝撃波が発生し、該衝撃波が放電ルーム６内で反響
して振動膜４に伝わる。このようにして膜４が振動する
と、膜４の上に置かれた微小粉末粒子５が極少量だけバ
ッファールーム７内に舞い上るようになる。このように
して舞い上った微小粉末粒子は、ガス導入口８から導入
された上記キャリアガスに乗ってガス導出口９からパー
ティクルとして導出される。
ところで、次のような変更をすることにより、パーテ
ィクル発生量をある程度コントロールできる。放電ル
ーム６とバッファールーム７の容量を数十ml〜数百mlの
範囲で変える。振動膜４の材質を合成樹脂（可能なら
ばポリエチレン系の帯電しない樹脂）や金属に変える。
振動膜４の厚さを数十μｍ〜1mmに変える。高圧電
源３の電圧を数百Ｖ〜数kVの範囲で変える。放電電極
2a,2bの間隔を数mm〜数十mmの範囲で変える。
ィクル発生量をある程度コントロールできる。放電ル
ーム６とバッファールーム７の容量を数十ml〜数百mlの
範囲で変える。振動膜４の材質を合成樹脂（可能なら
ばポリエチレン系の帯電しない樹脂）や金属に変える。
振動膜４の厚さを数十μｍ〜1mmに変える。高圧電
源３の電圧を数百Ｖ〜数kVの範囲で変える。放電電極
2a,2bの間隔を数mm〜数十mmの範囲で変える。
尚、本発明は上述の実施例に限定されることなく種々
の変形が可能であり、例えば第２図に示すように、第１
図のガス導出口９から導出される気体G2をガス導入口11
を介して第２バッファールーム10に導いてのちガス導出
口12を介して所望気体（即ち、所望濃度のパーティクル
を含んだ気体）としてガス導出口12から導出するように
しても良い。また、衝撃波の発生は火花に限定するもの
ではなく、例えば圧電素子で行っても良いものとする。
の変形が可能であり、例えば第２図に示すように、第１
図のガス導出口９から導出される気体G2をガス導入口11
を介して第２バッファールーム10に導いてのちガス導出
口12を介して所望気体（即ち、所望濃度のパーティクル
を含んだ気体）としてガス導出口12から導出するように
しても良い。また、衝撃波の発生は火花に限定するもの
ではなく、例えば圧電素子で行っても良いものとする。
〈発明の効果〉 以上詳しく説明したように、本発明は、パーティクル
発生器において、衝撃波を発生する火花放電部と、該火
花放電部で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積された微
小粉末粒子を舞い上らせる振動膜と、前記火花放電部で
発生した衝撃波を所定の強度で前記振動膜に伝達する放
電ルームと、前記振動膜が振動して内部空間に微小粉末
粒子が舞い上がるバッファールームと、該バッファール
ームに清浄な気体を導くためのガス導入口と、前記微小
粉末粒子を含んだ気体を前記バッファールームから導出
する導出口とを設け、所望物質の微小粉末粒子を極少量
だけパーティクルとして発生させるように構成した。
発生器において、衝撃波を発生する火花放電部と、該火
花放電部で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積された微
小粉末粒子を舞い上らせる振動膜と、前記火花放電部で
発生した衝撃波を所定の強度で前記振動膜に伝達する放
電ルームと、前記振動膜が振動して内部空間に微小粉末
粒子が舞い上がるバッファールームと、該バッファール
ームに清浄な気体を導くためのガス導入口と、前記微小
粉末粒子を含んだ気体を前記バッファールームから導出
する導出口とを設け、所望物質の微小粉末粒子を極少量
だけパーティクルとして発生させるように構成した。
このため、微小粉末粒子を振動により空中に拡散させ
てパーティクルとして取出し、微小粉末であれば任意の
パーティクルを発生できるという利点がある。また、火
花放電の衝撃波による振動によりパーティクルを発生さ
せるため、火花放電の強弱や時間間隔を変えたりしてパ
ーティクル発生量をコントロールできるという利点もあ
る。
てパーティクルとして取出し、微小粉末であれば任意の
パーティクルを発生できるという利点がある。また、火
花放電の衝撃波による振動によりパーティクルを発生さ
せるため、火花放電の強弱や時間間隔を変えたりしてパ
ーティクル発生量をコントロールできるという利点もあ
る。
従って、本発明によれば、ポリスチレン系に限定され
ることなく極少量の微小粉末粒子を１ケずつ発生できる
と共に該発生量をある程度増減できるようなパーティク
ル発生器が実現する。
ることなく極少量の微小粉末粒子を１ケずつ発生できる
と共に該発生量をある程度増減できるようなパーティク
ル発生器が実現する。
第１図は本発明実施例の構成説明図、第２図は本発明他
の実施例の構成説明図である。 １……放電電極、2a,2b……火花放電部、４……振動
膜、６……放電ルーム、７……バッファールーム、８…
…ガス導入口、９……導出口、3,5……切換弁、４……
分離カラム、
の実施例の構成説明図である。 １……放電電極、2a,2b……火花放電部、４……振動
膜、６……放電ルーム、７……バッファールーム、８…
…ガス導入口、９……導出口、3,5……切換弁、４……
分離カラム、
Claims (1)
- 【請求項１】衝撃波を発生する火花放電部と、該火花放
電部で発生した衝撃波を受けて振動し蓄積された微小粉
末粒子を舞い上らせる振動膜と、前記火花放電部で発生
した衝撃波を所定の強度で前記振動膜に伝達する放電ル
ームと、前記振動膜が振動して内部空間に微小粉末粒子
が舞い上がるバッファールームと、該バッファールーム
に清浄な気体を導くためのガス導入口と、前記微小粉末
粒子を含んだ気体を前記バッファールームから導出する
導出口を具備し、所望物質の微小粉末粒子を極少量だけ
パーティクルとして発生させることを特徴とするパーテ
ィクル発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4741290A JP2722754B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | パーティクル発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4741290A JP2722754B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | パーティクル発生器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03249545A JPH03249545A (ja) | 1991-11-07 |
| JP2722754B2 true JP2722754B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=12774424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4741290A Expired - Lifetime JP2722754B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | パーティクル発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2722754B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4690790B2 (ja) * | 2005-06-17 | 2011-06-01 | 興和株式会社 | 粒子供給装置 |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP4741290A patent/JP2722754B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03249545A (ja) | 1991-11-07 |
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