JPH03248685A - Ccdカメラの光軸調整方法 - Google Patents
Ccdカメラの光軸調整方法Info
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- JPH03248685A JPH03248685A JP2046680A JP4668090A JPH03248685A JP H03248685 A JPH03248685 A JP H03248685A JP 2046680 A JP2046680 A JP 2046680A JP 4668090 A JP4668090 A JP 4668090A JP H03248685 A JPH03248685 A JP H03248685A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、主としてVTR用カメラや知能ロボットの視
覚センサとして用いられて画像処理システムを構成する
CCDカメラの製造最終工程における光軸の調整方法に
関するものである。
覚センサとして用いられて画像処理システムを構成する
CCDカメラの製造最終工程における光軸の調整方法に
関するものである。
〈従来の技術〉
通常、光軸調整が可能なCCDカメラでは製造最終工程
において光軸のずれを修正するための調整を行っている
。斯かる従来の光軸の調整は以下のような手順で行われ
る。即ち、第6図に示すように、基台1に鉛直に立設し
た取付台2の頂部に、調整用レンズ3aを取り付けたC
CDカメラ3を設置し、一方、レンズ3aに対しこれの
焦点が合う距離(一般に約in)だけ離間した位置に、
被写画の付された被写体5が支持体4により基台1に固
定されている。そして、CCDカメラ3の画像信号から
得られた被写画の画像を見ながら、収納部3bにおける
周壁の前側から見て上下左右に螺着された四本の光軸調
整用螺子3Cの各螺入度合により収納部3bに組み込ま
れているCCDイメージセンサ−素子の上下左右方向の
位置を調整して光軸のずれを修正する。
において光軸のずれを修正するための調整を行っている
。斯かる従来の光軸の調整は以下のような手順で行われ
る。即ち、第6図に示すように、基台1に鉛直に立設し
た取付台2の頂部に、調整用レンズ3aを取り付けたC
CDカメラ3を設置し、一方、レンズ3aに対しこれの
焦点が合う距離(一般に約in)だけ離間した位置に、
被写画の付された被写体5が支持体4により基台1に固
定されている。そして、CCDカメラ3の画像信号から
得られた被写画の画像を見ながら、収納部3bにおける
周壁の前側から見て上下左右に螺着された四本の光軸調
整用螺子3Cの各螺入度合により収納部3bに組み込ま
れているCCDイメージセンサ−素子の上下左右方向の
位置を調整して光軸のずれを修正する。
〈発明が解決しようとする課題〉
然し乍ら、前述の光軸調整方法では、被写体5をレンズ
3aに対し約1mと比較的大きな間隔を存して位置させ
ることに起因して、0.数mmの位置ずれも相互間にお
いて大きな誤差となり、CCカメラ3の構造的光軸中心
と被写体5との相互間の傾き、中心および上下左右方向
の位置を3次元的に正確に合わせる必要がある。そのた
め、精密な機構を要して構成が複雑化し、装置全体が大
掛かりとなって高価なものになっている。
3aに対し約1mと比較的大きな間隔を存して位置させ
ることに起因して、0.数mmの位置ずれも相互間にお
いて大きな誤差となり、CCカメラ3の構造的光軸中心
と被写体5との相互間の傾き、中心および上下左右方向
の位置を3次元的に正確に合わせる必要がある。そのた
め、精密な機構を要して構成が複雑化し、装置全体が大
掛かりとなって高価なものになっている。
また、個々のCCDカメラ3の調整に際しての各CCD
カメラ3の取付台2への取付精度の僅がな相違によって
も位置決めが困難となり、煩雑で困難な作業を要する欠
点がある。
カメラ3の取付台2への取付精度の僅がな相違によって
も位置決めが困難となり、煩雑で困難な作業を要する欠
点がある。
更に、光軸調整機構を他の場所に移動させるような場合
には、前述の煩雑で困難な位置決め作業を最初から行わ
なければならない問題がある。
には、前述の煩雑で困難な位置決め作業を最初から行わ
なければならない問題がある。
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたも
のであり、簡単な装置を用いて簡易な作り 業により光軸の位置ずれを正確に修正できるCCDカメ
ラの光軸調整方法を提供することを技術的課題とするも
のである。
のであり、簡単な装置を用いて簡易な作り 業により光軸の位置ずれを正確に修正できるCCDカメ
ラの光軸調整方法を提供することを技術的課題とするも
のである。
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、上記した課題を達成するための技術的手段と
して、CCDカメラの光軸調整方法を以下のような手順
で行うようにした。即ち、上下左右方向と中心を特定で
きる複写画が付された被写体を、レンズの前面に回動自
在に取り付けるとともに、前記レンズの後面を、前記複
写画を画面に映し出せる長さの伸長筒を介在してCCD
カメラの前面に連結し、前記被写体を回動させて前記複
写画が前記CCDカメラに対し適正な位置関係になるよ
う位置決めし、前記CCDカメラを駆動して前記複写画
の画像を画面に映し出すとともに、信号発生器からの電
気信号により前記画面に基準パターンを映し出し、前記
CCDカメラに内蔵のCCDイメージセンサ−素子を移
動させて前記複写画の画像を前記基準パターンに重ね合
わせる手順で行うことを特徴としている。
して、CCDカメラの光軸調整方法を以下のような手順
で行うようにした。即ち、上下左右方向と中心を特定で
きる複写画が付された被写体を、レンズの前面に回動自
在に取り付けるとともに、前記レンズの後面を、前記複
写画を画面に映し出せる長さの伸長筒を介在してCCD
カメラの前面に連結し、前記被写体を回動させて前記複
写画が前記CCDカメラに対し適正な位置関係になるよ
う位置決めし、前記CCDカメラを駆動して前記複写画
の画像を画面に映し出すとともに、信号発生器からの電
気信号により前記画面に基準パターンを映し出し、前記
CCDカメラに内蔵のCCDイメージセンサ−素子を移
動させて前記複写画の画像を前記基準パターンに重ね合
わせる手順で行うことを特徴としている。
〈作用〉
被写体として、例えば交点が中心に位置する十字形の複
写画が付されたフィルタを用いた場合、このフィルタを
レンズの前面に回動自在に取り付け、且つレンズの後面
に伸長筒を取り付けて接眼レンズ系を構成し、この接眼
レンズ系をCCDカメラの前面に取り付けた後に、フィ
ルタを回動させながら適当な治具によりCCDカメラの
底面に対し複写画の十字形状の何れか一つの線が平行に
なるようフィルタのCCDカメラとの相対的な位置決め
を行なう。
写画が付されたフィルタを用いた場合、このフィルタを
レンズの前面に回動自在に取り付け、且つレンズの後面
に伸長筒を取り付けて接眼レンズ系を構成し、この接眼
レンズ系をCCDカメラの前面に取り付けた後に、フィ
ルタを回動させながら適当な治具によりCCDカメラの
底面に対し複写画の十字形状の何れか一つの線が平行に
なるようフィルタのCCDカメラとの相対的な位置決め
を行なう。
そして、CCDカメラを駆動して複写画の画像を例えば
モニターの画面に映し出すとともに、信号発生器からの
電気信号により複写画と同様の十字形状の基準パターン
をモニターの画面に映し出す。この基準パターンに対し
複写画の画像がずれている場合には、光軸調整用螺子に
よりCCDイメージセンサ−素子を移動させて複写画の
画像を画面上において移動させ、この複写画の画像を基
準パターンに重ね合わせることにより、光軸のずれが正
確に修正される。
モニターの画面に映し出すとともに、信号発生器からの
電気信号により複写画と同様の十字形状の基準パターン
をモニターの画面に映し出す。この基準パターンに対し
複写画の画像がずれている場合には、光軸調整用螺子に
よりCCDイメージセンサ−素子を移動させて複写画の
画像を画面上において移動させ、この複写画の画像を基
準パターンに重ね合わせることにより、光軸のずれが正
確に修正される。
この光軸調整方法では、複写画を付した被写体とレンズ
の焦点を補正する伸長筒とをレンズの前後に取り付けた
接眼レンズ系を、CCDカメラに直接取り付けるので、
複写画がCCDカメラに対し一体的であって複写画とC
CDカメラとの位置関係が常に一定であるため、従来の
ような複写画とCCDカメラとの相互間の煩雑で困難な
3次元的な位置調整が不要となり、しかも、如何なる場
所に移動して光軸調整を行っても複写画とCCDカメラ
との相互間の位1191整を容易に且つ正確に行える。
の焦点を補正する伸長筒とをレンズの前後に取り付けた
接眼レンズ系を、CCDカメラに直接取り付けるので、
複写画がCCDカメラに対し一体的であって複写画とC
CDカメラとの位置関係が常に一定であるため、従来の
ような複写画とCCDカメラとの相互間の煩雑で困難な
3次元的な位置調整が不要となり、しかも、如何なる場
所に移動して光軸調整を行っても複写画とCCDカメラ
との相互間の位1191整を容易に且つ正確に行える。
〈実施例〉
以下、本発明の好ましい一実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。
ながら詳細に説明する。
先ず、第1図(alに示すように透明板または半透明板
に十字形の複写画7aが付されたフィルタ7を、同図(
blに示すようにレンズ6の前面側に、螺合手段または
嵌合手段に回動自在に取り付けるとともに、レンズ6の
後面側に伸長筒8を取り付けて接眼レンズ系を構成する
。尚、複写画7aは、十字形の交点がフィルタ7の中心
に位置するよう位置決めして付されており、伸長筒8は
、複写画7aを画面に映し出せる長さに設定されている
。
に十字形の複写画7aが付されたフィルタ7を、同図(
blに示すようにレンズ6の前面側に、螺合手段または
嵌合手段に回動自在に取り付けるとともに、レンズ6の
後面側に伸長筒8を取り付けて接眼レンズ系を構成する
。尚、複写画7aは、十字形の交点がフィルタ7の中心
に位置するよう位置決めして付されており、伸長筒8は
、複写画7aを画面に映し出せる長さに設定されている
。
次に、前述の接眼レンズ系を、第2図に示すようにCC
Dカメラ30本体前面側に螺着し、この状態で第3図に
示すように平面台9上に載置し、複写画7aの調整用治
具10を、平面台9上に載置し且つフィルタ7の前面側
に密着させる。この調整用治具10には、第4図(al
に示すように底面に対し正確に垂直な2本の、110a
、10bが複写画7aの線幅と同一の間隔で付されてい
る。従って、この調整用治具10の2本の線10a、1
0bは平面台9およびCCDカメラ3の底面に対し垂直
に位置していることになる。
Dカメラ30本体前面側に螺着し、この状態で第3図に
示すように平面台9上に載置し、複写画7aの調整用治
具10を、平面台9上に載置し且つフィルタ7の前面側
に密着させる。この調整用治具10には、第4図(al
に示すように底面に対し正確に垂直な2本の、110a
、10bが複写画7aの線幅と同一の間隔で付されてい
る。従って、この調整用治具10の2本の線10a、1
0bは平面台9およびCCDカメラ3の底面に対し垂直
に位置していることになる。
そして、CCDカメラ3を、接続ケーブル11を介して
第5図に示すようにモニター12に接続した後に、CC
Dカメラ3を駆動して得られる複写画7aと2本の線1
0a、10bの画像信号をモニター12に映し出す。い
ま、2本の線10a。
第5図に示すようにモニター12に接続した後に、CC
Dカメラ3を駆動して得られる複写画7aと2本の線1
0a、10bの画像信号をモニター12に映し出す。い
ま、2本の線10a。
10bに対し複写画7aが第4図(b)に示すような位
置関係にあった場合、モニター12の画像を見ながらフ
ィルタ7を矢印で示すように何れかの方向に回動させ、
第4図(C)に示すように複写画7aの何れか1本の線
が2本の線10a、10b間に嵌まり込む状態に合致す
るようフィルタ7を位置決めする。これにより、フィル
タ7の複写画7aが、これの水平方向の線がCCDカメ
ラ3の底面に対し正確に平行になるよう位置決めされる
。
置関係にあった場合、モニター12の画像を見ながらフ
ィルタ7を矢印で示すように何れかの方向に回動させ、
第4図(C)に示すように複写画7aの何れか1本の線
が2本の線10a、10b間に嵌まり込む状態に合致す
るようフィルタ7を位置決めする。これにより、フィル
タ7の複写画7aが、これの水平方向の線がCCDカメ
ラ3の底面に対し正確に平行になるよう位置決めされる
。
このようにフィルタ7の位置決めをした後に調整用治具
10を除外し、第5図に示すようにモニター12に信号
発生器13を接続してモニター12の画面に複写画7a
の画像に重畳して複写画7aと同様に十字形状となった
基準のクロスパターン14を映し出す。このクロスパタ
ーン14はその交点がモニター12の画面中心に正確に
位置するよう設定されており、このクロスパターン14
に対し複写画7aの画像7Aが同図に示すようにずれて
いる場合、CCDカメラ3の前面から見て収納部3bの
上下左右に設けられている4本の光軸調整用螺子3Cの
各々の螺入度合を調整してCCDイメージセンサ−素子
を鉛直面方向に移動させることにより、このCCDイメ
ージセンサ−素子により撮像される複写画7aの画像7
Aを同図に矢印で示すようにクロスパターン14に近接
する方向に移動させていき、複写画7aの画像7Aをク
ロスパターン14に重ね合わせる。これによりCCDイ
メージセンサ−素子が、これの光軸がCCDカメラ3に
おいて位置ずれのない適切に位置に調整される。
10を除外し、第5図に示すようにモニター12に信号
発生器13を接続してモニター12の画面に複写画7a
の画像に重畳して複写画7aと同様に十字形状となった
基準のクロスパターン14を映し出す。このクロスパタ
ーン14はその交点がモニター12の画面中心に正確に
位置するよう設定されており、このクロスパターン14
に対し複写画7aの画像7Aが同図に示すようにずれて
いる場合、CCDカメラ3の前面から見て収納部3bの
上下左右に設けられている4本の光軸調整用螺子3Cの
各々の螺入度合を調整してCCDイメージセンサ−素子
を鉛直面方向に移動させることにより、このCCDイメ
ージセンサ−素子により撮像される複写画7aの画像7
Aを同図に矢印で示すようにクロスパターン14に近接
する方向に移動させていき、複写画7aの画像7Aをク
ロスパターン14に重ね合わせる。これによりCCDイ
メージセンサ−素子が、これの光軸がCCDカメラ3に
おいて位置ずれのない適切に位置に調整される。
調整完了後のCCDカメラ3から接眼レンズ系および接
続ケーブル11を取り外し、以後同様の手順で各CCD
カメラ3の光軸調整を順次行うのであるが、この光軸調
整方法では、交点を中心に位置決めした十字形の複写画
7aを有するフィルタ7をレンズ6の前面に取り付け、
且つ複写画7aを画面に映し出せる長さの伸長筒8をレ
ンズ6の後面に取り付けて接眼レンズ系を構成し、この
接眼レンズ系をCCDカメラ3に取り付けるので、複写
画7aがCCDカメラ3に対し従来のように離間するこ
となく一体的であって複写画7aとCCカメラ3との位
置関係が常に一定であるため、従来のような煩雑で困難
な複写画7aとCCDカメラ3との相互間の3次元的な
位置調整が解消され、しかも、如何なる場所に移動して
光軸調整を行っても複写画7aとCCDカメラ3との相
互間の位置調整を容易に且つ正確に行える。
続ケーブル11を取り外し、以後同様の手順で各CCD
カメラ3の光軸調整を順次行うのであるが、この光軸調
整方法では、交点を中心に位置決めした十字形の複写画
7aを有するフィルタ7をレンズ6の前面に取り付け、
且つ複写画7aを画面に映し出せる長さの伸長筒8をレ
ンズ6の後面に取り付けて接眼レンズ系を構成し、この
接眼レンズ系をCCDカメラ3に取り付けるので、複写
画7aがCCDカメラ3に対し従来のように離間するこ
となく一体的であって複写画7aとCCカメラ3との位
置関係が常に一定であるため、従来のような煩雑で困難
な複写画7aとCCDカメラ3との相互間の3次元的な
位置調整が解消され、しかも、如何なる場所に移動して
光軸調整を行っても複写画7aとCCDカメラ3との相
互間の位置調整を容易に且つ正確に行える。
尚、本発明は前記説明並びに図面の内容にのみ限定され
るものではなく、請求の範囲を逸脱しない限り種々の変
形例をも包含し得る。例えば、前記実施例では十字形の
複写画を付したフィルタを用いて接眼レンズ系を構成し
たが、複写画を付したレンズでもよく、また、複写画は
、上下左右および中心の位置が特定できる画であればよ
<、十字形に限定されない。
るものではなく、請求の範囲を逸脱しない限り種々の変
形例をも包含し得る。例えば、前記実施例では十字形の
複写画を付したフィルタを用いて接眼レンズ系を構成し
たが、複写画を付したレンズでもよく、また、複写画は
、上下左右および中心の位置が特定できる画であればよ
<、十字形に限定されない。
〈発明の効果〉
以上のように本発明のCCDカメラの光軸調整方法によ
ると、複写画を有する被写体をレンズの前面に取り付け
、且つ複写画を画像として映し出せる長さの伸長筒をレ
ンズの後面に取り付けた接眼レンズ系を、CCDカメラ
に取り付けるので、調整用の装置が簡単で安価になると
ともに、被写画とCCDカメラとの位置関係が常に一定
となって従来のような煩雑で困難な3次元的な位置調整
作業を解消でき、しかも、如何なる場所に移動して光軸
調整を行っても被写画とCCDカメラとの相互間の位置
調整を容易に且つ正確に行える。
ると、複写画を有する被写体をレンズの前面に取り付け
、且つ複写画を画像として映し出せる長さの伸長筒をレ
ンズの後面に取り付けた接眼レンズ系を、CCDカメラ
に取り付けるので、調整用の装置が簡単で安価になると
ともに、被写画とCCDカメラとの位置関係が常に一定
となって従来のような煩雑で困難な3次元的な位置調整
作業を解消でき、しかも、如何なる場所に移動して光軸
調整を行っても被写画とCCDカメラとの相互間の位置
調整を容易に且つ正確に行える。
第1図(a)、 (b)は本発明の一実施例の接眼レン
ズ系の正面図および右側面図、 第2図は同接眼レンズ系をCCDカメラに取り付けた状
態の右側面図、 第3図は同接眼レンズ系のCCDカメラに対する位置決
めを行う状態の右側面図、 第4図(a)、 (bl、 (C)は第3図の調整手順
の説明図、第5図は同光軸調整を行う状態の構成図、第
6図は従来の光軸調整手段の構成図である。 3・・・CCDカメラ 6・・・レンズ 7・・・フィルタ(wZ写体) a・・・被写画 A・・・被写画の画像 8・・・伸長筒 2・・・モニター(画面) 3・・・信号発生器
ズ系の正面図および右側面図、 第2図は同接眼レンズ系をCCDカメラに取り付けた状
態の右側面図、 第3図は同接眼レンズ系のCCDカメラに対する位置決
めを行う状態の右側面図、 第4図(a)、 (bl、 (C)は第3図の調整手順
の説明図、第5図は同光軸調整を行う状態の構成図、第
6図は従来の光軸調整手段の構成図である。 3・・・CCDカメラ 6・・・レンズ 7・・・フィルタ(wZ写体) a・・・被写画 A・・・被写画の画像 8・・・伸長筒 2・・・モニター(画面) 3・・・信号発生器
Claims (1)
- (1)上下左右方向と中心を特定できる被写画が付され
た被写体を、レンズの前面に回動自在に取り付けるとと
もに、前記レンズの後面を、前記被写画を画面に映し出
せる長さの伸長筒を介在してCCDカメラの前面に連結
し、前記被写体を回動させて前記被写画が前記CCDカ
メラに対し適正な位置関係になるよう位置決めし、前記
CCDカメラを駆動して前記被写画の画像を画面に映し
出すとともに、信号発生器からの電気信号により前記画
面に基準パターンを映し出し、前記CCDカメラに内蔵
のCCDイメージセンサー素子を移動させて前記被写画
の画像を前記基準パターンに重ね合わせることを特徴と
するCCDカメラの光軸調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2046680A JPH03248685A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | Ccdカメラの光軸調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2046680A JPH03248685A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | Ccdカメラの光軸調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03248685A true JPH03248685A (ja) | 1991-11-06 |
Family
ID=12754095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2046680A Pending JPH03248685A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | Ccdカメラの光軸調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03248685A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04256290A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-10 | Nec Corp | 固体テレビカメラのセンタ調整方法 |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP2046680A patent/JPH03248685A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04256290A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-10 | Nec Corp | 固体テレビカメラのセンタ調整方法 |
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