JPH03242840A - 光学ディスクの製造方法 - Google Patents

光学ディスクの製造方法

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JPH03242840A
JPH03242840A JP4028190A JP4028190A JPH03242840A JP H03242840 A JPH03242840 A JP H03242840A JP 4028190 A JP4028190 A JP 4028190A JP 4028190 A JP4028190 A JP 4028190A JP H03242840 A JPH03242840 A JP H03242840A
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JP
Japan
Prior art keywords
stamper
substrate
resin
plate material
elastic plate
Prior art date
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Pending
Application number
JP4028190A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiyuki Nagahara
美行 永原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Filing date
Publication date
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  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、スタンパ面の信号の凹凸を液状樹脂で写しと
る光学ディスクの信頼性を向上させる製造方法に関する
ものである。
〈従来の技術〉 従来、上記のスタンパの記録部面に液状の樹脂を滴下し
た上から基板を重ね、続いて、前記の樹脂を硬化して基
板と一体化するとき、スタンパの底面を支えるプレス台
と、その基板の裏面を押す(1) プレスの金型面の間隔が一定になるようにした機械的な
精度によって光ディスクの厚さを均一にしていた。
〈発明が解決しようとする課題〉 以上で説明した従来の接着型光ディスクの製造工程は第
2図に示したが少なくとも次のような2つの問題があっ
た。
その第1の問題は第2図+a)に示したように、スタン
パ1の厚みと、それを支持しているプレス機の金型2に
極めて高い精度の平面度が必要になることである。これ
は、スタンパ1の厚みが一様でないと、作製した光ディ
スクもスタンパ1の厚みによって不均一な厚さにな9、
その光ディスクに厚さの分布ができること、及び、その
厚さ分布により光ディスクの記録面でチルトが大きくな
り、その光ディスクによる記録や再生の信頼性が低下す
ることや、この光ディスクのドライブにその制御系への
要求が大きくなり、負担が大きくなった。
しかしスタンパの厚さを均一にし、しかも、その裏面や
前記の金型の面の平面度の精度を高くする(2) 900− ためにはスタンパ1の電鋳、その裏前の研摩及び金型の
機械加工等に極めて高度な技術が必要になってくる。
従来の光ディスクの作製では、上記のスタンパ1を金型
2に固定した上、第2図fb)に示したようにスタンパ
1表面にその表面の凹凸の信号をコピーする液状樹脂8
を滴下し、続いて第2図fc)のように基板4を重ねて
金型2と基板4の裏面から圧力を加えながら樹脂8を硬
化させる。このとき、硬化した樹脂3は基板4に接着さ
せている。
以上の工程の後、第2図fclのように樹脂8を接着し
た基板4をスタンパ1から引き離して光ディスクの作製
を行った。
しかし、この工程で次のような第2の問題がある。それ
は、樹脂を硬化させるとき上下から剛体面で加圧するの
で、スタンパ1面を損傷しないために樹脂8層に余裕を
もたせた数μmから数10Itmにすることになシ、光
ディスクとして使用するときは、その硬化した樹脂の上
に記録膜や反射膜等の成膜をするが、その硬化した樹脂
3には成分としての残留やそこに吸着した水分などがあ
り、堆積した膜を酸化左どで変質させ光ディスクの信頼
性を低下させるという問題があった。
本発明は、接着型光ディスクの製造方法がもつ上記の課
題を解消し、比較的高車で信頼性を高くできる光デイヌ
クの製造方法を提供することを目的としている。
〈課題を解決するための手段〉 本発明も、はぼ従来と同じ方法でスタンパに形成された
微細なパターンを液状の厨脂によ−て写しとるが、作製
するときスタンパを金型に固定するのでなく、スタンパ
と金型の間に柔軟性がある弾性板材を介在させて、スタ
ンパや金型の平面的精度が多少悪くてもスタンパ表面と
基板表面は、加圧によって密着させる作製方法である。
本発明の作製方法により、スタンパの表前に滴下させた
樹脂は、スタンパに基板を対向させプレス加圧したとき
、余分の樹脂を排出させることができる。
〈作 用〉 本発明による製造方法は、スタンパを弾性板材にのせた
上、基板と圧接するので、その間に部分的な強い力が加
わることがなくなり、樹脂の厚さを極めて薄く、かつ、
均一にすることができる。
従ってチルトが小さく、その上に堆積した光メモリ用の
薄膜の変質の問題も少なくなり信頼性の高い光ディスク
にすることができる。
〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
先ず本発明の実施例に使用するスタンパ1について説明
する。本発明で使用するスタンパ1も従来と同じ方法で
作製できる。しかし、本発明の効果を生かすことができ
るので、通常の射出成型法や接着法などに用いるときは
、作製したディスクの厚みや、その厚みの均一性、チル
トを目的の精度にするためスタンパ1而の平面度とその
再現性分布は目標値の±10μm以内にする必要があ−
たが、本発明によればスタンパに対する制限がゆるくな
り、前記の条件は±30μm1又は、それ以下の精度で
も問題なく使用することができる。
又、そのスタンパ1の裏面も、従来は表面と平行にした
鏡面研摩を必要としたが、本発明で使用するときは荒研
摩だけでよい。(第1図(a))本発明では、以上で説
明したスタンパ1を弾性のある板状部材5の表面に接着
剤を用いて貼りつける。(第1図(b))。使用する弾
性板材5はゴムシリコン樹脂又はスポンジ等の比較的柔
軟性があり、かつ、外部から加圧する面に対して均等な
反撥力になる材料を用いればよい。従って、上記の材料
であれば約5mm程度の厚みがあればよい。
光デイヌクの作製には、第1図[C1のように、上記で
説明したスタンパ1の表面に液状樹脂3を滴下マ法に用
いる)の樹脂でよい。この液状樹脂8に重ねて接着させ
るプラスチック基板4はプレス加圧したとき湾曲するこ
とがあるので、基板4の裏面から図示しない対熱性もあ
って精度のよい平面をもつ石英ガラス板等を介在させて
加圧するととが好しい。以上のように基板4を重ねた後
、スタンパ1側から加圧して基板4に押しつける。この
とき押しつける加圧力はそのときの樹脂3の粘度によ−
て多少異なるが10.f’/=2程度で充分である。こ
れは、必要以上に圧力をかけるとスタンパ1の表面を損
傷することがあるからである。以上のように加圧した状
態にした上、本実施例では透光性をもった基板4側から
UV光を照射して樹脂3を硬化させた。樹脂8硬化後、
基板4をスタンパ1から剥離することで、スタンパ1に
形成されていたグル−プ′やピットのパターンが凹部は
凸部となるよう転写されるが、スタンパ1の凸部では殆
んど樹脂8がない状態になる。これはスタンパ1を弾性
をもつ板状部材5を介して加圧するのでスタンパ1に多
少の湾曲があっても均等に基板4に密着させることがで
きるからである。これによ−て、基板4はスタンパ1の
形状を最小の樹脂によ−て転写させることができる。
以上の実施例は、使用した弾性板にゴム、又はこれに類
似した材料の板を用いたが、この弾性板は実施例の材料
に限定されず、スタンパに均等な圧力をかけることがで
きるものであれば柔軟な袋状のものに液体、又は、気体
などの流体を封入して用いてもよい。
更に、スタンパ1の形状についても、第3図に示したよ
うにその中心部を凸状の突起を設けて、スタンパの中心
位置合せを容易にする形にすることもできる。
更に、本発明の実施例ではスタンパと弾性板を接着する
方法で説明したが、スタンパと弾性板は必ずしも接着す
る必要はなく、案内ピンなどを用いて位置決めしてもよ
い。
以上の他にも、本発明の作用を利用する変形した実施が
可能である。
〈発明の効果〉 本発明では、スタンパを弾性板を介する加圧により、基
板とスタンパの全面を均等に密着させることができ、基
板に付着させる樹脂も均一に極めて薄くすることができ
る。従−て本発明の方法で製造した光ディスクの信頼性
を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光デイスク製造工程の一実施例を示す
断面図、第2図は光デイスク製造の従来例を示す断面図
、第3図はスタンパの変形例を示す断面図である。 1・・・スタンパ、 2・・・金型、  8・・・樹脂
、4・・・基板、    5・・・弾性板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、スタンパ表面に滴下した液状樹脂の表面に基板を圧
    着し、前記液状樹脂を硬化させることで前記樹脂と基板
    を一体化する光ディスクの製造方法に於て、前記樹脂を
    硬化させるとき、前記基板の裏面から弾力性をもつ板材
    を介して加圧することを特徴とする光学ディスクの製造
    方法。
JP4028190A 1990-02-20 1990-02-20 光学ディスクの製造方法 Pending JPH03242840A (ja)

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JPH03242840A true JPH03242840A (ja) 1991-10-29

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7377765B2 (en) 2006-02-14 2008-05-27 Hitachi Global Storage Technologies System, method, and apparatus for non-contact and diffuse curing exposure for making photopolymer nanoimprinting stamper

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7377765B2 (en) 2006-02-14 2008-05-27 Hitachi Global Storage Technologies System, method, and apparatus for non-contact and diffuse curing exposure for making photopolymer nanoimprinting stamper
US7731889B2 (en) 2006-02-14 2010-06-08 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method for non-contact and diffuse curing exposure for making photopolymer nanoimprinting stamper

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