JPH03238187A - 配管等の遠隔加工方法および遠隔加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は核融合装置等における配管等の被加工物のレー
ザ加工を遠隔操作にて行なう配管等の遠隔加工方法およ
び遠隔加工装置に係り、特にレーザ光を用いて管内アク
セス方式により配管等の被加工物の溶接・切断等の加工
処理を行なう配管等の遠隔加工方法および遠隔加工装置
に関する。

（従来の技術） 真空容器内に高温プラズマを閉じ込めて、核融合反応を
発生させる核融合装置は、例えば第１０図に示すような
概略構成となっている。この核融合装置１はプラズマ２
の周りに真空バウンダリを形成する真空壁３を有する。

この真空壁３の外側にはトロイダルコイル５とボロイダ
ルコイル６が設置され、これらトロイダルコイル５およ
びポロイダルコイル６の電磁力によって真空壁３の内側
にプラズマ２が閉じ込められる。

このように構成された核融合装置１には、さらにプラズ
マ２中に発生した不純物を除去するための不純物除去装
置７や、不純物を外部へ排出するための真空排気ダクト
８が備えられている。不純物除去装置７は、プラズマ゛
２の表面に直接面するため、プラズマ２からの高熱負荷
を受けたり、中性粒子の衝突等により損傷を受ける可能
性が高い。

そこで不純物除去装置７は、核融合炉の寿命中に複数回
、定期的に分解あるいは引き抜いて損傷箇所の補修を行
なう必要がある。しかし、不純物除去装置７には、第１
１図に示す如く、底部７ａに複数本の冷却配管９が林立
状態で取り付けられて、外部へ導出されている。上記不
純物除去装置７を分解する場合には、まず冷却配管９を
切断しなければならない。そこで第１２図に示すように
切断機１０により切断位置ａで冷却配管９の切断を行な
う。その後、第１３図に示す如く損傷を受けた不純物除
去装置７はボート１１を介して引き出され、所定の補修
が行なわれる。補修後には挿入されて図示しない溶接機
にて再組立が行なわれる。

一方、核融合装置は、経済性の面から、核融合炉を小型
化することが必須要件になってきた。そのため第１１図
に示す如く林立する冷却配管９についても切断機や溶接
機を配管にアクセスするためのメンテナンススペースを
削減せざるを得な（なってきた。

この点から、この種の核融合装置に従来の管外からのア
クセス方式に代えて配管間隔を極限的に縮小できる方法
として、配管の内部から設置箇所あるいは溶接箇所にア
クセスする管内アクセス方式が開発され、この管内アク
セス方式により、不純物除去装置７の分解・再組立が検
討されるようになってきた。

管内アクセス方式には薄肉細径管を対象としたものと厚
内大径管を対象としたものに大別される。

第１４図は薄肉細径管を対象とした例で、特開昭６２−
９３０９４号公報に示されている。レーザ装置として小
出力ながら光ファイバを使用可能な固体レーザを用いて
いる。しかして、レーザ発振器１２より発振されたレー
ザ光は光ファイバ１３を介して円錐形凹面鏡１４に照射
され、この凹面鏡１４にて集光されて加工部に照射され
、溶接あるいは切断が行なわれる。

この管内アクセス方式ではレーザ装置全体が小型のため
、レーザビームの中心軸と冷却配管９の中心軸の芯ずれ
量も小さく、また冷却配管９が薄肉のため溶接も容易で
あり、芯ずれに起因する溶接や切断結果のばらつきは少
ない。このため、管内アクセス方式は薄肉細径管では実
現が容易であり、配管の肉厚が２〜３Ｍ以下の薄肉細径
管では適用されている。

管内アクセス方式の他の事例は厚肉大径管を対象とした
ものであり、この−例を第１５図に示す。

レーザ装置には高出力ビームを発振できるガスレーザが
一般に用いられている。

レーザ発振器５から発振されたレーザ光すは、集光光学
系１６および曲げミラー１７を介して厚肉配管１８の溶
接あるいは切断部に照射され、この部分の溶接あるいは
切断が行なわれる。この管内アクセス方式では高出力の
レーザ装置を用いるため、充分な熱容量を与える必要か
らレーザ装置全体が大型化する。このためレーザビーム
に対する軸ずれを小さくすることは難しい。また対象と
する厚肉配管が大型であることから管径自体の歪（ＪＩ
Ｓ　　Ｇ３４５９では外径の許容公差は±１％）は、実
際には１ｍｍ以上にも達する場合がありこれも無視でき
ない。

以上の原因から厚内大径管を対象とする溶接あるいは切
断の場合は、１ノーザ光の焦点位置すれか±２〜３ｍｍ
にも達する場合があり、薄肉細径管のケースのように単
に集光ビームを配管表面に照射するだけでは、配管全周
に亘って良好な溶接あるいは切断結果が得られないこと
がある。

そのため第１５図ではレーザセンサを具備しており、加
工用レーザ光の照射に先立ち、検出用レーザ発振器１９
から微弱レーザ光Ｃを配管１８に照射し、その反射レー
ザ光ｄを曲げミラー２０゜２↑を経てレーザ検出器２２
に導入することで加工位置の検出を可能にしている（特
開昭６０−８２２８４号公報参照）。

その結果、加工用レーザ光すの配管上での焦点位置が、
許容範囲を超えるような場合は、制御装置２３により集
光系移動機構２４．　２５．　２６゜２７を作動させ、
加工用レーザ光すの焦点位置を調整するようになってい
る。

（発明が解決しようとする課題） 厚内大径管１８を対象とした従来の遠隔加工装置におい
て、管内アクセス方式で溶接・切断等のレーザ加工を行
なう場合、配管加工部に加工用レーザ光の焦点を合せる
ため、複雑な焦点位置補正機能を備えた装置が必要とな
る。この焦点信置補正装置は複雑で小型化が困難である
一方、配管内に設置されるため、耐熱要求が厳しく、現
実には実施が困難であった。

本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、複雑
な焦点位置補正を不要とし、レーザ光を用いて管内アク
セス方式で配管加工部の溶接や切断等の加工を容易かつ
確実に遠隔操作にて行なうことができる配管等の遠隔加
工方法および遠隔加工装置を提供することを目的とする
。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明に係る配管等の遠隔加工方法は、上述した課題を
解決するために、配管等の被加工物の溶接・切断等の加
工をレーザ光を使用して遠隔操作にて行なう配管等の遠
隔加工方法において、レーザ装置から出力されたマルチ
モードの加工用レーザ光を配管等の被加工物内に入射さ
せ、入射された加工用レーザ光を集光させて被加工物の
加工部に照射し、上記加工部の溶接・切断等のレーザ加
工を行なう方法である。

また、上述した課題を解決するために、本発明に係る配
管等の遠隔加工装置は、配管等の被加工物の溶接・切断
等の加工をレーザ光を使用して遠隔操作にて行なう配管
等の遠隔加工装置において、マルチモードの加工用レー
ザ光を出力するレーザ装置と、この加工用レーザ光を配
管等の被加工物内に導入する光伝送系と、上記加工用レ
ーザ光を集光させる集光光学系と、集光された加工用レ
ーザ光を被加工物の加工部に照射して溶接・切断等の加
工を行なう加工ノズルと、上記集光光学系および加工ノ
ズルを配管内で回転自在に支持した支持装置とを有する
ものである。

（作用） この配管等の遠隔加工方法および遠隔加工装置において
は、レーザ装置から出力されるマルチモードの加工用レ
ーザ光を用い、この加工用レーザ光を集光光学系で集光
させて配管加工部に照射し、溶接や切断等のレーザ加工
を行なうようにしたから、配管が保有する径の歪や、レ
ーザ光の中心軸と配管の中心軸の芯ずれに起因するレー
ザビーム焦点位置のずれに対して、特殊な焦点位置補正
を行なうことなく、配管加工部、例えば配管全周の溶接
・切断等のレーザ加工を遠隔地から良好に行なえる。

（実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の一実施例について説
明する。

第１図は本発明による配管の遠隔補修装置の一実施例を
示す図である。この遠隔補修装置はレーザ発振器３０と
共振器３１とを組み合せたレーザ装置３２を有し、この
レーザ発振器３０から発振された加工用レーザ光Ｂは共
振器３１にて増幅され、マルチモードのビームとして放
出（出力）される。

レーザ装置３２から出力された加工用レーザ光Ｂは光伝
送系を構成する曲げミラー（走査ミラー）３４を介して
被加工物としての冷却配管３５の内部に導入される。こ
の冷却配管３５は核融合装置の不純物除去装置３６の底
部に取付けられており、冷却配管３５内には加工装置部
３７を支持する支持装置３８が出し入れ可能に装着され
る。

支持装置３８は加工装置部３７のスリーブ状加王ヘッド
３９を回動自在に支持する固定ベース４０とこの固定ベ
ース４０を冷却配管３５内に固定させる固定脚４１とを
備えている。固定ベース４０には加工装置部３７を冷却
配管３５の軸線回りに回転させる回転駆動部４２が取付
けられる。

また、加工装置部３７の加工ヘッド３９はマルチモード
の加工用レーザ光Ｂを集光させる集光光学系（集光レン
ズ）４３と、集光された加工用レーザ光Ｂの方向を変更
させるＦ巾げミラー（走杏ミラー）４４と、このミラー
４４で走査された加工用レーザ光Ｂを冷却配管内面など
の配管加工部に案内する加工ノズル４５とを有し、この
加工ノズル４５は冷却配管３５の溶接・切断等のレーザ
加工時に酸素等のアシストガスを放出するとともに、光
学系４３．４４を熱的に保護している。

第２図はレーザ装置３２Ａの共振器３１Ａ、３１Ｂ、３
１Ｃと各位置におけるレーザ光のパワー分布を模式的に
示したものである。第２図（Ａ）は安定型共振器３１Ａ
と呼ばれる一対の共振器から得られるシングルモードの
レーザ光Ｂ１を示している。このレーザ装置３２Ａのア
パーチャ３４によって周辺のビームを除去しているため
、比較的低出力のレーザ光Ｂ１　しか得られないが、共
振器出り近傍ではレーザ光Ｂ１はガウス分布のパワー分
布を呈し、集光点では良好な集光性が得られる。したが
ってこのレーザ装置３２Ａは一般には薄板の溶接・切断
に用いられる。

次に第２図（Ｂ）に示されるレーザ装置３２Ｂは、不安
定型共振器３１Ｂと呼ばれる一対の共振器から得られる
リングモードのレーザ光Ｂ２を示している。このレーザ
装置３２Ｂは高出力のレーザ光Ｂ２が得られるもので、
共振器３１Ｂ出口近傍でレーザ光Ｂ２はリング状のパワ
ー分布を呈している。リングモードのレーザ光Ｂ２は集
光点では高い集光性が得られるため、数ｍｍ以上の厚板
溶接に用いられている。

一方、第２図（Ｃ）に示されるレーザ装置３１Ｃは安定
型共振器３１Ｃでアパーチャによるレーザビームの除去
を少なくしたもので、マルチモードと呼ばれる高出力の
レーザ光Ｂ３が得られる。

１ このレーザ装置３１Ｃでは共振器出口近傍のレーザ光Ｂ
３のパワー分布はシルクハツト状で、集光点でもあまり
高いパワー密度は得られない。このため、従来、マルチ
モードのレーザ光は、比較的低いパワー密度が所定の幅
について均一に得られることを利用してレーザ焼き入れ
に用いられる。

これに対し、本発明者らはマルチモードのレーザ光を利
用してレーザ溶接を行なう実験をした。

その実験結果の一部を第３図（Ａ）に示す。比較のため
に第３図（Ｂ）には、従来のリングモードによるレーザ
溶接結果を対比させて示す。

第３図はレーザ出力８ＫＷの例で、第３図（Ａ）はマル
チモード、第３図（Ｂ）はリングモードのレーザ光を用
いたものである。被溶接材やシールドガス、ガス流量、
加工ノズル、集光レンズ等はいずれも同一条件とした。

このレーザ溶接により得られた溶接部の溶込み深さを、
集光されたレーザ光の焦点位置に対して整理したもので
ある。

ここでは被溶接材表面より上方に焦点位置がある場合を
プラス（＋）符号で表わし、被溶接材表面上２ に焦点が設定されている場合を０１さらに被溶接材内部
に焦点位置がある場合をマイナス（−）符号で表わした
。

集光ビームのパワー密度が充分高いリングモードのレー
ザ光を用いた場合、同一条件では明らかにマルチモード
に対して、深い被溶接材の溶込みが得られる。しかし、
溶込み深さは焦点位置によって大きく変化している。一
方、マルチモードの溶込み深さは、リングモードに比し
て同一条件でも劣る。しかし、焦点位置の変化が溶込み
深さに与えられる影響は少なく、非常に小さい。また、
レーザ切断性能の点でもマルチモードでは同様の効果が
得られた。

レーザ溶接（レーザ切断）の実験結果から、マルチモー
ドのレーザ光では、焦点位置の変化が溶接性能や切断性
能に大きな影響を与えにくい性質を有することが明らか
となった。この実験結果に着目し、第１図の実施例にお
いては、レーザ装置３２に安定型の共振器３１を用い、
マルチモードのレーザ光Ｂが放出されるようにしている
。

次に、配管等の遠隔加工装置の作用を説明する。

この遠隔加工装置は、マルチモードのレーザ光を用いて
冷却配管３５内を遠隔操作により溶接・切断等のレーザ
加工を行なうものである。この遠隔加工作業に先立ち、
冷却配管３５内に加工装置部３７を挿入し、図示しない
遠隔操作マニピュレータによって加工装置部３７を把持
して、所定の切断位置まで移動させる。ここで加工装置
部３７の固定脚をはり出して配管内面に加工装置部７を
固定する。次にレーザ発振器３０および共振器３１によ
って、所定のレーザ出力のマルチモードのレーザ光Ｂを
放出させる。

次に光伝送系の曲げミラー３４によってマルチモードの
レーザ光Ｂを加工装置部３７の集光光学系４３に導入し
、曲げミラー４４を介して冷却配管３５の内表面（配管
加工部）にレーザ光Ｂを照射させる。これと同時、ある
いは若干（数秒〜数十秒）先立つように図示しないガス
供給系から加工ノズル４５を介して切断ガスを冷却配管
内表面に吹き付ける。レーザ光Ｂと酸素等の切断ガスの
エネルギーにより冷却配管３５には穴が開けられる。こ
の直後に支持装置３８の回転駆動部４２を駆動させて加
工ヘッド３９全体を周方向に所定の周速度で回転させる
。これによって加工穴は連続した切断溝となり回転駆動
部４２が１回転することにより冷却配管３５は分離切断
される。このときの切断パラメータは冷却配管３５の肉
厚によって種々設定する必要があるため、予め同一の加
工装置部３７を用いて配管試験体を切断する試験を行な
い切断パラメータを選定する。

例えば、材質５ＵＳ３０４．３００ＡｘＳｃｈ２０Ｓ（
肉厚６．５ｍｍｔ）の配管では、レーザ出力５ＫＷ、切
断周速度７５０ｗ／ｍｉｎにて完全な分離切断がなされ
た。また材質５ＵＳ３０４．２０ＱＡｘＳｃｈ４０ｓ　
（肉厚８．２ｍｍｔ）の配管では、レーザ出カフＫＷ、
切断周速度６５０ｍｍ／ｍｉｎにて同様の切断が行なえ
た。

切断された冷却配管３５は、第１０図に示す真空排気ダ
クト８側へ加工装置部３７と共に引き抜かれる。また不
純物除去装置７は第１３図に示す５ 工６ ようにポート１１側から引き出され、損傷部位の補修が
行なわれる。

補修完了後の不純物除去装置７は第１３図の引出しとは
逆の操作で再度挿入される。また、新たな冷却配管３５
も同様に第１０図に示す真空排気ダクト８側から挿入さ
れる。その後、切断の際と同様の手順で、加工装置部３
７を図示しない遠隔操作マニピュレータにより冷却配管
３５内部に挿入し、所定の溶接位置にて固定脚４１を用
いて固定する。さらに切断の際と同様の手順でマルチモ
ードのレーザ光Ｂを配管内表面（配管加工部）に照射し
てレーザ溶接を行なう。

このときの溶接パラメータも切断の際と同様に冷却配管
３５の肉厚によって種々設定する必要がある。予め行な
った溶接パラメータ選定試験によれば溶接ガスにはヘリ
ウムガスを用い、例えば材質５ＵＳ３０４．３００Ａｘ
Ｓｃｈ２０ｓ　（肉厚６．５ｍｍｔ）の配管では、レー
ザ出カフＫＷ、切断周速度１０００ｍｍ／ｍｉｎにて完
全な溶接が行なえた。また材質５ＵＳ３０４．２００Ａ
ＸＳｃｈ４０Ｓ（肉厚８．２ｍｍｔ）の配管では、レー
ザ出力８ＫＷ、切断周速度８００　ｍｍ／ｍｉｎにて同
様の溶接が行なえた。

この配管の遠隔加工装置によれば、核融合装置の不純物
除去装置７の冷却配管３５の切断・溶接を遠隔操作によ
り、マルチモードのレーザ光を用いて配管を内面からア
クセスするようにしたので切断・溶接のために林立する
冷却配管３５にアクセスするためのメンテナンススペー
スを設ける必要がなくなり、核融合部の小型化を実現で
きる。

また、肉厚３〜４ｍｍｔ以上の厚内大径管に対し、許容
されている外径の歪や、レーザ光と配管の芯ずれに起因
するレーザ光焦点位置の変動が生じても、焦点位置変化
に対して溶接性能や切断性能が影響を受けにくいマルチ
モードのレーザ光を用いるので、これを補正するための
特別のレーザ光照射焦点位置補正機構や検出センサを具
備することも不要となり、容易に遠隔操作によりレーザ
加工処理を行なうことができる。

マルチモードのレーザ光は「焦点位置変化に対して溶接
性能および切断性能が影響を受けにくい性質」を保有し
ており、この性質は低出力溶接や切断に従来用いられて
いるシングルモードのレーザ光や、大出力溶接に用いら
れているリングモードのレーザ光においても長焦点レン
ズ（集光系）を用いれば焦点深度が深まるため得ること
ができる。しかしマルチモードに代えて長焦点レンズで
同様の効果を得ようとすると集光後の■げミラーにおけ
るビーム径が集光レンズの焦点距離に反比例するため、
曲げミラー上でのレーザパワーの密度が非常に高まり、
曲げミラーの熱的損傷が発生するためシングルモードや
リングモードのレーザ光では管内アクセス方式のレーザ
加工処理（補修）は実現できない。

（他の実施例） 次に配管等の遠隔加工装置の他の実施例を第４図を用い
て説明する。

第４図では第１図における集光レンズ４３と曲げミラー
４４からなる光学系に代えて凹面を有する集光ミラー４
６によってマルチモードのレーザ光Ｂを集光しつつ配管
内表面（配管加工部）に照射するようにしている。ここ
でもマルチモードのレーザ光の性質により前出の実施例
と同様の効果が得られる。他の構成は第１図に示した遠
隔加工装置と実質的に同じであるので、同一符号を付し
て説明を省略する。

さらに配管の遠隔加工装置の第３の実施例を第５図に示
す。

この実施例に示された配管の遠隔加工装置はマルチモー
ドのレーザ光を用いてレーザ溶接を遠隔操作により行な
う場合を示している。−膜内には冷却配管３５の溶接は
Ｉ型突合せ（平面での突合せ）継手で実施される。しか
し、再組立時に遠隔操作にて冷却配管をフィッティング
する場合、Ｉ型突合せでは第６図に示すような目違いが
発生し易い。

そこで本実施例では第５図および第７図（Ａ）に示す如
く開先４７に突起部４８を設け、目違いが生じないよう
に配慮されている。しかも、第７図（１３）に小ず如く
、この遠隔加工装置によりし９ ０ 一ザ加工処理された溶接断面はレーザ光照射側に拡がっ
た「くさび形」を呈するため、開先４７の突起部４８は
レーザ照射側すなわち配管内面側に設けられている。こ
れによってレーザ溶接後、開先面の残存しない良好な溶
接結果が得られる。

第８図は配管の遠隔加工装置の第４実施例を示すもので
ある。この実施例に示された遠隔加工装置は冷却配管３
５のレーザ切断処理の工程を示している。レーザ切断は
マルチモードのレーザ光のエネルギによって溶融した金
属をアシストガスによって裏側へ吹き飛ばすことによっ
て実現する。

したがって、分離切断を得るためには溶融金属（以下ド
ロスという。）の飛散が伴う。

しかし、この遠隔加工装置において切断工程が実施され
る部位は清浄な雰囲気が要求される核融合装置内である
。したがって、ドロスの回収が重要となる。第８図は切
断位置にドロス回収用のドロスカバー５０を取り付けた
実施例である。ドロスカバー５０はドロスのト１収が目
的であるが、切断を健全に行なうためには加工ノズル４
５から放出したアシストガスの圧力および流量を抑制し
てはならない。そこでドロスカバー５０にはアシストガ
スが吹き抜けるように一方に開口部５１が設けられてい
る。

本発明に係る配管等の遠隔加工装置は、核融合装置の不
純物除去装置の冷却配管を対象として遠隔操作によりレ
ーザ加工処理する場合に限らず、圧力容器や真空容器等
の一般の容器の製造方法および装置としても有効である
。すなわち第９図に示す如く一般の真空容器あるいは圧
力容器等の容器５２に対し、図示しない１ノ一ザ加工装
置部を挿入し、マルチモードのレーザ光を照射して容器
５２あるいはレーザ加工装置部を回転させることにより
、これらの容器を低歪で高能率の溶接を行なうことがで
きる。

この場合、フランジ５３は機械加工によって精度が得ら
れているものの胴５４は一般に曲げ加工のため、真円で
はなく歪んでいる。しかし、これらの歪に対しても本実
施例ではマルチモードのレーザ光を用いているので、充
分な許容範囲を有し、特別なレーザ光照射焦点位置補正
機能なしで良好な溶接結果が得られる。よって蓋５５を
図示しないボルトで締結する場合も、熱歪に起因する問
題は生じない。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明に係る配管等の遠隔加工方法
および遠隔加工装置によれば、配管等の被加工物の切断
・溶接を遠隔操作にて行なう際、マルチモードの加工用
レーザ光を用いて配管等の被加工物を内面から切断・溶
接等のレーザ加工を行なうようにしたので、レーザ加工
処理の際に林立する冷却配管等にアクセスするためのメ
ンテナンススペースを設ける必要がなくなり、小型化が
実現できる。また肉厚３〜４　ｍｍ　を以上の厚肉太径
管の切断や溶接等のレーザ加工を行なう場合、許容され
ている外径の歪や加工用レーザ光と配管の芯ずれに起因
する加工用レーザ光焦点位置の変動が生じても、焦点位
置の変動に対して溶接性能および切断性能が影響を受け
にくいマルチモードのレーザ光を用いているので、これ
を補正するための特別のレーザ光照射焦点位置補正機構
や検出センサを具備することも必要なく、簡便かつコン
パクトな遠隔加工装置で遠隔操作によるレーザ加工処理
を簡単に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る配管等の遠隔加工装置の一実施例
を示す図、第２図（Ａ）、　　（Ｂ）および（Ｃ）は各
レーザ装置から出力されるレーサ′光のパワニ分布を模
式的に示す図、第３図（Ａ）および（Ｂ）はマルチモー
ドのレーザ光およびリングモードのレーザ光を同一条件
で使用した場合の焦点位置と溶込み量との関係を示す図
、第４図は本発明の第２実施例を示す図、第５図は本発
明の第３実施例を示す図、第６図は目違いによる配管の
突合せ状態を示す図、第７図（Ａ）は第５図に示された
Ａ部の拡大断面図、第７図（Ｂ）は第７図（Ａ）を溶接
した状態を示す部分断面図、第８図は本発明の第４実施
例を示す図、第９図は本発明の遠隔加工装置を用いて容
器を溶接する場合を例３ ４ 示的に示す図、第１０図はトカマク型核融合装置の部分
断面図、第１１図は核融合装置の不純物除去装置に取付
けられる林立状態の冷却配管を示す斜視図、第１２図は
第１１図を側方から見た側面図、第１３図は不純物除去
装置の分解作業を説明する図、第１４図は薄肉細径管を
対象とした従来の遠隔加工装置を示す図、第Ｉ５図は厚
肉太径管を対象とした従来の遠隔加工装置を示す図であ
る。 ８・・・真空排気ダクト、３０・・・レーザ発振器、３
１・・・共振器、３２・・・レーザ装置、３４・・・曲
げミラー（光伝送系）、３５・・・冷却配管、３６・・
・不純物除去装置、３７・・・加工装置部、３８・・・
支持装置、３９・・・加工ヘッド、４０・・・固定ベー
ス、４１・・・固定脚、４２・・・回転駆動部、４３・
・・集光光学系（集光レンズ）、４４・・・曲げミラー
、４５・・・加工ノズル、Ｂ・・・マルチモードのレー
ザ光。 ３１Ｂ 共Ｍ出口近傍の し−ず光のパワー傅Φ 噂にデ巳南、におｌｉら レープ光のパワ７小巾 １ 第２ ６ −４−２ 焦点位置 十２ ６ ４−２ （笑、　、町セ、　イｎ　　　置 ＋２ （Ａ） （Ｂ） 第３図 特開平３−２３８１８７　（１１） 第１１図 第７３図 第１４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、配管等の被加工物の溶接・切断等の加工をレーザ光
   を使用して遠隔操作にて行なう配管等の遠隔加工方法に
   おいて、レーザ装置から出力されたマルチモードの加工
   用レーザ光を配管等の被加工物内に入射させ、入射され
   た加工用レーザ光を集光させて被加工物の加工部に照射
   し、上記加工部の溶接・切断等のレーザ加工を行なうこ
   とを特徴とする配管等の遠隔加工方法。 ２、配管等の被加工物の溶接・切断等の加工をレーザ光
   を使用して遠隔操作にて行なう配管等の遠隔加工装置に
   おいて、マルチモードの加工用レーザ光を出力するレー
   ザ装置と、この加工用レーザ光を配管等の被加工物内に
   導入する光伝送系と、上記加工用レーザ光を集光させる
   集光光学系と、集光された加工用レーザ光を被加工物の
   加工部に照射して溶接・切断等の加工を行なう加工ノズ
   ルと、上記集光光学系および加工ノズルを配管内で回転
   自在に支持した支持装置とを有することを特徴とする配
   管等の遠隔加工装置。