JP4124409B2 - 電子ビーム溶接装置及び溶接方法 - Google Patents
電子ビーム溶接装置及び溶接方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4124409B2 JP4124409B2 JP2001283468A JP2001283468A JP4124409B2 JP 4124409 B2 JP4124409 B2 JP 4124409B2 JP 2001283468 A JP2001283468 A JP 2001283468A JP 2001283468 A JP2001283468 A JP 2001283468A JP 4124409 B2 JP4124409 B2 JP 4124409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- visible laser
- chamber
- workpiece
- setting material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビーム溶接装置及び溶接方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子ビーム溶接装置の従来技術としては、例えば、特開平3−60879号公報に記載された技術がある。
【0003】
この公報に記載された技術は、電子ビーム溶接を行うときの電子ビーム照射位置を検出する際、電子ビーム溶接装置から発振された電子ビームが、溶接予定位置を横切って走査したときに、被溶接物からの反射電子あるいは二次電子が焦点位置と対応して変化することを利用して、溶接線と電子銃との位置関係を把握する技術である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の技術にあっては、被溶接物に電子ビームを照射して、溶接予定位置と電子銃との位置関係を調整するため、被溶接物が電子ビームのエネルギにより熱変形する可能性があった。
【0005】
最近では、被溶接対象物として、厚さ寸法がより小さい薄板も、電子ビーム溶接することが予定されているので、位置関係の調節に余分なエネルギーを被溶接物に与えると、変形が顕著に現れ、良質な溶接が困難となる。
【0006】
本発明の目的は、溶接線と電子ビーム発生源との位置合せを行なう際に、被溶接物の熱変形を抑制することができる電子ビーム溶接装置及び溶接方法を実現することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
(1)チャンバと、電子ビーム発生部と、前記チャンバ外に配置された可視レーザ発振器を有する可視レーザ発振手段と、前記チャンバ内に配置された支持台であって、前記電子ビーム発生部から照射された電子ビームにより溶接される被溶接物、又は、前記電子ビーム発生部からの電子ビームのビームスポット位置と前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットとの位置関係の調整に用いられるセッティング材料を支持する支持台と、前記チャンバ外に配置され、前記セッティング材料又は前記被溶接物で反射された可視レーザが入射される撮像手段とを有する電子ビーム溶接装置であって、前記可視レーザ発振手段は、
前記チャンバ外に配置され、前記可視レーザ発振器から発振された可視レーザを反射して前記支持台に支持された前記セッティング材料又は前記被溶接物に照射させる反射鏡を備え、前記チャンバは、前記反射鏡で反射された可視レーザを前記チャンバ内に透過させる第1の透過窓と、前記セッティング材料又は前記被溶接物で反射された可視レーザを前記チャンバ外に透過させる第2の透過窓とを備え、前記反射鏡は、その角度及び位置が調整でき、前記反射鏡の角度及び位置が調整されることにより前記可視レーザを前記セッティング材料に照射された電子ビームのビームスポット上に照射して、前記電子ビームスポット位置と前記可視レーザのレーザスポット位置とが調整されて前記反射鏡の角度及び位置が固定され、前記支持台は、移動可能な支持台であり、前記支持台に支持された被溶接物から反射された可視レーザが、前記撮像手段に入射され、前記撮像手段に入射された可視レーザに基づいて、前記支持台が移動されることにより、前記電子ビームスポット位置と前記被溶接物の溶接開始位置とが一致するよう調整される。
【0009】
(2)チャンバと、電子ビーム発生部と、前記チャンバ外に配置された可視レーザ発振器と、前記チャンバ内に配置された移動可能な支持台であって、前記電子ビーム発生部から照射された電子ビームにより溶接される被溶接物、又は、前記電子ビーム発生部からの電子ビームのビームスポット位置と前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットとの位置関係の調整に用いられるセッティング材料を支持する前記支持台と、前記チャンバ外に配置され、前記可視レーザ発振器から発振された可視レーザを反射して前記支持台に支持された前記セッティング材料又は前記被溶接物に照射させる反射鏡と、前記チャンバ外に配置され、前記セッティング材料又は前記被溶接物で反射された可視レーザが入射される撮像手段とを有する電子ビーム溶接装置を用いた電子ビーム溶接方法であって、前記セッティング材料を前記支持台に支持し、前記チャンバ内を真空状態に設定し、前記ビーム発生手段から電子ビームを、前記可視レーザ発振器から可視レーザを前記セッティング材料に照射し、前記撮像手段から得られる画像に基づいて、前記反射鏡の角度及び位置を調整して、前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットを、前記電子ビーム発生部からの電子ビームのビームスポット上に位置合わせし、角度及び位置調整後の前記反射鏡の角度及び位置を固定して、前記チャンバ内の真空状態を解除し、前記被溶接物を前記セッティング材料と置き換えて前記支持台に支持し、前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットと、前記被溶接物の溶接開始位置との位置関係を調整し、前記チャンバ内を真空状態に設定し、前記電子ビームを前記被溶接物に照射して溶接する。
【0011】
可視レーザ光は、電子ビームと異なりエネルギが非常に小さく、集光せずに使用するため、被溶接物に照射したとしても、被溶接物の熱変形が起きない。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態である電子ビーム溶接装置の概略構成図である。
【0013】
図1において、1は電子ビーム発生部であり、この電子ビーム発生部1の先端には、電子ビーム発生部を溶接スパッタから保護するシールドノズル2が取り付けられている。
【0014】
また、被溶接物3は、X−Y−θ(回転軸)テーブル(移動可能な支持台)4上に支持され、これら被溶接物3、X−Y−θテーブル4及びシールドノズル2は、チャンバ5内に配置されている。
【0015】
図1に示す電子ビーム発生部1の左側であって、チャンバ5外に、可視レーザ発振器6と、レーザ光反射鏡8と、このレーザ光反射鏡8を覆う反射鏡ボックス9とが配置されている。また、発振器6のレーザ発振側にはピンホール7が形成されている。
【0016】
そして、レーザ発振器6からのレーザビーム13は、ピンホール7を通過して、反射鏡8で反射され、チャンバ5に形成されたビーム透過窓(図示せず)を通過して被溶接物3に照射される。
【0017】
一方、図1に示す電子ビーム発生部1の右側には、電子ビーム発生部1から放射される電子ビームのビームスポット及びレーザ発振器6からのレーザ光のスポットを確認するCCDカメラ(撮像手段)10と、反射鏡11と、反射鏡ボックス12とが配置されている。
【0018】
そして、被溶接物3から反射されたレーザビーム13が、チャンバ5に形成されたビーム透過窓(図示せず)を通過して反射鏡11によって反射される。反射鏡11により反射されたレーザビーム13は、CCDカメラ10に入射されるように構成されている。
【0019】
本発明の一実施形態における電子ビーム溶接装置は上記のように構成されており、以下にその動作について図2、図3及び図4を用いて説明する。
【0020】
図2及び図3において、電子ビーム発生装置から放出される電子ビームを被溶接物3の溶接予定線に精度よく合わせる方法として、まず、電子ビームのビームスポットと可視レーザ発振器6から発振されるレーザビーム13のレーザスポットとを共にP点に合わせる。
【0021】
電子ビームのビームスポットとレーザスポットとを一致させる方法としては、被溶接物3とは異なる別の材料を準備してセッティング材料15として用い、電子ビームのビームスポットとレーザ光13のレーザスポットを同一点Pにレーザ光反射鏡8を調節して調整する。
【0022】
ピンホール7は、レーザ光13のビーム径を小さくし精度よく同一点に合せるのに使用する。
【0023】
また、反射鏡8の調整確認には、CCDカメラ10を使用してビームスポットを目視で確認し、反射鏡8の反射角度等を調整し、調整後、その角度又は位置に固定する。
【0024】
電子ビーム発生装置と可視レーザ発振器6とは、一体となっており、電子ビームとレーザ光とのビームスポットを合せることで電子ビームをレーザ光で疑似的に表現することができる。
【0025】
そして、セッティング材料として用いた材料15を被溶接物3に置き換え、レーザ発振器6からのレーザ光を使用し、被溶接物3に照射する。この被溶接物3から反射されたレーザ光13は、反射鏡11を介してCCDカメラ10に入射される。
【0026】
CCDカメラ10による目視確認で、図2に示すように、被溶接物3の溶接予定線14の溶接開始位置とレーザビームスポット13とが一致するように、X−Y−θテーブル4を移動し、溶接線検出及び位置合せを行なう。
【0027】
上述のようにして、溶接線検出及び位置合わせが終了すると、被溶接物3の溶接が、図4に示すような状態で開始される。
【0028】
電子ビーム発生部1では、加速された一定方向に流れる電子の集まりの束(電子ビーム)を発生させ、ビーム強度制御装置(図示せず)で電子ビームの強度が制御される。
【0029】
次に、電磁レンズで電子を集束することにより、高いエネルギ密度を得る。同時にビームの位置制御装置で被溶接物3の溶接線14に対して位置と焦点とをあわせる。
【0030】
シールドノズル2は、電子ビームの軌道に平行に取り付けられ、電子ビーム発生部1を保護している。
【0031】
被溶接物3が配置される、X−Y−θ(回転軸)テーブル4は、360度回転可能なターンテーブルとなっており、溶接線14に沿ってビームスポット13が移動するように、X−Y−θテーブル4が自動的に移動され、溶接処理が行われる。
【0032】
被溶接物3上では、電子の持っている運動エネルギの大部分が熱エネルギに変換されて被溶接物3が溶接される。
【0033】
このようにして、被溶接物3の溶接処理が終了される。
【0034】
以上のように、本発明の一実施形態によれば、電子ビームによる被溶接物の溶接に先立って、レーザ光を用いて、被溶接物と電子ビーム発生部1との位置関係を調整するように構成される。
【0035】
ここで、電子ビームは真空中でしか走査できないため、電子ビーム発生部1から電子ビームを発生させる場合、一度、チャンバ5内を真空状態としなければならない。このため、電子ビームにより被溶接物3と電子ビーム発生部1との位置合わせを行う場合、チャンバ5内を真空状態とした状態では、操作者が被溶接物3に接近することができない。
【0036】
操作者が被溶接物3に接近して電子ビーム発生部1との位置合わせを行う場合には、チャンバ5内の真空状態を解除する必要がある。
【0037】
それに対して、レーザ光は電子ビームと異なり大気中でも発振可能である。 そのため、レーザ光による位置合わせ作業中でもチャンバ5内を真空状態とする必要が無く、被溶接物3に操作者が近づいて目視で溶接線検出及び位置合せを行なうことが出来る。
【0038】
また、レーザ光によれば、大気中で位置合わせの段取りと溶接線検出及び位置合せを行なうことが出来るため、被溶接物3の位置調整が容易にでき、溶接線に対する電子ビーム発生部1の位置精度が向上する。
【0039】
また、可視レーザ光は、電子ビームと異なりエネルギが非常に小さく、集光せずに使用するため、被溶接物3に照射したとしても、被溶接物3の熱変形が起きない。
【0040】
さらに、溶接を行なうためにチャンバ5内を排気すると、電子ビーム溶接装置のチャンバ5内は暗闇となるが、可視レーザ光を使用すれば、暗闇でもビームスポットにより、溶接線を確認することができる。
【0041】
なお、上述した例は、操作者がレーザ光を確認して、テーブル4の位置等を調整するように構成したが、CCDカメラ10から得られる画像を自動的に認識して、テーブル4の位置、角度を自動的に調整することも可能である。
【0042】
【発明の効果】
本発明によれば、電子ビーム溶接における溶接線検出及び位置合せを行なう際に、被溶接物の熱変形を抑制することが可能な電子ビーム溶接装置及び溶接方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態である可視レーザ発振器を備えた電子ビーム溶接装置の概略構成図である。
【図2】本発明の一実施形態である電子ビーム溶接装置の位置合わせの説明図である。
【図3】本発明の一実施形態である電子ビーム溶接装置の位置合わせの説明図である。
【図4】本発明の一実施形態である電子ビーム溶接装置の溶接動作の説明図である。
【符号の説明】
1 電子ビーム発生部
2 シールドノズル
3 被溶接物
4 X−Y−θテーブル
5 チャンバ
6 可視レーザ発振器
7 ピンホール
8、11 レーザ光反射鏡
9、12 反射鏡ボックス
10 CCDカメラ
13 ビームスポット
14 溶接線
15 セッティング材料
Claims (2)
- チャンバと、
電子ビーム発生部と、
前記チャンバ外に配置された可視レーザ発振器を有する可視レーザ発振手段と、
前記チャンバ内に配置された支持台であって、前記電子ビーム発生部から照射された電子ビームにより溶接される被溶接物、又は、前記電子ビーム発生部からの電子ビームのビームスポット位置と前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットとの位置関係の調整に用いられるセッティング材料を支持する支持台と、
前記チャンバ外に配置され、前記セッティング材料又は前記被溶接物で反射された可視レーザが入射される撮像手段とを有する電子ビーム溶接装置であって、
前記可視レーザ発振手段は、
前記チャンバ外に配置され、前記可視レーザ発振器から発振された可視レーザを反射して前記支持台に支持された前記セッティング材料又は前記被溶接物に照射させる反射鏡を備え、
前記チャンバは、
前記反射鏡で反射された可視レーザを前記チャンバ内に透過させる第1の透過窓と、前記セッティング材料又は前記被溶接物で反射された可視レーザを前記チャンバ外に透過させる第2の透過窓とを備え、
前記反射鏡は、その角度及び位置が調整でき、前記反射鏡の角度及び位置が調整されることにより前記可視レーザを前記セッティング材料に照射された電子ビームのビームスポット上に照射して、前記電子ビームスポット位置と前記可視レーザのレーザスポット位置とが調整されて前記反射鏡の角度及び位置が固定され、
前記支持台は、移動可能な支持台であり、前記支持台に支持された被溶接物から反射された可視レーザが、前記撮像手段に入射され、前記撮像手段に入射された可視レーザに基づいて、前記支持台が移動されることにより、前記電子ビームスポット位置と前記被溶接物の溶接開始位置とが一致するよう調整されることを特徴とする電子ビーム溶接装置。 - チャンバと、電子ビーム発生部と、前記チャンバ外に配置された可視レーザ発振器と、前記チャンバ内に配置された移動可能な支持台であって、前記電子ビーム発生部から照射された電子ビームにより溶接される被溶接物、又は、前記電子ビーム発生部からの電子ビームのビームスポット位置と前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットとの位置関係の調整に用いられるセッティング材料を支持する前記支持台と、前記チャンバ外に配置され、前記可視レーザ発振器から発振された可視レーザを反射して前記支持台に支持された前記セッティング材料又は前記被溶接物に照射させる反射鏡と、前記チャンバ外に配置され、前記セッティング材料又は前記被溶接物で反射された可視レーザが入射される撮像手段とを有する電子ビーム溶接装置を用いた電子ビーム溶接方法であって、
前記セッティング材料を前記支持台に支持し、
前記チャンバ内を真空状態に設定し、
前記ビーム発生手段から電子ビームを、前記可視レーザ発振器から可視レーザを前記セッティング材料に照射し、
前記撮像手段から得られる画像に基づいて、前記反射鏡の角度及び位置を調整して、前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットを、前記電子ビーム発生部からの電子ビームのビームスポット上に位置合わせし、角度及び位置調整後の前記反射鏡の角度及び位置を固定して、
前記チャンバ内の真空状態を解除し、
前記被溶接物を前記セッティング材料と置き換えて前記支持台に支持し、
前記可視レーザ発振器からの可視レーザのレーザスポットと、前記被溶接物の溶接開始位置との位置関係を調整し、
前記チャンバ内を真空状態に設定し、
前記電子ビームを前記被溶接物に照射して溶接することを特徴とする電子ビーム溶接方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001283468A JP4124409B2 (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 電子ビーム溶接装置及び溶接方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001283468A JP4124409B2 (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 電子ビーム溶接装置及び溶接方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003088962A JP2003088962A (ja) | 2003-03-25 |
JP4124409B2 true JP4124409B2 (ja) | 2008-07-23 |
Family
ID=19106948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001283468A Expired - Fee Related JP4124409B2 (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 電子ビーム溶接装置及び溶接方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4124409B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103506757A (zh) * | 2012-06-19 | 2014-01-15 | 先进科技新加坡有限公司 | 用于将激光对准于工件表面的激光装置和方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006059729A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Nec Tokin Corp | 電池のタブ溶接方法及び溶接装置 |
FR2892651B1 (fr) * | 2005-10-28 | 2008-12-26 | Techmeta Soc Par Actions Simpl | Procede de soudage de corps de pompes haute tension. |
CN103252571A (zh) * | 2013-04-11 | 2013-08-21 | 苏州瑞森硬质合金有限公司 | 一种高精度金属工件加工工具 |
CN108480808A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-09-04 | 沈阳飞机工业(集团)有限公司 | 一种钛合金零件真空焊接箱控制装置 |
-
2001
- 2001-09-18 JP JP2001283468A patent/JP4124409B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103506757A (zh) * | 2012-06-19 | 2014-01-15 | 先进科技新加坡有限公司 | 用于将激光对准于工件表面的激光装置和方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003088962A (ja) | 2003-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4537548B2 (ja) | レーザーの焦点位置を決定するための方法および装置 | |
US6410882B1 (en) | Laser welding method | |
JP2005088585A (ja) | レーザー光線による部品の接合方法及び装置 | |
JP2004514053A (ja) | 電磁放射線束によって焼結、物質除去および/またはラベリングを行う装置およびその装置を操作する方法 | |
CN111971144B (zh) | 激光焊接方法 | |
TW200408486A (en) | Laser material processing method and processing device | |
JP3761657B2 (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
JP4395217B2 (ja) | レーザ溶接用複合ヘッド | |
JP4124409B2 (ja) | 電子ビーム溶接装置及び溶接方法 | |
JP6951040B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
TW201948005A (zh) | 對焦裝置及具有其之極紫外光輻射產生設備 | |
US20230142104A1 (en) | Method and device for generating a camera image of a welding seam for an image processing-supported laser transmission welding method | |
JP6780544B2 (ja) | レーザ溶接装置 | |
JPS6163387A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
JP7308439B2 (ja) | レーザ加工装置および光学調整方法 | |
JP4584683B2 (ja) | レーザ溶接用集光ヘッド | |
JP3818580B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP4452150B2 (ja) | 位相欠陥修正用マスク修正光学系,位相欠陥修正用マスク修正装置,及び位相欠陥修正用レーザcvdマスク修正装置 | |
JP2004098116A (ja) | マスク転写式レーザ形状加工方法 | |
JP2021093487A (ja) | レーザアニール装置および半導体装置の製造方法 | |
JPH04143092A (ja) | レーザ加工装置 | |
US20220395925A1 (en) | Method for laser machining a workpiece and associated laser machining system | |
JP5570323B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP2000312984A (ja) | レーザ装置 | |
JP7185436B2 (ja) | レーザ加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061017 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070921 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080430 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4124409 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |