JPH03236255A - 静電チャックの帯電除去方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は静電チャックの帯電除去方法に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

従来の技術は、例えば、特開昭６０−５５３９号公報に
記載のように、電極に負の電圧を印加する回路を付加し
て被処理物を強制的に開放脱離させ得ることとなってい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、被処理物の離脱に電極に負電圧な印加
できる付加回路を設けているため、装置が複雑化する点
について配慮がされておらず、被処理物の離脱専用回路
を設けなければならないという間層があった。

本発明の目的は離脱専用回路等を設ける必要はなく、被
処理物の離脱を容易にすることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、プラズマを形成するマイク
ロ波と、静電チャックを行なう直流電圧のおのおのの停
止タイミングを変えたものである。

〔作　　用〕

静電チャックはマイクロ波出力の印加と同時に直流電圧
を印加することで動作する。被処理物の、例えば、エツ
チングが終了した後、［ｆＬ電圧を停止する。その後、
マイクロ波出力を停止する。それによって、電極に貼着
された誘電体膜に１積された電荷は除去されるため、被
処理物のｍ脱が容易にできる。

〔実　−例〕

以下、本発明の一実施例を１＠１図および第２図により
説明する。

１１１１図で、処理室１の上部には石英製の放電管２が
設けてあり、真空処理室を形成している。処理室ｌには
、真空処理室内にエツチングガスを供給するガス供給口
３が設けてあり、また、真空処理室内部を所定圧力に減
圧・排気する真空排気装！（図示省略）につながる排気
口４が設けである。

処理室ｌ内には被エツチング材であるウェハ５を配置す
る電極６が設けである。％極６には高周波１１ｊｌｊ７
と直流％源８が接続してあり、電−６におのおの印加可
能になっている。放電管２の外側には放電管２を囲九で
導波管９が設けてあり、さらにその外側には放電管２内
に磁界を発生させるコイルｌＯが設けである。導放管９
の一部にはマイクロ波を発するマグネトロンＵが般けで
ある。

このような装置では、ガス供給口３から真空処理室内に
エツチングガスな供給するとともに、真空処理室内を所
定の圧力に減圧・排気し、導波管９によってマグネトロ
ンＵからのマイクロ波を放電管２内に導入するとともに
、コイル１０によって磁界を形成し、マイクロ波の電界
とコイル１０の磁界との作用によって、放電管２内の工
呼チングガスをプラズマ化する。さらに直流電＃８によ
ってｔｍ６に直流電圧を印加し、ウェハ５を電極６に吸
着させる・エツチングが終了した後、第２図に示すよう
に直流電源出力を停止させマイクロ波のみで放電を行な
うことにより電極６に貼着された誘電体ルに蓄積された
電荷が除去できる。よってその後の被処理物の離脱が容
易になる。第２図に示すような制御は、手動、自動いず
れで行なっても良い。

なお、本実施例では、エツチング装置を例に用いたが、
本発明を適用した装置であればいずれも応用可能である
。

〔発明の効果〕

本発明によれば、直流電圧とマイクロ波出力の停止タイ
ミングを制御することで電極に貼着した胱電体展に蓄積
した電荷が除去され、被処理物の離脱が容易にできる効
果がある。また、電荷な除去するための新たな設備が不
要であるため、経済的である等の効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のドライエツチング装置の処
理室の縦断面図、第２図は電荷を放電させるための出力
停止タイミングチャート図である。 ｌ・・・・・・処理室、２−−−−−・放電管、３・・
・・・・ガス供給口、４・・・・・・排気口、５・・・
・・・ウェハ、６−−−−−−電極、？　−−−・−高
周波電源、８・・・・・・直流電源、９・・・・・・導
波ｗ、ｉｏ−・・・・・コイル、Ｕ・・・・・・マクネ
トロン、鵞・・・・・・誘電体層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、マイクロ波によるプラズマ形成手段を有し、真空容
   器内に設けられた電極に直流電圧を印加できる構造より
   成る処理装置において、前記マイクロ波出力、および直
   流電圧の停止タイミングを制御することを特徴とする静
   電チャツクの帯電除去方法。