JPH03229507A - 弾性表面波素子の電極構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、固体表面を伝播する弾性表面波を利用する弾
性表面波素子（以下、ＳＡＷ素子と略称する。）の電極
構造に関するしのである。

［−従来の技術」 従来より、高周波帯域で用いられるＳＡＷ素子としては
、ＬｉＮｂＯ３やＬ　ｉＴ　ａｏ　３等からなる圧電体
基板」二に、アルミニウム合金やアルミニウム等からな
る一対の櫛型電極が形成されてなるものが知られている
。

このようなＳＡＷ素子の従来の櫛型電極構造の一例を第
９図に示す。この櫛型電極構造は、対向する互いに平行
な一組の共通電極１　ａＪｂと、共〆 通電極１ａからこの共通電極１ａに垂直に共通電極ｌｂ
側に向かって伸びる励振電極２ａと、共通電極１ｂから
この共通型［！１ｂに垂直に共通電極ｌａ側に向かって
伸びる励振電極２ｂとからなり、これら励振電極２ａ、
２ｂが、共通電極１　ａ、　Ｉ　ｂの長さ方向に交互に
形成されてなる乙のである。

「発明か解決しようとする課題Ｊ ところで、上記従来の櫛型電極構造を打するＳＡＷ素子
は、その周波数特性において、第１０図に示すように必
要とされろ特性Ａ以外に、スプリアス応答＋１　、１３
がててしまうという問題があった。

このような問題を解決するために、上記櫛型電極構造に
変化を持たせろ方法、・１゛なわらいわゆろ重み付けが
用いられている。

重み付けを行う方法としては、例えば第１１図に示すよ
うに励振電極２ａと２ｂとの交差幅を変化させたアボグ
イズ法や、第１２図に示すように励振？Ｔｉ極２ａ、２
ｂの間隔を変化させた間引き電極法、さらには第１３図
に示すように、励振電極２ａおよび２ｂに印加される電
圧を変化させる分圧法専が知られている。

しかしながら、上記アボダイズ法は、励振電極２ａ、２
ｂの交差幅の狭いところにおいて回折か生し、この回折
により特性の劣化が生じてしまうという問題があり、ま
た上記間引き電極法は、アボグイズ法のような回折によ
る特性の劣化は生じないが、重み付けが荒くなってしま
うといった欠点がある。さらに、上記分圧法は、これら
」二連したような欠点のない優れた方法であるが、実際
には、このような電極構造を形成ケることは、極めて困
難であるという問題があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたらので、Ｌ記スプリ
アス応答を防ぐ等の特性制御のために用いられろ重み付
けを行う方法のうち、分圧法によろ市みイ１けを容易に
可能とした弾性表面波素子の電極構造の提供を目的とす
るものである。

［−課題を解決するための手段」 本発明においては、ワイヤポンディング部と各励振電極
との間の抵抗値を共通電極の形状により調整４−ろよう
にした１ことにより上記課題を解決するようにした。

「作用　」 共通電極の形状を変化さ仕ることにより、ワイヤポンデ
ィング部と３励振電極間の抵抗値を調整する。これによ
り、共通？ｌ［極に連結された各励振電極の励振効率を
それぞれ制御してＳＡＷ素子の周波数特性を制御するこ
とかできる。

すなわち、第９図に示すような従来の電極構造において
、これを特にＵ　ＨＰなとの高周波帯用とした場合、Ｔ
Ｊ、極膜厚がｌｏｏｎｍ以下とされ、またその材料は、
アルミニウム、アルミニウムーケイ素合金、アルミニウ
ムーケイ素−銅合金、アルミニウムー銅合金、アルミニ
ウム−ニンケルーマグネノウム合金などのアルミニウム
基合金が用いられることが多い。このため、電極自体の
抵抗値が比較的大きなしの（約０．５Ω程度）となる。

従って、共通電極のワイヤポンディング部から′：ｖｉ
流経路の離れたところの励振Ｔ１極は、近いところの励
振電極に比べて抵抗が大きくなるｆ二め励振効率が劣る
ことになる。本発明は、この現象を積極的に利用したも
のであり、共通Ｔｉ極の形状を変化させることによりワ
イヤポンディング部から励振電極１での抵抗を実質的に
重み付けが可能な程度に変化させることができろように
し、分圧法による重み付けを行い、これによりスプリア
ス応答を防＋）−する等の特性制御を行う乙のである。

「実施例」 以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明する。

（実施例１） 第１図は、本発明のＳＡＷ素子の電極構造の第１実施例
を示すものである。

図中符号１ａ、１ｂは、共通電極を示す。この共通電極
１ａには共通電極１ａから共通電極１ａに垂直に共通７
［１１４Ｉｂ側に向かって伸びる励振電極２ａが形成さ
れており、また共通電極１ｂにも同様に励振電極２ｂ・
・が杉成されている。これらの励振電極２ａ　および２
ｂ・は、共通電極＋ａ、ｌ　ｂの長さ方向に交互に形成
されている。

上記）（通ｉ極１ａ、１ｂは、その長手方向中央部の幅
が最ら大きく、両末端に行くに従って幅が減少するよう
に形成されており、かつその膜厚が均一となっており、
その長手方向中央部には、それぞれリードワイヤが接続
されるワイヤポンディング部３ａ、３ｂが形成されてい
る。第１実施例におＩｆろ共通電極１ａ、１ｂは、対向
する而は互いに平行に形成されており、これらの而と反
対側の面において、その長さ方向中央部より両末端に至
るまで、略直線状に傾きが形成されている。

このように、共通電極１　ａ、　Ｉ　ｂの長さ方向にノ
（通工極１ａ、１ｂの横断面の面積を変化させることに
より、ワイヤポンディング部３　ａ、　３　ｂからそれ
ぞれの励振７電極２ａ、２ｂまでの抵抗（♂ｌを変化さ
せ実質的に重み付けをしている。

本発明においては、これら電極の膜厚が１１００ｎ以ド
であることが好上しい。

また、本発明の電極構造に用いられろ＋４科としては、
Δｌ、らしくはＡ　ｌ−９ｉ、Ａ　Ｉ　−Ｓ　ｉ　−Ｃ
ｕ、ＡＩ−Ｃｕ、Ａ　Ｉ　−Ｎ　ｉ　−Ｍｇ等の、へ１
合金が好適に用いられる。

このような電極構造を形成する方法としては、通常ＳＡ
Ｗ素子を形成４−ろ際に用いられろ方法を用いることで
３る。すなわち、まず蒸着、スパッタ等により金属膜を
成膜の後、フォトリソグラフィーやエツチングにより共
通電極１ａ、１ｂお」；び励振電極２ａ、２ｂを一括し
て形成する方法なとが用いられる。また、共通電極１　
ａ、　ｌ　ｂの厚みを変化させる場合には、さらに共通
電極の必要とされる部分に同種らしくは異なる金属を積
層して形成するなどの方法により形成することができろ
。

本発明の電極構造は、上述したように特にｔＪＩＩＦ帯
以−ヒの高周波帯域用のＳＡＷ素子に用いられた場合、
特にその効果を発揮するらのである。

（実施例２〜４） 第２図に本発明の第２実施例を、第３図に第３実施例を
、第４図に第４実施例を示４−。

この第２実施例、第３実施例および第４実施例が、上記
第１実施例と兄なるところは、共通電極ｌａ、■ｂの互
いに対向する側と反対側の面において、その長平方向中
央部から両末端にかけての傾斜か、第１実施例が直線で
あるのに対し、第２実施例は内側に緩やかに湾曲してお
り、第３実施例は外側に緩やかに湾曲しており、第４実
施例においては段状になっているところである。

このように、共通電極１ａ、１１）の長さ方向に共通電
極１　ａ、　ｌ　１３の横断面の面積を種々変化させる
ことにより、ワイヤポンディング部３ａ、３ｂからそれ
ぞれの励振電極上での抵抗値を種々変化させろことがで
きる。

（実施例５） 本発明の第５実施例を第５図および第６図に示・ｊ−ｏ
　ここで、第６図は第５図のＩＶ−ＩＶ線断面図を・ｊ
々す。

この第５実施例が、］二記第１実施例と異なるところは
、共通７［ｆＭｉ　ｌ　ａ、　１　ｂの長さ方向におい
てその幅を一定とし、かつ圧電体・１上の共通型ｔ＆　
ｌ　ａ、１ｂの膜厚を異なるように形成したところにあ
る。

この実施例においては、共通電極１　ａ、　Ｉ　ｂの模
りを変化さ什ろことによりワイヤホンディング部３ａ、
３ｂからそれぞれの励振電極までの抵抗値を変化さけ、
それぞれの励＆電極２ａ、２ｂの励振効率を制御してい
る。

′ｉで１例６．７） 本発明の第６実施例を第７図に、第７実施例を第８図に
示す。

これらの実施例が上記第１実施例と異なるところは、第
６実施例においてはワイヤポンディング部３ａ、３ｂの
位置を中心からずらしたところにあり、第７実施例にお
いてはワイヤポンディング部３ａ、３ｂを各共通電極］
　ａ、　ｌ　ｂにそれぞれ二つずつ設けたところにある
。

本発明のＳＡＷ素子の電極構造においては、別の重み付
けを行う方法、例えばアボタイズ法等と併用することら
可能である。

「発明の効果」 以上説明したように本発明によるＳＡＷ素子の電極構造
は、ワイヤポンディング部と各励振電極との間の抵抗値
を共通電極の形状により調整することにより各励振電極
からワイヤポンディング部までの抵抗を調整できる構造
としたため、これにより各励振電極の励振効率を制御す
ることができる。

すなわち、本発明のＳＡＷ素子のＴｉ電極構造、スプリ
アス応答を防ＩＦする等の特性の制御を行うための・Ｆ
み付（１の方法の−っである分圧法を容易に用いること
ができろという効果を（了するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第８図は、本発明のＳＡＷ素子の電極構晶
の実施例を示す乙ので、第１図は第１実施例を示す）［
ｉ面図、第２図は第２実施例を示す甲面図、第３図（」
第３月施例を示す平面図、第４図は第４実施例を示すｙ
■＝面図、第５図は第５実施例を示すり１乙面図、第６
図は第５図の矢視断面図、第７図は第６実ｊ４例を示４
−５［へ面図、第８図は第７実施例を２１．４゛宅面図
である。 よだ、第９図、第１１図ないし第１３図は従来のＳΔＷ
累了の電極構造を示す乙ので、第９図はｉｌｊみ付けを
行っていない？電極構造を示−４゛平面図、第１１図は
アボダイズ法により市み付けを行った電極構造を示す平
面図、第１２図は間引き電極法により重み付けを行った
電極構造を示す平面図、第１３図は分圧法による重み付
：」を行った電極構造を示す平面図である。第１０図は
、従来の電極構造を用いたＳＡＷ素子の特性を示すグラ
フである。 共通電極、２ 励振電極、 ワイヤポンディング部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）　一組の共通電極と、この共通電極に設けられた
   ワイヤボンディング部と、上記それぞれの共通電極から
   他方の共通電極側に向かって伸びる励振電極とが形成さ
   れてなる櫛型状の弾性表面波素子の電極構造において、 上記ワイヤボンディング部と上記各励振電極との間の抵
   抗値を上記共通電極の形状により調整するようにしたこ
   とを特徴する弾性表面波素子の電極構造。
2. （２）共通電極の幅を変化させることにより上記抵抗値
   の調整を行うことを特徴とする請求項（１）記載の弾性
   表面波素子の電極構造。
3. （３）共通電極の肉厚を変化させることにより上記抵抗
   値の調整を行うことを特徴とする請求項（１）記載の弾
   性表面波素子の電極構造。
4. （４）共通電極の幅と肉厚とを変化させることにより上
   記抵抗値の調整を行うことを特徴とする請求項（１）記
   載の弾性表面波素子の電極構造。