JPH03228349A - 半導体ウェハーケース - Google Patents
半導体ウェハーケースInfo
- Publication number
- JPH03228349A JPH03228349A JP2023668A JP2366890A JPH03228349A JP H03228349 A JPH03228349 A JP H03228349A JP 2023668 A JP2023668 A JP 2023668A JP 2366890 A JP2366890 A JP 2366890A JP H03228349 A JPH03228349 A JP H03228349A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- wafer
- semiconductor wafer
- wafer case
- orange color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims abstract description 7
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体ウェハーケースに関し、特にフォトレ
ジストの付いたウェハーを運ぶ際に使用するウェハーケ
ースに関する。
ジストの付いたウェハーを運ぶ際に使用するウェハーケ
ースに関する。
従来のウェハーケースは、第2図に示すようにポリプロ
ピレン製で内部に半導体ウェハーを保持できる構造のケ
ース本体22とその蓋21とからなっており、白色半透
明で内部の半導体ウェハーを確認できるようになってい
る。
ピレン製で内部に半導体ウェハーを保持できる構造のケ
ース本体22とその蓋21とからなっており、白色半透
明で内部の半導体ウェハーを確認できるようになってい
る。
上述した従来のウェハーケースは、ポリプロピレン製で
非導電性のため静電気でウェハーケースにゴミが付着す
る欠点があり、また白色半透明であるのでフォトレジス
トの塗布したウェハーを運搬する場合に外部の光によっ
てフォトレジストが怒光してしまう欠点がある。
非導電性のため静電気でウェハーケースにゴミが付着す
る欠点があり、また白色半透明であるのでフォトレジス
トの塗布したウェハーを運搬する場合に外部の光によっ
てフォトレジストが怒光してしまう欠点がある。
本発明の半導体ウェハーケースの素材は、ポリプロピレ
ンにアミンを含有させ導電性にし、かつ半透明オレンジ
色であるという特徴を持っている。
ンにアミンを含有させ導電性にし、かつ半透明オレンジ
色であるという特徴を持っている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例のウェハーケースの側面図で
ある。蓋11の素材はポリプロピレンにアミンを含有し
導電性で半透明オレンジ色てあり、内部に半導体ウェハ
ーを保持するケース本体12も同じ素材でできている。
ある。蓋11の素材はポリプロピレンにアミンを含有し
導電性で半透明オレンジ色てあり、内部に半導体ウェハ
ーを保持するケース本体12も同じ素材でできている。
以上説明した本発明のウェハーケースは導電性のため静
電気によるゴミの付着を防止する効果があり、又半透明
オレンジ色であるため内部に紫外線が通過せず、フォト
レジストの塗布したウェハーを視認しながら運搬できる
効果がある。
電気によるゴミの付着を防止する効果があり、又半透明
オレンジ色であるため内部に紫外線が通過せず、フォト
レジストの塗布したウェハーを視認しながら運搬できる
効果がある。
第1図は本発明のウェハーケースの一実施例の側面図、
第2図は従来のウェハーケースの側面図である。 11.21・・・蓋、12.22・・ケース本体。
第2図は従来のウェハーケースの側面図である。 11.21・・・蓋、12.22・・ケース本体。
Claims (1)
- 半導体ウェハーを保持できるケース本体とその蓋とから
なる半導体ウェハーケースにおいて、ケース本体と蓋が
、ポリプロピレンにアミンを含有し導電性を有し、かつ
半透明オレンジ色を呈する素材から形成されていること
を特徴とする半導体ウェハーケース。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023668A JPH03228349A (ja) | 1990-02-02 | 1990-02-02 | 半導体ウェハーケース |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023668A JPH03228349A (ja) | 1990-02-02 | 1990-02-02 | 半導体ウェハーケース |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03228349A true JPH03228349A (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=12116871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023668A Pending JPH03228349A (ja) | 1990-02-02 | 1990-02-02 | 半導体ウェハーケース |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03228349A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998045879A1 (fr) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Teijin Limited | Support de plaquette de silicium |
EP0917183A2 (en) * | 1997-11-11 | 1999-05-19 | Innotech Corporation | Clean box |
US6355716B1 (en) | 1996-01-11 | 2002-03-12 | Teijin Limited | Silicon wafer carrier |
-
1990
- 1990-02-02 JP JP2023668A patent/JPH03228349A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6355716B1 (en) | 1996-01-11 | 2002-03-12 | Teijin Limited | Silicon wafer carrier |
WO1998045879A1 (fr) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Teijin Limited | Support de plaquette de silicium |
US6268030B1 (en) | 1997-04-04 | 2001-07-31 | Teijin Limited | Silicon wafer carrier |
EP0917183A2 (en) * | 1997-11-11 | 1999-05-19 | Innotech Corporation | Clean box |
EP0917183A3 (en) * | 1997-11-11 | 2002-04-03 | Innotech Corporation | Clean box |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3477311D1 (en) | Carrier film with conductive adhesive for dicing of semiconductor wafers | |
DE68909270D1 (de) | Halbleiter-Dünnschicht und Herstellungsverfahren. | |
DE68914479D1 (de) | Randbelichtungsverfahren für Halbleiterscheiben. | |
EP0213910A3 (en) | Semiconductor device free from the current leakage through a semiconductor layer and method for manufacturing same | |
DE69525697T2 (de) | Halbleiteranordnung vom Filmträgertyp mit Anschlusshöcher | |
MY103125A (en) | Cover tape for sealing chip-holding parts of carrier tape | |
KR950012673A (ko) | 플라즈마로부터 정전기척을 보호하기 위해 자석을 갖는 플라즈마 반응기 | |
DE69513361D1 (de) | Trägerbehälter für Substratscheiben | |
SE9100597D0 (sv) | Kapsel foer vlsi-wafer | |
DE69101818D1 (de) | Halbleitersubstrat-Ätzgerät. | |
TW360985B (en) | Semiconductor light emitting element and method for fabricating the same | |
JPH03228349A (ja) | 半導体ウェハーケース | |
DE69400142D1 (de) | Trägerkassette für Siliziumscheiben | |
ATE414047T1 (de) | Temporäre schutzverkleidungen | |
Riley et al. | Deposition of liquid-based contaminants onto silicon surfaces. | |
JPS5367706A (en) | Method of cleaning and cleaning agent | |
JPH0324547A (ja) | マスク保護用ペリクル | |
JPS60128623A (ja) | 基板処理治具 | |
GB819656A (en) | Improvements in or relating to crystal diodes | |
DE69415197D1 (de) | Trägerfilm für photographischen Film | |
JPS63179355A (ja) | レチクル保護ケ−ス | |
DE69112613D1 (de) | Trägerkassette für Halbleiterscheiben. | |
JPH04342155A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS5676543A (en) | Semiconductor element | |
KR19990027902A (ko) | 반도체 장치의 노광 척 |