JPH03228239A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［従来の技術］ 情報の消去および書き換えが可能な光磁気記録媒体は、
一般には、透明基板の上に保護膜、垂直磁気異方性を有
する磁性膜および保護膜をこの順に積層した構造を有す
るか、または上記の上層の保護膜上にさらに反射膜を積
層した構造を有している。上記の磁性膜を形成する材料
としては、希土類元素と遷移金属とのアモルファス合金
が好ましく、たとえばＴｂＦｅＣｏ、　ＮｄＤｙＦｅＣ
ｏ、　ＧｄＴｂＦｅなどの合金が用いられている。上記
の構造を備えた光磁気記録媒体はカー回転角が！度程度
であり、磁気光学効果が小さいという問題点を有する。

上記の問題点を解決するために、ＣＯからなる膜とＰｄ
および／またはＰｔからなる膜とが１〜２００人の範囲
の膜厚で交互に多数積層されてなり、垂直磁気異方性を
有する組成変調膜を備えた光磁気記録媒体が開発されて
いる［例えば、特開平１〜１６１２５７号公報、特開平
１１６９７５７号公報およびアプライド・フイジクス・
レターズ（Ａｐｐｌｉｅｄ　ＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅ
ｒｓ）　、第５４巻、第２４号、第２４８１頁（１００
年）参照］。

［発明が解決しようとする課題］ 透明基板上にＣｏからなる膜とＰｄおよび／またはＰｔ
からなる膜とが交互に多数積層されてなる組成変調膜を
備えた光磁気記録媒体は大きな・・・・・・カー回転角
を有している。しかし、該光磁気記録媒体を高温・高湿
下に曝した場合には、上記の組成変調膜の形成時に透明
基板と組成変調膜との間に生じた歪みが緩和されること
などから、光磁気記録媒体が有する記録特性が徐々に低
下する問題が生じる。

また、透明基板上に２ｎＳからなる下地膜と、上記の組
成変調膜とを順次積層してなる光磁気記録媒体は、該下
地膜を備えていない光磁気記録媒体よりも大きな保持力
およびカー回転角を有していることが知られているが（
特開平１〜１６９７５７号公報参照）、下地膜と組成変
調膜との界面に生じた歪みが高温・高湿下で緩和される
ことなどによって、記録特性が徐々に低下する問題を有
している。

本発明の目的は、大きな保磁力とカー回転角とを宵し、
かっ・・・良好な耐高温・高湿性を有する光磁気記録媒
体を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、上記の目的は、透明基板上にＳｉおよ
び／またはＡＣの窒化物または酸化物からなる誘電体膜
と、１〜１２人の範囲の膜厚を有するＣ。

からなる膜と１〜３０人の範囲の膜厚を有するＰｄおよ
び／またはＰｔからなる膜とが交互に３層以上積層され
てなる組成変調膜とが順次積層されてなることを特徴と
する光磁気記録媒体を提供することによって達成される
。

［実施例］ 以下、実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ 本発明の光磁気記録媒体の一例の概略断面図を第１図に
示す。第１図に示す光磁気記録媒体は透明基板１上にＳ
ｉＮ、　ＡＣＮ、　Ｓｉｎ、　Ａ１２ＳｉＮなどのＳｉ
および／または＾Ｑの窒化物または酸化物からなる誘電
体膜２か形成され、誘電体膜２上にＣｏ膜とＰｄ膜、Ｃ
。

膜とＰｔ膜またはＣｏ膜とＰｄＰｔ合金膜とが交互に３
層以上積層されてなる組成変調膜３か形成されてなり、
上記の透明基板ｌ側から情報を記録、再生または消去す
るために光が照射される。組成変調膜３を形成するＣｏ
１１の膜厚は１〜１２人の範囲であり、Ｐｄ膜、Ｐｔ膜
またはＰｄＰｔ合金膜の膜厚は１〜３０人の範囲である
。Ｃｏ膜の膜厚が２〜９人の範囲であり、かつＰｄ膜、
Ｐｔ膜またはＰｄＰｔ合金膜の膜厚が１０〜２５人の範
囲であることが高い磁気光学効果が得られる点から好ま
しい。また組成変調膜の厚さは４０〜１０００人の範囲
であることが好ましい。高い記録感度が得られ、かつ角
形の磁気カー曲線が得られることから、該膜厚は５０〜
３００人の範囲であることがより好ましい。組成変調膜
は、各金属膜の界面で異種の金属原子が混在する領域の
ない超格子構造を有していてもよく、また異種の金属原
子が入り乱れ、界面で異種の金属原子が混在する領域を
有し、かつ組成が周期的に変わる変調構造を有していて
もよい。組成ＲＲ膜にＡｌ％５ｉ１Ｔｉ％Ｃｒなどの元
素を３原子％以下添加することが組成変調膜が有するキ
ュリー温度を下げることができる点で好適である。

上記の組成変調膜はＣｏターゲットと、Ｐｔターゲット
、ＰｄターゲットまたはＰｔＰｄターゲットとを用いた
スパッタリング法、真空蒸着法などにより形成すること
ができる。スパッタリング法により組成変調膜を形成す
る場合には、各ターゲット上にシャッターを設置してお
き、該シャッターを交互に開ければよい。

誘電体膜２の厚さは５〜１００００人の範囲であること
が好ましい。高い磁気光学効果が得られる点から該膜厚
は３００〜１５００人の範囲であることがより好ましい
。誘電体膜は反応性スパッタリング法、真空蒸着法など
により形成することができる。反応性スパッタリング法
により誘電体膜を形成する場合、導入する０、ガスまた
はＮ、ガスのガス圧は０．２Ｐａ以下であることが好適
である。

透明基板ｌとしてはポリカーボネート樹脂、ポリメチル
メタクリレ−１・樹脂、エボキン樹脂、ガラスなどを用
いることができる。

本発明の光磁気記録媒体の組成変調膜３の上にＳｉＮ、
＾１２Ｎ％　５ＩＯ１ＳＩＬ＾１２ＳｉＮなどからなる
誘電体膜を形成するか、該誘電体膜上にさらに＾（１，
Ａ（！Ｔｉなどからなる反射膜を形成することが、高い
磁気曲線を測定した結果を第２図に示す。第２図の結果
を得た光磁気記録媒体は、＾ｒガスとｈガスとをそれぞ
れガス圧が０．０９Ｐａおよび０，０３Ｐａになるよう
に導入し、Ｓｉターゲットに１６０Ｗの高周波電力を印
加して行う反応性スパッタリング法によって、ポリカー
ボネート基板上に５ｉｌｌｌを厚さが８００人になるよ
うに形成し、つぎにＡｒガスをガス圧が０．５Ｐａにな
るように導入し、Ｐｔツタ−ットおよびＣｏターゲット
にそれぞれ４０Ｗの高周波電力を印加し、Ｐｔターゲッ
ト上およびＣｏターゲット上にそれぞれ設置したシャッ
ターを交互に開けて行うスパッタリング法により該Ｓｉ
Ｎ膜上に膜厚が６人のＣｏ膜と膜厚が１８人のＰｔ膜と
を交互にそれぞれ１０層ずつになるように積層すること
によって製造したものである。

第２図から明らかなように、本発明の光磁気記録媒体に
よれば角形の磁気カー曲線が得られる。

また該光磁気記録媒体は大きな保磁力とカー回転角とを
有して、いる。

上記の光磁気記録媒体の磁気光学スペクトルを測定した
結果を第３図に示す。第３図から明らかなように、本発
明の光磁気記録媒体は短波長の光に対して高い磁気光学
効果を有している。

この光磁気記録媒体を８０℃、８５％ＲＨの高温・高湿
槽内に保持した時間と光磁気記録媒体が有する保磁力と
の関係を求め、その結果を第４図に実線（ａ）で示す。

第４図から明らかなように、本発明の光磁気記録媒体は
高い耐高温・高湿性を有している。

比較例１ ポリカーボネート基板上にＺｎＳ膜を厚さが６００人に
なるように形成し、該ＺｎＳ膜上に、膜厚が６人のＣｏ
膜と膜厚が１８ＡのＰＬ膜とを交互にそれぞれ１０層ず
つになるように形成することによって光磁気記録媒体を
得た。この光磁気記録媒体を８０℃、８５％Ｒ）ｌの高
温・高湿槽内に保持した時間と光磁気記録媒体が有する
保持力との関係を求め、その結果を第４図に破線（ｂ）
で示す。

本発明の光磁気記録媒体はＺｎ５ｌｉを備える光磁気記
録媒体よりも優れた耐高温・高湿性を有していることが
明らかである。

［発明の効果］ 本発明によれば、大きな保磁力とカー回転角と・・・を
有し、かつ良好な耐高温・高湿性を有する光磁気記録媒
体が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光磁気記録媒体の一例の概略断面図、
第２図は本発明の光磁気記録媒体により得られる磁気カ
ー曲線を示す図、第３図は本発明の光磁気記録媒体の磁
気光学スペクトルを示す図、第４図は光磁気記録媒体の
耐高温・高湿性を示す特性図である。 ｌ・・・基　　　板、　２・・・誘電体膜、３・・・組
成変調膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透明基板上にＳｉおよび／またはＡｌの窒化物または酸
   化物からなる誘電体膜と、１〜１２Åの範囲の膜厚を有
   するＣｏからなる膜と１〜３０Åの範囲の膜厚を有する
   Ｐｄおよび／またはＰｔからなる膜とが交互に３層以上
   積層されてなる組成変調膜とが順次積層されてなること
   を特徴とする光磁気記録媒体。