JPH03226560A - カラーコーティング方法 - Google Patents
カラーコーティング方法Info
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- JPH03226560A JPH03226560A JP1889190A JP1889190A JPH03226560A JP H03226560 A JPH03226560 A JP H03226560A JP 1889190 A JP1889190 A JP 1889190A JP 1889190 A JP1889190 A JP 1889190A JP H03226560 A JPH03226560 A JP H03226560A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000009500 colour coating Methods 0.000 title claims description 10
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 28
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 7
- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
本発明は1着色しようとする基材、例えば鋼。
ステンレス鋼、セラミックス、ガラス、プラスチックス
などの表面に、普通の真空蒸着法により各種の所望の色
の被膜を容易に形成することができるカラーコーティン
グ方法に関する。
などの表面に、普通の真空蒸着法により各種の所望の色
の被膜を容易に形成することができるカラーコーティン
グ方法に関する。
[従来の技術]
イオンブレーティング法により、基材の表面に着色する
技術として特開昭50−44938号公報が開示されて
いる。イオンブレーティング法は金属などの元素を溶解
した原子にイオン化したAr+などを衝突させ、蒸発原
子をイオン化して基材に衝突させ、気相冷却によって基
材上に薄膜を形成する方法であって、高周波放電領域を
形成することが必要であり、帯電させ−た被処理物を要
するなど複雑な装置と工程を必要とする問題がある。
技術として特開昭50−44938号公報が開示されて
いる。イオンブレーティング法は金属などの元素を溶解
した原子にイオン化したAr+などを衝突させ、蒸発原
子をイオン化して基材に衝突させ、気相冷却によって基
材上に薄膜を形成する方法であって、高周波放電領域を
形成することが必要であり、帯電させ−た被処理物を要
するなど複雑な装置と工程を必要とする問題がある。
〔発明が解決しようとする課題]
本発明は、簡易な装置によって成膜条件に変化を与える
だけで、着色しようとする基材、例えば、ステンレス鋼
の表面に所望の色の薄膜を形成することを目的とする。
だけで、着色しようとする基材、例えば、ステンレス鋼
の表面に所望の色の薄膜を形成することを目的とする。
従来、例えばステンレス鋼の表面に、イオンブレーティ
ング、CVD、真空蒸着などによりT1の被膜を形成す
る場合、従来の成膜技術では着色すると不良品とされて
おり、また、その着色は限られた色ではあるが再現性に
乏しいものであった。
ング、CVD、真空蒸着などによりT1の被膜を形成す
る場合、従来の成膜技術では着色すると不良品とされて
おり、また、その着色は限られた色ではあるが再現性に
乏しいものであった。
本発明者らは、Ti等の被膜を酸化度の異なるTi酸化
物を形成させることによって、桃色、紫色、青緑色、青
色、金色など任意の色合いのカラーにコーティングする
技術を開発した。
物を形成させることによって、桃色、紫色、青緑色、青
色、金色など任意の色合いのカラーにコーティングする
技術を開発した。
この技術は、基本的には真空蒸着法によるもので、イオ
ンブレーテインク法とは異なり、高周波放電領域や被処
理物の帯電などを必要とせず、抵抗加熱又は電子ビーム
、スパッタ等によって蒸発する蒸着材料を用い、発色に
関与する他のガスを雰囲気中に入れておくだけの操作に
よって実現することができる。
ンブレーテインク法とは異なり、高周波放電領域や被処
理物の帯電などを必要とせず、抵抗加熱又は電子ビーム
、スパッタ等によって蒸発する蒸着材料を用い、発色に
関与する他のガスを雰囲気中に入れておくだけの操作に
よって実現することができる。
本発明はこのような新規なカラーコーティング方法を提
供することを目的とするものである。
供することを目的とするものである。
[課題を解決するための手段]
本発明は、酸化雰囲気中に基材を導入し、この基材表面
に被蒸着物を真空蒸着法により蒸着させる方法であって
、前記基材の表面に着色させたいと考える色に応じて、
成膜速度を調整することを特徴とするカラーコーティン
グ方法である。
に被蒸着物を真空蒸着法により蒸着させる方法であって
、前記基材の表面に着色させたいと考える色に応じて、
成膜速度を調整することを特徴とするカラーコーティン
グ方法である。
本発明は基材の表面の1fi層工程と被蒸着物の所望の
酸化度の酸化工程とを=工程で同時に行い。
酸化度の酸化工程とを=工程で同時に行い。
成膜速度を調整することにより、酸化物の酸化の程度を
変化させ、その酸化物の固有の色を有する薄膜を生成さ
せるものである。
変化させ、その酸化物の固有の色を有する薄膜を生成さ
せるものである。
C作用j
本発明は、酸化性の減圧雰囲気中において基材上に薄膜
を生じさせるべき元素の蒸着材料、例えばT1を例に挙
げて説明すると、Tiを加熱蒸発させると共に、Tiを
飛ばす速度を変えることによって、被膜中のTiと酸素
の比率を変化させる。この手段によって酸化度の異なる
Ti酸化物の薄膜を生成させる。このようなTi酸化物
は酸化の程度によって種々の色を呈する。このことを利
用してそれぞれの色に対応するTiと酸素の比率を調整
し、所望の色のコーティングを生成させる。
を生じさせるべき元素の蒸着材料、例えばT1を例に挙
げて説明すると、Tiを加熱蒸発させると共に、Tiを
飛ばす速度を変えることによって、被膜中のTiと酸素
の比率を変化させる。この手段によって酸化度の異なる
Ti酸化物の薄膜を生成させる。このようなTi酸化物
は酸化の程度によって種々の色を呈する。このことを利
用してそれぞれの色に対応するTiと酸素の比率を調整
し、所望の色のコーティングを生成させる。
蒸着源としではTiのほかに、Ag、、Si、Cr、Z
r、Ta、Mo又はこれらの合金を用いてそれぞれの色
を発色させることができる。合金の場合、蒸着材料は複
数を設けるとよい。
r、Ta、Mo又はこれらの合金を用いてそれぞれの色
を発色させることができる。合金の場合、蒸着材料は複
数を設けるとよい。
また、不純物をイオン注入又はドーピングの手法によっ
て薄膜の内部に含ませることによって、半導体の中に準
位を設定し、これを利用した色を発色させることも可能
である。この場合、添加不純物としては、Cr、Fe、
Co、Cu、Mn。
て薄膜の内部に含ませることによって、半導体の中に準
位を設定し、これを利用した色を発色させることも可能
である。この場合、添加不純物としては、Cr、Fe、
Co、Cu、Mn。
Ni、 U、Sb、Ti、Se、Cd、Au、Ag、
Pt、Zn、Sn、Ar1.Mg、Pb。
Pt、Zn、Sn、Ar1.Mg、Pb。
V、Zr、Pd又はこれらの酸化物若しくは塩化物を単
一又は複数に用いる。このような不純物は基本成分とな
る金属の蒸着材料と同−又は異なる1以上の蒸着材料を
用いる。
一又は複数に用いる。このような不純物は基本成分とな
る金属の蒸着材料と同−又は異なる1以上の蒸着材料を
用いる。
また、誘電体、例えば、ガラス質薄躾中に遷移金属、例
えば、Co、Cu、ランタノイドなどを捕捉させ、放射
線を加えて金属をイオン化させ、発光させる技術を応用
することもできる。
えば、Co、Cu、ランタノイドなどを捕捉させ、放射
線を加えて金属をイオン化させ、発光させる技術を応用
することもできる。
このようにして、生成したコーティングは安定であり、
塗装、めっきなどの結合力の弱い比較的厚い被膜ではな
(基材と一体化した強固で極めて薄い膜である。
塗装、めっきなどの結合力の弱い比較的厚い被膜ではな
(基材と一体化した強固で極めて薄い膜である。
この方法は従来のイオンブレーテインクのように高層?
tL放電領域を形成したり被処理物に帯電させる必要が
なく、抵抗加熱、電子ビーム又はスパッタにより蒸着材
料を加熱して蒸発させた蒸発粒子を雰囲気中に通すだけ
でよく、簡易な装置で簡単に実現することができる。
tL放電領域を形成したり被処理物に帯電させる必要が
なく、抵抗加熱、電子ビーム又はスパッタにより蒸着材
料を加熱して蒸発させた蒸発粒子を雰囲気中に通すだけ
でよく、簡易な装置で簡単に実現することができる。
また、任意の一定の成膜速度で所定の色を得るのみでな
く、薄膜生成中に成膜速度を変更することによって各種
の色の多層薄膜を形成することも可能である。また、マ
スキング技術等を利用して、基材上の異なる領域に異な
る色彩を施すこともできる。
く、薄膜生成中に成膜速度を変更することによって各種
の色の多層薄膜を形成することも可能である。また、マ
スキング技術等を利用して、基材上の異なる領域に異な
る色彩を施すこともできる。
本発明のカラーコーティングする基材には鋼、ステンレ
ス鋼等金属のほか、セラミックス、ガラス、プラスチッ
クス等を用いることができ、これらに薄膜を生成させる
。セラミックスでは、くすんだ色となる。これはセラミ
ックスの表面に凹凸があることと薄膜の中に一部セラミ
ックスの微粒子が侵入し、そのために光が散乱するため
と考えられる。
ス鋼等金属のほか、セラミックス、ガラス、プラスチッ
クス等を用いることができ、これらに薄膜を生成させる
。セラミックスでは、くすんだ色となる。これはセラミ
ックスの表面に凹凸があることと薄膜の中に一部セラミ
ックスの微粒子が侵入し、そのために光が散乱するため
と考えられる。
〔実施例]
次に、実施例によって、本発明のカラーコーティング方
法における成膜速度依存性について具体的に説明する。
法における成膜速度依存性について具体的に説明する。
ステンレス鋼を基材とし、第1図に示す真空層iI装置
内においてカラーコーティングを行った。
内においてカラーコーティングを行った。
反応器1内に基材2を導入し、排気管4から真空ポンプ
で吸引し反応器内を1o−6Torr程度の真空とし、
ガス導入管からガスを導入して4×10−’Torrと
し、一方蒸着材料3の加熱温度を変えて加熱して蒸発さ
せた。なお、6は真空計8は膜厚測定計である。成膜条
件は次の通りである。
で吸引し反応器内を1o−6Torr程度の真空とし、
ガス導入管からガスを導入して4×10−’Torrと
し、一方蒸着材料3の加熱温度を変えて加熱して蒸発さ
せた。なお、6は真空計8は膜厚測定計である。成膜条
件は次の通りである。
基材温度 二室温
蒸着材料 ”Ti
ガスの種類:酸素
ガスの流量:15SCCM
成膜速度 、0.5〜3.5人/ s e cの範囲で
変化させた。
変化させた。
膜厚 ニア50人
ガス圧力 :4.0XlO−’Torr以上の簑件の下
で成膜速度を変化させて成膜を行った。結果を第1表に
示す。
で成膜速度を変化させて成膜を行った。結果を第1表に
示す。
[発明の効果]
本発明によれば、基材の表面に所望の色の美麗なカラー
コーティングを再現性よく実現することができる。連続
的に変化する配色や干渉色をカラーコーティングするこ
ともできる。
コーティングを再現性よく実現することができる。連続
的に変化する配色や干渉色をカラーコーティングするこ
ともできる。
本発明のカラーコーティングは、塗装やめっきとは異な
り、基材表面に強固に生成した薄膜によるもので、剥離
を生じないから、工業的規模で安価に実施をすることが
できる。
り、基材表面に強固に生成した薄膜によるもので、剥離
を生じないから、工業的規模で安価に実施をすることが
できる。
本発明は、イオンブレーティングのような複雑な装置を
要しないので、工業的規模で安価に実施をすることがで
きる。
要しないので、工業的規模で安価に実施をすることがで
きる。
第1図は本発明の実施に用いる装置の模式的縦断面図で
ある。 l・・・反応器 2・・−基材 3−・−蒸着材料 4・・・排気管 5・・−ガス導入管 6−・・真空計 7・・・ガス流量計 8−・−膜厚測定計 出 願 人 川 崎 製 鉄 株 式
ある。 l・・・反応器 2・・−基材 3−・−蒸着材料 4・・・排気管 5・・−ガス導入管 6−・・真空計 7・・・ガス流量計 8−・−膜厚測定計 出 願 人 川 崎 製 鉄 株 式
Claims (1)
- 1 酸化雰囲気中に基材を導入し、該基材表面に被蒸着
物を真空蒸着法により蒸着させるに際し、前記基材の表
面に着色させる色に応じて、成膜速度を調整することを
特徴とするカラーコーティング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1889190A JPH03226560A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | カラーコーティング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1889190A JPH03226560A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | カラーコーティング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03226560A true JPH03226560A (ja) | 1991-10-07 |
Family
ID=11984192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1889190A Pending JPH03226560A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | カラーコーティング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03226560A (ja) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP1889190A patent/JPH03226560A/ja active Pending
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