JPH03224571A - 紫外線表面処理装置 - Google Patents
紫外線表面処理装置Info
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- JPH03224571A JPH03224571A JP2067490A JP2067490A JPH03224571A JP H03224571 A JPH03224571 A JP H03224571A JP 2067490 A JP2067490 A JP 2067490A JP 2067490 A JP2067490 A JP 2067490A JP H03224571 A JPH03224571 A JP H03224571A
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- Japan
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- sample
- cleaning agent
- ultraviolet ray
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、表面の清浄化あるいは滅菌などのために種
々の物品の表面を紫外線処理するための装置に関するも
のである。
々の物品の表面を紫外線処理するための装置に関するも
のである。
第３図は例えば特開昭５８−１４７５２６号に示された
従来の紫外線表面処理装置を示す縦断面図であり、図に
おいて、１は短波長紫外線を照射する低圧水銀ランプ、
２は低圧水銀ランプ１を固定するランプハウス、３はモ
ータ４により上下方向に移動できる試料載せ台、５は短
波長紫外線照射により生じたオゾンの排気と冷却のため
のファン、６はこれらの要素を収容するハウジング、７
は試料取出口、８は試料である。 次に動作について説明する。試料載せ台３に試料８を載
せ、適切な紫外線強度が得られる高さ（試料表面と低圧
水銀ランプとの距離）に試料載せ台３の位置をモータ４
により調整する。高さ調整を終えた後、低圧水銀ランプ
１を点灯し、試料８に短紫外線を照射すると同時に、ハ
ウジング６内の空気に短紫外線照射が作用することによ
って生じたオゾンを試料８表面に作用させる。所定時間
の照射後、低圧水銀ランプ１を消灯し、試料８を試料取
出ロアから取り出す。ファン５は、低圧水銀ランプｌと
は別の電源により駆動され、低圧水銀ランプ１の消灯後
も駆動し続け、ハウジング６内を喚気、冷却する。
従来の紫外線表面処理装置を示す縦断面図であり、図に
おいて、１は短波長紫外線を照射する低圧水銀ランプ、
２は低圧水銀ランプ１を固定するランプハウス、３はモ
ータ４により上下方向に移動できる試料載せ台、５は短
波長紫外線照射により生じたオゾンの排気と冷却のため
のファン、６はこれらの要素を収容するハウジング、７
は試料取出口、８は試料である。 次に動作について説明する。試料載せ台３に試料８を載
せ、適切な紫外線強度が得られる高さ（試料表面と低圧
水銀ランプとの距離）に試料載せ台３の位置をモータ４
により調整する。高さ調整を終えた後、低圧水銀ランプ
１を点灯し、試料８に短紫外線を照射すると同時に、ハ
ウジング６内の空気に短紫外線照射が作用することによ
って生じたオゾンを試料８表面に作用させる。所定時間
の照射後、低圧水銀ランプ１を消灯し、試料８を試料取
出ロアから取り出す。ファン５は、低圧水銀ランプｌと
は別の電源により駆動され、低圧水銀ランプ１の消灯後
も駆動し続け、ハウジング６内を喚気、冷却する。
従来の紫外線表面処理装置は以上のように構成されてい
るので、試料表面に汚れあるいは付着物がある場合、短
紫外線照射が試料表面に十分に到達せず、これによる照
射不足を回避するために、試料表面を予め清浄にするこ
とが必要で、作業性が悪いなどの課題があった。 この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、試料表面を予め清浄にしておく必要がなく、し
たがって作業能率が高い紫外線表面処理装置を得ること
を目的とする。
るので、試料表面に汚れあるいは付着物がある場合、短
紫外線照射が試料表面に十分に到達せず、これによる照
射不足を回避するために、試料表面を予め清浄にするこ
とが必要で、作業性が悪いなどの課題があった。 この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、試料表面を予め清浄にしておく必要がなく、し
たがって作業能率が高い紫外線表面処理装置を得ること
を目的とする。
この発明に係る紫外線表面処理装置は、所定の短紫外線
照射位置に置かれた試料の表面に対して清浄剤を吹き付
け、ついで短紫外線照射を行なうように構成したもので
ある。
照射位置に置かれた試料の表面に対して清浄剤を吹き付
け、ついで短紫外線照射を行なうように構成したもので
ある。
この発明における紫外線表面処理装置は、所定の短紫外
線照射位置に置かれた試料の表面に対して清浄剤を吹き
付ける手段を設け、この清浄剤の吹き付けによって清浄
にされた試料の表面に短紫外線照射を行なうことにより
、試料表面を予め清浄にする工程を設けることなく、十
分な紫外線表面処理効果を得ることができる。この発明
において使用される清浄剤の一つの例は、試料の表面に
付着している油脂などの汚れ成分を溶解させることがで
きる有機溶媒であり、他の例は、汚れ成分を機械的に除
去する研磨剤である。 ｒ発明の実施例】 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、１は紫外線を照射するランプ（この実施例
では低圧水銀ランプ）、２はランプハウス、３は試料載
せ台、４はモータ、５は排気、冷却用ファン、６はハウ
ジング、７は試料取出口、８は試料である。また９は清
浄剤吹き付はノズル、ｌＯは清浄剤を収容する清浄剤容
器、１１は図示しない供給源から清浄剤容器１０内に圧
縮空気を導く圧縮空気パイプ、１２は清浄剤容器１０内
に収容された清浄剤、この例では有機溶媒である。 次に動作について説明する。表面処理すべき試料８は、
試料載せ台３上に載置され、ランプｌからの距離がモー
タ４の作用で調整される。この調整の完了後、近紫外線
照射に先立ち、圧縮空気パイプ１１を介して清浄剤容器
１０内に圧縮空気を導入し、この圧縮空気の圧力により
、清浄剤容器１０内の清浄剤１２をノズル９から試料８
の表面に吹き付ける。これによって試料８の表面に付着
していた油脂等の汚れは清浄剤によって溶解、除去され
、ランプ１からの近紫外線照射およびこれによって発生
したオゾンの作用による表面処理が十分に行なわれる。 清浄剤１２の吹き付けは、予め定めた一定時間行なわれ
、紫外線照射ならびにオゾンへの曝露は、清浄剤１２の
吹き付けよりも長い一定時間行なわれる。ついでランプ
１を消灯し、試料取出ロアより試料８を取り出す。また
吹き付けられた清浄剤は、ハウジング６の底部から適当
な手段によって外部に取り出され、必要であれば精製後
、再使用される。清浄剤は、試料８の処理すべき表面に
付着している汚れ成分を溶解できるものが好ましく、た
とえばトルエン、アセトン、エタノール等の有機溶媒が
使用できる。 第２図は、この発明の他の実施例による紫外線表面処理
装置を示す。この実施例では、清浄剤容器１０は、アル
ミナあるいは二酸化けい素のような固体粒子からなる清
浄剤を収容するのに適した構造のもので、圧縮空気パイ
プ１１の上方に配置され、圧縮空気パイプｌｌ内を流れ
る圧縮空気に清浄剤を一定量づつ供給できるようになっ
ている。 また試料載せ台３は多孔板からなり、その下方には、シ
ュート１３および受器１４が配置されている。１５は、
耐磨耗性熱線吸収ガラス板で、ランプ１の下方に配置さ
れている。 紫外線表面処理は、第１図に示した実施例と同様に、清
浄剤容器ｌＯ内の清浄剤１２をノズル９から試料８の表
面に吹き付けながら、ランプ１からの近紫外線を試料８
の表面に照射することによって行なわれる。これによっ
て試料８の表面に付着している汚れは速やかに除去され
る。吹き付けられた清浄剤１２は、試料載せ台３の孔を
通過して、受器１４に集められる。清浄剤１２の一部は
試料８の表面に衝突したのち上方に向かうが、耐磨耗性
熱線吸収ガラス板１５に遮られ、ランプｌが損傷を受け
ることはない。また清浄剤１２が硬度の高い固体粒子で
ある場合には、試料８の表面がある程度粗面化されるの
で、近紫外線による表面処理効果が増大する。
線照射位置に置かれた試料の表面に対して清浄剤を吹き
付ける手段を設け、この清浄剤の吹き付けによって清浄
にされた試料の表面に短紫外線照射を行なうことにより
、試料表面を予め清浄にする工程を設けることなく、十
分な紫外線表面処理効果を得ることができる。この発明
において使用される清浄剤の一つの例は、試料の表面に
付着している油脂などの汚れ成分を溶解させることがで
きる有機溶媒であり、他の例は、汚れ成分を機械的に除
去する研磨剤である。 ｒ発明の実施例】 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、１は紫外線を照射するランプ（この実施例
では低圧水銀ランプ）、２はランプハウス、３は試料載
せ台、４はモータ、５は排気、冷却用ファン、６はハウ
ジング、７は試料取出口、８は試料である。また９は清
浄剤吹き付はノズル、ｌＯは清浄剤を収容する清浄剤容
器、１１は図示しない供給源から清浄剤容器１０内に圧
縮空気を導く圧縮空気パイプ、１２は清浄剤容器１０内
に収容された清浄剤、この例では有機溶媒である。 次に動作について説明する。表面処理すべき試料８は、
試料載せ台３上に載置され、ランプｌからの距離がモー
タ４の作用で調整される。この調整の完了後、近紫外線
照射に先立ち、圧縮空気パイプ１１を介して清浄剤容器
１０内に圧縮空気を導入し、この圧縮空気の圧力により
、清浄剤容器１０内の清浄剤１２をノズル９から試料８
の表面に吹き付ける。これによって試料８の表面に付着
していた油脂等の汚れは清浄剤によって溶解、除去され
、ランプ１からの近紫外線照射およびこれによって発生
したオゾンの作用による表面処理が十分に行なわれる。 清浄剤１２の吹き付けは、予め定めた一定時間行なわれ
、紫外線照射ならびにオゾンへの曝露は、清浄剤１２の
吹き付けよりも長い一定時間行なわれる。ついでランプ
１を消灯し、試料取出ロアより試料８を取り出す。また
吹き付けられた清浄剤は、ハウジング６の底部から適当
な手段によって外部に取り出され、必要であれば精製後
、再使用される。清浄剤は、試料８の処理すべき表面に
付着している汚れ成分を溶解できるものが好ましく、た
とえばトルエン、アセトン、エタノール等の有機溶媒が
使用できる。 第２図は、この発明の他の実施例による紫外線表面処理
装置を示す。この実施例では、清浄剤容器１０は、アル
ミナあるいは二酸化けい素のような固体粒子からなる清
浄剤を収容するのに適した構造のもので、圧縮空気パイ
プ１１の上方に配置され、圧縮空気パイプｌｌ内を流れ
る圧縮空気に清浄剤を一定量づつ供給できるようになっ
ている。 また試料載せ台３は多孔板からなり、その下方には、シ
ュート１３および受器１４が配置されている。１５は、
耐磨耗性熱線吸収ガラス板で、ランプ１の下方に配置さ
れている。 紫外線表面処理は、第１図に示した実施例と同様に、清
浄剤容器ｌＯ内の清浄剤１２をノズル９から試料８の表
面に吹き付けながら、ランプ１からの近紫外線を試料８
の表面に照射することによって行なわれる。これによっ
て試料８の表面に付着している汚れは速やかに除去され
る。吹き付けられた清浄剤１２は、試料載せ台３の孔を
通過して、受器１４に集められる。清浄剤１２の一部は
試料８の表面に衝突したのち上方に向かうが、耐磨耗性
熱線吸収ガラス板１５に遮られ、ランプｌが損傷を受け
ることはない。また清浄剤１２が硬度の高い固体粒子で
ある場合には、試料８の表面がある程度粗面化されるの
で、近紫外線による表面処理効果が増大する。
以上のようにこの発明によれば、ハウジング内に置かれ
た試料に対して、近紫外線による表面処理と並行して、
その表面に清浄剤を吹き付けるように構成したので、活
性化された試料の表面が容易に得られ、効率のよい近紫
外線表面処理装置が得られる効果がある。
た試料に対して、近紫外線による表面処理と並行して、
その表面に清浄剤を吹き付けるように構成したので、活
性化された試料の表面が容易に得られ、効率のよい近紫
外線表面処理装置が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による近紫外線表面処理装
置の縦断面図、第２図はこの発明の他の実施例による近
紫外線表面処理装置の縦断面図、第３図は従来の近紫外
線表面処理装置の縦断面図である。 図において、１はランプ、２はランプハウス、３は試料
載せ台、４はモータ、５は排気、冷却用ファン、 試料、９ 容器、１ なお、 示す。 ６はハウジング、７は試料取出口、８はは清浄剤吹き付
はノズル、１０は清浄剤１は圧縮空気パイプ、１２は清
浄剤。 図中、同一符号は同一、又は相当部分を第 図 第 図 八つジンつ゛ １２°；責沖？】
置の縦断面図、第２図はこの発明の他の実施例による近
紫外線表面処理装置の縦断面図、第３図は従来の近紫外
線表面処理装置の縦断面図である。 図において、１はランプ、２はランプハウス、３は試料
載せ台、４はモータ、５は排気、冷却用ファン、 試料、９ 容器、１ なお、 示す。 ６はハウジング、７は試料取出口、８はは清浄剤吹き付
はノズル、１０は清浄剤１は圧縮空気パイプ、１２は清
浄剤。 図中、同一符号は同一、又は相当部分を第 図 第 図 八つジンつ゛ １２°；責沖？】
Claims (1)
- 紫外線を照射するランプと、このランプからの紫外線を
受ける位置に試料を保持する試料載せ台と、前記ランプ
および前記試料載せ台を収容するハウジングと、前記試
料載せ台上の試料表面に向けて清浄剤を吹き付けるノズ
ルとを備えた紫外線表面処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2067490A JPH03224571A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 紫外線表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2067490A JPH03224571A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 紫外線表面処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03224571A true JPH03224571A (ja) | 1991-10-03 |
Family
ID=12033745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2067490A Pending JPH03224571A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 紫外線表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03224571A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017113648A (ja) * | 2017-03-31 | 2017-06-29 | 株式会社トクヤマ | 紫外線殺菌装置 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2067490A patent/JPH03224571A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017113648A (ja) * | 2017-03-31 | 2017-06-29 | 株式会社トクヤマ | 紫外線殺菌装置 |
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