JPH03217980A - パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はパターン検査装置、特に複数の同形のパターン
から形成されるホトマスクやパターン成形された半導体
ウェーハの検査に適用されるパターン検査装置に関する
。

〔従来の技術〕

従来、この種のパターン検査装置は、例えば特開昭５７
−１３０４２３号公報に示されているパターン検査装置
がある。このパターン検査装置は検査物の位置決め用Ｘ
−Ｙテーブルと、結像レンズを有するイメージセンサ対
と、検査物の設計パターンデータを記憶しているメモリ
と、切換え機構を持つ比較器とを有して構成されている
． 次に、上述のパターン検査装置について図面を参照して
説明を進める。第２図はパターン検査装置の構成図で、
検査物１４を固定したＸ−Ｙテーブル１と、結像レンズ
２２および２３とイメージセンサ２４および２５とから
なる１対の検出手段を有す条検出部２１と、イメージセ
ンサ２４および２５のそれぞれに接続されたアンプ２６
および２７と、ＣＰＵ２８に接続された比較器２９と、
検査物１４の設計パターンデータメモリ３０とを有する
構成になっている。以上の構成において、比較器２９は
切換機構を内蔵しており、一方に切換えたときにはイメ
ージセンサ２４および２５の出力信号を比較し、他方に
切換えなときには片方のイメージセンサ２４の出力信号
と設計パターンデータメモリ３０からの出力信号とを比
較する．検査は先ず比較器２９の切換えを設計パターン
データメモリとの比較の方に切換えて、複数の単位パタ
ーンからなる検査物１５から良品のパターンを選定する
。次に比較器２９の切換えをイメージセンサの出力信号
同士の比較の方に切換えて、良品パターンと次の単位パ
ターンとの検査を行ない、以下順次パターンの検査を行
なう。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のパターン検査装置は、先ず検査物の単位
パターンと検査物の設計パターンデータとを比較して良
品パターンの一つを確認し、その後は良品パターンと他
のパターンとの相対比較により検査するため、相対比較
検査で単位パターンの不良位置の特定が困難であるとい
う欠点がある。また設計パターンデータとの比較で見付
けた良品パターンと残りのパターンとを比較するため、
比較回数が残りの単位パターン数となり、検査時間が長
いという欠点も有している。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のパターン検査装置は、複数の同形のパターンの
形成された検査物を固定したＸ−Ｙテーブルと、この検
査物上の３点に焦点を合わせた結像レンズのそれぞれを
含む３対のイメージセンサと、この３対のイメージセン
サからの出力信号の多数決判定を行なう多数決判定手段
と、この多数決判定手段の結果を集計するＣＰＵとを有
することにより構成される。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例のブロック図で、単位パター
ンの繰返しからなる検査物１４を固定したＸ−Ｙテーブ
ル１と、検査物１４の単位パターンがイメージセンサ５
上に結像するように配置した結像レンズ２とイメージセ
ンサ５と、異なる二つの単位パターンがそれぞれ別のイ
メージセンサ？および７に結像するように配置した結像
レンズ３および４とイメージセンサ６および７と、イメ
ージセンサ５，６および７のそれぞれの出力を増幅する
アンプ８，９および１０と、アンプ８，９および１０か
らの出力信号を比較する比較器１１と、比較器１１から
の比較結果の多数決判定を行なう多数決判定器１２と、
結果の集計を行なうＣＰＵ１３とを有して構成されてい
る。

以上の構成において、先ず複数の単位パターンからなる
ホトマスクやウェーハなどの検査物１４の異なる三つの
単位パターン上に、それぞれ結像レンズ２．３および４
とイメージセンサ５，６および７とからなる三つの検査
部を位置決めする．次に、このイメージセンサのそれぞ
れの出力を増幅した信号Ｉ１，Ｉ２および工，について
、比較器１１内の比較回路１１ａ，ｌｌｂおよびｌｌｃ
により、比較回路１１ａでは信号Ｉ１とＩ２−比較回路
１ｌｂでは信号Ｉ■と１，、比較回路１１Ｃでは信号Ｉ
２と■３とを比較する。この比較出力を多数決判定回路
１２に入力して多数決判定を？なう。即ち多数決判定回
路１２では 信号Ｉ．と工２とにおよび信号工，と１３とに不一致の
場合は信号■１に、 信号■■とＩ２とにおよび信号Ｉ２と■３とに不一致の
場合は信号■２に、 信号■ｌと１，とにおよび信号■２と１，とに不一致の
場合は信号Ｉ，に、 異常ありと判定し、この結果とＸ−Ｙテーブル１の位置
とからＣＰＵ１３により欠陥位置の特定およびその件数
の集計を行なう。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明のパターン検査装置は、三つ
の単位パターンの比較を行ない、多数決判定を行なうこ
とにより、高速に欠陥発生箇所を特定することができ、
検査工数を少なくすることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は従来
のパターン検査装置の代表例のブロック図である。 １・・・Ｘ−Ｙテーブル、２，３，４，２２．２３・・
・結像レンズ、５，６，７，２４．２５・・・イメージ
センサ、８，９，１０，２６．２７・・・アンプ、１１
．２９・・・比較器、１２・・・多数決判定回路、１３
．２８・・・ｃｐｕ、１４・・・検査物、３０・・・設
計パターンデータメモリ、ｌｌａ，Ｉｌｂ，ｌｌｃ・・
・比較回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の同形のパターンの形成された検査物を固定したＸ
   −Ｙテーブルと、この検査物上の３点に焦点を合わせた
   結像レンズのそれぞれを含む３対のイメージセンサと、
   この３対のイメージセンサからの出力信号の多数決判定
   を行なう多数決判定手段と、この多数決判定手段の結果
   を集計するＣＰＵとを有することを特徴とするパターン
   検査装置。