JPH03212868A - 磁気記録装置 - Google Patents
磁気記録装置Info
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- JPH03212868A JPH03212868A JP2006101A JP610190A JPH03212868A JP H03212868 A JPH03212868 A JP H03212868A JP 2006101 A JP2006101 A JP 2006101A JP 610190 A JP610190 A JP 610190A JP H03212868 A JPH03212868 A JP H03212868A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 15
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 6
- 235000011511 Diospyros Nutrition 0.000 claims 1
- 241000723267 Diospyros Species 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 241001655798 Taku Species 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 241000718541 Tetragastris balsamifera Species 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録装置における磁気ヘッドと磁気記録媒
体間の微小隙間制御装置及び磁気ヘッドと磁気記録媒体
間の微小隙間測定装置に関する。
体間の微小隙間制御装置及び磁気ヘッドと磁気記録媒体
間の微小隙間測定装置に関する。
従来の微小隙間制御装置は、特開昭６２ １２３３２１
号公報に記載のように磁気記録媒体表面と磁気ヘツドと
の微小隙間を制御する装置と、微小隙間を測定するため
磁気ヘッドに付けられたトンネル電極及び表面が導電性
の上記磁気記録媒体を有し、かつ電源に接続と、トンネ
ル電極と磁気記録媒体表面との間を流れるトンネル電流
から磁気ヘッドと磁気記録媒体間の微小隙間を測定し、
その値を前記、微小隙間制御装置にフィードバックしそ
の微小隙間を一定にしている。
号公報に記載のように磁気記録媒体表面と磁気ヘツドと
の微小隙間を制御する装置と、微小隙間を測定するため
磁気ヘッドに付けられたトンネル電極及び表面が導電性
の上記磁気記録媒体を有し、かつ電源に接続と、トンネ
ル電極と磁気記録媒体表面との間を流れるトンネル電流
から磁気ヘッドと磁気記録媒体間の微小隙間を測定し、
その値を前記、微小隙間制御装置にフィードバックしそ
の微小隙間を一定にしている。
上記従来技術のうち微小隙間制御装置の微小隙間測定に
はトンネル効果を用いているため、被測定物である磁気
記録媒体の表面が導電性である必要があるとともに、移
動している磁気記録媒体の導電性表面と磁気ヘッドに設
けられたトンネル電極に電圧を加えるための手段が必要
であるが、通常この種の手段は磁気記録媒体が移動する
とき雑音を発生し、トンネル電流のような微小電流を測
定するのには適さないという問題がある。なお、移動す
る磁気記録媒体に上記電圧を加える手段については特開
昭６２−１２５５２１号公報には開示されていない。
はトンネル効果を用いているため、被測定物である磁気
記録媒体の表面が導電性である必要があるとともに、移
動している磁気記録媒体の導電性表面と磁気ヘッドに設
けられたトンネル電極に電圧を加えるための手段が必要
であるが、通常この種の手段は磁気記録媒体が移動する
とき雑音を発生し、トンネル電流のような微小電流を測
定するのには適さないという問題がある。なお、移動す
る磁気記録媒体に上記電圧を加える手段については特開
昭６２−１２５５２１号公報には開示されていない。
本発明の目的は磁気記録媒体表面の導電性の有無に関係
なく微小隙間を制御するとともに、移動する磁気記録媒
体の表面と磁気ヘッドに設けられたトンネル電極に電圧
を加えるための手段を設けることなしに微小隙間を制御
できる微小隙間制御装置を提供することにある。
なく微小隙間を制御するとともに、移動する磁気記録媒
体の表面と磁気ヘッドに設けられたトンネル電極に電圧
を加えるための手段を設けることなしに微小隙間を制御
できる微小隙間制御装置を提供することにある。
本発明の他の目的は磁気ディスク表面の屈折率変化に影
響されず微小隙間の測定ができる微小隙間測定装置を提
供することにある。
響されず微小隙間の測定ができる微小隙間測定装置を提
供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は微小隙間制御装置の微小隙間測定に光の全反
射を用いた微小隙間測定装置を用いることにより達成さ
れる。
射を用いた微小隙間測定装置を用いることにより達成さ
れる。
また、上記他の目的は全反射させる入射光の入反射角度
を複数の角度につき反射率を検出することにより達成さ
れる。
を複数の角度につき反射率を検出することにより達成さ
れる。
微小隙間制御装置の微小隙間測定装置として光集積回路
を用い、発光素子からの光を微小隙間を測定する端面に
対して複数の角度で入射し、その反射光を複数の受光素
子で検出し、複数の六反射角に対する反射率を算畠し、
それらの関係から被測定物の屈折率に関係なく微小隙間
を測定できる。
を用い、発光素子からの光を微小隙間を測定する端面に
対して複数の角度で入射し、その反射光を複数の受光素
子で検出し、複数の六反射角に対する反射率を算畠し、
それらの関係から被測定物の屈折率に関係なく微小隙間
を測定できる。
また、測定素子を光集積化することにより磁気ヘッドへ
の取付けが可能になる。
の取付けが可能になる。
本発明は磁気テープ記録装置、ＶＴＲのような磁気記録
媒体を用いた磁気記録装置にも適用可能であるが、本実
施例では回転する円板状の磁気記録媒体を用いた場合に
限定して説明する。
媒体を用いた磁気記録装置にも適用可能であるが、本実
施例では回転する円板状の磁気記録媒体を用いた場合に
限定して説明する。
第１図に本発明の一実施例を示す。支持体１は回転軸４
を中心として回転する磁気記録媒体の−種である磁気デ
ィスク３に対面して取付けられ磁気ヘッド高さ位置調整
用アクチエータ５により微小隙間を制御される。磁気ヘ
ッド高さ位置調整用アクチエータ５はアーム１０により
トラック位置アクチエータ９に連結され、磁気ディスク
制御回路８のトラック位置指令信号１５により、磁気デ
ィスク３の半径方向に動くようになっている。光学変換
器２は支持体１の側面に取付け、結線１１で微小隙間演
算部６と結ばれ、微小隙間を測定し、微小隙間測定信号
１２を制御演算部７に送る。制御演算部７は磁気ディス
ク制御回路８からの微小隙間目標信号１３と前記微小隙
間測定信号１２を比較しその偏差がゼロになるよう微小
隙間を制御する。第２図に支持体１と光学変換器２の拡
大図を示す。
を中心として回転する磁気記録媒体の−種である磁気デ
ィスク３に対面して取付けられ磁気ヘッド高さ位置調整
用アクチエータ５により微小隙間を制御される。磁気ヘ
ッド高さ位置調整用アクチエータ５はアーム１０により
トラック位置アクチエータ９に連結され、磁気ディスク
制御回路８のトラック位置指令信号１５により、磁気デ
ィスク３の半径方向に動くようになっている。光学変換
器２は支持体１の側面に取付け、結線１１で微小隙間演
算部６と結ばれ、微小隙間を測定し、微小隙間測定信号
１２を制御演算部７に送る。制御演算部７は磁気ディス
ク制御回路８からの微小隙間目標信号１３と前記微小隙
間測定信号１２を比較しその偏差がゼロになるよう微小
隙間を制御する。第２図に支持体１と光学変換器２の拡
大図を示す。
つぎに光学変換器２及び微小隙間演算部６の詳細につい
て説明する。第３図に光学変換器２及び微小隙間演算部
６の構成を示す。光学変換器２上の各光学素子の製法に
ついては公知であるため説明を省略する。光学変換器２
は基板１６上に形成した、発光素子１６と、発光素子１
６からの光を受光素子２０ｄと入射光導波路Ｌ８ａ〜１
８ｃに導く光導波路２１ａ、２１ｂと、光導波路２１ａ
の光を基板１６の下端面（以下、全反射面２２と呼ぶ）
に導く３本の入射光導波路１８ａ〜１８ｃと、全反射面
２２で反射した光を受光素子２０ａ〜２０ｃに導く反射
光導波路１９ａ〜１９ｃと、上記光の強度を検出する受
光素子２０ａ〜２０ｃと、光導波路２１ｂの光強度を検
出する受光素子２０ｄから成っており、発光素子１６で
発光された光のうち上端面に出る光は先導波路２１ｂを
介して受光素子２０ｄに導かれ発光素子１６の発光強度
を制御する信号として使用する。下端面にでた光は光導
波路２１ａを介して３つに分けられ、入射光導波路１８
ａ〜１８ｃで全反射面２２まで導かれる。このとき、全
反射面２２に入射する角度は異なっている（ｉｌ、ｉｌ
及びｉａ）。これらの角度の光の反射する角度に反射光
導波路１９ａ〜１９ｃは設けてあり１反射光を受光素子
２０ａ〜２０ｃに導き、光強度を検出する。なお、基板
１６の全反射面２２の長さは必要最少としており、それ
以外の下端面は一定の角度にカットし、光学変換器２の
取付は誤差による影響を少なくするとともに、図中、左
に示すように、全反射面２２は所定の角度θにカットし
ている。こうすることにより、磁気ディスク３表面の潤
滑剤等による全反射面２２のよごれを防止できる。
て説明する。第３図に光学変換器２及び微小隙間演算部
６の構成を示す。光学変換器２上の各光学素子の製法に
ついては公知であるため説明を省略する。光学変換器２
は基板１６上に形成した、発光素子１６と、発光素子１
６からの光を受光素子２０ｄと入射光導波路Ｌ８ａ〜１
８ｃに導く光導波路２１ａ、２１ｂと、光導波路２１ａ
の光を基板１６の下端面（以下、全反射面２２と呼ぶ）
に導く３本の入射光導波路１８ａ〜１８ｃと、全反射面
２２で反射した光を受光素子２０ａ〜２０ｃに導く反射
光導波路１９ａ〜１９ｃと、上記光の強度を検出する受
光素子２０ａ〜２０ｃと、光導波路２１ｂの光強度を検
出する受光素子２０ｄから成っており、発光素子１６で
発光された光のうち上端面に出る光は先導波路２１ｂを
介して受光素子２０ｄに導かれ発光素子１６の発光強度
を制御する信号として使用する。下端面にでた光は光導
波路２１ａを介して３つに分けられ、入射光導波路１８
ａ〜１８ｃで全反射面２２まで導かれる。このとき、全
反射面２２に入射する角度は異なっている（ｉｌ、ｉｌ
及びｉａ）。これらの角度の光の反射する角度に反射光
導波路１９ａ〜１９ｃは設けてあり１反射光を受光素子
２０ａ〜２０ｃに導き、光強度を検出する。なお、基板
１６の全反射面２２の長さは必要最少としており、それ
以外の下端面は一定の角度にカットし、光学変換器２の
取付は誤差による影響を少なくするとともに、図中、左
に示すように、全反射面２２は所定の角度θにカットし
ている。こうすることにより、磁気ディスク３表面の潤
滑剤等による全反射面２２のよごれを防止できる。
微小隙間演算部６は増幅器２３ａ〜２３ｄと、変換マト
リックス回路２７と、発光素子駆動回路２８から成って
おり、発光素子駆動回路２８からの発光素子駆動信号２
６により発光素子１６を発光させているが、受光素子２
０ｄで検出した光強度信号２２ｅを増幅器２３ｅで増幅
し１発光出カイ３号としてフィードバックし、その発光
出力を一定にしている。受光素子２０ａ〜２０ｃで検出
した受光強度信号２２ａ〜２２ｃは増幅器２３ａ〜４１
ｃで増幅し５反射重信号２４ａ〜２４ｃとし、変換マト
リックス回路２７に導き、微小隙間測定信号１２を算出
する。
リックス回路２７と、発光素子駆動回路２８から成って
おり、発光素子駆動回路２８からの発光素子駆動信号２
６により発光素子１６を発光させているが、受光素子２
０ｄで検出した光強度信号２２ｅを増幅器２３ｅで増幅
し１発光出カイ３号としてフィードバックし、その発光
出力を一定にしている。受光素子２０ａ〜２０ｃで検出
した受光強度信号２２ａ〜２２ｃは増幅器２３ａ〜４１
ｃで増幅し５反射重信号２４ａ〜２４ｃとし、変換マト
リックス回路２７に導き、微小隙間測定信号１２を算出
する。
磁気ディスク３が全反射面２２より光分離れている場合
、全反射面では全反射するので、その時の受光素子２０
ａ〜２０ｃの出力を反射率１とすることが出来る。この
ことは、受光素子２０ａ〜２０ｃの受光感度のバラツキ
、各導波路の伝送特性のバラツキ等があっても、上記状
態で増幅器２３ａ〜２３ｃの増幅度を調整し正規化する
ことにより１反射率を特定できる。次に全反射面に磁気
ディスク３が近づいた場合を説明する。
、全反射面では全反射するので、その時の受光素子２０
ａ〜２０ｃの出力を反射率１とすることが出来る。この
ことは、受光素子２０ａ〜２０ｃの受光感度のバラツキ
、各導波路の伝送特性のバラツキ等があっても、上記状
態で増幅器２３ａ〜２３ｃの増幅度を調整し正規化する
ことにより１反射率を特定できる。次に全反射面に磁気
ディスク３が近づいた場合を説明する。
基板１６の全反射面２２の屈折率をｎ２、磁気ディスク
３の表面の屈折率をｎｌ＝すきまの屈折率をｎ３．微小
隙間をｄ、入射光の角度をｉ、入射光の波長をλとする
と、その反射率Ｒは次式で表せる。
３の表面の屈折率をｎｌ＝すきまの屈折率をｎ３．微小
隙間をｄ、入射光の角度をｉ、入射光の波長をλとする
と、その反射率Ｒは次式で表せる。
δ
Ｎ３２（Ｎｌ−Ｎ２）２＋（Ｎ３２−Ｎ１２）（Ｎ３２
−Ｎ２２）ｓｊ、ｎ２−ここで また、Ｎ １ ｒ Ｎ ２ ＋ Ｎ ３は入射光の偏光
方向により異なり、Ｓ偏光波の場合は Ｎｔ＝ｎｚｃｏｓｉ −（３
）であり、Ｐ偏光波の場合は Ｎｔ＝ｃｏｓｉ ／ ｎ ＋ ・・（６） である。第４図に微小隙間と反射率の関係の一例を示す
。横軸を微小隙間を入射光の波長λて正規化して表し、
縦軸に反射率を表す。第４Ａ図は１＝１８度、 ｎｔ＝
２．４． ｎ２＝３．４． ｎ３＝１．０のときで、第
４Ｂ図はｎｌのみ１．６のときである。
−Ｎ２２）ｓｊ、ｎ２−ここで また、Ｎ １ ｒ Ｎ ２ ＋ Ｎ ３は入射光の偏光
方向により異なり、Ｓ偏光波の場合は Ｎｔ＝ｎｚｃｏｓｉ −（３
）であり、Ｐ偏光波の場合は Ｎｔ＝ｃｏｓｉ ／ ｎ ＋ ・・（６） である。第４図に微小隙間と反射率の関係の一例を示す
。横軸を微小隙間を入射光の波長λて正規化して表し、
縦軸に反射率を表す。第４Ａ図は１＝１８度、 ｎｔ＝
２．４． ｎ２＝３．４． ｎ３＝１．０のときで、第
４Ｂ図はｎｌのみ１．６のときである。
Ｓ偏光波、Ｐ偏光波とも微小隙間が０の場合は反射率が
最小であるが、微小隙間が大きくなるにっれ反射率は大
きくなり、Ｓ偏光波では微小隙間がλ／２で反射率はほ
ぼ１になるが、Ｐ偏光波では微小隙間がλになっても反
射率は１にならない。
最小であるが、微小隙間が大きくなるにっれ反射率は大
きくなり、Ｓ偏光波では微小隙間がλ／２で反射率はほ
ぼ１になるが、Ｐ偏光波では微小隙間がλになっても反
射率は１にならない。
また、第４Ａ図と第４Ｂ図を比較すると、Ｐ偏光波の方
が０１の変化の影響が少ないことが判る。
が０１の変化の影響が少ないことが判る。
第５図に第４Ａ図、第４８図Ｐ偏光波のみを取出して示
す。微小隙間がλ／２以上の時は、ｎｌの変化の影響を
受けていないが、λ／２以下では影響を受け、微小隙間
が小さい時、誤差が生じている。そこで、次に、ｎｌの
変化の影響を低減する方法について説明する。
す。微小隙間がλ／２以上の時は、ｎｌの変化の影響を
受けていないが、λ／２以下では影響を受け、微小隙間
が小さい時、誤差が生じている。そこで、次に、ｎｌの
変化の影響を低減する方法について説明する。
第６，７図に１＝２０度及び１＝２２度とし、その他の
パラメータは第５図と同様とした場合の微小隙間と反射
率の関係を示す。ｉが大きくなるにしたがい、ｎｌの変
化の影響が少なくなるが、反射率の変化する微小隙間が
小さくなってしまう。
パラメータは第５図と同様とした場合の微小隙間と反射
率の関係を示す。ｉが大きくなるにしたがい、ｎｌの変
化の影響が少なくなるが、反射率の変化する微小隙間が
小さくなってしまう。
そこで第５．６．７図の関係のうち、ｎｌの変化の影響
を受けず、微小隙間の変化に対して反射率の変化する部
分のみを取り出して組み合わせれは、ｎｌの変化の影響
されず、かつ、微小隙間の測定範囲の広い測定ができる
。
を受けず、微小隙間の変化に対して反射率の変化する部
分のみを取り出して組み合わせれは、ｎｌの変化の影響
されず、かつ、微小隙間の測定範囲の広い測定ができる
。
第８図にその一例を示す。微小間隔の狭いときは１＝２
２度の関係を使用し、中間ではｉ：２０度の関係を、さ
らに微小間隔が広くなると１＝１８度の関係を使用して
いる。この関係を変換演算回路２７で演算し、微小隙間
測定信号１２を出力する。
２度の関係を使用し、中間ではｉ：２０度の関係を、さ
らに微小間隔が広くなると１＝１８度の関係を使用して
いる。この関係を変換演算回路２７で演算し、微小隙間
測定信号１２を出力する。
第９図に、変換演算回路内の演算フローを示す。
ます、Ｆｌで各入射角の反射率を取込み、Ｆ２で１＝１
８度の反射率が０．５以上の場合は、Ｆ３で１＝１８度
の反射率を用いて、微小隙間を算出する。Ｆ２で１＝１
８度の反射率が、０．５ 以下の場合にはＦ４で１＝２
０度の反射率をチエツクし、０．５ 以上の場合にはＦ
５で１＝２０度の反射率を用いて、微小隙間を算出する
。上記条件以外の時はＦ６で１＝２２度の反射率を用い
て微小隙間を算出し、Ｆ３．Ｆ５．Ｆ６のどれがで演算
した微小隙間をＦｌで微小隙間測定信号１２として出力
する。なお、この方法意外にも演算方法は考えられ、例
えは、屈折率ｎ２．ｎ３は、光学変換器２と、その使用
環境により決定し、入射角ｉ。
８度の反射率が０．５以上の場合は、Ｆ３で１＝１８度
の反射率を用いて、微小隙間を算出する。Ｆ２で１＝１
８度の反射率が、０．５ 以下の場合にはＦ４で１＝２
０度の反射率をチエツクし、０．５ 以上の場合にはＦ
５で１＝２０度の反射率を用いて、微小隙間を算出する
。上記条件以外の時はＦ６で１＝２２度の反射率を用い
て微小隙間を算出し、Ｆ３．Ｆ５．Ｆ６のどれがで演算
した微小隙間をＦｌで微小隙間測定信号１２として出力
する。なお、この方法意外にも演算方法は考えられ、例
えは、屈折率ｎ２．ｎ３は、光学変換器２と、その使用
環境により決定し、入射角ｉ。
屈折率ｎ１．微小隙間ｄをパラメータとし、実用上必要
な範囲についてそれぞれの反射率を求め、各入射角の反
射率と微小間隔との関係を、多変量回帰方程式により求
め、それにより、変換演算回路２７の演算方法を決定す
ることもできる。これによればｎｌが複素数の場合でも
対処できる。
な範囲についてそれぞれの反射率を求め、各入射角の反
射率と微小間隔との関係を、多変量回帰方程式により求
め、それにより、変換演算回路２７の演算方法を決定す
ることもできる。これによればｎｌが複素数の場合でも
対処できる。
また、複数の入射角を利用する以外に、Ｐ偏光波、Ｓ偏
光波の反射率を別々に検出し、それらの関係から、変換
演算回路２７の演算方法を決定し、微小隙間を測定でき
る。
光波の反射率を別々に検出し、それらの関係から、変換
演算回路２７の演算方法を決定し、微小隙間を測定でき
る。
次に光学変換器２のその他の実施例を第１０図に示す。
基板１６上に発光素子１７．受光素子２０、発光素子１
７の光を全反射面に集光する集光レンズ５０２反射光を
受光素子アレー５２に導くコリメータレンズ５１．複数
の反射角の反射率を検出する受光素子アレー５２から成
り、第３図で示した実施例より、より正確に検出するこ
とが出来る。
７の光を全反射面に集光する集光レンズ５０２反射光を
受光素子アレー５２に導くコリメータレンズ５１．複数
の反射角の反射率を検出する受光素子アレー５２から成
り、第３図で示した実施例より、より正確に検出するこ
とが出来る。
これまでの実施例はこれまで使用されている支特休１を
用いて説明したが、微小隙間を制御できれば支持体１は
不要になる。その一実施例を第１１図に示す。支持板６
０の片面に光学変換器２を、その反対側の面に磁気ヘッ
ド１０を固定し、各々の下端面を同一平面とし、第１図
の支持体１の代わりに、微動台６に取付け、第１図で説
明したと同様な動作により、微小隙間を所定の高さにす
ることができる。また、近年、磁気ヘッド１０は半１体
プロセスで農作できるので、光学変換器２と同一基板上
に形成することもてきる。
用いて説明したが、微小隙間を制御できれば支持体１は
不要になる。その一実施例を第１１図に示す。支持板６
０の片面に光学変換器２を、その反対側の面に磁気ヘッ
ド１０を固定し、各々の下端面を同一平面とし、第１図
の支持体１の代わりに、微動台６に取付け、第１図で説
明したと同様な動作により、微小隙間を所定の高さにす
ることができる。また、近年、磁気ヘッド１０は半１体
プロセスで農作できるので、光学変換器２と同一基板上
に形成することもてきる。
本発明によれは、記録媒体表面の導電性の有無に無関係
に微小隙間を測定できるので、微小隙間制御をどのよう
な記録媒体についても行えるという効果がある。
に微小隙間を測定できるので、微小隙間制御をどのよう
な記録媒体についても行えるという効果がある。
また、複数の入射角を用いた反射率パターンを使用し微
小隙間を測定しているので、記録媒体表面の屈折率が変
化する場合でも微小隙間のＩｑ定が出来るという効果が
ある。
小隙間を測定しているので、記録媒体表面の屈折率が変
化する場合でも微小隙間のＩｑ定が出来るという効果が
ある。
また、微小隙間測定素子を光集積化しているため磁気ヘ
ッドに取付けて使用できるという効果がある。
ッドに取付けて使用できるという効果がある。
第１図、第２図は本発明の一実施例の構成図、第３図は
微小隙間測定の構成図、第４Ａ図、第４Ｂ図、第５図〜
第８図は測定方法を説明するための原理図、第９図は、
変換演算回路内の演算フローチャート、第１０図は光学
変換器の他の実施例の構成図、第１１図は磁気ヘッドの
微小隙間制御方法の他の実施例の構成図である。 １・・・支持体、２・・・光学変換器、３・・磁気ディ
スク、５・・・磁気ヘッド高さ位置調整用アクチエータ
、６・・・微小隙間演算部、７・・制御演算部、１０・
・・磁気ヘッド、１２・・・微小隙間測定信号、１６・
・基板、１７・・・発光素子、１８・・入射光導波路、
１９・・・反循 区 ／θ−フーム ／θ−・−扉幻譚ヘッド 遁 ３ 拓 ７ｆＩ （２） θ 騎 λ ｒ 力 Ｂ 口 θ ’／ｚ ９政＝１．片間 χ、；／・６ λ 第 回 猶 θ ’＝／ｚ 玖小緯間 え 力 ρ ダ吏ｌトＦ彎、関 入 闇 （２） θ ψ ザ７小轡、間 χ 力 ／θ 目 拓 （２）
微小隙間測定の構成図、第４Ａ図、第４Ｂ図、第５図〜
第８図は測定方法を説明するための原理図、第９図は、
変換演算回路内の演算フローチャート、第１０図は光学
変換器の他の実施例の構成図、第１１図は磁気ヘッドの
微小隙間制御方法の他の実施例の構成図である。 １・・・支持体、２・・・光学変換器、３・・磁気ディ
スク、５・・・磁気ヘッド高さ位置調整用アクチエータ
、６・・・微小隙間演算部、７・・制御演算部、１０・
・・磁気ヘッド、１２・・・微小隙間測定信号、１６・
・基板、１７・・・発光素子、１８・・入射光導波路、
１９・・・反循 区 ／θ−フーム ／θ−・−扉幻譚ヘッド 遁 ３ 拓 ７ｆＩ （２） θ 騎 λ ｒ 力 Ｂ 口 θ ’／ｚ ９政＝１．片間 χ、；／・６ λ 第 回 猶 θ ’＝／ｚ 玖小緯間 え 力 ρ ダ吏ｌトＦ彎、関 入 闇 （２） θ ψ ザ７小轡、間 χ 力 ／θ 目 拓 （２）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気記録媒体と磁気ヘッドの相対移動を行う磁気記
録装置における該磁気記録媒体と該磁気ヘッドとの間の
微小隙間を制御する磁気ヘッドの微小隙間制御方法にお
いて、 前記磁気ヘッドを支持する支持体側面の前記磁気ヘツド
近傍に設けた基板の前記磁気記録媒体と対向する側の端
面で光を全反射するように該基板の平面に沿つて光照射
を行い、この照射によつて該端面から反射された反射光
を受光素子で受光して受光強度信号を得て、該受光強度
信号によつて前記微小隙間に対応する微小隙間測定信号
を求めるステップと、該微小隙間測定信号と微小隙間目
標信号との差に応じて、この差をなくすための制御信号
を演算し、前記磁気ヘッドと前記磁気記録媒体間の微小
隙間を調節する手段に該制御信号を出力するステップと
を含む磁気ヘッドの微小隙間制御方法。 ２、磁気記録媒体上のトラックをランダムにアクセスす
るよう磁気ヘッドが支持体によつて支持された磁気記録
装置における該磁気ヘッドと該磁気記録媒体間の微小隙
間を制御する装置であつて、 前記支持体の前記磁気ヘッド近傍であつてその平面が前
記磁気記録媒体表面に対し直交するように前記支持体に
固定している基板と、 該基板上に配設される発光素子と、 該基板上に形成され、該発光素子からの光が該基板の前
記磁気記録媒体と対向する側の端面で全反射するように
該光を導く入射側光導波路と、 該基板上に形成され、該端面で反射した反射光を導く反
射側光導波路と、 該反射側光導波路によつて導かれた該反射光を受光し、
その光強度に応じて受光強度信号を出力する受光素子と
、 該受光強度信号に対応した微小隙間測定信号を出力する
微小隙間演算部と、 該微小隙間測定信号と微小隙間目標信号との差に応じて
、この差をなくすための制御信号を演算し出力する制御
演算部と、 該制御信号により前記磁気ヘッドと前記磁気記録媒体の
微小隙間を調節するための磁気ヘッド高さ位置調整用ア
クチエータと、 を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの微小隙間制御装
置。 ３、請求項２記載の制御装置において、前記基板の前記
端面は、前記磁気記録媒体表面に対して非平行であり、
前記基板の前記支持体との固定側から遠ざかるに従つて
、前記磁気記録媒体との間の間隔が大となるような傾斜
した面となつていることを特徴とする磁気ヘッドの微小
隙間制御装置。 ４、磁気記録媒体の記録面に対向して微小間隔を持つて
配される磁気ヘッド支持用の支持体と、該支持体の側面
に固定される基板と、 該基板上に配設される発光素子と、 該基板上に形成され、該発光素子からの光が該基板の該
磁気記録媒体と対向する端面で全反射するように該光を
導く入射側光導波路と 該基板の端面で反射した光を導く反射側光導波路と 該反射側光導波路で導かれた光を受光し、光強度に応じ
た受光強度信号を出力する受光素子と、 該受光強度信号を入力し、該信号に対応した微小隙間測
定信号を演算する微小隙間演算部とを含む磁気ヘッドと
磁気記録媒体間の微小隙間測定装置。 ５、磁気ヘッドの磁気記録媒体との対向面に端面を有す
る基板を該磁気ヘッド支持用の支持体の該磁気ヘッド近
傍に固定し、該基板上には、発光素子と、 該発光素子からの光を２又は３に分岐し、該分岐された
光を各々該端面に導き、該端面で各各の光を異なつた入
射角で全反射させる入射側導波路と、 各々の反射角で反射した該反射光を導く反射側光導波路
と、 該反射側光導波路で導かれた各々の光を受光し、各々の
光強度に応じた受光強度信号を出力する受光素子と、 各々の該受光強度信号を入力し、該信号に対応した微小
隙間測定信号を演算する微小隙間演算部とを含む磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体間の微小隙間測定装置。 ６、磁気ディスクの記録面に対向して磁気ヘッドを備え
たスライダを配し、該スライダをアームに取付け、該ア
ームの移動により、該磁気ヘッドが該磁気ディスクのト
ラックをアクセスし、該磁気ヘッドにより該磁気ディス
クの記録面に情報を記録再生するように構成された該磁
気ディスク装置における該磁気ヘッドと該磁気ディスク
間の微小隙間制御装置であつて、 該スライダ側面に光をその端面に照射しその反射光を受
光して受光強度信号を出力する光学変換器を設けたこと
、 該光変換器の該端面が該磁気ディスクの記録面と対向す
るように該スライダ側面に取付けられていること、 該受光強度信号に対応して前記磁気ディスクと前記磁気
ヘッド間の微小隙間信号を演算する手段を有すること、 該演算された微小隙間信号を用いて、該微小隙間を目標
と同じになるように制御する位置制御手段を有すること を特徴とする磁気ヘッドの微小間隔制御装置。 ７、磁気ヘッドの磁気記録媒体との対向面に端面を有し
、磁気記録媒体と直行する表面を光が透過できる基板を
該磁気ヘッド支持用の支持体の該磁気ヘッド近傍に固定
し、該基板上には、発光素子と、 該発光素子からの該基板の表面を放射状に伝わる光を該
端面上に集光し、特定の入射角範囲内で全反射させる集
光レンズと、 該基板の該端面で反射した放射状の光を平行光にするコ
リメータレンズと該平行光を受光し、光強度に応じた受
光強度信号を出力する複数の受光素子と、 各々の該受光強度信号を入力し、該信号に対応した微小
隙間測定信号を演算する微小隙間演算部とを含む磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体間の微小隙間測定装置。 ８、請求項４、５、６、７のいずれかに記載の微小隙間
測定装置において、全反射する光の偏光面を入射光及び
反射光を含む平面と平行としたことを特徴とする微小隙
間測定装置。 ９、請求項４、５、６記載の微小隙間測定装置において
、全反射させるための光に偏光面が入射光及び反射光を
含む平面に対し平行及び直角の偏光成分を持つ光を用い
、反射光を該平面に対し、平行な偏光面の光と、直角な
偏光面の光に分離し、それぞれの受光強度信号から微小
隙間測定信号を得ることを特徴とする微小隙間測定装置
。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006101A JP2533664B2 (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 磁気記録装置 |
| EP91100049A EP0438054B1 (en) | 1990-01-17 | 1991-01-02 | Method and apparatus for controlling a small spacing between a magnetic head and a magnetic recording medium |
| DE69120302T DE69120302T2 (de) | 1990-01-17 | 1991-01-02 | Verfahren und Gerät zur Kontrolle des kleinen Raums zwischen einem Magnetkopf und einem Magnetspeichermedium |
| US08/087,355 US5392173A (en) | 1990-01-17 | 1993-07-08 | Method and apparatus for controlling a small spacing between a magnetic head and a magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006101A JP2533664B2 (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 磁気記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03212868A true JPH03212868A (ja) | 1991-09-18 |
| JP2533664B2 JP2533664B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=11629112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006101A Expired - Lifetime JP2533664B2 (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 磁気記録装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5392173A (ja) |
| EP (1) | EP0438054B1 (ja) |
| JP (1) | JP2533664B2 (ja) |
| DE (1) | DE69120302T2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3135389B2 (ja) * | 1992-10-23 | 2001-02-13 | 松下電器産業株式会社 | 情報再生方法、情報記録再生方法、情報再生装置、記録媒体及び光ヘッド |
| US6178157B1 (en) | 1996-04-15 | 2001-01-23 | Digital Papyrus Corporation | Flying head with adjustable actuator load |
| US6125008A (en) * | 1996-04-15 | 2000-09-26 | Digital Papyrus Corporation | Flying head positioner having rotational fine positioning and adjustable actuator load |
| US5999359A (en) * | 1997-05-09 | 1999-12-07 | Hewlett-Packard Co. | Head positioning system with photosensor |
| US6466537B1 (en) * | 1998-03-20 | 2002-10-15 | Seiko Instruments Inc. | Recording apparatus |
| JPH11339254A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-12-10 | Quantum Corp | 磁気記録テ―プ、情報記憶媒体および磁気テ―プ記録再生システム |
| US6052890A (en) * | 1998-06-22 | 2000-04-25 | Western Digital Corporation | Method of making a head disk assembly using a propagated light beam to detect a clearance between a disk and a head |
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| US6865040B2 (en) * | 2001-05-22 | 2005-03-08 | Seagate Technology, Llc | Method and system for measuring fly height |
| JP4117353B2 (ja) * | 2003-11-05 | 2008-07-16 | ナプソン株式会社 | 検査ヘッド用位置調整装置及び非接触型抵抗率測定装置 |
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| JPS63128211A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-05-31 | Hitachi Ltd | スペ−シング測定方法 |
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| US4593368A (en) * | 1984-06-04 | 1986-06-03 | Kollmorgen Technologies Corporation | Technique for measuring very small spacings |
| US4570191A (en) * | 1984-07-20 | 1986-02-11 | International Business Machines Corporation | Optical sensor for servo position control |
| EP0227845B1 (en) * | 1985-11-19 | 1990-05-30 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for controlling the flying height of the head in a magnetic storage unit |
| US4931887A (en) * | 1988-02-01 | 1990-06-05 | International Business Machines Corporation | Capacitive measurement and control of the fly height of a recording slider |
-
1990
- 1990-01-17 JP JP2006101A patent/JP2533664B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-01-02 DE DE69120302T patent/DE69120302T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-02 EP EP91100049A patent/EP0438054B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-07-08 US US08/087,355 patent/US5392173A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69120302D1 (de) | 1996-07-25 |
| EP0438054A3 (en) | 1992-09-02 |
| EP0438054A2 (en) | 1991-07-24 |
| DE69120302T2 (de) | 1996-10-31 |
| US5392173A (en) | 1995-02-21 |
| EP0438054B1 (en) | 1996-06-19 |
| JP2533664B2 (ja) | 1996-09-11 |
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