JPH03210480A - Output pulse inspection circuit of ic - Google Patents

Output pulse inspection circuit of ic

Info

Publication number
JPH03210480A
JPH03210480A JP2004714A JP471490A JPH03210480A JP H03210480 A JPH03210480 A JP H03210480A JP 2004714 A JP2004714 A JP 2004714A JP 471490 A JP471490 A JP 471490A JP H03210480 A JPH03210480 A JP H03210480A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pulse
output
strobe
circuit
timing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004714A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2598709B2 (en
Inventor
Shigemitsu Yoshii
吉井 重光
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP2004714A priority Critical patent/JP2598709B2/en
Publication of JPH03210480A publication Critical patent/JPH03210480A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2598709B2 publication Critical patent/JP2598709B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To shorten an inspection time by generating the first strobe pulse so as to allow the same to coincide with the shortest time limit of a tolerance range of H or L with respect to the output pulse of the output terminal of an IC and generating the second strobe pulse immediately after the longest time limit of the tolerance range to detect the states of two strobe signals. CONSTITUTION:A strobe pulse generating circuit 7 generates the first strobe pulse S1 in the timing coinciding with the shortest time limit of a tolerance range of 'H' or 'L' with respect to the output pulse generated at the output terminal DOUT of an IC 2 and also generates the second strobe pulse S2 in the timing immediately after the longest time limit of the tolerance range. Subsequently, a judging circuit 8 detects whether the output pulse is in an 'H' or 'L' state corresponding to the first and second strobe pulses S1, S2 and the detected state is compared with the state suitable for specifications by a comparing circuit 5.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、ICの出力パルス幅検査回路に関し、詳し
くは、ICの出力端子から得られるパルスの幅が仕様を
満足しているか否かの検査が短時間でできるような出力
パルス幅検査回路に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an IC output pulse width inspection circuit, and more specifically, a circuit for inspecting whether the width of a pulse obtained from an output terminal of an IC satisfies specifications. The present invention relates to an output pulse width testing circuit that allows testing to be performed in a short time.

[従来の技術] 製造されたICの特性測定の1つに各出力ビンから出力
される出力信号のパルス幅が仕様の範囲内にあるか否か
を測定する検査がある。この検査を行う従来のICの特
性測定装置では、ICの出力に同期させて、ICの出力
ピンから出力されるパルスの最大時間幅以上の期間に亙
っていくつものストローブパルスを所定の周期で発生し
続け、各ストローブパルスにごとに出力の状態(HIG
HレベルあるいはLOWレベル)を検出し、それにより
ICの合否を判定して仕様に適合した合格製品を得てい
る。
[Prior Art] One of the characteristics measurements of manufactured ICs is an inspection to determine whether the pulse width of an output signal output from each output bin is within a specification range. Conventional IC characteristic measurement equipment that performs this inspection uses a number of strobe pulses at a predetermined period over a period longer than the maximum time width of the pulse output from the IC's output pin in synchronization with the IC's output. continues to occur, and changes the output state (HIG) for each strobe pulse.
H level or LOW level) is detected, and the pass/fail of the IC is determined based on this to obtain a passed product that conforms to the specifications.

[解決しようとする課題] この種の判定では、ストローブパルスで検出された出力
の状態がHIGHレベル(以下“H”)あるいはLOW
レベル(以下“L”)のいずれの状態であるかを検出し
、その状態に対応して“1”“0”を割当てた、いわゆ
る、バイナリ−サーチにより行われるが、これは、IC
の出力端子に発生する出力パルスの最大出力時間幅以上
の期間に雇ってストローブパルスを発生させ続けなけれ
ばならない関係から検査時間が長くなる欠点がある。ま
た、これは、ピン対応に検査を行わなければならないた
めに、ピン数が増加するとそれだけ1つのICについて
の検査時間が増加する。
[Problem to be solved] In this type of determination, the state of the output detected by the strobe pulse is HIGH level (hereinafter referred to as "H") or LOW.
This is done by a so-called binary search, which detects which state the IC is in (hereinafter referred to as "L") and assigns "1" or "0" corresponding to that state.
This method has the disadvantage that the inspection time becomes longer because strobe pulses must continue to be generated for a period longer than the maximum output time width of the output pulses generated at the output terminal of the device. Furthermore, since testing must be performed for each pin, as the number of pins increases, the testing time for one IC increases accordingly.

この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、検査時間が短くて済むICの出力パルス幅
検査回路を提供することを目的とする。
The present invention solves the problems of the prior art, and aims to provide an IC output pulse width testing circuit that requires a short testing time.

[課題を解決するための手段] このような目的を達成するためのこの発明のICの出力
パルス幅検査回路の構成は、ICの出力端子に発生する
出力パルスに対して“H”あるいは“L”の許容範囲の
最短時間限界に一致するタイミングで第1のストローブ
パルスを発生させ、許容範囲の最長時間限界の直後のタ
イミングで第2のストローブパルスを発生させて第1及
び第2のストローブパルスに対応して出力パルスが“H
”あるいは“L”の状態のいずれにあるかを検出し、検
出された状態と仕様に適する状態とを比較するものであ
る。
[Means for Solving the Problems] The configuration of the IC output pulse width inspection circuit of the present invention to achieve the above-mentioned object is such that the output pulse width generated at the output terminal of the IC is "H" or "L". The first strobe pulse is generated at a timing that coincides with the shortest time limit of the allowable range, and the second strobe pulse is generated at a timing immediately after the longest time limit of the allowable range, thereby forming the first and second strobe pulses. The output pulse becomes “H” in response to
” or “L” state, and compares the detected state with a state suitable for specifications.

[作用] このようにICの出力端子に発生する出力パルスに対し
て“H”あるいは“L”の許容範囲の最短時間限界に一
致するタイミングで第1のストローブパルスを発生させ
、許容範囲の最長時間限界の直後のタイミングで第2の
ストローブパルスを発生させることにより、2つのスト
ローブパルスにおける出力パルスの状態を検出するだけ
でパルス幅が仕様に適合しているか否かの判定ができる
[Function] In this way, the first strobe pulse is generated at a timing that matches the shortest time limit of the allowable range of "H" or "L" for the output pulse generated at the output terminal of the IC, and By generating the second strobe pulse at a timing immediately after the time limit, it is possible to determine whether the pulse width conforms to the specifications simply by detecting the state of the output pulse in the two strobe pulses.

その結果、検査時間が第2のストローブパルスの発生タ
イミングの時間に近い時間で済み、検査時間を短縮する
ことができる。
As a result, the inspection time can be shortened to a time close to the generation timing of the second strobe pulse, and the inspection time can be shortened.

[実施例コ 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。
[Embodiment] Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、この発明を適用したICの出力パルス幅検査
回路のブロック図、第2図は、その測定状態におけるタ
イミング関係の説明図である。
FIG. 1 is a block diagram of an IC output pulse width inspection circuit to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an explanatory diagram of the timing relationship in the measurement state.

lは、ICの出力パルス幅検査回路であって、2が検査
対象となるICである。3は、入力データ発生回路であ
り、ここで発生する入力データは、mビットパラレル(
mは2以上の整数)にソケット4の複数のピン4aを介
して接続されたIC2の入力端子INに送出される。I
C2のD OUTは、nビットパラレル(nは2以七の
整fi)(7)IC2の出力端子であって、ソケット4
の複数のピン4bを介して比較回路部5にnビットパラ
レルに出力信号を送出する。なお、4cは、ソケット4
の電源ピンであり、IC2の電源端子VDDと電源回路
(+ V DD、回路は図示せず)とを接続して所定の
電圧の電力をIC2に供給するものである。
1 is an IC output pulse width inspection circuit, and 2 is an IC to be inspected. 3 is an input data generation circuit, and the input data generated here is m-bit parallel (
(m is an integer of 2 or more) is sent to the input terminal IN of the IC 2 connected via the plurality of pins 4a of the socket 4. I
D OUT of C2 is an n-bit parallel (n is an integer from 2 to 7, fi) (7) which is the output terminal of IC2, and is connected to socket 4.
n-bit parallel output signals are sent to the comparator circuit section 5 via a plurality of pins 4b. In addition, 4c is socket 4
This is a power supply pin for connecting the power supply terminal VDD of the IC2 and a power supply circuit (+VDD, circuit not shown) to supply power of a predetermined voltage to the IC2.

比較回路部5は、IC2の出力端子の数に対応する数の
コンパレータ5a、5b、  ・・・5nからなり、ぞ
れぞれが各ビット対応にIC2からの出力を受ける。V
a、Vb、  ・・争、Vnは、それぞれコンパレータ
5a t  5b t  ・・会5nに設けられた比較
基準電圧発生回路であって、その電圧値が外部から制御
信号で調整可能である。
The comparator circuit section 5 consists of comparators 5a, 5b, . V
a, Vb, . . . , Vn are comparison reference voltage generation circuits provided in the comparators 5a, 5b, .

6は、ランチ回路であって、コンパレータ5a+5b、
−−・5nのそれぞれの出力をビットパラレルに受けて
それをストローブ信号に応じてラッチする。
6 is a launch circuit, which includes comparators 5a+5b,
--.5n bits are received in parallel and latched according to the strobe signal.

7は、ストローブパルス発生回路であって、所定のタイ
ミングで2つのストローブパルスSl。
7 is a strobe pulse generation circuit which generates two strobe pulses Sl at predetermined timing.

S2を発生してこれらを比較回路部5(各コンパレータ
)にイネーブル信号として加え、ラッチ回路5にラッチ
信号として加える。
S2 is generated and applied to the comparison circuit section 5 (each comparator) as an enable signal, and applied to the latch circuit 5 as a latch signal.

8は、判定回路であって、ストローブパルス発生回路7
に発生するストローブパルスSu 、 S2に応じてラ
ッチ回路のデータを受けてこれと基準データとを比較し
てその一致/不一致によりIC2の出力パルスの状態判
定を行う。なお、この回路は、マイクロプロセッサ等を
用いてプログラム処理にて判定を行うものであってもよ
い。また、判定回路8は、入力データ発生回路2とスト
ローブパルス発生回路7とに起動信号を発生して、入力
データをIC2へ出力するタイミングとストローブパル
スSi +  82の発生タイミングとを制御する。
8 is a determination circuit, which includes a strobe pulse generation circuit 7
The latch circuit receives data from the latch circuit in response to the strobe pulses Su and S2 generated at the same time, compares the data with reference data, and determines the state of the output pulse of the IC2 based on the match/mismatch. Note that this circuit may perform the determination through program processing using a microprocessor or the like. Further, the determination circuit 8 generates a start signal to the input data generation circuit 2 and the strobe pulse generation circuit 7 to control the timing of outputting the input data to the IC 2 and the generation timing of the strobe pulse Si + 82.

次に、判定動作について入出力データの1ビツトを例と
して第2図に従って説明すると、ストローブ発生回路7
のストローブパルスSi 、Szの発生タイミングは、
(a)の入力データ1oが入力されるタイミングを基準
に(b)の出力データ11(この入力データと出力デー
タとは時間的にずれていてもよい)に合わせて、例えば
、仕様に従って“H″の限界タイミング(入力から時間
Tl)でストローブパルスS1を発生し、”L″の限界
タイミング(入力から時間T2)でストローブパルスS
2を発生する。なお、ストローブパルスSl + Sz
のタイミングは、出力データ11を基準としてもよい。
Next, the determination operation will be explained with reference to FIG. 2, taking one bit of input/output data as an example.
The generation timing of the strobe pulses Si and Sz is as follows.
For example, according to the specifications, "H Strobe pulse S1 is generated at the limit timing of "L" (time Tl from input), and strobe pulse S is generated at the limit timing of "L" (time T2 from input).
Generates 2. In addition, strobe pulse Sl + Sz
The timing may be based on the output data 11.

ここで、時間Tlは、IC2のある出力端Tに発生する
パルスにおける仕様上して決められた“H”の状態を保
持する許容最小パルス幅(Oの位置12参照)の時間に
対応していて、時間T2は、“H”の許容最大パルス幅
の直後(○の位置13参照)の“L”の位置にタイミン
グに対応している。なお、後者の直後のタイミングでは
、出力波形は、必ず“L”の状態とならなければ仕様を
膚たさず、かつ、前者のタイミングでは出力波形は、必
ず“H”となっていなければ仕様を満たさない。
Here, the time Tl corresponds to the time of the allowable minimum pulse width (see position 12 of O) for maintaining the "H" state determined by the specifications in the pulse generated at the output terminal T of the IC2. Therefore, the time T2 corresponds to the timing of the "L" position immediately after the allowable maximum pulse width of "H" (see position 13 of the circle). Note that at the timing immediately after the latter, the output waveform must be in the "L" state to meet the specifications, and at the former timing, the output waveform must be in the "H" state to meet the specifications. does not satisfy.

ここで例えば、IC2のD OUTのある出力がストロ
ーブパルスSRのタイミングで“H”となり、ストロー
ブパルスS2のタイミングで“L”となるものであれば
、最初のストローブパルスSl で得られたラッチ回路
6のデータは“l”であり、次のストローブパルスS2
で得られたそのデータは“0”でなければ仕様に適合し
ないことになり、それは合格とはならい。したがって、
この場合の判定基準データは、ストローブパルスStで
“1”、ストローブパルスS2で“0”となる。
Here, for example, if a certain output of D OUT of IC2 becomes "H" at the timing of strobe pulse SR and becomes "L" at the timing of strobe pulse S2, the latch circuit obtained by the first strobe pulse Sl The data of No. 6 is “l”, and the next strobe pulse S2
If the data obtained is not "0", it will not meet the specifications and will not pass. therefore,
The determination reference data in this case is "1" for the strobe pulse St and "0" for the strobe pulse S2.

以上は、IC2の出力DOUTの出力パルスが“H”の
出力を発生する例であるが、”L”の出力を発生する場
合では、“L”の状態が前記の“H”のパルス幅に相当
するだけであって ML”と“H”とを入れ替えればよ
く、ストローブパルスの発生のさせ方は同様である。
The above is an example in which the output pulse of the output DOUT of IC2 generates an "H" output, but in the case of generating an "L" output, the "L" state changes to the aforementioned "H" pulse width. ML and H may be interchanged, and the strobe pulses are generated in the same way.

したがって、判定回路8でこれら2つのストローブパル
スSl 、Szのタイミングに合わせてそれぞれのスト
ローブパルスが発生した後に各出力のnビット対応にn
ビットパラレルに採取したデータを判定基準となる仕様
に適合したnビットのデータと比較して判定することに
よりIC2で発生するパルス幅が仕様に適合する正常な
ものか否かを各ビットパラレルにほぼ同時的に判定する
ことができ、かつ、その判定は、はぼ第2のストローブ
パルスS2のタイミングで行うことができる。
Therefore, in the determination circuit 8, after each strobe pulse is generated in accordance with the timing of these two strobe pulses Sl and Sz, n bits corresponding to n bits of each output are generated.
By comparing the bit-parallel sampled data with n-bit data that conforms to the specifications as a judgment standard, it is possible to determine whether the pulse width generated by IC2 is normal and conforms to the specifications for each bit parallel. The determination can be made simultaneously, and the determination can be made almost at the timing of the second strobe pulse S2.

なお、以117)場合、比較基*’i圧V a g V
 b +・・拳I Vn iLストローブパルスSl 
、Szに対応してその値が“H”の限界比較電圧値又は
“L”の限界比較電圧値にそれぞれの比較タイミングの
前に設定されるようにすることができる。
In addition, in the case 117), the comparison group *'i pressure V a g V
b +...Fist I Vn iL strobe pulse Sl
, Sz can be set to the "H" limit comparison voltage value or the "L" limit comparison voltage value before the respective comparison timings.

また、実施例では、各コンパレータ5at5bl・・・
+5nに対して同じストローブパルスSl。
In addition, in the embodiment, each comparator 5at5bl...
The same strobe pulse Sl for +5n.

Szを加えているが、これは、それぞれのコンパレータ
に対応して異なるタイミングでストローブパルスSl 
+ 82を発生させ、それぞれに対応して各ビットをラ
ンチするようにしてもよい。このような場合には、判定
回路8が判定するタイミングは、最初のストローブパル
ス群についての最後ノストローフハルスが発生した後の
タイミングに合わせてランチデータを採取して最初の判
定をし、さらに、次のストローブパルスが発生した後の
タイミングに合わせてラッチデータを採取して次の判定
をすればよい。
The strobe pulse Sl is added at different timings corresponding to each comparator.
+82 and launch each bit correspondingly. In such a case, the timing at which the determination circuit 8 makes the determination is such that the launch data is collected in accordance with the timing after the last nostroph halse has occurred for the first strobe pulse group, and the first determination is made. The next determination can be made by collecting latch data at the timing after the next strobe pulse is generated.

以上説明してきたが、実施例では、入力データ発生回路
を判定回路と独立の回路としているが、これらは、マイ
クロプロセッサとメモリ等とにより構成して、プログラ
ム処理にて実現されるような回路であってもよい。
As explained above, in the embodiment, the input data generation circuit is a circuit independent of the determination circuit, but these are circuits that are configured by a microprocessor, memory, etc., and realized by program processing. There may be.

[発明の効果] 以上の説明から理解できるように、この発明にあっては
、ICの出力端子に発生する出力パルスに対してH″あ
るいはL”の許容範囲の最短時間限界に一致するタイミ
ングで第1のストローブパルスを発生させ、許容範囲の
最長時間限界の直後のタイミングで第2のストローブパ
ルスを発生させることにより、2つのストローブパルス
における出力パルスの状態を検出するだけでパルス幅が
仕様に適合しているか否かの判定ができる。
[Effects of the Invention] As can be understood from the above explanation, in this invention, the output pulse generated at the output terminal of the IC is set at a timing that corresponds to the shortest time limit of the allowable range of H'' or L''. By generating the first strobe pulse and generating the second strobe pulse immediately after the maximum time limit of the allowable range, the pulse width can be adjusted to the specification by simply detecting the state of the output pulse in two strobe pulses. It is possible to judge whether or not it is compatible.

その結果、検査時間が第2のストローブパルスの発生タ
イミングの時間に近い時間で済み、検査時間を短縮する
ことができる。
As a result, the inspection time can be shortened to a time close to the generation timing of the second strobe pulse, and the inspection time can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この発明を適用したICの出力パルス幅検査
回路のブロック図、第2図は、その測定状態におけるタ
イミング関係の説明図である。 1・・・ICの出力パルス幅検査回路、2・・・IC,
3・・・入力データ発生回路、4・・・ソケット、4a
+  4bt  4c・・・ソケット4のピン、5・・
・比較回路部、 5a 、  5b 、  5 n・・・コンパレータ、
6・・・ラッチ回路、7・・・ストローブパルス発生回
路、8・・・判定回路。
FIG. 1 is a block diagram of an IC output pulse width inspection circuit to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an explanatory diagram of the timing relationship in the measurement state. 1... IC output pulse width inspection circuit, 2... IC,
3... Input data generation circuit, 4... Socket, 4a
+ 4bt 4c...Pin of socket 4, 5...
- Comparison circuit section, 5a, 5b, 5n... comparator,
6... Latch circuit, 7... Strobe pulse generation circuit, 8... Judgment circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)ICの出力端子に発生する出力パルスに対してH
IGHレベルあるいはLOWレベルの許容範囲の最短時
間限界に一致するタイミングで第1のストローブパルス
を発生させ、前記許容範囲の最長時間限界の直後のタイ
ミングで第2のストローブパルスを発生させて第1及び
第2のストローブパルスに対応して前記出力パルスが前
記HIGHレベルあるいは前記LOWレベルの状態のい
ずれにあるかを検出し、検出された状態と仕様として設
定される状態とを比較することを特徴とするICの出力
パルス幅検査回路。
(1) H for the output pulse generated at the output terminal of the IC
A first strobe pulse is generated at a timing that coincides with the minimum time limit of the allowable range of the IGH level or LOW level, and a second strobe pulse is generated at a timing immediately after the longest time limit of the allowable range. It is characterized by detecting whether the output pulse is at the HIGH level or the LOW level in response to the second strobe pulse, and comparing the detected state with a state set as a specification. IC output pulse width inspection circuit.
JP2004714A 1990-01-12 1990-01-12 IC output pulse width inspection circuit Expired - Fee Related JP2598709B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004714A JP2598709B2 (en) 1990-01-12 1990-01-12 IC output pulse width inspection circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004714A JP2598709B2 (en) 1990-01-12 1990-01-12 IC output pulse width inspection circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03210480A true JPH03210480A (en) 1991-09-13
JP2598709B2 JP2598709B2 (en) 1997-04-09

Family

ID=11591555

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004714A Expired - Fee Related JP2598709B2 (en) 1990-01-12 1990-01-12 IC output pulse width inspection circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2598709B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5430737A (en) * 1992-12-25 1995-07-04 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Apparatus for testing function of integrated circuit

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5821870U (en) * 1981-08-06 1983-02-10 ユニバ−サルパイオニア株式会社 Pulse width inspection device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5821870U (en) * 1981-08-06 1983-02-10 ユニバ−サルパイオニア株式会社 Pulse width inspection device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5430737A (en) * 1992-12-25 1995-07-04 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Apparatus for testing function of integrated circuit

Also Published As

Publication number Publication date
JP2598709B2 (en) 1997-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6263463B1 (en) Timing adjustment circuit for semiconductor test system
JP3233559B2 (en) Method and apparatus for testing semiconductor integrated circuit
US20100107026A1 (en) Semiconductor device having built-in self-test circuit and method of testing the same
KR20050022196A (en) Apparatus and method for testing semiconductor memory devices capable of changing frequency of test pattern signals selectively
JPH03210480A (en) Output pulse inspection circuit of ic
JP2620072B2 (en) Logic circuit test equipment
JP3340459B2 (en) Signal determination device and signal determination method
JPH102937A (en) Ic tester
JP2769588B2 (en) Data output timing synchronization method in IC test equipment
JPH04130282A (en) Maximum repetition frequency measurement method
JP2944307B2 (en) A / D converter non-linearity inspection method
JPH07120537A (en) Defect detection circuit of ic testing device
JP4351786B2 (en) Integrated circuit
JPH11258308A (en) Logic pattern judgment circuit
JP2001183429A (en) Noise detecting circuit and information processing system
JPH05281307A (en) Semiconductor circuit
JP2003004815A (en) Method of correcting timing of semiconductor tester
JPH01254877A (en) Lsi tester
JPH01136080A (en) Tester for integrated circuit element
WO1997043813A1 (en) Timing adjustment circuit for semiconductor test system
JPH04109727A (en) Error check circuit for word identification code
JPH09312568A (en) Digital error detecting device
JP2001194423A (en) Test circuit for semiconductor integrated circuit
JPH0259680A (en) Adaptor board for ic test
JPS62150183A (en) Lsi tester

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees