JPH0320465A - 温度補正機能付き膜厚モニタ - Google Patents
温度補正機能付き膜厚モニタInfo
- Publication number
- JPH0320465A JPH0320465A JP15278189A JP15278189A JPH0320465A JP H0320465 A JPH0320465 A JP H0320465A JP 15278189 A JP15278189 A JP 15278189A JP 15278189 A JP15278189 A JP 15278189A JP H0320465 A JPH0320465 A JP H0320465A
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- Japan
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- film thickness
- crystal resonator
- signal
- thermocouple
- film
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- Pending
Links
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- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 2
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- 239000010408 film Substances 0.000 description 41
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、膜厚モニタに係り、特に真空蒸着装置等の薄
膜成膜装置に用いられる温度補正機能付き膜厚モニタに
関する。
膜成膜装置に用いられる温度補正機能付き膜厚モニタに
関する。
［従来の技術］
従来、真空蒸着装置等を用いて成膜する場合、膜厚を検
出するために真空蒸着装置内に水晶振動子を用いた膜厚
モニタを設置している。水晶振動子の表面に蒸発物が付
着すると固有振動数が減少することを利用して、前記膜
厚モニタ装置の変換器に人力されｋ振動数信号から振動
数減少分を算出し、この値を膜厚に変換して蒸着した膜
厚を表示することができるようになっている。
出するために真空蒸着装置内に水晶振動子を用いた膜厚
モニタを設置している。水晶振動子の表面に蒸発物が付
着すると固有振動数が減少することを利用して、前記膜
厚モニタ装置の変換器に人力されｋ振動数信号から振動
数減少分を算出し、この値を膜厚に変換して蒸着した膜
厚を表示することができるようになっている。
このような水晶振動子を用いた膜厚モニタは操作や設置
が簡単で形状が小形であるため、蒸着中の膜厚測定ある
いは膜厚の制御に最も活用されている。
が簡単で形状が小形であるため、蒸着中の膜厚測定ある
いは膜厚の制御に最も活用されている。
［発明が解決しようとする課題］
上記膜厚モニタは第３図に示すように、水晶振動子をハ
ウジング１内に収容し、ハウジング１には振動数信号を
モニタ本体に入力するための信号ケーブル２と、２本の
冷却水管３が接続されていて、前記ハウジング内に冷却
水を循環させている。
ウジング１内に収容し、ハウジング１には振動数信号を
モニタ本体に入力するための信号ケーブル２と、２本の
冷却水管３が接続されていて、前記ハウジング内に冷却
水を循環させている。
しかしながらたとえば蒸着源としてるつぼを加熱し、る
つぼ内の蒸着材料を蒸発させる真空蒸着装置において、
高温のるつぼの近傍に水晶振動子を配置する場合、水晶
振動子の表面温度は１００℃以上になることがある。
つぼ内の蒸着材料を蒸発させる真空蒸着装置において、
高温のるつぼの近傍に水晶振動子を配置する場合、水晶
振動子の表面温度は１００℃以上になることがある。
一方、水晶振動子には第４図に示すような温度特性があ
り、その表面温度が約１００℃以上になると固有振動数
が上昇する。その結果、膜厚を実際よりも薄く見積って
しまうという問題点がある．本発明は上記従来の問題点
に着目し、水晶振動子の表面温度が上昇した場合でもそ
の温度上昇分を補正して、正しい膜厚を表示することが
できるような温度補正機能付き膜厚モニタを提供するこ
とを目的とする。
り、その表面温度が約１００℃以上になると固有振動数
が上昇する。その結果、膜厚を実際よりも薄く見積って
しまうという問題点がある．本発明は上記従来の問題点
に着目し、水晶振動子の表面温度が上昇した場合でもそ
の温度上昇分を補正して、正しい膜厚を表示することが
できるような温度補正機能付き膜厚モニタを提供するこ
とを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために本発明に係る温度補正機能付
き膜厚モニタは、水晶振動子式膜厚モニタ装置において
、水晶振動子のハウジング内に熱電対を配設し、この熱
電対からの信号を水晶振動子からの信号にフィードバッ
クさせて水晶振動子の温度特性を補正する構成とした。
き膜厚モニタは、水晶振動子式膜厚モニタ装置において
、水晶振動子のハウジング内に熱電対を配設し、この熱
電対からの信号を水晶振動子からの信号にフィードバッ
クさせて水晶振動子の温度特性を補正する構成とした。
［作用］
上記構成によれば、水晶振動子のハウジング内に熱電対
を配設し、この熱電対からの信号を水晶振動子からの信
号にフィードバックさせて水晶振動子の温度特性を補正
するようにしたので、水晶振動子表面への蒸着膜による
固有振動数の減少分にもとづいて変換される膜厚データ
は、温度上昇による水晶振動子の振動数増加分が補正さ
れ、温度の高低にかかわらず正しい膜厚データを得るこ
とができる。
を配設し、この熱電対からの信号を水晶振動子からの信
号にフィードバックさせて水晶振動子の温度特性を補正
するようにしたので、水晶振動子表面への蒸着膜による
固有振動数の減少分にもとづいて変換される膜厚データ
は、温度上昇による水晶振動子の振動数増加分が補正さ
れ、温度の高低にかかわらず正しい膜厚データを得るこ
とができる。
［実施例］
以下に本発明に係る温度補正機能付き膜厚モニタの実施
例について、図面を参照して詳細に説明する． 第１図において、水晶振動子のハウジング１には水晶振
動子の信号ケーブル２と、２本の冷却水管３とが接続さ
れ、更にハウジング内に配設しｋ熱電対の信号ケーブル
４が接続されている。前記信号ケーブル２，４は第２図
に示すようにそれぞれ膜厚モニタ本体５に接続されてい
る。
例について、図面を参照して詳細に説明する． 第１図において、水晶振動子のハウジング１には水晶振
動子の信号ケーブル２と、２本の冷却水管３とが接続さ
れ、更にハウジング内に配設しｋ熱電対の信号ケーブル
４が接続されている。前記信号ケーブル２，４は第２図
に示すようにそれぞれ膜厚モニタ本体５に接続されてい
る。
第２図は実施例のブロック図であるが、ハウジングｌ内
に配設された熱電対６によって検出された温度信号すな
わち熱電流は、信号ケーブル４を経て膜厚モニタ本体δ
内の変換器７に人力され、水晶振動子の振動数の変化分
ｆを膜厚に変換する間数 ｇ（ｆ ）をｇ＋（ｆ ）に
補正する。
に配設された熱電対６によって検出された温度信号すな
わち熱電流は、信号ケーブル４を経て膜厚モニタ本体δ
内の変換器７に人力され、水晶振動子の振動数の変化分
ｆを膜厚に変換する間数 ｇ（ｆ ）をｇ＋（ｆ ）に
補正する。
一方、水晶振動子８に交流電圧を印加することにより発
生する振動数は、信号ケーブル２を経て膜厚モニタ本体
５内の変換器９に入力される。水晶振動子８の固有振動
数は水晶振動子８に蒸着された膜厚によって変化するが
、その変化分ｆを膜厚ｄに変換する関数ｇ（ｆ）の補正
値ｇｔ（ｆ ）を用いて前記変換器９により膜厚ｄ１に
変換され、膜厚モニタ本体の表示窓に正しい膜厚ｄ１が
表示される。
生する振動数は、信号ケーブル２を経て膜厚モニタ本体
５内の変換器９に入力される。水晶振動子８の固有振動
数は水晶振動子８に蒸着された膜厚によって変化するが
、その変化分ｆを膜厚ｄに変換する関数ｇ（ｆ）の補正
値ｇｔ（ｆ ）を用いて前記変換器９により膜厚ｄ１に
変換され、膜厚モニタ本体の表示窓に正しい膜厚ｄ１が
表示される。
このように本実施例では、水晶振動子のハウジング内に
熱電対を配設し、この熱電対からの信号を水晶振動子か
らの信号にフィードバックさせて水晶振動子の温度特性
を補正し、温度の高低にかかわらず正しい膜厚データが
得られるようにした。
熱電対を配設し、この熱電対からの信号を水晶振動子か
らの信号にフィードバックさせて水晶振動子の温度特性
を補正し、温度の高低にかかわらず正しい膜厚データが
得られるようにした。
本実施例では水晶振動子のハウジング内に熱電対を設け
たがこれに限るものではなく、サーミスタ等の温度セン
サを用いてもよい。
たがこれに限るものではなく、サーミスタ等の温度セン
サを用いてもよい。
［発明の効果］
以上説明しｋように本発明によれば、水晶振動子のハウ
ジング内に熱電対を配設し、この熱電対からの信号を水
晶振動子からの信号にフィードバックさせて水晶振動子
の温度特性を補正するようにしたので、温度上昇によっ
て生じる膜厚の誤差が補正され、成膜装置内の温度の高
低にかかわらず正しい膜厚データによって膜厚を管理す
ることができ、薄膜の膜厚精度を向上させることができ
る。
ジング内に熱電対を配設し、この熱電対からの信号を水
晶振動子からの信号にフィードバックさせて水晶振動子
の温度特性を補正するようにしたので、温度上昇によっ
て生じる膜厚の誤差が補正され、成膜装置内の温度の高
低にかかわらず正しい膜厚データによって膜厚を管理す
ることができ、薄膜の膜厚精度を向上させることができ
る。
第１図は実施例に係る温度補正機能付き膜厚モニタのヘ
ッド部の斜視図、第２図は膜厚検出のブロック図、第３
図は従来の技術による膜厚モニタのヘッド部の斜視図、
第４図は水晶振動子の温度特性を示す図である。 ｌ・◆・・・・ハウジング ６・・・・・・熱電対 ８・・・・・・水晶振動子
ッド部の斜視図、第２図は膜厚検出のブロック図、第３
図は従来の技術による膜厚モニタのヘッド部の斜視図、
第４図は水晶振動子の温度特性を示す図である。 ｌ・◆・・・・ハウジング ６・・・・・・熱電対 ８・・・・・・水晶振動子
Claims (1)
- 水晶振動子式膜厚モニタ装置において、水晶振動子の
ハウジング内に熱電対を配設し、この熱電対からの信号
を水晶振動子からの信号にフィードバックさせて水晶振
動子の温度特性を補正するようにしたことを特徴とする
温度補正機能付き膜厚モニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15278189A JPH0320465A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 温度補正機能付き膜厚モニタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15278189A JPH0320465A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 温度補正機能付き膜厚モニタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320465A true JPH0320465A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15548010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15278189A Pending JPH0320465A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 温度補正機能付き膜厚モニタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320465A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6595623B2 (en) | 1996-10-01 | 2003-07-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plastic base material and method for the manufacture thereof; and head for ink-jet printer and method for the manufacture thereof |
| JP2005325391A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Ulvac Japan Ltd | 有機薄膜の成膜装置 |
| WO2022138934A1 (ja) * | 2020-12-25 | 2022-06-30 | 公益財団法人福岡県産業・科学技術振興財団 | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
-
1989
- 1989-06-15 JP JP15278189A patent/JPH0320465A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6595623B2 (en) | 1996-10-01 | 2003-07-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plastic base material and method for the manufacture thereof; and head for ink-jet printer and method for the manufacture thereof |
| JP2005325391A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Ulvac Japan Ltd | 有機薄膜の成膜装置 |
| JP4490160B2 (ja) * | 2004-05-13 | 2010-06-23 | 株式会社アルバック | 有機薄膜の成膜装置 |
| WO2022138934A1 (ja) * | 2020-12-25 | 2022-06-30 | 公益財団法人福岡県産業・科学技術振興財団 | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
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