JPH03202268A - 研磨用組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、金属、特にステンレス鋼を迅速かつ高精度な
鏡面に研磨する研磨用組成物に関する。

〔従来の技術〕

研磨に用いる研磨用組成物には大別してメカニカル研磨
材、ケミカル研磨剤、メカノケミカル研磨材があるが、
迅速かつ高精度に研磨をするためには、メカノケミカル
研磨材が有効であることが一般に知られている。金属の
鏡面研磨に用いられるメカノケミカル研磨用組成物とし
ては、特開昭６３−２７４７８２に記載されている様な
研磨砥粒に硝酸水溶液を加えたものや、特開昭５４−２
８０９２の様に酸化クロムを加えたものが一般的である
。

〔発明が解決しようとするｉｌｌ［） 上記の様な従来の研磨組成物では、高精度な鏡面を得る
ことができず、特にステンレスに対しては研磨面にうね
りや、くもりが発生しやすい。

また、ステンレス板の表面に付着した脂肪分、錆の除去
を目的とした特開昭５１−９３７３２や、有機過酸化物
を配合した特開昭５６−１５６７８１、酸を含有する特
開昭５３−１２３３３７では、錆、スケール除去には適
するが金属面を研磨することが目的ではないので研磨面
の精度も低いものである。

この様に金属、特にステンレス鋼に最適な鏡面研磨用組
成物は開発されていないのが現状である。

本発明は特別な装置を必要とせず簡略な設備で研磨が可
能で、うねりや傷がない平滑な高精度鏡面を得ることが
でき、加工歪や被研磨物表面の変色が無く、高い除去速
度を有する研磨用組成物を提供することが目的である。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者は、研磨用組成物に関し、鋭意研究を進めた結
果、上記の目的達成のためメカノケミカル研磨が有効で
あることを見出し、その発明の要旨は、アルミナ質研磨
材粉末と塩化鉄（ｍ）水溶液からなることを特徴とする
研磨用組成物である。

本発明の研磨用組成物は、研磨パッドあるいは研磨パフ
と組み合わせて使用するものであり、研磨パッドあるい
は研磨パフを被研磨物に摺動させながら本発明の研磨用
組成物を供給して金属の研磨を実施する。

本発明に用いられるアルミナ質研磨材粉末は、アルミナ
およびアルミナジルコニア研磨材の様なアルミナを主成
分とする研磨材粉末である。アルミナ質研磨材粉末の調
製方法には、溶融法、バイヤー法、液相合成法等がある
が、特に調製方法を限定するものではない。アルミナを
含有する研磨材粉末は、１）硬度が高い、２）粉砕、分
級を施すことにより任意の粒度分布を有する研磨材を得
ることが出来る、等の特徴を有している。このため、高
い研磨速度が安定して得られ、うねりゃ傷がない平滑な
研磨面を得ることが出来る。また、被研磨物の周辺部分
の形状が崩れる、いわゆるフチダレの発生も低く抑えら
れる。また、アルミナ質研磨材粉末は、コロイダルシリ
カのように乾燥してもゲル化して固く凝結することがな
いので傷の発生原因となることもないので良好な表面が
得られる。

本発明に用いられるアルミナ質研磨材粉末の一次粒子平
均径については、平均粒子径５μｍ以下が好ましい。５
μｍを超えると加工面粗さが大きく実用的でない。粒子
径が小さくなる程、加工面粗さは小さくなり好ましいが
、研磨速度も小さくなる。研磨速度を無視して、加工面
粗さのみを重視する研磨組成物なら一次粒子径に下限は
ない。

そこで、加工面粗さと研磨速度を考慮すると、アルミナ
一次粒子のより好ましい平均粒子径は、０゜０５〜１μ
ｍの範囲である。

また１本発明に用いられるアルミナ質研磨材粉末が二次
粒子を形成しているときには、その二次粒子平均径につ
いては、平均粒子径１０μｍ以下が好ましい。−次粒子
径およびその凝集力にもようるが１０μｍを超えるとス
クラッチが多発して実用的に問題となる。また二次粒子
径が小さい程、高精度な加工面が得られる。加工面粗さ
と研磨速度を考慮すると、アルミナ二次粒子のより好ま
しい平均粒子径は０．　１〜４μｍの範囲である。

本発明の研磨組成物中のアルミナ質研磨材粉末の含有量
は任意に選定できる。通常、アルミナ含有量が３〜４０
重量％になるように水性スラリー化した研磨組成物を研
磨表面に供給して研磨パッドを用いて研磨に使用する。

３重量％未満では有効な除去速度が得られないし、スク
ラッチの発生することが多い。また４０重量％を超える
と、それ程除去速度が高くならず、逆に低下することに
もなる。４０重量％前後で、除去速度は最大値をとる。

研磨組成物中のアルミナ含有量は、高いほど研磨速度が
高く加工面粗さが小さくなり有利であるが、経済性を考
慮すると１５〜２５重量％のものがより好ましい。また
、上記の含有量は研磨面に供給する際の濃度であり、ア
ルミナ含有率が高い濃厚な研磨組成物を用意して、使用
に当たって上記アルミナ含有量の範囲内の所望の濃度に
希釈することも可能である。

つぎに本発明に用いられる塩化鉄（ＩＩＩ）水溶液につ
いては、その濃度が高いほど除去速度は高くなるが、う
ねりや表面粗さなど被研磨物の表面状態が悪化する。従
って、実用的には塩化鉄　（ｍ）濃度が０．　２重量％
〜２５重量％になるように調製するのが好ましい。塩化
鉄（ＩＩＩ）濃度は、研磨するステンレス鋼の材質や、
被研磨物の要求される仕上がり表面状態にもよるが、最
も好ましくは０．２〜２．５重量％である。０．　２重
量％未満では未添加と同じ除去速度であり、２５重量％
を超えると研磨面の表面状態が悪化し、ビット、スクラ
ッチ等が発生する。なお、２０℃での飽和水溶液濃度は
４７．９重量％である。また、上記の塩化鉄（ｌＩ［）
濃度は研磨面に供給する際の濃度であり、塩化鉄（ＩＩ
Ｉ）濃度が高い濃厚な研磨組成物を用意して、使用に当
たって上記塩化鉄（ｍ）濃度の範囲内の所望の濃度に希
釈することも可能である。

本発明に用いられる粘度調整剤は、水溶性の高粘度な物
質であり、被研磨物の仕上がり表面状態を良好にする目
的で添加される。水溶性の高粘度物質には、グリセリン
、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリ
ビニルアルコール、ゼラチン、でんぷん等があるが特に
限定するものではない。粘度調整剤を添加したステンレ
ス鋼研磨用組成物の粘度は上昇する。このため、被研磨
物表面近傍に存在する反応済み研磨用組成物が、表面よ
り沖合いに存在する研磨組成物と入れ換わるのが妨げら
る。従って、被研磨物と研磨用組成物との反応は、添加
しない場合に比較して拡散律速側になる。すなわち粘度
調整剤には拡散速度を低下させ、反応を１ｍやかにする
働きがあると推測される。粘度調整剤には、上記のよう
に種々の物質があるが特にゼラチンが好ましい。ゼラチ
ンの濃度は、Ｏ０工重量％以上であれば良く、研磨用組
成物中に均一に分散させる。０．　１重量％未満では効
果がなく、研磨組成物のｐＨ（［ｌＩ等にもよるが、４
重量％を超えるとゼリー状になり固まってしまう。

以上の様に、本発明は研磨用組成物にアルミナ質研磨材
粉末と塩化鉄（ｍ）水溶液を用いることを特徴とするも
のであるので、研磨組成物に他の成分１例えばアルミナ
質研磨材粉末の分散性を良くする分散剤や界面活性剤を
添加することは、−向差し支えないので、本件発明はこ
れら他の成分の添加によって縮小されるものではない。

ここで本発明と、アルミナと塩化鉄（＋１１１）を用い
る点が類似する。特開昭５１−９３７３２および５６−
１５６７８１について比較する。まず特開昭５１−９３
７３２は、ステンレス板の表面の洗浄研磨剤であり、本
発明が目的とする鏡面研磨のための研磨用組成物とは異
なる。そのため、本発明では用いていない成分である洗
浄剤を油脂分の除去、分解及び潤滑剤、安定剤として１
％〜２０％添加している。このため特開昭５１−９３７
３２に記載される洗浄研磨剤を本発明が目的とする鏡面
研磨に用いると、被研磨物と研磨パッドあるいは研磨パ
フ間の摩擦抵抗が減少し除去速度を著しく低下させる。

また摩擦抵抗の減少により、研磨におよぼすアルミナに
よるメカニカル研磨の割合が低くなり、塩化鉄（ＩＩＩ
）によるケミカル研磨の割合が高くなる。このためメカ
ノケミカル研磨がケミカル研磨に偏ることになり、研磨
面にオレンジビールと呼ばれるうねりが多発し、高い研
磨精度が得られない。特開昭５６−１５６７８１は、上
記のように金属用スケール除去剤であり。

本発明では用いていない成分である有機過酸化物を添加
している。有機過酸化物はその酸化力により金属スケー
ルの反応溶解を速やかに進める目的で添加されているが
、本発明が目的とする鏡面研磨に用いるとその強い酸化
力によって研磨面にくもりやビットが発生する。また、
本発明と塩化鉄を用いる点で類似した特開昭５３−工２
３３３７では、本発明では用いていない成分である塩酸
と硝酸を添加している。これらの成分は上記の有機過酸
化物の場合と同様に鏡面研磨に用いるとその強い酸化力
によって研磨面にくもりやビットが発生する。

〔実施例〕

次に実施例により２本発明を更に詳しく説明する。下記
実施例における研磨特性は次の様な研磨テストで評価し
た。研磨は片面ポリシングマシン（定盤径３００φｍ　
ｍ　）を使用し、定盤にはベロアタイプバンド（昭和ポ
リッシングシステム■製ＳＰＤ　　Ｎｏ、３２王２）、
ウレタンパッド（昭和ポリッシングシステム■ＨＳＰＤ
　　Ｎｏ、　　６２１１）、スェードタイプパッド（昭
和ポリッシングシステム＠ｍ　　ＳＰＤ　　Ｎｏ、４２
３５）のうちいずれかを貼り付けた。

アルミナ質研磨材粉末には、ＷＡ（昭和電工■ｍｌ）と
ＡＺ（昭和電工■製）、仮焼アルミナ（昭和型ニーＩり
を用いた。ＷＡは、バイヤー法で精製されたアルミナを
電気炉で溶融し、凝固させた塊を粉砕分級した研磨材粉
末で、コランダム結晶からなり全体として白色をおびて
いる。ＡＺは、ボーキサイトを電気炉で溶融還元し、凝
固させたアルミナと、ジルコンサンドを混合して粉砕分
級した研磨材粉末で、全体としてアルミナをおよそ５０
重量％含んでいる。仮焼アルミナは、アルミの水酸化物
を仮焼しα−アルミナ化してＩＩＩ［し粉砕分級したも
のである。

ＷＡ−ＡＺをアルミナ質研磨材粉末として含む研磨組成
物においては、ベロアタイプパッド、ウレタンパッドな
どの比較的硬いパッドを使用し、仮焼アルくす研磨材粉
末をアルミナ質研磨材粉末として含む研磨組成物におい
ては、上記のパッドに比較して柔らかいスェードタイプ
パッドを使用した。

被研磨物として２０φｍｍステンレス鋼５枚を１１０φ
ｍｍガラス製研磨プレートにワックスで貼り付け２０分
間研磨した。ステンレス鋼には材質５ＵＳ３０４，４１
０，４３０のうちいずれか一種類を使用した。なお、研
磨条件は下定盤回転数：１２Ｏｒｐｍ、　　加工圧カニ
　　１００ｇ／ｃｍ２である。研磨の間、研磨組成物を
３０　ｍ　ｌ　／　ｍ　ｉ　ｎの流量で流した。

研磨後ウェハの厚さを測定し、厚さの減少から研磨速度
を求めた。また、触針式表面粗さ計で表面粗さを測定し
、研磨表面を観察して表面状態を評価した。

実施例１ 溶融法で得られた一次粒子平均径１．２μｍのＷＡ＃８
０００を組成物中に２０重量％含有し、塩化鉄（ＩＩＩ
）を組成物中に２．　０重量％含有する水性スラリーを
研磨組成物として用いて　５ＵＳ３０４ステンレス鋼を
研磨した。また、研磨にはベロアタイプバンドを使用し
た。

試験の結果を第１表の実施例１の欄に示す。

実施例２ 実施例１で使用したベロアタイプパッドの代わりにウレ
タンパッドを用いて研磨を実施した。ベロアタイプパッ
ドをウレタンパッドに変更した以外は、実施例１と同様
の研磨条件で５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。そ
の結果を第１表の実施例２の欄に示す。

実施例３ 実施例１で使用した一次粒子平均径１．　２μｍのＷＡ
＃８０００の代わりに一次粒子平均径５、　０μｍのＷ
Ａ＃２５００を用いて研磨を実施した。ＷＡの一次粒子
平均径を　１．２μｍから５．０１ｍに変更した以外は
、実施例１と同様の研磨条件で５ＵＳ３０４ステンレス
網を研磨した９その結果を第１表の実施例３の欄に示す
。

実施例４ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２μｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（ＩＩＩ）を組成物中に２、　０重量％含有す
る水性スラリーを研磨組成物として用いて５ＵＳ３０４
ステンレス鋼を研磨した。また、研磨にはスェードタイ
プパッドを使用した。

試験の結果を第１表の実施例４の欄に示す。

実施例５ 実施例４で使用した一次粒子平均径０．　１μｍ、二次
粒子平均径２μｍの仮焼アルミナ研磨材粉末の代わりに
一次粒子平均径２μｍ、二次粒子平均径１０ＩＬｍの仮
焼アルミナ研磨材粉末を用いて研磨を実施した。仮焼ア
ルくす研磨材粉末の一次粒子平均径を　０．　１μｍか
ら　２μｍに、二次粒子平均径を２μｍから１０μｍに
変更した以外は、実施例４と同様の研磨条件で５ＵＳ３
０４ステンレス鋼を研磨した。その結果を第１表の実施
例５の欄に示す。

実施例６ 実施例１で使用した溶融法で得られた一次粒子平均径１
．２μｍのＷＡ＃８０００の代わりに一次粒子平均径２
．９μｍのＡＺ＃４０００を用いて研磨を実施した。Ｗ
Ａ＃８０００をＡ　Ｚ＃４０００に変更した以外は、実
施例１と同様の研磨条件で５ＵＳ３０４ステンレス鋼を
研磨した。その結果を第１表の実施例６の欄に示す。

実施例７ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２Ｐｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（ｍ）を組成物中に０．　２重量％含有する水
性スラリーを研磨組成物として用いた。すなわち、組成
物中の塩化鉄（ＩＩＩ）含有量を２．０重量％から０．
　２重量％に変更した以外は、実施例４と同様の研磨条
件で　ＳＵＳ　　３０４ステンレス鋼を研磨した。その
結果を第１表の実施例７の欄に示す。

実施例８ 一次粒子平均径０．工μｍ、二次粒子平均径２μｍの仮
焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に　２０重量％含有し
、＠化鉄（［１）を組成物中に０．　５重量％含有する
水性スラリーを研磨組成物として用いた。すなわち、組
成物中の塩化鉄（ＩＩＩ）含有量を２．　０重量％から
０．　５重量％に変更した以外は、実施例４と同様の研
磨条件で　ＳＵＳ　　３０４ステンレス鋼を研磨した。

その結果を第１表の実施例８の欄に示す。

実施例９ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２μｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（ＩＩＩ）を組成物中に１、　０重量％含有す
る水性スラリーを研磨組成物として用いた。すなわち、
組成物中の塩化鉄（ＩＩＩ）含有量を２．　０重量％か
ら１．　０重量％に変更した以外は、実施例４と同様の
研磨条件で　５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。そ
の結果を第１表の実施例９の欄に示す。

実施例１０ 一次粒子平均径０．１μｍ、二次粒子平均径２μｍの仮
焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し、
塩化鉄（＋１１１）を組成物中に２．５重量％含有する
水性スラリーを研磨組成物として用いた。すなわち２組
成物中の塩化鉄（ＩＩＩ）含有量を２．０重量％から２
．５重量％に変更した以外は、実施例４と同様の研磨条
件で　５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。その結果
を第１表の実施例１０の欄に示す。

実施例１１ 一次粒子平均径０．１μｍ、二次粒子平均径２μｍの仮
焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し、
塩化鉄（ｍ）を組成物中に３．０重量％含有する水性ス
ラリーを研磨組成物として用いた。すなわち、組成物中
の塩化鉄（ＩＩＩ）含有量を２．０重量％から３．０重
量％に変更した以外は、実施例４と同様の研磨条件で　
５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。その結果を第１
表の実施例１工の欄に示す。

実施例工２ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２μｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（ｍ）を組成物中に８、　０重量％含有する水
性スラリーを研磨組成物として用いた。すなわち、組成
物中の塩化鉄（ＩＩＩ）含有量を２．　０重量％から８
．　０重量％に変更した以外は、実施例４と同様の研磨
条件で　５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。その結
果を第１表の実施例１２の欄に示す。

実施例１３ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２μｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（ＩＩＩ）を組成物中に１６．０重量％含有す
る水性スラリーを研磨組成物として用いた。　すなわち
、組成物中の塩化鉄（ｍ）含有量を２．０重量％から１
６．０重量％に変更した以外は、実施例４と同様の研磨
条件で５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。その結果
を第工表の実施例工３の欄に示す。

実施例１４ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２μｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
。塩化鉄（ｍ）を組成物中に２５．０重量％含有する水
性スラリーを研磨組成物として用いた。　すなわち９組
成物中の塩化鉄（ＩＩＩ）含有量を２．　０重量％から
２５．０重量％に変更した以外は、実施例４と同様の研
磨条件で５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。その結
果を第１表の実施例１４の欄に示す。

比較例１ 一次粒子平均径０．１μｍ、二次粒子平均径２μｍの仮
焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０！量％含有し、
塩化鉄（ｍ）を組成物中に２、　０重量％含有し、さら
に有機過酸化物としてターシャリ−ブチルハイドロパー
オキサイドを組成物中に４．　０重量％含有する水性ス
ラリーを研磨組成物として用いた。　すなわち、組成物
中にターシャリ−ブチルハイドロパーオキサイドを４．
０重量％含有するように変更した以外は、実施例４と同
様の研磨条件で５ＵＳ３０４ステンレス鋼を研磨した。

その結果を第１表の比較例１の欄に示す。

比較例２ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２μｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（ＩＩＩ）を組成物中に２、　０重量％含有し
、さらに塩酸を組成物中に２．０重量％、硝酸を組成物
中に２−　０重量％含有する水性スラリーを研磨組成物
として用いた。

すなわち、組成物中に塩酸を２．　０重量％、硝酸を２
．０重量％含有するように変更した以外は。

実施例４と同様の研磨条件で５ＵＳ３０４ステンレス鋼
を研磨した。その結果を第１表の比較例２の欄に示す。

実施例１５ 一次粒子平均径０．１μｍ、二次粒子平均径２μｍの仮
焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し、
塩化鉄（ＩＩＩ）を組成物中に２、　０重量％含有する
水性スラリーを研磨組成物として用いて５ＵＳ４１０ス
テンレス鋼を研磨した。　すなわち、被研磨物を　５Ｕ
Ｓ３０４　　から５ＵＳ４１０に変更した以外は、実施
例４と同様の研磨条件試験した。その結果を第１表の実
施例１５の欄に示す。

実施例１６ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２お□の
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（ｍ）を組成物中に２゜０重量％含有する水性
スラリーを研磨組成物として用いて５ＵＳ４３０ステン
レス鋼を研磨した。すなわち、被研磨物をＳＵＳ　　３
０４　　から５ＵＳ４３０に変更した以外は、実施例４
と同様の研磨条件試験した。その結果を１１１表の実施
例１６の欄に示す。

実施例１７ 一次粒子平均径０．　１μｍ、二次粒子平均径２μｍの
仮焼アルミナ研磨材粉末を組成物中に２０重量％含有し
、塩化鉄（■）゛を組成物中に２、　０重量％、ゼラチ
ンを組成物中に　０．　１重量％含有する水性スラリー
を研磨組成物として用いて５ＵＳ３０４ステンレス鋼を
研磨した。また。

研磨にはスェードタイプパッドを使用した。

試験の結果を第１表の実施例１７の欄に示す。

（以下余白） 表上の実施例工〜６は、種々のアルミナ質研磨材粉末と
塩化鉄（ＩＩＩ）水溶液を組合せ研磨組成物に使用して
研磨した結果である。これよりアルミナ質研磨材粉末を
使用して研磨した場合は、除去速度が高く、表面粗さも
小さく、良好な鏡面が得られることが認められた。

次にアルミナ質研磨材粉末の一次粒子平均径と研磨性能
について比較する。表土の実施例１、実施例３はそれぞ
れ１．　２μｍと５，０μｍの一次粒子平均径を有する
ＷＡを用いて研磨した結果である。この結果、−水粒子
の平均粒子径が５．　０μｍ以下である実施例工、実施
例３の場合には、除去速度が高く、表面粗さが小さく、
表面状態が良好な鏡面に仕上がることが認められた。

次に仮焼アルミナ研磨材粉末の二次粒子平均径と研磨性
能について比較する。表１の実施例４、実施例５は、−
水粒子平均径が５μｍ以下であり、かつまた　２μｍか
ら１０μｍの二次粒子平均径を有する仮焼アルミナ研磨
材粉末を用いて研磨した結果である。この結果、二次粒
子平均径が　１０μｍ以下である実施例４、実施例５の
場合には。

除去速度が高く、表面粗さも小さく、研磨面の表面状態
が良好で鏡面に仕上がることが認められた。

表１の実施例７〜１４は、−水粒子平均径が０、　１μ
ｍで、二次粒子平均径が２μｍの仮焼アルミナ研磨材粉
末と塩化鉄（Ｉｌｌ）を用いて研磨した結果である。こ
の場合、塩化鉄（ｍ）濃度は、０．２重量％から２５．
０重量％の範囲で使用した。これより塩化鉄（ｍ）濃度
が０．２重量％から２５．０重量％の範囲で研磨した場
合は、除去速度が高く、表面粗さも小さく、鏡面が得ら
れることが認められた。また、塩化鉄（ｍ）濃度が０．
２重量％から２．５重量％の範囲で研磨した場合は、特
に表面粗さが小さく、研磨面も良好な鏡面であった。

表１の比較例１、比較例２は、−水粒子平均径が０．　
１μｍで、二次粒子平均径が２μｍの仮焼アルミナ研磨
材粉末と塩化鉄（ｍ）、さらにターシャリ−ブチルハイ
ドロパーオキサイドまたは塩酸及び硝酸を用いて研磨し
た結果である。この場台、ターシャリ−ブチルハイドロ
パーオキサイドまたは塩酸及び硝酸の強い酸化力によっ
て研磨面にくもりやピットが発生し研磨面は鏡面とはな
らなかった。

表１の実施例１５、実施例１６は、−次粒子平均径が（
Ｌ　　１μｍで、二次粒子平均径が２μｍの仮焼アルミ
ナ研磨材粉末と塩化鉄（ｍ）水溶液を研磨組成物に使用
して、各種材質のステンレス鋼を研磨した結果である。

これよりいずれの材質に対しても除去速度が高く、表面
粗さも小さく、良好な鏡面が得られ、特にステンレス鋼
の材質は問わないことが認められた。

表１の実施例１７は、−次粒子平均径が０．　１μｍで
、二次粒子平均径が２μｍの仮焼アルミナ研磨材粉末と
ゼラチンを含む塩化鉄（ＩＩＩ）水溶液を研磨組成物に
用いて研磨した結果である。これよりゼラチンを添加し
た実施例１７は、添加しなかった実施例４に比較して、
さらに表面状態が改善され表面粗さが小さくなっている
ことが認められた。

〔発明の効果〕

本発明による研磨用組成物にアルミナ質研磨材粉末と塩
化鉄（ｍ）水溶液を用いることを特徴とするステンレス
鋼研磨用組成物は、 イ）　特別な装置を必要とせず簡略な設備で研磨が可能
である 口）　うねりや傷がない平滑な研磨面を得ることができ
る ハ）　加工歪や被研磨物表面の変色が無い二）　高い除
去速度を有する 等の多くの効果がある。

また、研磨用組成物にアルミナ質研磨材粉末と塩化鉄（
ＩＩＩ）水溶液と粘度調整剤を用いることを特徴とする
ステンレス鋼研磨用組成物は、イ）から二）の特徴に加
えて ホ）　きわめて小さい表面粗さを達成することが出来る 等の多くの効果がある。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）アルミナ質研磨材粉末と塩化鉄（III）水溶液か
   らなることを特徴とする研磨用組成物。
2. （２）請求項１記載のアルミナ質研磨材粉末の組成物中
   に占める割合が３〜４０重量％であり、一次粒子の平均
   粒子径が５μｍ以下であることを特徴とする研磨用組成
   物。
3. （３）請求項１または２記載の塩化鉄（III）の組成物
   中に占める割合が０．２〜２５重量％であることを特徴
   とする研磨用組成物。