JPH03201219A - 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法Info
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- JPH03201219A JPH03201219A JP33970489A JP33970489A JPH03201219A JP H03201219 A JPH03201219 A JP H03201219A JP 33970489 A JP33970489 A JP 33970489A JP 33970489 A JP33970489 A JP 33970489A JP H03201219 A JPH03201219 A JP H03201219A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、垂直磁気記録層と高透磁率下地層とを有する
磁気ディスク媒体の製造方法に係わる。
磁気ディスク媒体の製造方法に係わる。
（従来技術および発明が解決しようとする課題）一般に
磁気記録方式には、長手記録方式と垂直記録方式とがあ
るが、垂直記録方式では高記録密度化が可能なため、こ
の記録方式の研究開発、及びこの方式を用いた記録媒体
の製造がさかんに行われている。
磁気記録方式には、長手記録方式と垂直記録方式とがあ
るが、垂直記録方式では高記録密度化が可能なため、こ
の記録方式の研究開発、及びこの方式を用いた記録媒体
の製造がさかんに行われている。
この垂直磁気記録方式に関し、従来、高透磁率下地層を
有する垂直磁気記録ディスク媒体を製造する際に、高透
磁率下地層の磁化容易軸を半径方向に揃えてやる事によ
り、読み出し時の出力変動を押さえるという方法が案出
され、それを実現させるための様々な方法が考えられて
きた。例えば、特開昭６０−５２９１９号、特開昭６１
−１７７６３３号、特開昭６２−１２９９４０３号公報
等記載の発明は、第１図に示すように、基板ホルダーに
永久磁石１１及び補助強磁性体１２を設け、基板に放射
状の水平磁界１３を印加するという方法である。しかし
、この方法には、垂直磁気記録層をスパッタリングによ
り作製する時、その水平磁界１３からの影響に対してな
んら考慮がされていないという欠点がある。
有する垂直磁気記録ディスク媒体を製造する際に、高透
磁率下地層の磁化容易軸を半径方向に揃えてやる事によ
り、読み出し時の出力変動を押さえるという方法が案出
され、それを実現させるための様々な方法が考えられて
きた。例えば、特開昭６０−５２９１９号、特開昭６１
−１７７６３３号、特開昭６２−１２９９４０３号公報
等記載の発明は、第１図に示すように、基板ホルダーに
永久磁石１１及び補助強磁性体１２を設け、基板に放射
状の水平磁界１３を印加するという方法である。しかし
、この方法には、垂直磁気記録層をスパッタリングによ
り作製する時、その水平磁界１３からの影響に対してな
んら考慮がされていないという欠点がある。
また、特開昭６２−２０５５１８号公報は、基板ホルダ
ーの裏側で永久磁石または電磁石を回転させる等の方法
を示している。しかし、この方法は、実際のディスク媒
体製造を考えると非効果的である。
ーの裏側で永久磁石または電磁石を回転させる等の方法
を示している。しかし、この方法は、実際のディスク媒
体製造を考えると非効果的である。
また、これらの全ての方法では、実際のディスク媒体製
造に用いられるインラインスパッタリング装置への応用
に関して全く考慮がされていないという欠点もある。す
なわち、実際のディスク媒体製造において両面への製膜
は必要不可欠な事であるが、従来の方法では基板ホルダ
ー自体に磁界発生機構を組み込んであるため、両面に製
膜するためには一度ディスク媒体基板をホルダーからは
ずして裏返す作業のための特別な機構や手間が必要とな
り、好ましくない。
造に用いられるインラインスパッタリング装置への応用
に関して全く考慮がされていないという欠点もある。す
なわち、実際のディスク媒体製造において両面への製膜
は必要不可欠な事であるが、従来の方法では基板ホルダ
ー自体に磁界発生機構を組み込んであるため、両面に製
膜するためには一度ディスク媒体基板をホルダーからは
ずして裏返す作業のための特別な機構や手間が必要とな
り、好ましくない。
さらに、インラインスパッタリング装置内のターゲット
に対向する部分に磁性体及び凹凸のある部分を設ける事
は保守管理を困難にし、保守費用を増大させる事になる
。
に対向する部分に磁性体及び凹凸のある部分を設ける事
は保守管理を困難にし、保守費用を増大させる事になる
。
従って、本発明の目的は、上記従来の欠点を解決して、
垂直磁気記録層のスパッタリング時への悪影響が無く、
両面同時製膜が可能な形で高透磁率地下層の磁化容易軸
を基板半径方向にそろえる事により読み出し時の出力変
動の少ない垂直磁気ディスク媒体を製造する方法を提供
することである。
垂直磁気記録層のスパッタリング時への悪影響が無く、
両面同時製膜が可能な形で高透磁率地下層の磁化容易軸
を基板半径方向にそろえる事により読み出し時の出力変
動の少ない垂直磁気ディスク媒体を製造する方法を提供
することである。
（課題を解決するための手段〉
上記目的を達成するために、本発明は、放射状直流磁界
を発生させるに当たり基板の外径より大°きな内径を有
するリング状コイルを用い、なんら補助的な強磁性体を
必要としない事を特徴とするものである。
を発生させるに当たり基板の外径より大°きな内径を有
するリング状コイルを用い、なんら補助的な強磁性体を
必要としない事を特徴とするものである。
（実施例）
以下本発明の実施例を図面を用いて詳細に示す。
最初に本発明で用いたリング状コイルについて説明する
。
。
第２図はリング状コイルとディスク媒体基板の鳥眼図と
断面図を示す。第２図において、ディスク媒体基板２２
の下方にごの基板の外径よりも内径の大きなリング状コ
イル２１を配置する。このリング状コイル２１に所定の
電流を流すと、リング状コイル２１とディスク媒体基板
２２を下から上方向に貫通し、コイルの中心から放射状
に広がる磁界２３が発生する。
断面図を示す。第２図において、ディスク媒体基板２２
の下方にごの基板の外径よりも内径の大きなリング状コ
イル２１を配置する。このリング状コイル２１に所定の
電流を流すと、リング状コイル２１とディスク媒体基板
２２を下から上方向に貫通し、コイルの中心から放射状
に広がる磁界２３が発生する。
従って、高透磁率層の製膜時、印加磁界の垂直成分は高
透磁率層自体の形状異方性により無視する事ができるの
で、印加磁界の水平成分のみの効果により、両面同時に
磁化容易軸がディスク媒体半径方向に−様に揃った高透
磁率層を作る事が可能となる。
透磁率層自体の形状異方性により無視する事ができるの
で、印加磁界の水平成分のみの効果により、両面同時に
磁化容易軸がディスク媒体半径方向に−様に揃った高透
磁率層を作る事が可能となる。
第３図は、ディスク媒体基板２２を挟むように、その両
側にリング状コイル２１を配置した様子を示す図である
。このコイル２１の各々に逆向きの電流を流した場合、
磁界２４の垂直成分は互いに打ち消し合い、そして水平
成分は互いに強め合うことになる。
側にリング状コイル２１を配置した様子を示す図である
。このコイル２１の各々に逆向きの電流を流した場合、
磁界２４の垂直成分は互いに打ち消し合い、そして水平
成分は互いに強め合うことになる。
コイルは、流す電流の大きさによって磁界の大きさを自
由に変える事ができ、かつ、永久磁石に比べ、容易に均
一な磁界を作ることができるという利点がある。
由に変える事ができ、かつ、永久磁石に比べ、容易に均
一な磁界を作ることができるという利点がある。
第４図は、本発明をインラインスパッタリング装置に適
用した例を示す。リング状コイル２１を基板トレイ４１
の片面あるいは両面に配置する。
用した例を示す。リング状コイル２１を基板トレイ４１
の片面あるいは両面に配置する。
この基板トレイ４１を挟むように、その両側に高透磁率
磁性体ターゲット４２を配置する。そして、抵抗器４４
を介して、直流電源４３をリング状コイル２１に接続す
る。
磁性体ターゲット４２を配置する。そして、抵抗器４４
を介して、直流電源４３をリング状コイル２１に接続す
る。
ディスク媒体基板２２が高透磁率磁性体ターゲット４２
から戊る高透磁率層スパッタリング槽内に入る際にコイ
ル２１に直流電流を流す事により、各ディスク媒体２２
に−様な放射状磁界を印加する。その時製膜された両面
の高透磁率層の磁化容易軸が半径方向に揃う事になる。
から戊る高透磁率層スパッタリング槽内に入る際にコイ
ル２１に直流電流を流す事により、各ディスク媒体２２
に−様な放射状磁界を印加する。その時製膜された両面
の高透磁率層の磁化容易軸が半径方向に揃う事になる。
第５図はリング状コイル２１を基板トレイ４１に直接配
置する代わりに、専用のパレッ）５１を設けそこに配置
した例である。この場合基板トレイ４１が高透磁率磁性
体ターゲット４２の間を通過する際に、パレッ）５１が
同期して動き各ディスク媒体に−様な放射状磁界を印加
する。なお簡単のため電源は図では省略しである。
置する代わりに、専用のパレッ）５１を設けそこに配置
した例である。この場合基板トレイ４１が高透磁率磁性
体ターゲット４２の間を通過する際に、パレッ）５１が
同期して動き各ディスク媒体に−様な放射状磁界を印加
する。なお簡単のため電源は図では省略しである。
（発明の効果〉
以上説明したように、本発明の方法によれば、磁化容易
軸が半径方向に揃った高透磁率地下層を両面同時に作製
する事が可能となり、読み出し時の出力変動の少ない優
れた垂直磁気記録ディスク媒体を製造することが可能に
なる。
軸が半径方向に揃った高透磁率地下層を両面同時に作製
する事が可能となり、読み出し時の出力変動の少ない優
れた垂直磁気記録ディスク媒体を製造することが可能に
なる。
第１図は従来技術による垂直磁気記録方法の概要を示す
図、 第２図はリング状コイル鳥敞図と断面図であって、平面
コイル表面近傍に発生する中心から放射状に広がる磁界
の様子を示す図、 第３図はリング状コイルを対抗させて逆向きの電流を流
した場合を示す図、 第４図は本発明をインラインスパッタリング装置に適応
した例を示す図、 第５図はリング状コイルを専用のパレットに配置した例
を示す図である。 １１・・・・永久磁石、 １２・・・・補助強磁性
体、１３・・・・放射状磁界、 ２１・・・・リング状コイル、 ２２・・・・ディスク媒体基板、 ２３・・・・放射状磁界、 ４１・・・・基板トレイ、
４２・・・・高透磁率磁性体ターゲット４３・・・・直
接電流、 ４４・・・・抵抗器、５１・・・・リング
状コイル用パレット。 第３図 つ１ 第１図
図、 第２図はリング状コイル鳥敞図と断面図であって、平面
コイル表面近傍に発生する中心から放射状に広がる磁界
の様子を示す図、 第３図はリング状コイルを対抗させて逆向きの電流を流
した場合を示す図、 第４図は本発明をインラインスパッタリング装置に適応
した例を示す図、 第５図はリング状コイルを専用のパレットに配置した例
を示す図である。 １１・・・・永久磁石、 １２・・・・補助強磁性
体、１３・・・・放射状磁界、 ２１・・・・リング状コイル、 ２２・・・・ディスク媒体基板、 ２３・・・・放射状磁界、 ４１・・・・基板トレイ、
４２・・・・高透磁率磁性体ターゲット４３・・・・直
接電流、 ４４・・・・抵抗器、５１・・・・リング
状コイル用パレット。 第３図 つ１ 第１図
Claims (1)
- 垂直磁気記録層と高透磁率下地層とを有する磁気ディス
ク媒体をスパッタリング法を用いて製造する際において
、高透磁率下地層を製膜する際、基板の中心面からずれ
た位置に基板の外径より大きな内径を有するリング状コ
イルを片側あるいは両側に平行に配置し、コイルに直流
電流を流す事により基板面に対して平行な磁界成分を持
つ磁界を基板の中心から放射状に印加することを特徴と
する垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33970489A JPH03201219A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33970489A JPH03201219A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201219A true JPH03201219A (ja) | 1991-09-03 |
Family
ID=18330017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33970489A Pending JPH03201219A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03201219A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004077413A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-10 | Neomax Co., Ltd. | 磁場中熱処理装置 |
| JP2008010540A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 径方向磁場発生用磁気回路及び磁気記録媒体 |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP33970489A patent/JPH03201219A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004077413A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-10 | Neomax Co., Ltd. | 磁場中熱処理装置 |
| JP2008010540A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 径方向磁場発生用磁気回路及び磁気記録媒体 |
| JP4648876B2 (ja) * | 2006-06-28 | 2011-03-09 | 信越化学工業株式会社 | 径方向磁場発生用磁気回路 |
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