JPH03199165A - 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 - Google Patents
窒化珪素質焼結体及びその製造方法Info
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- JPH03199165A JPH03199165A JP1343682A JP34368289A JPH03199165A JP H03199165 A JPH03199165 A JP H03199165A JP 1343682 A JP1343682 A JP 1343682A JP 34368289 A JP34368289 A JP 34368289A JP H03199165 A JPH03199165 A JP H03199165A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、高温における抗折強度及び耐酸化性に優れ、
特にガスタービン等の熱機関に使用される窒化珪素質焼
結体及びその製造方法に関する。
特にガスタービン等の熱機関に使用される窒化珪素質焼
結体及びその製造方法に関する。
（従来技術）
従来から、窒化珪素質焼結体は、高温における強度、硬
度、熱的化学的安定性に優れた材料としてエンジニアリ
ングセラくツクス、特に熱機関用としてその応用が進め
られている。これらの用途に適用させる場合、焼結体に
対しては室温から１４００℃の高温まで優れた機械的特
性が要求されているが、最近に至っては１５００℃にお
ける特性の向上も望まれている。
度、熱的化学的安定性に優れた材料としてエンジニアリ
ングセラくツクス、特に熱機関用としてその応用が進め
られている。これらの用途に適用させる場合、焼結体に
対しては室温から１４００℃の高温まで優れた機械的特
性が要求されているが、最近に至っては１５００℃にお
ける特性の向上も望まれている。
一般に窒化珪素質焼結体の製造する方法としては、それ
自体が難焼結性であることから焼結助剤を添加し、ホッ
トプレス法、常圧焼成法、ガス圧力焼成法等の焼成手段
によって非酸化性雰囲気で焼成することにより得られて
いる。
自体が難焼結性であることから焼結助剤を添加し、ホッ
トプレス法、常圧焼成法、ガス圧力焼成法等の焼成手段
によって非酸化性雰囲気で焼成することにより得られて
いる。
一方、組成の点からは焼結助剤として希土類元素酸化物
やアルミナ、マグネシア等が最も一般的に用いられてい
るが、焼結体の高温特性を考慮した場合、アルミナやマ
グネシアは焼結体の粒界相に低融点物質を生成するため
に高温特性を劣化させることから、これら酸化物を含ま
ないＳｉ、Ｎ４−ＲＥｇＯｚ （ＲＥ：希土類元素）
−ＳｉＯ□の単純３元系からなる組成が検討されている
。特に、この系において焼結体中の粒界相の強度を向上
させる目的で粒界に高融点の結晶相、例えばメリライト
、アパタイト、ＹＡＭ、ワラストナイト等を析出させる
試みがなされている。
やアルミナ、マグネシア等が最も一般的に用いられてい
るが、焼結体の高温特性を考慮した場合、アルミナやマ
グネシアは焼結体の粒界相に低融点物質を生成するため
に高温特性を劣化させることから、これら酸化物を含ま
ないＳｉ、Ｎ４−ＲＥｇＯｚ （ＲＥ：希土類元素）
−ＳｉＯ□の単純３元系からなる組成が検討されている
。特に、この系において焼結体中の粒界相の強度を向上
させる目的で粒界に高融点の結晶相、例えばメリライト
、アパタイト、ＹＡＭ、ワラストナイト等を析出させる
試みがなされている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、粒界相にメリライトが析出すると不活性
雰囲気での高温強度は優れるが実用的条件である酸化性
雰囲気での安定性が悪く、酸化による体積変化により強
度が劣化するという問題がある。また、アパタイト、ワ
ラストナイト或いはＹＡＭが析出したものはメリライト
が析出したものに比較して酸化雰囲気での安定性はやや
向上するものの１５００℃における耐酸化性は大きく低
下しほとんど使用できないのが現状であった。
雰囲気での高温強度は優れるが実用的条件である酸化性
雰囲気での安定性が悪く、酸化による体積変化により強
度が劣化するという問題がある。また、アパタイト、ワ
ラストナイト或いはＹＡＭが析出したものはメリライト
が析出したものに比較して酸化雰囲気での安定性はやや
向上するものの１５００℃における耐酸化性は大きく低
下しほとんど使用できないのが現状であった。
（発明の目的）
本発明は、高温強度に優れるとともに１５００℃におけ
る耐酸化性に優れた窒化珪素質焼結体およびその製造方
法を提供するにある。
る耐酸化性に優れた窒化珪素質焼結体およびその製造方
法を提供するにある。
（課題を解決するための手段）
本発明者等は、上記の課題に対しＳｉＪｎ−ＲＥｚＯ。
（ＲＥ：希土類元素）−ＳｉＯ□の単純３元系において
検討を重ねた結果、ＳｉＯ□戒分を成分に含むとともに
粒界相にシリコンオキシナイトライド（Ｓｉ２Ｎ２Ｏ）
が特定の割合で存在した焼結体が優れた高温特性と１５
００″Ｃにおける耐酸化性に優れることを知見した。
検討を重ねた結果、ＳｉＯ□戒分を成分に含むとともに
粒界相にシリコンオキシナイトライド（Ｓｉ２Ｎ２Ｏ）
が特定の割合で存在した焼結体が優れた高温特性と１５
００″Ｃにおける耐酸化性に優れることを知見した。
即ち、本発明は希土類元素酸化物０．５〜２モル％と、
過剰酸素（ＳｉＯ□換算）１０〜２５モル％と、残部が
β型窒化珪素からなり、且つ過剰酸素／希土類元素酸化
物で表されるモル比が５〜２５の範囲にある焼結体であ
り、該焼結体の粒界にシリコンオキシナイトライド（Ｓ
ｉ、Ｎ、Ｏ）が、Ｘ線回折曲線における前記β型窒化珪
素（β−ＳｉＪａ）の（１１１）面のピーク強度をｈＩ
ｓ シリコンオキシナイトライド（ＳｉＪ！０）の（１
１１）面のピーク強度をｈｔとした時、ｈｚ／ｈ、で表
されるピーク強度比が１．５以上となる量で存在するこ
とを特徴とするもので、その製造方法としては、希土類
元素酸化物０．５〜２モル％、酸化珪素１０〜２５モル
％、残部が窒化珪素からなる成形体を１８００〜２００
０℃のＳｉＯを含む窒素ガス雰囲気下で焼成することを
特徴とするものである。
過剰酸素（ＳｉＯ□換算）１０〜２５モル％と、残部が
β型窒化珪素からなり、且つ過剰酸素／希土類元素酸化
物で表されるモル比が５〜２５の範囲にある焼結体であ
り、該焼結体の粒界にシリコンオキシナイトライド（Ｓ
ｉ、Ｎ、Ｏ）が、Ｘ線回折曲線における前記β型窒化珪
素（β−ＳｉＪａ）の（１１１）面のピーク強度をｈＩ
ｓ シリコンオキシナイトライド（ＳｉＪ！０）の（１
１１）面のピーク強度をｈｔとした時、ｈｚ／ｈ、で表
されるピーク強度比が１．５以上となる量で存在するこ
とを特徴とするもので、その製造方法としては、希土類
元素酸化物０．５〜２モル％、酸化珪素１０〜２５モル
％、残部が窒化珪素からなる成形体を１８００〜２００
０℃のＳｉＯを含む窒素ガス雰囲気下で焼成することを
特徴とするものである。
以下本発明を詳述する。
本発明の焼結体は、その組成が希土類元素酸化物０．５
〜２モル％、特に１〜１．５モル％と、過剰酸素（Ｓｉ
Ｏ□換算）１０〜２５モル％、特に１０〜１５モル％と
、残部がβ型窒化珪素からなり、且つ過剰酸素／希土類
元素酸化物で表されるモル比が５〜２５、特に７〜１５
の範囲からなる点にある。なお、過剰酸素とは焼結体の
系全体に含まれる全酸素量から希土類元素酸化物として
化学量論的量で混入した酸素を差し引いた酸素量で、具
体的には窒化珪素原料中の不純物酸素、または添加され
たＳｉｎｔ中の酸素から構成され、本発明ではいずれも
ＳｉＯ□換算量を示すものである。
〜２モル％、特に１〜１．５モル％と、過剰酸素（Ｓｉ
Ｏ□換算）１０〜２５モル％、特に１０〜１５モル％と
、残部がβ型窒化珪素からなり、且つ過剰酸素／希土類
元素酸化物で表されるモル比が５〜２５、特に７〜１５
の範囲からなる点にある。なお、過剰酸素とは焼結体の
系全体に含まれる全酸素量から希土類元素酸化物として
化学量論的量で混入した酸素を差し引いた酸素量で、具
体的には窒化珪素原料中の不純物酸素、または添加され
たＳｉｎｔ中の酸素から構成され、本発明ではいずれも
ＳｉＯ□換算量を示すものである。
本発明において焼結体の組成を前述した割合に限定した
のは、いずれも優れた特性を得るための重要な要因であ
り、希土類元素酸化物が０．５モル％より少ないと後述
する焼成方法において焼結体の緻密化が困難であり、２
モル％を越えると１５００℃における耐酸化性が劣化す
る。また、過剰酸素が１０モル％を下回るか２５モル％
を越えても緻密化が困難となる。さらに過剰酸素／希土
類元素酸化物モル比が５以下では高温における耐酸化性
が劣化し易く、逆に２５を越えると低融点のガラスが生
成されやすく高温特性が劣化する。
のは、いずれも優れた特性を得るための重要な要因であ
り、希土類元素酸化物が０．５モル％より少ないと後述
する焼成方法において焼結体の緻密化が困難であり、２
モル％を越えると１５００℃における耐酸化性が劣化す
る。また、過剰酸素が１０モル％を下回るか２５モル％
を越えても緻密化が困難となる。さらに過剰酸素／希土
類元素酸化物モル比が５以下では高温における耐酸化性
が劣化し易く、逆に２５を越えると低融点のガラスが生
成されやすく高温特性が劣化する。
また、本発明の焼結体は組織上、窒化珪素結晶粒子と粒
界相から構成され、その粒界相にＳｉ、Ｎ、０で表され
るシリコンオキシナイトライド結晶が析出し、その量が
焼結体のＸ線回折曲線においてβ型窒化珪素の（１１１
）面のピーク強度をり、・シリコンオキシナイトライド
の（１１１）面のピーク強度をｈ２とした時、ピーク強
度比り、／ｈ、が１．５以上、特に１．６以上であるこ
とを特徴とする。これにより、高温強度ならびに１５０
０℃の高温における耐酸化性を向上させることができる
。なお、ｈ＋／ｈｚで表されるピーク強度比を前述の範
囲に限定したのは、前記ピーク強度比が１．５より低い
と１５００ ”Ｃの耐酸化性が劣化するためである。
界相から構成され、その粒界相にＳｉ、Ｎ、０で表され
るシリコンオキシナイトライド結晶が析出し、その量が
焼結体のＸ線回折曲線においてβ型窒化珪素の（１１１
）面のピーク強度をり、・シリコンオキシナイトライド
の（１１１）面のピーク強度をｈ２とした時、ピーク強
度比り、／ｈ、が１．５以上、特に１．６以上であるこ
とを特徴とする。これにより、高温強度ならびに１５０
０℃の高温における耐酸化性を向上させることができる
。なお、ｈ＋／ｈｚで表されるピーク強度比を前述の範
囲に限定したのは、前記ピーク強度比が１．５より低い
と１５００ ”Ｃの耐酸化性が劣化するためである。
本発明の上記焼結体の製造方法によれば、原料として窒
化珪素、希土類元素酸化物および酸化珪素を用い、これ
らを前述した割合で調製する。この時、酸化珪素は窒化
珪素粉末中の不純物酸素が酸化珪素として存在すると仮
定し、その酸素量をＳｉＯ□換算したものも含まれる。
化珪素、希土類元素酸化物および酸化珪素を用い、これ
らを前述した割合で調製する。この時、酸化珪素は窒化
珪素粉末中の不純物酸素が酸化珪素として存在すると仮
定し、その酸素量をＳｉＯ□換算したものも含まれる。
用いる窒化珪素としては焼結性を促進するためにＢＥＴ
比表面積が３〜２０ｍ”／ｇ、α化率９５％以上である
ことが望ましい。また、不純物酸素量は０．８〜１．５
重量％が適当である。一方、希土類元素酸化物や酸化珪
素はＢＥＴ比表面積１〜１０ｎ＋”／ｇが適当である。
比表面積が３〜２０ｍ”／ｇ、α化率９５％以上である
ことが望ましい。また、不純物酸素量は０．８〜１．５
重量％が適当である。一方、希土類元素酸化物や酸化珪
素はＢＥＴ比表面積１〜１０ｎ＋”／ｇが適当である。
調製された粉末は十分に混合後、適宜バインダーを添加
して造粒後、底形する。底形は周知の方法、例えばプレ
ス底形、押し出し底形、射出成形、鋳込み底形等により
任意の形状に底形する。
して造粒後、底形する。底形は周知の方法、例えばプレ
ス底形、押し出し底形、射出成形、鋳込み底形等により
任意の形状に底形する。
このようにして得られた成形体はバインダー除去後、焼
成する。
成する。
焼成は、１８００〜２０００℃１特に１８００〜１９０
０″Ｃの非酸化性雰囲気で焼成する。本発明によれば、
成形体の組成が低融点の酸化珪素を多量に含むことから
雰囲気中にＳｉＯを含有させ組成の変動を抑制しつつ焼
成する。また雰囲気には高温焼成による窒化珪素の分解
を抑制するためその焼成温度における窒化珪素の分解平
衡圧以上の窒素ガスを導入することも重要である。雰囲
気中のＳｉＯは焼成炉内にＳｉＯ□粉末等を成形体とと
もに配置することにより発生させることができる。
０″Ｃの非酸化性雰囲気で焼成する。本発明によれば、
成形体の組成が低融点の酸化珪素を多量に含むことから
雰囲気中にＳｉＯを含有させ組成の変動を抑制しつつ焼
成する。また雰囲気には高温焼成による窒化珪素の分解
を抑制するためその焼成温度における窒化珪素の分解平
衡圧以上の窒素ガスを導入することも重要である。雰囲
気中のＳｉＯは焼成炉内にＳｉＯ□粉末等を成形体とと
もに配置することにより発生させることができる。
この焼成過程において、粒界には希土類元素酸化物、窒
化珪素、酸化珪素からなる液相が生成され焼結が進行し
緻密化されるが、例えば４〜１０時間程度焼成した後の
冷却過程において粒界相を結晶化する。その時の冷却速
度が早いと粒界は非晶質となり易いため、本発明によれ
ば約３００″Ｃ／Ｈｒ以下で徐冷することにより粒界相
中に所望の量のシリコンオキシナイトライドを析出させ
ることができる。一方、α型窒化珪素はβ型窒化珪素に
相変態しつつ結晶の針状化が生じ、最終的に平均アスペ
クト比が３以上の繊維状組織が形成され焼結体の高強度
、高靭性化が図られる。
化珪素、酸化珪素からなる液相が生成され焼結が進行し
緻密化されるが、例えば４〜１０時間程度焼成した後の
冷却過程において粒界相を結晶化する。その時の冷却速
度が早いと粒界は非晶質となり易いため、本発明によれ
ば約３００″Ｃ／Ｈｒ以下で徐冷することにより粒界相
中に所望の量のシリコンオキシナイトライドを析出させ
ることができる。一方、α型窒化珪素はβ型窒化珪素に
相変態しつつ結晶の針状化が生じ、最終的に平均アスペ
クト比が３以上の繊維状組織が形成され焼結体の高強度
、高靭性化が図られる。
なお、前述の希土類元素酸化物としては、Ｙ２Ｏ３が最
も一般的であるが、Ｙｂｚ０３、Ｅｒｚ０３、ＨｏｚＯ
ｚ、Ｄ／ｚ０３等の重希土類元素酸化物が焼結体の特性
の安定性や高特性が得られることから望ましい。
も一般的であるが、Ｙｂｚ０３、Ｅｒｚ０３、ＨｏｚＯ
ｚ、Ｄ／ｚ０３等の重希土類元素酸化物が焼結体の特性
の安定性や高特性が得られることから望ましい。
以下、本発明を次の例で説明する。
（実施例）
原料粉末として、窒化珪素粉末（ＢＥＴ比表面積５ｍ２
／ｇ、α化率９５％、不純物酸素量１．０重量％）と、
各種希土類元素酸化物あるいは酸化珪素粉末を用いて、
第１表の組成になるように調合混合後、１ｔ／Ｃｌｌ１
でプレス底形した。
／ｇ、α化率９５％、不純物酸素量１．０重量％）と、
各種希土類元素酸化物あるいは酸化珪素粉末を用いて、
第１表の組成になるように調合混合後、１ｔ／Ｃｌｌ１
でプレス底形した。
得られた成形体をＳｉｎ、粉末を炉内に配置した５０ａ
ａｔｍの窒素ガス雰囲気で第１表に示す焼成条件で焼成
した。
ａｔｍの窒素ガス雰囲気で第１表に示す焼成条件で焼成
した。
次に、得られた焼結体に対しアルキメデス法から対理論
密度比を、ＪＩＳＲ１６０１に従い室温と１４００℃に
おける４点曲げ抗折強度を、また１５００″Ｃ×２４時
間の耐酸化性試験を行い試験後の酸化重量増を測定した
。
密度比を、ＪＩＳＲ１６０１に従い室温と１４００℃に
おける４点曲げ抗折強度を、また１５００″Ｃ×２４時
間の耐酸化性試験を行い試験後の酸化重量増を測定した
。
さらに、焼結体のＸ線回折曲線からβ型窒化珪素の２θ
＝３９’付近に存在する（１１１）面のピーク強度ｈｌ
と、ＳｉｔＮ、０の２θ＝ ２６．６°付近に存在す
る（１１１）面のピーク強度ｈ２を測定し、それらのピ
ーク強度比ｈ ｚ／ ｈ ＋ を算出した。
＝３９’付近に存在する（１１１）面のピーク強度ｈｌ
と、ＳｉｔＮ、０の２θ＝ ２６．６°付近に存在す
る（１１１）面のピーク強度ｈ２を測定し、それらのピ
ーク強度比ｈ ｚ／ ｈ ＋ を算出した。
結果は第１表に示した。
（以下余白）
第１表中、試料番号１についてそのＸ線回折曲線を第１
図に示した。
図に示した。
第１表によれば、過剰酸素の量が２５モル％を越えるか
または希土類元素酸化物の量が少なく、過剰酸素と希土
類元素酸化物との比が２５を越える試料１日、１９はい
ずれもＳｉｚＮｚＯの結晶の生成は多く認められたが焼
結性に乏しく高温強度が大きく劣化した。また過剰酸素
と希土類元素酸化物との比が５より低い試料２０はＳｉ
、Ｎ、０の結晶の生成が少な（，１５００℃の耐酸化性
が劣化した。
または希土類元素酸化物の量が少なく、過剰酸素と希土
類元素酸化物との比が２５を越える試料１日、１９はい
ずれもＳｉｚＮｚＯの結晶の生成は多く認められたが焼
結性に乏しく高温強度が大きく劣化した。また過剰酸素
と希土類元素酸化物との比が５より低い試料２０はＳｉ
、Ｎ、０の結晶の生成が少な（，１５００℃の耐酸化性
が劣化した。
さらに焼成温度が低い試料２１や冷却速度が速い試料２
３でもＳｉ、Ｎ、０の結晶の生成が少なく、１５００℃
の耐酸化性が劣化した。
３でもＳｉ、Ｎ、０の結晶の生成が少なく、１５００℃
の耐酸化性が劣化した。
また、粒界相にアパタイトやＹＡＭが析出した試料２４
．２５では１５００℃の耐酸化性が不充分であった。
．２５では１５００℃の耐酸化性が不充分であった。
これに対し、本発明の試料はいずれもＳｉ、Ｎ、Ｏの結
晶の生成が多く認められ、特性上においても室温強度８
００ Ｍ Ｐ ａ以上、１４００ ”Ｃ強度５００ＭＰ
ａ以上、１５００℃の酸化重量造が０．１５以下の優れ
た特性を示した。
晶の生成が多く認められ、特性上においても室温強度８
００ Ｍ Ｐ ａ以上、１４００ ”Ｃ強度５００ＭＰ
ａ以上、１５００℃の酸化重量造が０．１５以下の優れ
た特性を示した。
（発明の効果）
以上詳述した通り、本発明はＳｉＯ□威分を多量に含む
ＳｉｚＮ４−ＲＥｚ０３（ＲＥ：希土類元素）−ＳｉＯ
□の単純３元系において粒界に特定の割合でシリコンオ
キシナイトライドを析出させることにより、１５００℃
における耐酸化性ならびに高温強度に優れた焼結体を得
ることができる。
ＳｉｚＮ４−ＲＥｚ０３（ＲＥ：希土類元素）−ＳｉＯ
□の単純３元系において粒界に特定の割合でシリコンオ
キシナイトライドを析出させることにより、１５００℃
における耐酸化性ならびに高温強度に優れた焼結体を得
ることができる。
これにより、窒化珪素質焼結体の熱機関用部品としての
応用をさらに拡げることができ、特に熱機関の作動温度
の高温化に対し十分対応可能な材料を提供することがで
きる。
応用をさらに拡げることができ、特に熱機関の作動温度
の高温化に対し十分対応可能な材料を提供することがで
きる。
第１図は、本発明の窒化珪素質焼結体のＸ線回折曲線の
チャート図である。
チャート図である。
Claims (2)
- （１）希土類元素酸化物０．５〜２モル％と、過剰酸素
（ＳｉＯ＿２換算）１０〜２５モル％と、残部がβ型窒
化珪素からなり、且つ過剰酸素／希土類元素酸化物で表
されるモル比が５〜２５の範囲にある焼結体であって、
該焼結体の粒界にシリコンオキシナイトライドからなる
結晶相が存在し、且つＸ線回折曲線における前記β型窒
化珪素（β−Ｓｉ＿３Ｎ＿４）の（１１１）面のピーク
強度をｈ＿１、シリコンオキシナイトライド（Ｓｉ＿２
Ｎ＿２Ｏ）の（１１１）面のピーク強度をｈ＿２とした
時、ピーク強度比ｈ＿２／ｈ＿１が１．５以上であるこ
とを特徴とする窒化珪素質焼結体。 - （２）希土類元素酸化物０．５〜２モル％と、過剰酸素
（ＳｉＯ＿２換算）１０〜２５モル％と、残部がβ型窒
化珪素からなり、且つ過剰酸素／希土類元素酸化物で表
されるモル比が５〜２５である成形体を１８００〜２０
００℃のＳｉＯを含む窒素ガス雰囲気下で焼成すること
を特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1343682A JP2742622B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1343682A JP2742622B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03199165A true JPH03199165A (ja) | 1991-08-30 |
| JP2742622B2 JP2742622B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=18363433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1343682A Expired - Fee Related JP2742622B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2742622B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003037821A1 (fr) * | 2000-04-28 | 2003-05-08 | Nippon Steel Corporation | Corps de soupape de reglage de debit pour gaz chauds, et son procede de preparation |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62223066A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-10-01 | 工業技術院長 | 高温強度が優れた窒化ケイ素焼結体の製造法 |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP1343682A patent/JP2742622B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62223066A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-10-01 | 工業技術院長 | 高温強度が優れた窒化ケイ素焼結体の製造法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003037821A1 (fr) * | 2000-04-28 | 2003-05-08 | Nippon Steel Corporation | Corps de soupape de reglage de debit pour gaz chauds, et son procede de preparation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2742622B2 (ja) | 1998-04-22 |
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