JPH03191895A - 摺動用案内体 - Google Patents

摺動用案内体

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JPH03191895A
JPH03191895A JP7608990A JP7608990A JPH03191895A JP H03191895 A JPH03191895 A JP H03191895A JP 7608990 A JP7608990 A JP 7608990A JP 7608990 A JP7608990 A JP 7608990A JP H03191895 A JPH03191895 A JP H03191895A
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JP
Japan
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sliding guide
damping
main body
slider
guide body
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JP7608990A
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JPH0421152B2 (ja
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Masahiro Mizukane
正博 水兼
Shigemi Suzuki
茂美 鈴木
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Toto Ltd
Original Assignee
Toto Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/0032Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/01Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
    • B23Q1/015Frames, beds, pillars

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、摺動用案内体、即ち超精密加工機や超精密測
定器等の分野における加工素子、測定素子等を備えたス
ライダー用の案内体に関する。
一般に摺動用案内体は、鋳鉄、軟鋼等で中実状に形成し
ている。
しかし、鋳鉄、軟鋼は、質量剛性比が劣る為、変形が生
じやすく、又、振動の減衰能も比較的低いものであり超
精度が要求される加工或いは測定用の素子を備えたスラ
イダーの案内体としては最適ではない。
本発明は、上記従来事情に鑑みてなされたもので、その
目的とする処は、スライダー摺動時における撓み変形を
最小限度に留め、振動の減衰能の改良を行ったセラミッ
クス製の摺動用案内体を提供せんとするものである。
その目的を達成する為の基本的な構成は、摺動用案内本
体を質量剛性比の高いセラミックスで形成して撓み変形
を少なくすると共に、中空状にすることにより軽量化な
らびに経済的な効果を期待するものである。また減衰能
の低いセラミックスを改良する目的で、中空部の中に高
減衰材を収容又は貼布して、減衰能の向上をも期待する
ものである。
以下、本発明の実施例を図面に基いて説明する。
摺動用案内本体1は、超精密加工機や超精密測定器等の
加工素子や測定素子を備えたスライダー3を摺動案内せ
しめるもので、スライダー3の断面形状に対応して摺動
案内すべくアルミナ等のセラミックスにて断面形状が正
方形、矩形、円形、三角形等の長尺な中空状に形成し、
その中空部4内に減衰材2を収容する。
減衰材2は、物性としてカサ密度が小さく比重が大きな
O,1〜511φ程度の細粒状物であり例えば砂、岩石
、コンクリート、レンガ等の無機質粒状体やファイバー
、ゴム、充填材入プラスチック等の対数減衰率が大きな
材料であり、摺動用案内本体1の中空部4内に所望量収
容して発生する振動を減衰せしめるものである。
スライダー3は、軟鋼、アルミナセラミックス等の材料
で上記摺動用案内本体1をベースとして摺動する形状に
形成すると共に、内周面に開孔した吸気孔5より噴出す
る空気又は液体を潤滑剤として手動或いは自動によりそ
の摺動用案内本体1上を摺接移動して所望箇所に設けた
測定素子或いは加工素子にて測定対象物の寸法、形状測
定や被加工対象物の加工を行なうものである。
次に、摺動用案内本体Iの中空部4に収容される減衰材
2の割合と、その場合の減衰能力について説明すると、
第3図は、中空部4の容積に対して減衰材2を12.5
%収容したもので、第4図は中空部4の容積に対して減
衰材2を100%収容したものであり、これらは第5図
及び第6図に示す如く発生する振動を速やかに減衰する
ことが実験により立証された。
尚、第7図は中空部4に減衰材2を収容しない場合にお
ける減衰曲線グラフであり、この図からも明らかなよう
に中空部4に12.5%及び100%の減衰材2を収容
した摺動用案内本体1に比べて減衰能力が極めて悪く超
精密加工機や超精密測定器用の案内体としては最適では
ないことが理解できる。
また、この実験例は一例であり、1〜2%の収容量から
減衰能力の向上を期待できることは言うまでもないが、
重量増を考慮すれば収容量の最大イ直は、20〜30%
が好ましい。
尚、摺動用案内本体1を摺動方向と直交する断面寸法比
Kが0.8以下とする中空状に形成しても、第8図に示
すように中実すなわち断面寸法比Kが零の場合と比して
最大撓み量Zが殆んど変化ないことも明らかであり、軟
鋼型及び鋳鉄製に比してもアルミナ類の摺動用案内本体
の最大撓み量が極端に小さく超精密加工機や超精密測定
器に最適であることが裏付けできる。
この実験時における摺動用案内本体は、全高H4951
1m、全幅B+120m、全長440 amのものを使
用して2点支持とし、スライダーとして全長200in
、全重量145Nのものを使用した。
本発明は以上のようにセラミ7クスで内部に中空部を形
成し、その内に減衰材を収容したので、撓み変形がなく
振動に対する減衰能力の高向上が期待でき、超精密加工
機や超精密測定器に使用される最適な摺動用案内体を供
し得る。
更に、内部を中空としている為、軽量化及び経済性に富
み、超精密加工機や超精密測定器の軽装化も期待できる
【図面の簡単な説明】
図面は本発明摺動用案内体の実施の一例を示し、第1図
は使用状態を示す正面図で一部切欠す、第2図は同X−
X線に沿える拡大断面図、第3図及び第4図は中空部に
対して減衰材を12.5%及び100%収容した状態の
断面図、第5図及び第6図は、第3図及び第4図におけ
る減衰能を示す減衰曲線グラフ、第7図は減衰材を収容
している場合の減衰曲線グラフ、第8図は摺動用案内本
体の断面寸法比番こ対する最大撓み関係を示すグラフで
ある。 1−−一摺動用案内本体、 2−減衰材、2−スライダ
ー    4−中空部。 第1 ズ 第2 = 第8図 に=H5/1−11=馳1

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)案内本体をセラミックスで内部に中空部を形成し
    、その中空部内に高減衰材を収容又は貼布した摺動用案
    内体。
  2. (2)上記高減衰材が、対数減衰率が大きな無機質粒状
    体、ファイバー、ゴム、充填材入プラスチックである特
    許請求の範囲第1項記載の摺動用案内体。
JP7608990A 1990-03-26 1990-03-26 摺動用案内体 Granted JPH03191895A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7608990A JPH03191895A (ja) 1990-03-26 1990-03-26 摺動用案内体

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JP7608990A JPH03191895A (ja) 1990-03-26 1990-03-26 摺動用案内体

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JPH03191895A true JPH03191895A (ja) 1991-08-21
JPH0421152B2 JPH0421152B2 (ja) 1992-04-08

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6535353B2 (en) * 1998-03-20 2003-03-18 Seagate Technology Llc Capped polymeric load/unload pads

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US6535353B2 (en) * 1998-03-20 2003-03-18 Seagate Technology Llc Capped polymeric load/unload pads

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JPH0421152B2 (ja) 1992-04-08

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