JPH0421152B2 - - Google Patents
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- JPH0421152B2 JPH0421152B2 JP7608990A JP7608990A JPH0421152B2 JP H0421152 B2 JPH0421152 B2 JP H0421152B2 JP 7608990 A JP7608990 A JP 7608990A JP 7608990 A JP7608990 A JP 7608990A JP H0421152 B2 JPH0421152 B2 JP H0421152B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide body
- sliding guide
- ultra
- damping material
- damping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 7
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- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/01—Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
- B23Q1/015—Frames, beds, pillars
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、摺動用案内体、即ち超精密加工機や
超精密測定器等の分野における加工素子、測定素
子等を備えたスライダー用の案内体に関する。
超精密測定器等の分野における加工素子、測定素
子等を備えたスライダー用の案内体に関する。
一般に摺動用案内体は、鋳鉄、軟鋼等で中実状
に形成している。
に形成している。
しかし、鋳鉄、軟鋼は、質量剛性比が劣る為、
変形が生じやすく、又、振動の減衰能も比較的低
いものであり超精度が要求される加工或いは測定
用の素子を備えたスライダーの案内体としては最
適ではない。
変形が生じやすく、又、振動の減衰能も比較的低
いものであり超精度が要求される加工或いは測定
用の素子を備えたスライダーの案内体としては最
適ではない。
本発明は、上記従来事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とする処は、スライダー摺動時にお
ける撓み変形を最小限度に留め、振動の減衰能の
改良を行つたセラミツクス製の摺動用案内体を提
供せんとするものである。
で、その目的とする処は、スライダー摺動時にお
ける撓み変形を最小限度に留め、振動の減衰能の
改良を行つたセラミツクス製の摺動用案内体を提
供せんとするものである。
その目的を達成する為の基本的な構成は、摺動
用案内本体を質量剛性比の高いセラミツクスで形
成して撓み変形を少なくすると共に、中空状にす
ることにより軽量化ならびに経済的な効果を期待
するものである。また減衰能の低いセラミツクス
を改良する目的で、中空部の中に高減衰材を収容
又は貼布して、減衰能の向上をも期待するもので
ある。
用案内本体を質量剛性比の高いセラミツクスで形
成して撓み変形を少なくすると共に、中空状にす
ることにより軽量化ならびに経済的な効果を期待
するものである。また減衰能の低いセラミツクス
を改良する目的で、中空部の中に高減衰材を収容
又は貼布して、減衰能の向上をも期待するもので
ある。
以下、本発明の実施例を図面に基いて説明す
る。
る。
摺動用案内本体１は、超精密加工機や超精密測
定器等の加工素子や測定素子を備えたスライダー
３を摺動用案内せしめるもので、スライダー３の
断面形状に対応して摺動用案内すべくアルミナ等
のセラミツクスにて断面形状が正方形、矩形、円
形、三角形等の長尺な中空状に形成し、その中空
部４内に減衰材２を収容する。
定器等の加工素子や測定素子を備えたスライダー
３を摺動用案内せしめるもので、スライダー３の
断面形状に対応して摺動用案内すべくアルミナ等
のセラミツクスにて断面形状が正方形、矩形、円
形、三角形等の長尺な中空状に形成し、その中空
部４内に減衰材２を収容する。
減衰材２は、物性としてカサ密度が小さく比重
が大きな0.1〜５mmφ程度の細粒状物であり例え
ば砂、岩石、コンクリート、レンガ等の無機質粒
状体やフアイバー、ゴム、充填材入プラスチツク
等の対数減衰率が大きな材料であり、摺動用案内
本体１の中空部４内に所望量収容して発生する振
動を減衰せしめるものである。
が大きな0.1〜５mmφ程度の細粒状物であり例え
ば砂、岩石、コンクリート、レンガ等の無機質粒
状体やフアイバー、ゴム、充填材入プラスチツク
等の対数減衰率が大きな材料であり、摺動用案内
本体１の中空部４内に所望量収容して発生する振
動を減衰せしめるものである。
スライダー３は、軟鋼、アルミナセラミツクス
等の材料で上記摺動用案内本体１をベースとして
摺動する形状に形成すると共に、内周面に開孔し
た吸気孔５より噴出する空気又は液体を潤滑剤と
して手動或いは自動によりその摺動用案内本体１
上を摺接移動して所望箇所に設けた測定素子或い
は加工素子にて測定対象物の寸法、形状測定や被
加工対象物の加工を行なうものである。
等の材料で上記摺動用案内本体１をベースとして
摺動する形状に形成すると共に、内周面に開孔し
た吸気孔５より噴出する空気又は液体を潤滑剤と
して手動或いは自動によりその摺動用案内本体１
上を摺接移動して所望箇所に設けた測定素子或い
は加工素子にて測定対象物の寸法、形状測定や被
加工対象物の加工を行なうものである。
次に、摺動用案内本体１の中空部４に収容され
る減衰材２の割合と、その場合の減衰能力につい
て説明すると、第３図は、中空部４の容積に対し
て減衰材２を12.5％収容したもので、第４図は中
空部４の容積に対して減衰材２を100％収容した
ものであり、これらは第５図及び第６図に示す如
く発生する振動を速やかに減衰することが実験に
より立証された。
る減衰材２の割合と、その場合の減衰能力につい
て説明すると、第３図は、中空部４の容積に対し
て減衰材２を12.5％収容したもので、第４図は中
空部４の容積に対して減衰材２を100％収容した
ものであり、これらは第５図及び第６図に示す如
く発生する振動を速やかに減衰することが実験に
より立証された。
尚、第７図は中空部４に減衰材２を収容しない
場合における減衰曲線グラフであり、この図から
も明らかなように中空部４に12.5％及び100％の
減衰材２を収容した摺動用案内本体１に比べて減
衰能力が極めて悪く超精密加工機や超精密測定器
用の案内体としては最適ではないことが理解でき
る。
場合における減衰曲線グラフであり、この図から
も明らかなように中空部４に12.5％及び100％の
減衰材２を収容した摺動用案内本体１に比べて減
衰能力が極めて悪く超精密加工機や超精密測定器
用の案内体としては最適ではないことが理解でき
る。
また、この実験例は一例であり、１〜２％の収
容量から減衰能力の向上を期待できることは言う
までもないが、重量増を考慮すれば収容量の最大
値は、20〜30％が好ましい。
容量から減衰能力の向上を期待できることは言う
までもないが、重量増を考慮すれば収容量の最大
値は、20〜30％が好ましい。
尚、摺動用案内本体１を摺動方向と直交する断
面寸法比Ｋが0.8以下とする中空状に形成しても、
第８図に示すように中実すなわち断面寸法比Ｋが
零の場合と比して最大撓み量Ｚが殆んど変化ない
ことも明らかであり、軟鋼製及び鋳鉄製に比して
もアルミナ製の摺動用案内本体の最大撓み量が極
端に小さく超精密加工機や超精密測定器に最適で
あることが裏付けできる。
面寸法比Ｋが0.8以下とする中空状に形成しても、
第８図に示すように中実すなわち断面寸法比Ｋが
零の場合と比して最大撓み量Ｚが殆んど変化ない
ことも明らかであり、軟鋼製及び鋳鉄製に比して
もアルミナ製の摺動用案内本体の最大撓み量が極
端に小さく超精密加工機や超精密測定器に最適で
あることが裏付けできる。
この実験時における摺動用案内本体は、全高
H195mm、全幅B1120mm、全長440mmのものを使用
して２点支持とし、スライダーとして全長200mm、
全重量145Nのものを使用した。
H195mm、全幅B1120mm、全長440mmのものを使用
して２点支持とし、スライダーとして全長200mm、
全重量145Nのものを使用した。
本発明は以上のようにセラミツクスで内部に中
空部を形成し、その内に減衰材を収容したので、
撓み変形がなく振動に対する減衰能力の高向上が
期待でき、超精密加工機や超精密測定器に使用さ
れる最適な摺動用案内体を供し得る。
空部を形成し、その内に減衰材を収容したので、
撓み変形がなく振動に対する減衰能力の高向上が
期待でき、超精密加工機や超精密測定器に使用さ
れる最適な摺動用案内体を供し得る。
更に、内部を中空としている為、軽量化及び経
済性に富み、超精密加工機や超精密測定器の軽装
化も期待できる。
済性に富み、超精密加工機や超精密測定器の軽装
化も期待できる。
図面は本発明摺動用案内体の実施の一例を示
し、第１図は使用状態を示す正面図で一部切欠
す、第２図は同Ｘ−Ｘ線に沿える拡大断面図、第
３図及び第４図は中空部に対して減衰材を12.5％
及び100％収容した状態の断面図、第５図及び第
６図は、第３図及び第４図における減衰能を示す
減衰曲線グラフ、第７図は減衰材を収容している
場合の減衰曲線グラフ、第８図は摺動用案内本体
の断面寸法比に対する最大撓み関係を示すグラフ
である。 １……摺動用案内本体、２……減衰材、２……
スライダー、４……中空部。
し、第１図は使用状態を示す正面図で一部切欠
す、第２図は同Ｘ−Ｘ線に沿える拡大断面図、第
３図及び第４図は中空部に対して減衰材を12.5％
及び100％収容した状態の断面図、第５図及び第
６図は、第３図及び第４図における減衰能を示す
減衰曲線グラフ、第７図は減衰材を収容している
場合の減衰曲線グラフ、第８図は摺動用案内本体
の断面寸法比に対する最大撓み関係を示すグラフ
である。 １……摺動用案内本体、２……減衰材、２……
スライダー、４……中空部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 案内本体をセラミツクスで内部に中空部を形
成し、その中空部内に高減衰材を収容又は貼布し
た摺動用案内体。 ２ 上記高減衰材が、対数減衰率が大きな無機質
粒状体、フアイバー、ゴム、充填材入プラスチツ
クである特許請求の範囲第１項記載の摺動用案内
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7608990A JPH03191895A (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7608990A JPH03191895A (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03191895A JPH03191895A (ja) | 1991-08-21 |
| JPH0421152B2 true JPH0421152B2 (ja) | 1992-04-08 |
Family
ID=13595110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7608990A Granted JPH03191895A (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03191895A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016023239A1 (zh) * | 2014-08-14 | 2016-02-18 | 中国科学院过程工程研究所 | 滑枕与含有该滑枕的滑枕机构 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6535353B2 (en) * | 1998-03-20 | 2003-03-18 | Seagate Technology Llc | Capped polymeric load/unload pads |
-
1990
- 1990-03-26 JP JP7608990A patent/JPH03191895A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016023239A1 (zh) * | 2014-08-14 | 2016-02-18 | 中国科学院过程工程研究所 | 滑枕与含有该滑枕的滑枕机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03191895A (ja) | 1991-08-21 |
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