JPH03191894A - 摺動用案内体 - Google Patents
摺動用案内体Info
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- JPH03191894A JPH03191894A JP7608890A JP7608890A JPH03191894A JP H03191894 A JPH03191894 A JP H03191894A JP 7608890 A JP7608890 A JP 7608890A JP 7608890 A JP7608890 A JP 7608890A JP H03191894 A JPH03191894 A JP H03191894A
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- sliding guide
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 4
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Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、摺動用案内体、即ち、超精密加工機や超精密
測定器等の分野における加工素子、測定素子等を備えた
スライダー用の案内体に関する。
測定器等の分野における加工素子、測定素子等を備えた
スライダー用の案内体に関する。
一般に摺動用案内体は、超精密度が要求される加工或い
は測定用の素子を備えたスライダーが上面を直進スライ
ドする必要から僅かの変形も許されない。
は測定用の素子を備えたスライダーが上面を直進スライ
ドする必要から僅かの変形も許されない。
その為、従来の摺動用案内体は鋳鉄、軟鋼、アルミ、石
材などで中実状に形成して剛性を高め撓み変形量を少な
くするように配慮している。
材などで中実状に形成して剛性を高め撓み変形量を少な
くするように配慮している。
しかし、鋳鉄、軟鋼、アルミ、石材などは質量剛性比に
限度があり、自重及びスライダーの自重による撓み変形
が生じ加工精度や測定精度を出しにくく超精密加工機や
超精密測定器に使用される摺動用案内体としては最適で
はない。
限度があり、自重及びスライダーの自重による撓み変形
が生じ加工精度や測定精度を出しにくく超精密加工機や
超精密測定器に使用される摺動用案内体としては最適で
はない。
本発明は、上記従来事情に鑑みてなされたもので、その
目的とする処は、スライダー摺動時における撓み変形を
最小限度に留め、超精密加工機や超精密測定器として最
適な摺動用案内体を提供せんとするものである。
目的とする処は、スライダー摺動時における撓み変形を
最小限度に留め、超精密加工機や超精密測定器として最
適な摺動用案内体を提供せんとするものである。
その目的を達成する為の基本的な構成は、案内本体、い
わゆるスライダーのベツドをセラミックスで内部中空状
に形成し、その本体における摺動方向と直交する断面寸
法比を０．８以下、好ましくは０．６〜０．８としたも
のであり、スライダー摺動時の撓み変形を最小限度に留
めるものである。
わゆるスライダーのベツドをセラミックスで内部中空状
に形成し、その本体における摺動方向と直交する断面寸
法比を０．８以下、好ましくは０．６〜０．８としたも
のであり、スライダー摺動時の撓み変形を最小限度に留
めるものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
摺動用案内本体１は、超精密加工機や超精密測定器等の
加工素子や測定素子を備えたスライダー２を摺動案内せ
しめるもので、スライダー２の断面形状に対応して摺動
案内すべくアルミナ等のセラミックスで中空状に形成し
、その摺動方向と直交する断面における寸法比Ｋを０．
８以下、好ましくは０．６〜０，８とした断面形状が正
方形、矩形、円形、三角形等の長尺な案内面構造物（ベ
ツド）である。
加工素子や測定素子を備えたスライダー２を摺動案内せ
しめるもので、スライダー２の断面形状に対応して摺動
案内すべくアルミナ等のセラミックスで中空状に形成し
、その摺動方向と直交する断面における寸法比Ｋを０．
８以下、好ましくは０．６〜０，８とした断面形状が正
方形、矩形、円形、三角形等の長尺な案内面構造物（ベ
ツド）である。
断面寸法比には、上記摺動用案内本体ｌの断面形状にお
いて、全幅Ｂ、に対する中空部ａの幅Ｂ。
いて、全幅Ｂ、に対する中空部ａの幅Ｂ。
との比Ｂ２ ／Ｂ、及び全高Ｈ１に対する中空部ａの高
さＨ２との比Ｈ２／Ｈ１であり、夫々両者が０．８以下
好ましくは０．６〜０．８として摺動用案内本体１を形
成する。
さＨ２との比Ｈ２／Ｈ１であり、夫々両者が０．８以下
好ましくは０．６〜０．８として摺動用案内本体１を形
成する。
尚、スライダー２は、軟鋼、アルミナセラミックス等の
材料で上記摺動用案内本体１をベースとして摺動する形
状に形成すると共に内周面に開孔した給気孔２′より噴
出する空気又は液体を潤滑剤として手動或いは自動によ
りその摺動用案内本体１上を摺接移動して所望箇所に設
けた測定素子或いは加工素子にて測定対象物の寸法、形
状測定や加工対象物の加工を行なうものである。
材料で上記摺動用案内本体１をベースとして摺動する形
状に形成すると共に内周面に開孔した給気孔２′より噴
出する空気又は液体を潤滑剤として手動或いは自動によ
りその摺動用案内本体１上を摺接移動して所望箇所に設
けた測定素子或いは加工素子にて測定対象物の寸法、形
状測定や加工対象物の加工を行なうものである。
次に、摺動用案内体の断面寸法比に対する最大撓み量Ｚ
（ｓ＋ａｘ）を示した実験グラフを第３図に基づいて
説明すると、先ず断面寸法比Ｋが零の場合とは中空状で
はなく、中実であり１に近づくほど肉薄の中空体である
ことを意味し、中実の場合、アルミナ製セラミックスは
、軟鋼型及び鋳鉄製に比して最大撓み量が略１／２及び
略１／４の極めて少ないものであることが明らかであり
、更に断面寸法比Ｋが０．８以下の場合には０．１７μ
ｍ〜０．２μｍでその撓み量に変化のないことも明らか
である。この実験時における摺動用案内体は、全高Ｈ，
９５ｍｍ、全幅Ｂ１２０＋ｎ、全長４４０ ｗのものを
使用して２点支持とし、スライダーとして全長２００＋
ｎ、全重量１４５Ｎのものを使用した。
（ｓ＋ａｘ）を示した実験グラフを第３図に基づいて
説明すると、先ず断面寸法比Ｋが零の場合とは中空状で
はなく、中実であり１に近づくほど肉薄の中空体である
ことを意味し、中実の場合、アルミナ製セラミックスは
、軟鋼型及び鋳鉄製に比して最大撓み量が略１／２及び
略１／４の極めて少ないものであることが明らかであり
、更に断面寸法比Ｋが０．８以下の場合には０．１７μ
ｍ〜０．２μｍでその撓み量に変化のないことも明らか
である。この実験時における摺動用案内体は、全高Ｈ，
９５ｍｍ、全幅Ｂ１２０＋ｎ、全長４４０ ｗのものを
使用して２点支持とし、スライダーとして全長２００＋
ｎ、全重量１４５Ｎのものを使用した。
尚、言うまでもないがこの実験例は、アルミナ製の摺動
用案内体と、軟鋼及び鋳鉄製の摺動用案内体との相対的
な最大撓み量Ｚを対比させる為の一例であり、スライダ
ー２の重量或いは摺動用案内体の全長を変化させてもこ
れ等の対比関係に変動はなく例示するまでもなく、アル
ミナ製の摺動用案内体の撓み量が極めて、小さいことは
明らかである。第４図は、スライダー２のポジションに
よる撓み量Ｚの差異をアルミナ製セラミックス、軟鋼、
鋳鉄夫々の摺動用案内体について実験したグラフである
が、アルミナ製セラミックスの場合には、最大撓み量と
最小撓み量の差異は僅か０．１μｍしかなくスライダー
２のポジションによって殆ど撓み量の変動もないことが
立証される。
用案内体と、軟鋼及び鋳鉄製の摺動用案内体との相対的
な最大撓み量Ｚを対比させる為の一例であり、スライダ
ー２の重量或いは摺動用案内体の全長を変化させてもこ
れ等の対比関係に変動はなく例示するまでもなく、アル
ミナ製の摺動用案内体の撓み量が極めて、小さいことは
明らかである。第４図は、スライダー２のポジションに
よる撓み量Ｚの差異をアルミナ製セラミックス、軟鋼、
鋳鉄夫々の摺動用案内体について実験したグラフである
が、アルミナ製セラミックスの場合には、最大撓み量と
最小撓み量の差異は僅か０．１μｍしかなくスライダー
２のポジションによって殆ど撓み量の変動もないことが
立証される。
また、案内本体ｌの中空部ａ内に、減衰材３を収容せし
めることにより、振動の減衰を計ることが出来る。すな
わち第９図は減衰材３を収容していない状態でありその
場合の減衰曲線を第１０図に示しておりなかなか減衰し
ないが、第５図及び第７図の如く中空部ａの容積に対し
て減衰材３を数％〜１００％収容することにより第６図
及び第８図に示す如く減衰能を向上させることが出来る
。
めることにより、振動の減衰を計ることが出来る。すな
わち第９図は減衰材３を収容していない状態でありその
場合の減衰曲線を第１０図に示しておりなかなか減衰し
ないが、第５図及び第７図の如く中空部ａの容積に対し
て減衰材３を数％〜１００％収容することにより第６図
及び第８図に示す如く減衰能を向上させることが出来る
。
すなわち、中空部ａの容積に対して減衰材３を１２．５
％収容した第５図の摺動用案内本体１と、１００％充填
した第７図の摺動用案内本体１とは、若干の減衰能の差
異はあるものの前記の第９図に示す如く粒状体３を収容
しないものに比べて大巾に減衰能の向上を図ることがで
き、収容される粒状体３が数％であっても９９％であっ
てもその減衰能については大差はないけれども、軽量化
から考えて少量例えば１〜２％から２０〜３０％位が好
ましい。尚、この減衰材３は０．１〜５龍程度の砂や岩
石、コンクリート、レンガ等の無機質粒状体や、ファイ
バー、ゴム、充填材人プラスチックなどである。
％収容した第５図の摺動用案内本体１と、１００％充填
した第７図の摺動用案内本体１とは、若干の減衰能の差
異はあるものの前記の第９図に示す如く粒状体３を収容
しないものに比べて大巾に減衰能の向上を図ることがで
き、収容される粒状体３が数％であっても９９％であっ
てもその減衰能については大差はないけれども、軽量化
から考えて少量例えば１〜２％から２０〜３０％位が好
ましい。尚、この減衰材３は０．１〜５龍程度の砂や岩
石、コンクリート、レンガ等の無機質粒状体や、ファイ
バー、ゴム、充填材人プラスチックなどである。
本発明は、以上のように案内本体をセラミックスで形成
しているので、第３図に示す如くスライダー摺動時にお
ける最大撓み量を軟鋼、鋳鉄製の摺動用案内体に比べて
大巾に減少させることが出来、超精密加工機や超精密測
定器に使用される最適な摺動用案内体を供し得る。
しているので、第３図に示す如くスライダー摺動時にお
ける最大撓み量を軟鋼、鋳鉄製の摺動用案内体に比べて
大巾に減少させることが出来、超精密加工機や超精密測
定器に使用される最適な摺動用案内体を供し得る。
又、内部を中空でかつ断面寸法比を０．８以下としてい
る為、撓み量を変えることなく一層の軽量化を図ること
が出来、特に、中空の摺動用案内面が他の案内面に組み
込まれる場合、例えば交差状に案内面を２ケもうける場
合などには、軽量化により、他方の案内面の撓み量を一
層大幅に減少出来、超精密加工機や超精密測定器自体の
軽装化に寄与できる。
る為、撓み量を変えることなく一層の軽量化を図ること
が出来、特に、中空の摺動用案内面が他の案内面に組み
込まれる場合、例えば交差状に案内面を２ケもうける場
合などには、軽量化により、他方の案内面の撓み量を一
層大幅に減少出来、超精密加工機や超精密測定器自体の
軽装化に寄与できる。
依って所期の目的を達成できる。
図面は、本発明摺動用案内体の実施例を示し、第１図は
摺動用案内体の使用状態を示す正面図で一部切欠する、
第２図は、同Ｘ−Ｘ線に沿える拡大断面図、第３図は断
面寸法比に対する摺動用案内体の最大撓みの関係を示す
実験グラフ、第４図はスライダーのポジションによる摺
動用案内体の撓み量の関係を示す実験グラフ、第５図及
び第７図は中空部に減衰材を収容した状態の断面図、第
６図及び第８図はその場合の減衰能を示す減衰曲線グラ
フ、第９図は減衰材を収容しない状態の断面図、第１０
図はその場合の減衰曲線グラフである。 １−摺動用案内本体、 ａ−・・中空部、２−・−スラ
イダー Ｋ −断面寸法比。 −Ｘ第１図 笥３図 第２図 第４図
摺動用案内体の使用状態を示す正面図で一部切欠する、
第２図は、同Ｘ−Ｘ線に沿える拡大断面図、第３図は断
面寸法比に対する摺動用案内体の最大撓みの関係を示す
実験グラフ、第４図はスライダーのポジションによる摺
動用案内体の撓み量の関係を示す実験グラフ、第５図及
び第７図は中空部に減衰材を収容した状態の断面図、第
６図及び第８図はその場合の減衰能を示す減衰曲線グラ
フ、第９図は減衰材を収容しない状態の断面図、第１０
図はその場合の減衰曲線グラフである。 １−摺動用案内本体、 ａ−・・中空部、２−・−スラ
イダー Ｋ −断面寸法比。 −Ｘ第１図 笥３図 第２図 第４図
Claims (1)
- 案内本体をセラミックスで中空状に形成し、該本体にお
ける摺動方向と直交する断面寸法比を０．８以下とした
摺動用案内体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076088A JPH0631736B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076088A JPH0631736B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03191894A true JPH03191894A (ja) | 1991-08-21 |
| JPH0631736B2 JPH0631736B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=13595081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2076088A Expired - Lifetime JPH0631736B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631736B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006326789A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Konica Minolta Opto Inc | ガイド装置及び工作機械 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07328087A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-19 | Rizumu:Kk | マッサージ具 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761437A (en) * | 1980-10-02 | 1982-04-13 | Nissan Motor Co Ltd | Slide base of machine tool |
-
1990
- 1990-03-26 JP JP2076088A patent/JPH0631736B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761437A (en) * | 1980-10-02 | 1982-04-13 | Nissan Motor Co Ltd | Slide base of machine tool |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006326789A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Konica Minolta Opto Inc | ガイド装置及び工作機械 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0631736B2 (ja) | 1994-04-27 |
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