JPH03191894A - 摺動用案内体 - Google Patents
摺動用案内体Info
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- JPH03191894A JPH03191894A JP7608890A JP7608890A JPH03191894A JP H03191894 A JPH03191894 A JP H03191894A JP 7608890 A JP7608890 A JP 7608890A JP 7608890 A JP7608890 A JP 7608890A JP H03191894 A JPH03191894 A JP H03191894A
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- sliding guide
- slider
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 4
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- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 6
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Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、摺動用案内体、即ち、超精密加工機や超精密
測定器等の分野における加工素子、測定素子等を備えた
スライダー用の案内体に関する。
測定器等の分野における加工素子、測定素子等を備えた
スライダー用の案内体に関する。
一般に摺動用案内体は、超精密度が要求される加工或い
は測定用の素子を備えたスライダーが上面を直進スライ
ドする必要から僅かの変形も許されない。
は測定用の素子を備えたスライダーが上面を直進スライ
ドする必要から僅かの変形も許されない。
その為、従来の摺動用案内体は鋳鉄、軟鋼、アルミ、石
材などで中実状に形成して剛性を高め撓み変形量を少な
くするように配慮している。
材などで中実状に形成して剛性を高め撓み変形量を少な
くするように配慮している。
しかし、鋳鉄、軟鋼、アルミ、石材などは質量剛性比に
限度があり、自重及びスライダーの自重による撓み変形
が生じ加工精度や測定精度を出しにくく超精密加工機や
超精密測定器に使用される摺動用案内体としては最適で
はない。
限度があり、自重及びスライダーの自重による撓み変形
が生じ加工精度や測定精度を出しにくく超精密加工機や
超精密測定器に使用される摺動用案内体としては最適で
はない。
本発明は、上記従来事情に鑑みてなされたもので、その
目的とする処は、スライダー摺動時における撓み変形を
最小限度に留め、超精密加工機や超精密測定器として最
適な摺動用案内体を提供せんとするものである。
目的とする処は、スライダー摺動時における撓み変形を
最小限度に留め、超精密加工機や超精密測定器として最
適な摺動用案内体を提供せんとするものである。
その目的を達成する為の基本的な構成は、案内本体、い
わゆるスライダーのベツドをセラミックスで内部中空状
に形成し、その本体における摺動方向と直交する断面寸
法比を0.8以下、好ましくは0.6〜0.8としたも
のであり、スライダー摺動時の撓み変形を最小限度に留
めるものである。
わゆるスライダーのベツドをセラミックスで内部中空状
に形成し、その本体における摺動方向と直交する断面寸
法比を0.8以下、好ましくは0.6〜0.8としたも
のであり、スライダー摺動時の撓み変形を最小限度に留
めるものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
摺動用案内本体1は、超精密加工機や超精密測定器等の
加工素子や測定素子を備えたスライダー2を摺動案内せ
しめるもので、スライダー2の断面形状に対応して摺動
案内すべくアルミナ等のセラミックスで中空状に形成し
、その摺動方向と直交する断面における寸法比Kを0.
8以下、好ましくは0.6〜0,8とした断面形状が正
方形、矩形、円形、三角形等の長尺な案内面構造物(ベ
ツド)である。
加工素子や測定素子を備えたスライダー2を摺動案内せ
しめるもので、スライダー2の断面形状に対応して摺動
案内すべくアルミナ等のセラミックスで中空状に形成し
、その摺動方向と直交する断面における寸法比Kを0.
8以下、好ましくは0.6〜0,8とした断面形状が正
方形、矩形、円形、三角形等の長尺な案内面構造物(ベ
ツド)である。
断面寸法比には、上記摺動用案内本体lの断面形状にお
いて、全幅B、に対する中空部aの幅B。
いて、全幅B、に対する中空部aの幅B。
との比B2 /B、及び全高H1に対する中空部aの高
さH2との比H2/H1であり、夫々両者が0.8以下
好ましくは0.6〜0.8として摺動用案内本体1を形
成する。
さH2との比H2/H1であり、夫々両者が0.8以下
好ましくは0.6〜0.8として摺動用案内本体1を形
成する。
尚、スライダー2は、軟鋼、アルミナセラミックス等の
材料で上記摺動用案内本体1をベースとして摺動する形
状に形成すると共に内周面に開孔した給気孔2′より噴
出する空気又は液体を潤滑剤として手動或いは自動によ
りその摺動用案内本体1上を摺接移動して所望箇所に設
けた測定素子或いは加工素子にて測定対象物の寸法、形
状測定や加工対象物の加工を行なうものである。
材料で上記摺動用案内本体1をベースとして摺動する形
状に形成すると共に内周面に開孔した給気孔2′より噴
出する空気又は液体を潤滑剤として手動或いは自動によ
りその摺動用案内本体1上を摺接移動して所望箇所に設
けた測定素子或いは加工素子にて測定対象物の寸法、形
状測定や加工対象物の加工を行なうものである。
次に、摺動用案内体の断面寸法比に対する最大撓み量Z
(s+ax)を示した実験グラフを第3図に基づいて
説明すると、先ず断面寸法比Kが零の場合とは中空状で
はなく、中実であり1に近づくほど肉薄の中空体である
ことを意味し、中実の場合、アルミナ製セラミックスは
、軟鋼型及び鋳鉄製に比して最大撓み量が略1/2及び
略1/4の極めて少ないものであることが明らかであり
、更に断面寸法比Kが0.8以下の場合には0.17μ
m〜0.2μmでその撓み量に変化のないことも明らか
である。この実験時における摺動用案内体は、全高H,
95mm、全幅B120+n、全長440 wのものを
使用して2点支持とし、スライダーとして全長200+
n、全重量145Nのものを使用した。
(s+ax)を示した実験グラフを第3図に基づいて
説明すると、先ず断面寸法比Kが零の場合とは中空状で
はなく、中実であり1に近づくほど肉薄の中空体である
ことを意味し、中実の場合、アルミナ製セラミックスは
、軟鋼型及び鋳鉄製に比して最大撓み量が略1/2及び
略1/4の極めて少ないものであることが明らかであり
、更に断面寸法比Kが0.8以下の場合には0.17μ
m〜0.2μmでその撓み量に変化のないことも明らか
である。この実験時における摺動用案内体は、全高H,
95mm、全幅B120+n、全長440 wのものを
使用して2点支持とし、スライダーとして全長200+
n、全重量145Nのものを使用した。
尚、言うまでもないがこの実験例は、アルミナ製の摺動
用案内体と、軟鋼及び鋳鉄製の摺動用案内体との相対的
な最大撓み量Zを対比させる為の一例であり、スライダ
ー2の重量或いは摺動用案内体の全長を変化させてもこ
れ等の対比関係に変動はなく例示するまでもなく、アル
ミナ製の摺動用案内体の撓み量が極めて、小さいことは
明らかである。第4図は、スライダー2のポジションに
よる撓み量Zの差異をアルミナ製セラミックス、軟鋼、
鋳鉄夫々の摺動用案内体について実験したグラフである
が、アルミナ製セラミックスの場合には、最大撓み量と
最小撓み量の差異は僅か0.1μmしかなくスライダー
2のポジションによって殆ど撓み量の変動もないことが
立証される。
用案内体と、軟鋼及び鋳鉄製の摺動用案内体との相対的
な最大撓み量Zを対比させる為の一例であり、スライダ
ー2の重量或いは摺動用案内体の全長を変化させてもこ
れ等の対比関係に変動はなく例示するまでもなく、アル
ミナ製の摺動用案内体の撓み量が極めて、小さいことは
明らかである。第4図は、スライダー2のポジションに
よる撓み量Zの差異をアルミナ製セラミックス、軟鋼、
鋳鉄夫々の摺動用案内体について実験したグラフである
が、アルミナ製セラミックスの場合には、最大撓み量と
最小撓み量の差異は僅か0.1μmしかなくスライダー
2のポジションによって殆ど撓み量の変動もないことが
立証される。
また、案内本体lの中空部a内に、減衰材3を収容せし
めることにより、振動の減衰を計ることが出来る。すな
わち第9図は減衰材3を収容していない状態でありその
場合の減衰曲線を第10図に示しておりなかなか減衰し
ないが、第5図及び第7図の如く中空部aの容積に対し
て減衰材3を数%〜100%収容することにより第6図
及び第8図に示す如く減衰能を向上させることが出来る
。
めることにより、振動の減衰を計ることが出来る。すな
わち第9図は減衰材3を収容していない状態でありその
場合の減衰曲線を第10図に示しておりなかなか減衰し
ないが、第5図及び第7図の如く中空部aの容積に対し
て減衰材3を数%〜100%収容することにより第6図
及び第8図に示す如く減衰能を向上させることが出来る
。
すなわち、中空部aの容積に対して減衰材3を12.5
%収容した第5図の摺動用案内本体1と、100%充填
した第7図の摺動用案内本体1とは、若干の減衰能の差
異はあるものの前記の第9図に示す如く粒状体3を収容
しないものに比べて大巾に減衰能の向上を図ることがで
き、収容される粒状体3が数%であっても99%であっ
てもその減衰能については大差はないけれども、軽量化
から考えて少量例えば1〜2%から20〜30%位が好
ましい。尚、この減衰材3は0.1〜5龍程度の砂や岩
石、コンクリート、レンガ等の無機質粒状体や、ファイ
バー、ゴム、充填材人プラスチックなどである。
%収容した第5図の摺動用案内本体1と、100%充填
した第7図の摺動用案内本体1とは、若干の減衰能の差
異はあるものの前記の第9図に示す如く粒状体3を収容
しないものに比べて大巾に減衰能の向上を図ることがで
き、収容される粒状体3が数%であっても99%であっ
てもその減衰能については大差はないけれども、軽量化
から考えて少量例えば1〜2%から20〜30%位が好
ましい。尚、この減衰材3は0.1〜5龍程度の砂や岩
石、コンクリート、レンガ等の無機質粒状体や、ファイ
バー、ゴム、充填材人プラスチックなどである。
本発明は、以上のように案内本体をセラミックスで形成
しているので、第3図に示す如くスライダー摺動時にお
ける最大撓み量を軟鋼、鋳鉄製の摺動用案内体に比べて
大巾に減少させることが出来、超精密加工機や超精密測
定器に使用される最適な摺動用案内体を供し得る。
しているので、第3図に示す如くスライダー摺動時にお
ける最大撓み量を軟鋼、鋳鉄製の摺動用案内体に比べて
大巾に減少させることが出来、超精密加工機や超精密測
定器に使用される最適な摺動用案内体を供し得る。
又、内部を中空でかつ断面寸法比を0.8以下としてい
る為、撓み量を変えることなく一層の軽量化を図ること
が出来、特に、中空の摺動用案内面が他の案内面に組み
込まれる場合、例えば交差状に案内面を2ケもうける場
合などには、軽量化により、他方の案内面の撓み量を一
層大幅に減少出来、超精密加工機や超精密測定器自体の
軽装化に寄与できる。
る為、撓み量を変えることなく一層の軽量化を図ること
が出来、特に、中空の摺動用案内面が他の案内面に組み
込まれる場合、例えば交差状に案内面を2ケもうける場
合などには、軽量化により、他方の案内面の撓み量を一
層大幅に減少出来、超精密加工機や超精密測定器自体の
軽装化に寄与できる。
依って所期の目的を達成できる。
図面は、本発明摺動用案内体の実施例を示し、第1図は
摺動用案内体の使用状態を示す正面図で一部切欠する、
第2図は、同X−X線に沿える拡大断面図、第3図は断
面寸法比に対する摺動用案内体の最大撓みの関係を示す
実験グラフ、第4図はスライダーのポジションによる摺
動用案内体の撓み量の関係を示す実験グラフ、第5図及
び第7図は中空部に減衰材を収容した状態の断面図、第
6図及び第8図はその場合の減衰能を示す減衰曲線グラ
フ、第9図は減衰材を収容しない状態の断面図、第10
図はその場合の減衰曲線グラフである。 1−摺動用案内本体、 a−・・中空部、2−・−スラ
イダー K −断面寸法比。 −X第1図 笥3図 第2図 第4図
摺動用案内体の使用状態を示す正面図で一部切欠する、
第2図は、同X−X線に沿える拡大断面図、第3図は断
面寸法比に対する摺動用案内体の最大撓みの関係を示す
実験グラフ、第4図はスライダーのポジションによる摺
動用案内体の撓み量の関係を示す実験グラフ、第5図及
び第7図は中空部に減衰材を収容した状態の断面図、第
6図及び第8図はその場合の減衰能を示す減衰曲線グラ
フ、第9図は減衰材を収容しない状態の断面図、第10
図はその場合の減衰曲線グラフである。 1−摺動用案内本体、 a−・・中空部、2−・−スラ
イダー K −断面寸法比。 −X第1図 笥3図 第2図 第4図
Claims (1)
- 案内本体をセラミックスで中空状に形成し、該本体にお
ける摺動方向と直交する断面寸法比を0.8以下とした
摺動用案内体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2076088A JPH0631736B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2076088A JPH0631736B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03191894A true JPH03191894A (ja) | 1991-08-21 |
JPH0631736B2 JPH0631736B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=13595081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2076088A Expired - Lifetime JPH0631736B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 摺動用案内体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0631736B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326789A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Konica Minolta Opto Inc | ガイド装置及び工作機械 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07328087A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-19 | Rizumu:Kk | マッサージ具 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5761437A (en) * | 1980-10-02 | 1982-04-13 | Nissan Motor Co Ltd | Slide base of machine tool |
-
1990
- 1990-03-26 JP JP2076088A patent/JPH0631736B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5761437A (en) * | 1980-10-02 | 1982-04-13 | Nissan Motor Co Ltd | Slide base of machine tool |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326789A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Konica Minolta Opto Inc | ガイド装置及び工作機械 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0631736B2 (ja) | 1994-04-27 |
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