JPH03185777A - イオンレーザ電源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はイオンレーザ装置に関し、イオンレーザ管の寿
命終止点を延長させ、より長寿命のイオンレーザ装置を
供給するためのイオンレーザ電源に関する。

〔従来の技術〕

従来のイオンレーザ電源は、第２図に示すような構成に
なっており、使用者が選択する放電電流一定制御モード
及びレーザ出カ一定制御モードにより、フィードバック
信号として前者は放電電流を、また、後者はレーザ出力
を帰還し、増幅回路を経由し、パワートランジスタバン
ク２により、放電電流を制御していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

通常、イオンレーザ管時に空冷タイプのイオンレーザ管
の放電電流−放電電圧特性の経時的な変化は、第３図に
示す通りであるが、この特性は経時的にイオンレーザ管
内部に封入したガスがクリーンアップ現象によりガス圧
が低下し、放電即ちアーク方電の媒体が減少したことに
なりイオンレーザ管内のアノード５−カソード６間のイ
ンビーダンスが増加することによると思われる。

長時間の動作によりイオンレーザ管４の内部ガス圧が減
少したイオンレーザ管の場合について考えてみると、動
作時よりも冷却状態がら放電開始直後の場合に顕著であ
り、放電を続けるにつれ、内部ガス圧も上昇し、放電電
圧は低下してくる。

また、放電電流の設定値が高すぎる場合には放電開始時
に一瞬の点灯後すぐに放電を停止してしまうこともあり
、この場合、この時点で寿命終止ということになる。

したがって、上述した従来のイオンレーザ電源は放電開
始時に放電型′流の設定値（レーザ出カー定制御モード
の場合は、設定レーザ出力を得るための放電電流）まで
急激に放電電流を供給しようとするため、動作時間の長
いイオンレーザ管は放電を停止することがあるという欠
点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のイオンレーザ電源は、直流電源部と、イオンレ
ーザ管に放電電流を制御するパワートランジスタバンク
と、パワートランジスタを駆動する駆動回路と、イオン
レーザ管のカソードとなるフィラメントに、フィラメン
ト電流を供給するフィラメントトランスを有するイオン
レーザ電源において、イオンレーザ管の放電電圧を検出
する回路と、その放電電圧検出回路の信号を受け、放電
電圧が一定値以上を越えた時に放電電流を低下させるよ
うに、パワートランジスタのベース回路に作用する放電
電流制限回路を有している。

〔実施例〕

第１図は、本発明の一実施例を示す回路図であり、この
場合、簡便のために放電電流一定制御モードのみの例と
したがレーザ出カ一定制御モードの場合はフィードバッ
ク信号をレーザ出力とするのみであり容易に類推できる
。

１は直流電源、２はパワートランジスタバンク、３は放
電電流検出抵抗、４はレーザ管、５はアノード、６はフ
ィラメントカソード、７はフィラメントトランス、８は
比較増幅器、９，１０は抵抗、１１は可変抵抗、１２は
基準電圧源、１３は抵抗、１４．１５は放電電圧検出用
分圧抵抗、１６は可変抵抗、１７は基準電圧源、１８は
比較増幅器、１９．２０は抵抗、２１はダイオードであ
る。放電電流は直流電源１よりトランジスタバンク２、
放電電流検出抵抗３を通って、イオンレーザ管４に供給
され、フィラメントトランス７の二次側中点タップより
直流電源１のマイナスへ帰還する。

放電電流一定制御モードでは、放電電流検出抵抗３によ
り検出した放電電流信号を抵抗９．１０゜１３、可変抵
抗１１、基準電圧源１１３及び比較増幅器８によって構
成されるパワートランジスタ駆動回路部で増幅し、パワ
ートランジスタバンク２を駆動し放電電流を一定に制御
する。

一方、抵抗１４．．１．５はイオンレーザ管４の放電電
圧を分圧し放電電圧信号とし、可変抵抗１６と基準電圧
源１７によって作り出される基準電圧信号と比較増幅器
１８により比較される。この基準電圧信号はイオンレー
ザ管が安定に放電し得る電圧に設定される。放電電圧信
号が設定値よりも高くなると、ダイオード２１を通して
パワートランジスタバンク２のベース電流を吸い込み、
結果的に、放電電流を低下させる。また放電電圧信号が
設定値よりも低い場合は、比較増幅器１８の出力は、性
となるためダイオード２１によりパワートランジスタバ
ンク２への影響は遮断され、通常の放電電流一定制御モ
ードで動作をする。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明はイオンレーザ管の放電電圧
がある一定値以上に上がらないように、放電電流を制限
することにより、経時的なイオンレーザ管の内部ガス圧
の低下の結果として現われる。放電開始時にの放電停止
現象の発生磁気を従来よりも、さらに遅らせることがで
きることにより、イオンレーザ管をさらに長寿命化して
使用することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】 第１図は、本発明の一実施例の回路図、第２図は、従来
のイオンレーザ電源の回路図、第３図は、イオンレーザ
管の経時的な放電電流−放電電属性性である。 １・・・直流電源、２・・・トランジスタバンク、３・
・・放電電流検出抵抗、４・・・イオンレーザ管、５・
・・アノード、６・・・フィラメントカソード、７・・
・フィラメントトランス、８・・・比較増幅器、９．１
０・・・抵抗、１１・・・可変抵抗、１２・・・基準電
圧源、１３・・・抵抗、１４．１５・・・放電電圧検出
用分圧抵抗、１６・・・可変抵抗、１７・・・基準電圧
源、１８・・・比較増幅器、１９．２０・・・抵抗、２
１・・・ダイオード。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 直流電源部と、イオンレーザ管に放電電流を制御するパ
   ワートランジスタバンクと、パワートランジスタを駆動
   する駆動回路と、イオンレーザ管のカソードとなるフィ
   ラメントに、フィラメント電流を供給するフィラメント
   トランスを有するイオンレーザ電源において、イオンレ
   ーザ管の放電電圧を検出する回路と、その放電電圧検出
   回路の信号を受け、放電電圧が一定値以上を越えた時に
   放電電流を低下させるように、パワートランジスタのベ
   ース回路に作用する放電電流制限回路を有するイオンレ
   ーザ電源。