JPH03183696A - 大型CaSi↓2単結晶の製造方法 - Google Patents
大型CaSi↓2単結晶の製造方法Info
- Publication number
- JPH03183696A JPH03183696A JP32052089A JP32052089A JPH03183696A JP H03183696 A JPH03183696 A JP H03183696A JP 32052089 A JP32052089 A JP 32052089A JP 32052089 A JP32052089 A JP 32052089A JP H03183696 A JPH03183696 A JP H03183696A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- casi2
- seed crystal
- raw material
- material rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 229910008455 Si—Ca Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 239000013526 supercooled liquid Substances 0.000 claims description 2
- 229910004706 CaSi2 Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 abstract description 6
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 abstract description 4
- 229910014458 Ca-Si Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000009831 deintercalation Methods 0.000 description 2
- 230000002687 intercalation Effects 0.000 description 2
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 description 2
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 2
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000004781 supercooling Methods 0.000 description 2
- 229910004709 CaSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、大型のCaSi2単結晶の製造方法に関す
るものである。さらに詳しくは、この発明は、液相の過
冷却現象を利用して電池を極材料等として有用な化学量
論組成の大型のCaS i2単結晶を製造する方法に関
するものである。
るものである。さらに詳しくは、この発明は、液相の過
冷却現象を利用して電池を極材料等として有用な化学量
論組成の大型のCaS i2単結晶を製造する方法に関
するものである。
(従来の技術とその課題)
CaSizの結晶構造は、CaM子面が2層のSt原子
面に挟まれたサンドイッチ状の層状構造を有し、このC
a原子は、容易にインターカレーション、デインターカ
レーションすることができるので、有望な電池の電極材
料となり得ることが期待されている。
面に挟まれたサンドイッチ状の層状構造を有し、このC
a原子は、容易にインターカレーション、デインターカ
レーションすることができるので、有望な電池の電極材
料となり得ることが期待されている。
しかしながら、これまでは多結晶の材料しか製造するこ
とができなかった。このため、インターカレーション、
デインターカレーションの繰り返しによって、その結晶
粒界から材料の崩壊が生じ、電極材料などの機能材料の
開発にとって大きな障害となっていた。このため、良質
で大型のCa S i 2単結晶を製造することが検討
されてきているが、このCa S i 2化合物は包晶
反応によって生じる分解型溶融型化合物であるために、
実(際にこのCaSi2単結晶を製造することはほとん
ど不可能であった。
とができなかった。このため、インターカレーション、
デインターカレーションの繰り返しによって、その結晶
粒界から材料の崩壊が生じ、電極材料などの機能材料の
開発にとって大きな障害となっていた。このため、良質
で大型のCa S i 2単結晶を製造することが検討
されてきているが、このCa S i 2化合物は包晶
反応によって生じる分解型溶融型化合物であるために、
実(際にこのCaSi2単結晶を製造することはほとん
ど不可能であった。
この発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたもので
あり、これまで不可能であった大型のCa S i 2
単結晶を高品位で製造することのできる新しい方法を提
供することを目的としている。
あり、これまで不可能であった大型のCa S i 2
単結晶を高品位で製造することのできる新しい方法を提
供することを目的としている。
(課題を解決するための手段)
この発明は、上記の課題を解決するものとして、50〜
60重量%5t−Caの化学組成を有する単結晶原料棒
を用い、フローティングゾーン法によって過冷却液相か
ら直接Ca5izを[(1(101]方向から±20’
以内の方向に成長させることを特徴とする大型Ca S
i 2単結晶の製造方法を提供する6 すなわち、この発明の方法は、通常の熱平衡状態下にお
いてはCa5izが次式 %式% の包晶反応によって生じる化合物であるために、大型の
Ca S i 2単結晶を育成することが極めて困雑で
あるのに対し、フローティングゾーン法によって制御さ
れた条件下に液相から直接Ca S i 2の単結晶を
成長させることを可能としている。
60重量%5t−Caの化学組成を有する単結晶原料棒
を用い、フローティングゾーン法によって過冷却液相か
ら直接Ca5izを[(1(101]方向から±20’
以内の方向に成長させることを特徴とする大型Ca S
i 2単結晶の製造方法を提供する6 すなわち、この発明の方法は、通常の熱平衡状態下にお
いてはCa5izが次式 %式% の包晶反応によって生じる化合物であるために、大型の
Ca S i 2単結晶を育成することが極めて困雑で
あるのに対し、フローティングゾーン法によって制御さ
れた条件下に液相から直接Ca S i 2の単結晶を
成長させることを可能としている。
また、この発明の方法においては、原料棒サイズにより
異なるが、1000〜1100℃の融点近傍に成長温度
を設定することができる。
異なるが、1000〜1100℃の融点近傍に成長温度
を設定することができる。
以上のこの発明の方法は、たとえば第1図に示すことが
できるように、実線で示した液相線を適切な条件下に過
冷却して破線で示した位置にまで下げ、直接的にCa
S i 2を生成させることを特徴としている。この液
相線の変更によって包晶反応の生成を回避している。
できるように、実線で示した液相線を適切な条件下に過
冷却して破線で示した位置にまで下げ、直接的にCa
S i 2を生成させることを特徴としている。この液
相線の変更によって包晶反応の生成を回避している。
第2図はこの発明の大型のCa S i 2単結晶の製
造方法に使用することのできる光イメージ炉での操作を
例示したものである。
造方法に使用することのできる光イメージ炉での操作を
例示したものである。
たとえばこの第2図に示した光イメージ炉は、その熱源
として、輝度が高くしかも近赤外の光を放出するハロゲ
ンランプ(1)を用い、このハロゲンランプ(1)を回
転楕円面反射鏡(2)の内凹に設けている。原材料(3
)およびび種結晶(4)を収納する溶解室内は、真空排
気口(5)より真空ポンプ等によって真空排気し、ガス
導入口(6)から雰囲気ガスとして好適なアルゴンガス
等を導入することができるようにしている。また、この
アルゴンガス等の排気のためのガス排出口(7)を溶解
室内に連通させている。光イメージ炉の上方には、回転
シールのための磁性流体シール(8)、溶接ベローズ(
9)を設け、その下方には、逆方向への回転シールのた
めの磁性流体してもいる。
として、輝度が高くしかも近赤外の光を放出するハロゲ
ンランプ(1)を用い、このハロゲンランプ(1)を回
転楕円面反射鏡(2)の内凹に設けている。原材料(3
)およびび種結晶(4)を収納する溶解室内は、真空排
気口(5)より真空ポンプ等によって真空排気し、ガス
導入口(6)から雰囲気ガスとして好適なアルゴンガス
等を導入することができるようにしている。また、この
アルゴンガス等の排気のためのガス排出口(7)を溶解
室内に連通させている。光イメージ炉の上方には、回転
シールのための磁性流体シール(8)、溶接ベローズ(
9)を設け、その下方には、逆方向への回転シールのた
めの磁性流体してもいる。
次にこの発明の実施例を詳しく説明する。
(実施例)
まず、99.99%の高純度のアルゴンガスを使用する
アーク溶解により、直径15n+n、長さ100 m+
の化学量論組成の57〜60重量%Si含有のCa−3
i原料棒を製造する。この原料棒の一部から、直径3■
、長さ10Iwtlの仮の種結晶(この段階においては
多結晶となっている)を切り出す。
アーク溶解により、直径15n+n、長さ100 m+
の化学量論組成の57〜60重量%Si含有のCa−3
i原料棒を製造する。この原料棒の一部から、直径3■
、長さ10Iwtlの仮の種結晶(この段階においては
多結晶となっている)を切り出す。
次に、この直径3關、長さ10+ww+の仮の種結晶で
ある原料棒を、第2図に示したハロゲンランプ光イメー
ジ炉内に取り付ける。
ある原料棒を、第2図に示したハロゲンランプ光イメー
ジ炉内に取り付ける。
このa料棒の一部を溶融し、回転させながら、仮の種結
晶を成長させる。この時の成長条件は、成長速度10f
l/h、成長温度約1070℃とし、ガス導入口より9
9.999%の高純度アルゴンガスを241/Iinの
流量条件で流して、成長雰囲気を形成する。
晶を成長させる。この時の成長条件は、成長速度10f
l/h、成長温度約1070℃とし、ガス導入口より9
9.999%の高純度アルゴンガスを241/Iinの
流量条件で流して、成長雰囲気を形成する。
この成長操作によって、液相から直接
CaSi2の結晶が、仮の種結晶上に成長する。
これから[0001]方向の結晶を切り出して、真の種
結晶を得る0次いで、この真の種結晶を光イメージ炉内
に取り付け、成長速度10 nm/ h、成長温度約1
070℃、99.999%の高純度アルゴンガスの21
/1g1nでの流通の条件下に結晶成長させる。
結晶を得る0次いで、この真の種結晶を光イメージ炉内
に取り付け、成長速度10 nm/ h、成長温度約1
070℃、99.999%の高純度アルゴンガスの21
/1g1nでの流通の条件下に結晶成長させる。
その結果、直径10nnn、長さ60+mで、[000
1]方向に成長した大型で良質なCa S i 2単結
晶を得る。
1]方向に成長した大型で良質なCa S i 2単結
晶を得る。
(発明の効果)
以上詳しく述べたように、この発明の方法により、従来
の多結晶Ca5izの場合のインターカレーションとデ
インターカレーションとの繰り返しによる結晶粒界から
の崩壊を抑制し、電池電極材料等の機能材料として有用
な大型Ca S i 2単結晶を成長させることができ
る。
の多結晶Ca5izの場合のインターカレーションとデ
インターカレーションとの繰り返しによる結晶粒界から
の崩壊を抑制し、電池電極材料等の機能材料として有用
な大型Ca S i 2単結晶を成長させることができ
る。
第1図は、Ca−3t平衡状態図を示し、また、第2図
は、この発明の利用可能なハロゲンランプを熟源とする
光イメージ炉を例示した断面図である。
は、この発明の利用可能なハロゲンランプを熟源とする
光イメージ炉を例示した断面図である。
Claims (1)
- (1)50〜60重量%Si−Caの化学組成を有する
単結晶原料棒を用い、フローティングゾーン法によって
過冷却液相から直接CaSi_2を[0001]方向か
ら±20゜以内の方向に成長させることを特徴とする大
型CaSi_2単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32052089A JPH03183696A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 大型CaSi↓2単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32052089A JPH03183696A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 大型CaSi↓2単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03183696A true JPH03183696A (ja) | 1991-08-09 |
JPH0512316B2 JPH0512316B2 (ja) | 1993-02-17 |
Family
ID=18122358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32052089A Granted JPH03183696A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 大型CaSi↓2単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03183696A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100480904B1 (ko) * | 1998-12-24 | 2005-08-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반응로및이를이용한단결정실리콘층형성방법 |
JP2011126759A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Toyota Central R&D Labs Inc | MnSix粉末及びその製造方法、並びに、MnSix粉末製造用CaSiy粉末及びその製造方法 |
JP2015093804A (ja) * | 2013-11-12 | 2015-05-18 | 株式会社豊田中央研究所 | Ca−Si−F系化合物、並びに、半導体及び電池 |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP32052089A patent/JPH03183696A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100480904B1 (ko) * | 1998-12-24 | 2005-08-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반응로및이를이용한단결정실리콘층형성방법 |
JP2011126759A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Toyota Central R&D Labs Inc | MnSix粉末及びその製造方法、並びに、MnSix粉末製造用CaSiy粉末及びその製造方法 |
JP2015093804A (ja) * | 2013-11-12 | 2015-05-18 | 株式会社豊田中央研究所 | Ca−Si−F系化合物、並びに、半導体及び電池 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0512316B2 (ja) | 1993-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20040003495A1 (en) | GaN boule grown from liquid melt using GaN seed wafers | |
JPH03183696A (ja) | 大型CaSi↓2単結晶の製造方法 | |
US5895527A (en) | Single crystal pulling apparatus | |
Omino et al. | Bridgman growth of ZnSe crystals with a PBN crucible sealed in a molybdenum capsule | |
Fullmer et al. | Crystal growth of the solid electrolyte RbAg4I5 | |
Tyutyunnik et al. | Lithium hydride single crystal growth by bridgman-stockbarger method using ultrasound | |
JPS61222911A (ja) | 燐化化合物の合成方法 | |
US3933990A (en) | Synthesization method of ternary chalcogenides | |
JP3207983B2 (ja) | I−iii−vi2族化合物単結晶の製造方法 | |
JPS62288106A (ja) | 2−6族化合物の製造方法 | |
JPS6222960B2 (ja) | ||
UA151667U (uk) | СПОСІБ ВИРОЩУВАННЯ Ag<sub>7</sub>PS<sub>6</sub> МЕТОДОМ СПРЯМОВАНОЇ КРИСТАЛІЗАЦІЇ З РОЗПЛАВУ | |
JPH0312320A (ja) | 酸化ほう素の製造方法 | |
Plusheva et al. | Application of halides to the production of pure molybdenum | |
JPS60171296A (ja) | 化合物半導体の製造方法 | |
CN114197041A (zh) | 一种五氧化三钛多晶料的制备方法及五氧化三钛多晶料 | |
JPH027919B2 (ja) | ||
JPS5843326B2 (ja) | 砒化シリコンの製造方法 | |
JPS6287487A (ja) | 不純物ド−プ単結晶形成方法 | |
Nadler et al. | Growth of ZnSiAs2 by vapor transport | |
JPH0231430A (ja) | CdHgTe結晶成長用メルトの作製方法 | |
JPS62202895A (ja) | 化合物半導体結晶の製造方法 | |
JPH0375291A (ja) | ZnSe単結晶の製造方法 | |
JPS62162694A (ja) | 燐化化合物単結晶の作成方法 | |
JP2007045653A (ja) | 酸化亜鉛結晶の成長方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |