JPH03181820A - 質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、質量流量計の改良に関する。

〔従来の技術〕

質量流量計においては、流体流路を内部に形成した本体
ブロックに対してセンサケースを突設し、このセンサケ
ース内に測定流路としての金属製の細管（例えば外径が
０．６閣、内径が０．４閣程度）を設け、この細管に１
対のセンサコイルを巻設しである。

ところで、上記細管や、流体をブロック体へ導入または
ブロック体から導出するための流体流入用継手、流体流
出用継手を、本体ブロックに接続するに際しては、リー
クが殆ど生じない、いわゆる超低リークになるようにす
る必要があるが、従来は第２図に示すように接続してい
た。

即ち、上下方向に挿通孔をそれぞれ形成した正面視凸字
状の金属製のスリーブ１．１を、装着孔２．２を形成し
た金属製のセンサ固定ベース３の下面側から装着し、次
いで、Ｕ字状の細管４を逆Ｕ字状になるようにして前記
挿通孔に挿通させ、スリーブ１．　１の下部においてろ
う付けする。

そして、内部に流体流路５を備えると共に、この流体流
路５と連通し、ザグリ部６，６を備えた開ロア、７を上
面側に形成してなる金属製の本体ブロック８の上面に、
シール部材９．９をザグリ部６．６に介装した状態で、
上記センサ固定べ一ス３をボルト（図外）によって固定
するのである。

また、流体流入用継手ＩＯおよび流体流出用継手１１は
、シール部材１２．１３を介して本体ブロック８に接続
されている。

なお、第２図において、１４は上記細管４によって形成
される測定流路をバイパスするようにして本体ブロック
８の内部に設けられるバイパス流路であり、１５はこの
バイパス流路１４に設けられる定流量特性を備えたバイ
パスエレメントである。１６は細管４を被覆するセンサ
ケース、１７は細管４に巻設されたセンサコイルである
。

〔発明が解決しようとする課題） 上記第２図に示すシール部材９．　９．１２．１３には
、安価なものとして、ゴム等の素材からなるＯリングが
比較的多く用いられている。

しかしながら、測定流路を流れる流体としては腐食性の
強い流体（例えばＨＦ、Ｈ（４等）が多く、Ｏリングの
耐久性に問題があり、特に、質量流量計を高温雰囲気で
使用する場合や、高温状態の流体を制御する場合はこの
問題が顕著になる。

更には、ガス分子の透過性の問題もあり、満足しうる気
密性を確保することが困難であり、精度の高い測定に悪
影響を及ぼすことがあった。

また、前記シール部材９．　９．１２．１３に金属製０
リングあるいはＣリングを用いた場合、完全な気密性を
得るためには、シール面を高精度に研磨したり或いは強
力なトルクで締め付ける必要があるなど作業が困難であ
ると共に、非常にコストが嵩む欠点がある。

本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、細管および流体流人出用継手とブ
ロック体との接続部における気密性を完全なものとし、
高精度な測定が長期間にわたって行える質量流量計を提
供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上述の目的を達成するため、本発明に係る質量流量計は
、ブロック体に対して細管を、その内部空間とブロック
体の接続開口とが連通ずるように溶接し、且つ、前記ブ
ロック体の流体入口と流体出口に対して、流体流入用継
手と流体流出用継手とをそれぞれ溶接した点に特徴があ
る。

〔作用〕

上記特徴構成によれば、細管および流体流人出用継手と
ブロック体との接続を溶接により行うため、Ｏリング等
のシール部材を用いた場合に比べて、格段に優れた気密
性が得られると共に、衝撃等によって気密性が低下する
こともなくなる。

また、Ｏリング等のシール部材を使用しないため、製造
作業が簡略化でき、コストダウンが可能となる。

さらに、ブロック体、細管、流体流人出用継手等を全て
耐腐食性に優れた単一金属素材で構成することが可能と
なるため、長寿命の質量流量針を得ることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図（Ａ）、　（Ｂ）は、本発明に係る質量流量計の
一実施例を示し、これらの図において、第２図における
符号と同一の符号は同一物または相当物を示す。

ここで、７はザグリ部６を備えた金属製のブロック体８
に形成された接続開口で、ブロック体８をその厚み方向
に貫通するように形成されている。

而して、金属製細管４の内部空間とブロック体８に形成
された接続間ロアの内部空間とが連通ずるように、細管
４をザグリ部６に当接するようにｉｉ！置した状態で、
細管４とブロック体８との間に所定の電流を流して抵抗
溶接を行って、細管４をブロック体８に固着する。これ
によって、ブロック体８内の流体流路１８と細管４とが
、ブロック体８内の接続間ロアを介して気密に接続され
るのである。なお、第１図（Ａ）において、１９．１９
は抵抗溶接部分を示す。

次に、バイパスニレメン目５をブロック体８内に形成さ
れた流体流路１８に挿通する前に、流体流入用継手ｌＯ
とバイパスエレメント１５をＴｒＧｉ９接（Ｔｕｎｇｓ
ｔｅｎ　Ｉｎｅｒｔ　Ｇａｓ　ａｒｃ　ｗｅｌｄｔｎｇ
）により溶接し、流体流入用継手１０とバイパスニレメ
ン目５を固着する（第１図（Ｂ）参照）、なお、第１図
（Ｂ）において、２０はＴＩＧ溶接部分を示す。

その後、バイパスエレメント１５を流体流路１８内に挿
通し、流体流入用継手１０とブロック体８の流体入口部
８ａとを当接させ、ＴＩＧ溶接し、流体流入用継手ｌＯ
と流体入口部８ａとを固着する。

また、同様に流体流出用継手１１とブロック体８の流体
出口部８ｂとを当接させ、ＴＩＧ溶接を行って、流体流
出用継手１１と流体出口部８ｂとを固着する（第１図（
Ａ＞参照）、なお、第１図（Ａ）において、２１、２２
はＴｒＧ溶接部分を示す。

而して、上述した実施例によれば、ブロック体８、細管
４、流体流入用継手１０、流体流出用継手１１等を全て
単一金属素材で構成することが可能となるため、ステン
レス、ニッケル、コバール等の耐腐食性に優れた金属を
適宜選択することができる。

また、本実施例では、バイパスエレメント１５は流体流
入用継手１０に溶接接続されているが、流体流入用継手
１０をブロック体８の流体人口８ａにＴＩＧ溶接する際
に、ブロック体８の流体流路１８内で圧着するようにし
て、バイパスエレメント１５を固定するのもよい。

なお、本実施例では溶接方法として抵抗溶接、ＴＩＧ溶
接を用いて説明したが、その溶接方法に限定されないの
は云うまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、細管及び流体流
人出用継手とブロック体との接続を溶接により行うため
、０リング等のシール部材を用いた場合に比べて、格段
に優れた気密性が得られると共に、衝撃等によって気密
性が低下することもなく、長期間にわたって高精度な測
定が行える。

また、Ｏリング等のシール部材を使用しないため、製造
作業が簡略化でき、コストダウンが可能となる。

更に、ブロック体、細管、流体流人出用継手等を全て耐
腐食性に優れた単一金属素材で構成することが可能とな
るため、長寿命でしかも気密性に優れた構造をもつ質量
流量計を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、　（Ｂ）は、本発明の一実施例を示し、
同図（Ａ）は質量流量計を示す縦断面図、同図（Ｂ）は
質量流量計を示す分解縦断面図である。 第２図は従来の一般的な質量流量針を示す縦断面図であ
る。 ４−・・細管、７−接続開口、８−ブロック体、８８流
体入口、８　ｂ−流体出口、ｌＯ−・−流体流入用継手
、１１、−ｍ−流体流出用継手、１６−・−センサケー
ス、１７・−センサコイル、１８−・流体流路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部に流体流路を有するブロック体に対してセンサケー
   スを突設し、このセンサケース内に前記流体流路と接続
   されると共にセンサコイルを備えた細管を設けてなる質
   量流量計において、前記ブロック体に対して前記細管を
   、その内部空間とブロック体の接続開口とが連通するよ
   うに溶接し、且つ、前記ブロック体の流体入口と流体出
   口に対して、流体流入用継手と流体流出用継手とをそれ
   ぞれ溶接したことを特徴とする質量流量計。