JPH03167425A - 質量流量計 - Google Patents
質量流量計Info
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- JPH03167425A JPH03167425A JP1307897A JP30789789A JPH03167425A JP H03167425 A JPH03167425 A JP H03167425A JP 1307897 A JP1307897 A JP 1307897A JP 30789789 A JP30789789 A JP 30789789A JP H03167425 A JPH03167425 A JP H03167425A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
-
- G—PHYSICS
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、質量流量計の改良に関する．（従来の技術〕
従来の一般的な質量流量計は、流体流路を内部に形威し
た本体ブロックに対して樹脂製あるいは金属製のセンサ
ケースを突設し、このセンサケース内に測定流路として
の金属製の細管（例えば外径が０．６１ＩＩＩ１、内径
が０．４ｍ一程度）を設け、この細管に一対のセンサコ
イルを巻設し、このセンサコイルへの電流導入用として
本体ブロノクにリード線もしくは導通棒が設けられてい
る。
た本体ブロックに対して樹脂製あるいは金属製のセンサ
ケースを突設し、このセンサケース内に測定流路として
の金属製の細管（例えば外径が０．６１ＩＩＩ１、内径
が０．４ｍ一程度）を設け、この細管に一対のセンサコ
イルを巻設し、このセンサコイルへの電流導入用として
本体ブロノクにリード線もしくは導通棒が設けられてい
る。
［発明が解決しようとする課題］
ところで、上記センサケースは、内部に設けられたセン
サコイルを外気あるいは雷磁波との遮断を目的として設
けられており、そのため、センサケースと本体ブロソク
そしてリード線もしくは導通捧と本体ブロノクは、樹脂
系の接着剤あるいは樹脂素材により密封されていた。
サコイルを外気あるいは雷磁波との遮断を目的として設
けられており、そのため、センサケースと本体ブロソク
そしてリード線もしくは導通捧と本体ブロノクは、樹脂
系の接着剤あるいは樹脂素材により密封されていた。
しかしながら、上記樹脂系の接着剤あるいは樹脂素材に
よる密封方法では、外気との遮断は完全でないため、外
気中の水分が僅かずつセンサケース内部に侵入し、精度
の高い測定に悪影響を及ぼすことがあった。
よる密封方法では、外気との遮断は完全でないため、外
気中の水分が僅かずつセンサケース内部に侵入し、精度
の高い測定に悪影響を及ぼすことがあった。
また、製造時にセンサケース内部に不活性ガス（例えば
窒素ガス）を封入したとしても、所詮外気との遮断が完
全でないため、時間の経過とともに外気中の水分が僅か
ずつセンサケース内部に侵入し、測定桔度の低下さらに
はセンサの劣化が生ずる。
窒素ガス）を封入したとしても、所詮外気との遮断が完
全でないため、時間の経過とともに外気中の水分が僅か
ずつセンサケース内部に侵入し、測定桔度の低下さらに
はセンサの劣化が生ずる。
さらには、測定流路としての金属製細管は、通常、肉厚
０．１醜一以下の肉薄細管が用いられるため、測定流路
を流れる流体が腐食性の強い流体（例えば｝ＩＦ，Ｈ（
ｌ等）の場合、細管壁の腐食により腐食性流体がセンサ
ケースから外部に漏れ出る危険性もある。
０．１醜一以下の肉薄細管が用いられるため、測定流路
を流れる流体が腐食性の強い流体（例えば｝ＩＦ，Ｈ（
ｌ等）の場合、細管壁の腐食により腐食性流体がセンサ
ケースから外部に漏れ出る危険性もある。
なお、上記問題点は、センサコイルへの電流導入用端子
として用いられるリード線もしくは導通棒の密封方法に
おいても、同様に起こりうるのである。
として用いられるリード線もしくは導通棒の密封方法に
おいても、同様に起こりうるのである。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、センサケース内部のセンサコイル
あるいは金属性細管を外気から完全に遮断し、高精度な
測定が長期間にわたって行えると共に、安全性をも兼ね
備えた質量流量計を提供することにある。
目的とするところは、センサケース内部のセンサコイル
あるいは金属性細管を外気から完全に遮断し、高精度な
測定が長期間にわたって行えると共に、安全性をも兼ね
備えた質量流量計を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上述の目的を達戒するため、本発明に係る質量流量計は
、ブロック体に対して、センサケースを、その内部空間
が密閉するように溶接し、且つ、センサコイルへの電流
導入用端子としてく＼−メチック端子を用い、このハー
メチ・冫ク端子と前記ブロック体とを溶接した点に特徴
がある。
、ブロック体に対して、センサケースを、その内部空間
が密閉するように溶接し、且つ、センサコイルへの電流
導入用端子としてく＼−メチック端子を用い、このハー
メチ・冫ク端子と前記ブロック体とを溶接した点に特徴
がある。
上記特徴構或によれば、センサケース内部に設けられた
センサコイルは、外気から完全に遮断されるため、外気
中の水分の侵入によるセンサコイルの劣化あるいは測定
精度の低下を防ぐことができる。
センサコイルは、外気から完全に遮断されるため、外気
中の水分の侵入によるセンサコイルの劣化あるいは測定
精度の低下を防ぐことができる。
更に、たとえ金属製細管が腐食性流体により腐食し、流
体が漏れ出たとしても、センサケース内部は外気から遮
断されているため、外気中に漏れ出ることがなく、安全
性が向上する。
体が漏れ出たとしても、センサケース内部は外気から遮
断されているため、外気中に漏れ出ることがなく、安全
性が向上する。
〔実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する．
第ｌ図及び第２図は、本発明に係る質量流量計の一実施
例を示し、これらの図において、ｌは金属製スリーブ２
、２を備えた金属製のセンサ固定ヘースであり、このセ
ンサ固定ベース１に前記金属製スリーブ２、２を介して
、Ｕ字状の金属製細管３を逆Ｕ字状になるようにして抵
抗溶接等により接続する．またセンサ固定ベースｌの上
面には、例えばガラスシールあるいはセラミックシール
より成るハーメチック端子４を当接するようにｉ３！置
した状態で、ハーメチック端子４とセンサ固定ベースｌ
との間に所定の電流を流して抵抗溶接を行って、ハーメ
チック端子４をセンサ固定ベース１の上面に固着する。
例を示し、これらの図において、ｌは金属製スリーブ２
、２を備えた金属製のセンサ固定ヘースであり、このセ
ンサ固定ベース１に前記金属製スリーブ２、２を介して
、Ｕ字状の金属製細管３を逆Ｕ字状になるようにして抵
抗溶接等により接続する．またセンサ固定ベースｌの上
面には、例えばガラスシールあるいはセラミックシール
より成るハーメチック端子４を当接するようにｉ３！置
した状態で、ハーメチック端子４とセンサ固定ベースｌ
との間に所定の電流を流して抵抗溶接を行って、ハーメ
チック端子４をセンサ固定ベース１の上面に固着する。
ここで、細管３に巻設されたセンサコイル５、５はハー
メチック端子４のりートビンを介して図外のプリッジ回
路に接続される．次に、細管３を接続したセンサ固定ベ
ース１を、金属製のシール部材６、６を介して、内部に
流体流路７を備えるとともに、開口８、８を上面例に形
威してなる金属製の本体ブロック９上にｉ！ｆｉし、ポ
ル目０、１０によってセンサ固定ベースｌを本体ブロッ
ク９に固定する（第２図参照）。
メチック端子４のりートビンを介して図外のプリッジ回
路に接続される．次に、細管３を接続したセンサ固定ベ
ース１を、金属製のシール部材６、６を介して、内部に
流体流路７を備えるとともに、開口８、８を上面例に形
威してなる金属製の本体ブロック９上にｉ！ｆｉし、ポ
ル目０、１０によってセンサ固定ベースｌを本体ブロッ
ク９に固定する（第２図参照）。
なお、第１図において、ｌ１は上記細管３によって形成
される測定流路をバイパスするようにして本体ブロック
９の内部に設けられたバイパス流路であり、ｌ２はこの
バイパス流路ＩＩに設けられた定２Ｉｔｆｆｌ特性を備
えたバイパスエレメントである。
される測定流路をバイパスするようにして本体ブロック
９の内部に設けられたバイパス流路であり、ｌ２はこの
バイパス流路ＩＩに設けられた定２Ｉｔｆｆｌ特性を備
えたバイパスエレメントである。
上記センサ固定ベースｌを本体ブロソク９に固定した後
、細管３を被覆するための金属製センサケースｌ３を第
２図中のセンサ固定ベース１の上面に示す破線部分に当
接するように叔置し、センサケース１３とセンサ固定ベ
ース１，との間に所定の電流を流して抵抗溶接を行って
、センサケースｌ３をセンサ固定ヘース１に固着する（
第１図中の拡大図参照）。
、細管３を被覆するための金属製センサケースｌ３を第
２図中のセンサ固定ベース１の上面に示す破線部分に当
接するように叔置し、センサケース１３とセンサ固定ベ
ース１，との間に所定の電流を流して抵抗溶接を行って
、センサケースｌ３をセンサ固定ヘース１に固着する（
第１図中の拡大図参照）。
なお、第１図中の拡大部分に示す１４は抵抗溶接部分を
示す。
示す。
而して、上述した実施例によれば、センサ固定ヘースｌ
、細管３、センサケース１３等を全て単一金属素材で構
戒することが可能となるため、ステンレス、ニソケル、
コバール等の耐ｋ８食性に優れた金属を、適宜選択すれ
ばよい。
、細管３、センサケース１３等を全て単一金属素材で構
戒することが可能となるため、ステンレス、ニソケル、
コバール等の耐ｋ８食性に優れた金属を、適宜選択すれ
ばよい。
また、上記実施例においては、細管３及びハーメチソク
端子４をブロック体としてのセンサ固定ベースｌに接続
するようにしているが、ブロック体９に直接的に接続す
るようにしてもよい。
端子４をブロック体としてのセンサ固定ベースｌに接続
するようにしているが、ブロック体９に直接的に接続す
るようにしてもよい。
なお、本実施例では溶接方法として抵抗溶接を用いて説
明したが、その溶接方法に限定されないのは云うまでも
ない。
明したが、その溶接方法に限定されないのは云うまでも
ない。
以上説明したように、本発明によれば、センサケース及
びハーメチック端子をブロック体（センサ固定ベース）
に溶接されるため、センサケース内部に設けられたセン
サコイルは、外気から完全に遮断され、外気中の水分の
侵入によるセンサコイルの劣化あるいは測定精度の低下
を防ぐことができる。
びハーメチック端子をブロック体（センサ固定ベース）
に溶接されるため、センサケース内部に設けられたセン
サコイルは、外気から完全に遮断され、外気中の水分の
侵入によるセンサコイルの劣化あるいは測定精度の低下
を防ぐことができる。
更に、ブロック体、細管、センサケース等を全て耐腐食
性に優れた単一金属素材で構或することが可能となるた
め、長寿命の質量流量計を得ることができる。
性に優れた単一金属素材で構或することが可能となるた
め、長寿命の質量流量計を得ることができる。
また、例え金属性細管が腐食性流体により腐食し、流体
が漏れ出たとしても、センサケース内部は外気から遮断
されているため、外気中に泪れ出ることがなく、安全性
が向上するのである。
が漏れ出たとしても、センサケース内部は外気から遮断
されているため、外気中に泪れ出ることがなく、安全性
が向上するのである。
なお、センサケースが腐食して腐食性流体が外気中へ漏
れ出ることを考えた場合、それ以前にセンサコイルが損
傷を受け、センサコイルが接続されているブリンジ回路
の出力が異常となり、電気的に検出されるため、未然に
防ぐことができる。
れ出ることを考えた場合、それ以前にセンサコイルが損
傷を受け、センサコイルが接続されているブリンジ回路
の出力が異常となり、電気的に検出されるため、未然に
防ぐことができる。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第ｌ図は
質量流量計を示す縦断面図、第２図は質量流量針を示す
全体斜視図である。 １．９−ブロック体（センサ固定ベース）、３細管、４
−・・ハーメチック端子、５・−センサコイル、７一流
体流路、１３− センサケース。 出 願 人 株式会社 エステック 代 理 人 弁理士 藤本英夫
質量流量計を示す縦断面図、第２図は質量流量針を示す
全体斜視図である。 １．９−ブロック体（センサ固定ベース）、３細管、４
−・・ハーメチック端子、５・−センサコイル、７一流
体流路、１３− センサケース。 出 願 人 株式会社 エステック 代 理 人 弁理士 藤本英夫
Claims (1)
- 内部に流体流路を有するブロック体に対してセンサケー
スを突設し、このセンサケース内に前記流体流路と接続
されると共にセンサコイルを備えた細管と前記センサコ
イルへの電流導入用端子を設けてなる質量流量計におい
て、前記ブロック体に対して、前記センサケースを、そ
の内部空間が密閉するように溶接し、且つ、前記センサ
コイルへの電流導入用端子としてハーメチック端子を用
い、このハーメチック端子と前記ブロック体とを溶接し
たことを特徴とする質量流量計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1307897A JP3047184B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 質量流量計 |
| US07/615,069 US5309762A (en) | 1989-11-27 | 1990-11-19 | Mass flowmeter with hermetically sealed housing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1307897A JP3047184B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03167425A true JPH03167425A (ja) | 1991-07-19 |
| JP3047184B2 JP3047184B2 (ja) | 2000-05-29 |
Family
ID=17974487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1307897A Expired - Lifetime JP3047184B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 質量流量計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5309762A (ja) |
| JP (1) | JP3047184B2 (ja) |
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| JP2001304934A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-31 | Berkin Bv | 質量流量計 |
| WO2017154513A1 (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量センサ、当該熱式質量流量センサの製造方法、及び当該熱式質量流量センサを用いる熱式質量流量計 |
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| US5918268A (en) * | 1995-07-07 | 1999-06-29 | Intelligent Controls, Inc. | Line leak detection |
| US5792952A (en) * | 1996-05-23 | 1998-08-11 | Varian Associates, Inc. | Fluid thermal mass flow sensor |
| DE29616942U1 (de) * | 1996-09-28 | 1997-01-16 | Cms Mikrosysteme Gmbh Chemnitz | Thermischer Durchflußmengenaufnehmer |
| DE19725398C1 (de) * | 1997-06-17 | 1999-04-01 | Hostalen Polyethylen Gmbh | Verfahren zur Messung des Durchflusses und thermischer Durchflußmesser für Gase und Gasmischungen |
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| US8316695B2 (en) | 2009-05-08 | 2012-11-27 | Delaware Capital Formation, Inc. | Line leak detector and method of using same |
| US8850872B2 (en) | 2009-05-08 | 2014-10-07 | Opw Fuel Management Systems, Inc. | Line leak detector and method of using same |
| KR101309309B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2013-09-17 | 김상현 | 기체 유량 측정 센서 |
| JP6217226B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-10-25 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量計、質量流量制御装置、及び熱式質量流量計の製造方法 |
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| US10508943B2 (en) * | 2014-03-31 | 2019-12-17 | Hitachi Metals, Ltd. | Thermal mass flow rate measurement method, thermal mass flow meter using said method, and thermal mass flow controller using said thermal mass flow meter |
| CN109579928B (zh) * | 2018-11-23 | 2020-10-23 | 北京控制工程研究所 | 一种热式微流量测量传感器流道及密封结构 |
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| GB1352175A (en) * | 1971-06-09 | 1974-05-08 | Perkin Elmer Ltd | Electrical flowmeters |
| SU428216A1 (ru) * | 1972-07-04 | 1974-05-15 | А. А. Царицын, В. П. Бакланов, А. В. Майоров , В. А. Тимофеев | Калориметрический расходомер |
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-
1989
- 1989-11-27 JP JP1307897A patent/JP3047184B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-11-19 US US07/615,069 patent/US5309762A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3047184B2 (ja) | 2000-05-29 |
| US5309762A (en) | 1994-05-10 |
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