JPH03181165A - インターデジタルキャパシタ - Google Patents

インターデジタルキャパシタ

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JPH03181165A
JPH03181165A JP32221589A JP32221589A JPH03181165A JP H03181165 A JPH03181165 A JP H03181165A JP 32221589 A JP32221589 A JP 32221589A JP 32221589 A JP32221589 A JP 32221589A JP H03181165 A JPH03181165 A JP H03181165A
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JP
Japan
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output
input
finger
fingers
power supply
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Pending
Application number
JP32221589A
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English (en)
Inventor
Takao Hasegawa
隆生 長谷川
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 の 本発明は、マイクロ波集積回路に用いられるインターデ
ジタルキャパシタに関する。
丈来立投艶 第2図に、従来用いられているインターデジタルキャパ
シタの平面図を示す、第2図において、1は入力給電端
、2は出力給電端、3は入力導入電極、4は出力導入電
極、5A、 5B、 5C,5Dは入力フィンガ、6A
、 6B、 6G、 6Dは出力フィンガである。入力
側、出力側とも、各フィンガ5A〜5D、6A〜6Dは
導入電極3.4に同一形状で接続されている。
と 第2図に示す従来の電極形状では、入力給電端1に供給
された信号は入力給電端1に最も近い中央部の入力フィ
ンガ5Dに最も早く到達し、それから徐々に外側のフィ
ンガ5C,5B、 5Aへと到達して行く、すなわち、
各フィンガへの到達時間に少しづつ遅延が生じる。同様
に出力側においても、出力給電端2に最も近い中央部の
出力フィンガロDからの信号が最も早く出力給電端2に
到達し、その後徐々にその外側のフィンガ6G、 6B
、 6Aからの信号が少しづつ遅延時間を伴って到着し
て来る。このため、各フィンガを通過した信号間に位相
差が生じ、その結果、本インターデジタルキャパシタを
用いる構成のマイクロ波集積回路のRF特性が劣化する
という問題が生じていた。
本発明は係る点に鑑みて成されたもので、フィンガ間の
伝搬位相差を防止し、RF特性の良好なインターデジタ
ルキャパシタを提供することを目的とする。
るための 上記目的を達成するため、本発明に係るマイクロ波集積
回路用インターデジタルキャパシタは、信号入力給電端
および信号出力給電端と、平面上に交互に並列に配設さ
れた複数の入力フィンガおよび出力フィンガとを備える
インターデジタルキャパシタにおいて、入力給電端と各
入力フィンガとの間を等距離で接続する入力導線および
出力給電端と各出力フィンガとの間を等距離で接続する
出力導線を設けたことを特徴とする。
扛=−用一 このインターデジタルキャパシタに入力する信号は入力
給電端から入り、入力導線、入力フィンガと伝搬して、
そこでこの入力フィンガと交互に配置された出力フィン
ガに伝搬される。そして、この出力フィンガから出力導
線、出力給電端という経路で出力される。このとき、入
力給電端と各入力フィンガとを接続する各入力導線は、
それらの間の伝搬距離が等しくなるように設けられてい
るため、入力信号が各フィンガへ到達する際に、同じ時
間で到達する。また、出力フィンガから出力給電端への
伝搬についても、それらの間の距離が等しくなるように
出力導線が設けられているため、信号の位相差が生じな
い。
災直旌 第1図は本発明の一実施例を示すインターデジタルキャ
パシタの平面図である。第工図において第2図と等価な
構成部分には同一の参照番号を付して示す。本実施例で
は、入力導入電極3と各入力フィンガ5A、 5B、 
5C,5Dとを、フィンガの位置により長さを変えた入
力導線7A、 7B、 7C,7Dで接続してし)る。
出力側においても、同様の出力導線8で接続している。
これら入力導線7の各々の長さdi、 d2. d3.
 d4は次のように定める。入力給電端lから入力導入
電極3までの距離をal  各入力フィンガ間の配列ピ
ッチをす、そして、入力給電端1から各入力フィンガ5
A、 5B、 5C,5Dまでの距離をLl、L2.L
3.L4とすると、L1= a+ (7/2) ・b+
 c+ diL2= a+ (5/2) ・b+ c+
 d2L3=a+ (3/2)・b+c+d3L4= 
a+ (1/2) ・b+ c+ d4となる。従って
、di、d2.d3.d4をd2=  b+ di d3=2・b+dl d4=3・b+ di となるように設定することにより、入力給電端工から各
入力フィンガ5A、 5B、 5C,5Dまでの信号伝
搬距離Ll、 L2. L3. L4を等しくすること
ができる。出力導線8についても同様である(入力導線
と出力導線とは、必ずしも同じ長さにする必要はない)
。これにより、入力給電端1から出力給電端2までの間
、信号がどのフィンガを通ろうと、その距離は一定とな
トハ フィンガによる位相差が生じない。
上記実施例では、フィンガの数が8本の場合について示
したが、もちろんそれ以上あるいはそれ以下の数であっ
ても同様に導線7.8の長さを設定することができる。
また、各導線7.8の形状も第1図に示したものに限ら
れない。
丑」目と焼玉− 以上説明した通り、本発明に係るインターデジタルキャ
パシタでは、信号が入力給電端から出力給電端を通過す
る間、各フィンガにおいて伝搬距離の差に起因する位相
差が生じないため、RF特性の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るインターデジタルキャパシタの一
例の平面図であり、第2図は従来のインターデジタルキ
ャパシタの平面図である。 1・・・入力給電端     2・・・出力給電端3・
・・入力導入電極    4・・・出力導入電極5A、
 5B、 5C,5D・・・入カフインガ6A、 6B
、 6C,6D・・・出力フィンガ フA、 7B、 7C,7D・・・入力導線8・・・出
力導線 出 願 人 シャープ株式会社 代 理 人 佐 野 静 夫 第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)信号入力給電端および信号出力給電端と、平面上
    に交互に並列に配設された複数の入力フィンガおよび出
    力フィンガとを備えるインターデジタルキャパシタにお
    いて、入力給電端と各入力フィンガとの間を等距離で接
    続する入力導線および出力給電端と各出力フィンガとの
    間を等距離で接続する出力導線を設けたことを特徴とす
    るマイクロ波集積回路用インターデジタルキャパシタ。
JP32221589A 1989-12-11 1989-12-11 インターデジタルキャパシタ Pending JPH03181165A (ja)

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JPH03181165A true JPH03181165A (ja) 1991-08-07

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6980414B1 (en) 2004-06-16 2005-12-27 Marvell International, Ltd. Capacitor structure in a semiconductor device
JP2014531751A (ja) * 2011-09-09 2014-11-27 ザイリンクス インコーポレイテッドXilinx Incorporated 異なる幅のディジットを有するインターディジタルキャパシタ

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