JPH03171771A - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents
固体撮像装置及びその駆動方法Info
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- JPH03171771A JPH03171771A JP1311005A JP31100589A JPH03171771A JP H03171771 A JPH03171771 A JP H03171771A JP 1311005 A JP1311005 A JP 1311005A JP 31100589 A JP31100589 A JP 31100589A JP H03171771 A JPH03171771 A JP H03171771A
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 101150103383 phiA gene Proteins 0.000 abstract 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は固体撮像装置及びその駆動方法に関するもので
ある。
ある。
（従来の技術）
多線読出しセンサの構成を第４図に示す２線読出しセン
サを例に取って説明する。この２線読出しセンサは、列
状に配列された複数の両素１に並列に複数の転送電極か
らなるＣＣＤレジスタ３が設けられ、更にこのＣＣＤレ
ジスタ３と並列に複数の転送電極からなるＣＣＤレジス
タ５が設けられている。又、複数の画素１とＣＣＤレジ
スタ３との間にシフトゲート２が、モしてＣＣＤレジス
タ３とＣＣＤレジスタ５との間にはトランスフ７ゲート
４が設けられている。なお、シフトゲート２は全画索１
に対応して設けられ、トランスファゲート４は１画素置
きに設けられている。シフトゲート２、ＣＣＤレジスタ
３の転送電極、トランスファゲート４、及びＣＣＤレジ
スタ５の転送電極に各々所定の駆動パルスを印加するこ
とにより、第４図の矢印に示すように奇数番目の画素１
からの信号電荷はシフトゲート２、ＣＣＤレジスタ３の
転送電極、及びトランスファゲート４を介してＣＣＤレ
ジスタ５に移送され、偶数番口の画素１からの信号電荷
はシフトゲート２を介してＣＣＤレジスタ３に移送され
、各々ＣＯＤレジスタ内を転送されて出力バッファ７．
６を介して外部に出力される。これを第５図乃至第７図
を参照して詳細に説明する。
サを例に取って説明する。この２線読出しセンサは、列
状に配列された複数の両素１に並列に複数の転送電極か
らなるＣＣＤレジスタ３が設けられ、更にこのＣＣＤレ
ジスタ３と並列に複数の転送電極からなるＣＣＤレジス
タ５が設けられている。又、複数の画素１とＣＣＤレジ
スタ３との間にシフトゲート２が、モしてＣＣＤレジス
タ３とＣＣＤレジスタ５との間にはトランスフ７ゲート
４が設けられている。なお、シフトゲート２は全画索１
に対応して設けられ、トランスファゲート４は１画素置
きに設けられている。シフトゲート２、ＣＣＤレジスタ
３の転送電極、トランスファゲート４、及びＣＣＤレジ
スタ５の転送電極に各々所定の駆動パルスを印加するこ
とにより、第４図の矢印に示すように奇数番目の画素１
からの信号電荷はシフトゲート２、ＣＣＤレジスタ３の
転送電極、及びトランスファゲート４を介してＣＣＤレ
ジスタ５に移送され、偶数番口の画素１からの信号電荷
はシフトゲート２を介してＣＣＤレジスタ３に移送され
、各々ＣＯＤレジスタ内を転送されて出力バッファ７．
６を介して外部に出力される。これを第５図乃至第７図
を参照して詳細に説明する。
第５図（Ａ）及び（Ｂ）は各々第４図に示す切断線Ａ−
Ａ及びＢ−Ｂで切断した場合の２線読出しセンサの断面
図であり、第５図（Ｃ）及び（Ｄ）は各々切断線Ａ−Ａ
及びＢ−Ｂに沿う電位井戸を示すグラフである。第５図
（Ａ）及び（Ｂ）において、３Ａ及び５Ａは第１相のク
ロック駆動パルスφＡが印加されるＣＣＤレジスタ３及
び５の転送電極を各々示し、３Ｂ及び５Ｂは第２相のク
ロック駆動パルスφＢが印加されるＣＣＤレジスタ３及
び５の転送電極を各々示す。又、第５図（Ｃ）及びＣＤ
）において、電位井戸に付してあるＬとＨの符号は各々
印加パルスのレベルが“ロウ”のときと“ハイ゜のとき
の井戸を示している。なお、第５図において第４図に示
すものと共通のものは同一の符号を付してある。
Ａ及びＢ−Ｂで切断した場合の２線読出しセンサの断面
図であり、第５図（Ｃ）及び（Ｄ）は各々切断線Ａ−Ａ
及びＢ−Ｂに沿う電位井戸を示すグラフである。第５図
（Ａ）及び（Ｂ）において、３Ａ及び５Ａは第１相のク
ロック駆動パルスφＡが印加されるＣＣＤレジスタ３及
び５の転送電極を各々示し、３Ｂ及び５Ｂは第２相のク
ロック駆動パルスφＢが印加されるＣＣＤレジスタ３及
び５の転送電極を各々示す。又、第５図（Ｃ）及びＣＤ
）において、電位井戸に付してあるＬとＨの符号は各々
印加パルスのレベルが“ロウ”のときと“ハイ゜のとき
の井戸を示している。なお、第５図において第４図に示
すものと共通のものは同一の符号を付してある。
クロック駆動パルスφ 及びφＢ１シフトゲーＡ
ト２に印加される駆動パルスＳＨ，及びトランスファゲ
ート４に印加される駆動パルスＴＲを第６図に示し、こ
れらのパルスが印加された時の信号電荷の移送を第７図
に示す。第７図において、黒丸はＡ−Ａ断面に沿う信号
電荷の移送を、白丸はＢ−Ｂ断面に沿う信号電荷の移送
を示す。時刻１１において画素１に信号電荷が蓄積され
ている（第７図参照）。このとき、駆動パルスφＡ，φ
，，ＳＨ，及びＴＲはロウレベル状態である（第６図参
照）。時刻１２ （＞１１）になると駆動バルスＳＨの
みがハイレベル状態となるとともに次の時刻１ （
＞１２）において総ての駆動バ３ ルスがロウレベル状態となるため（第６図参照）、画素
１に蓄積された信号電荷は、シフトゲート２を介してＣ
ＯＤレジスタ３の転送電極３Ａ及び３Ｂに移送される。
ート４に印加される駆動パルスＴＲを第６図に示し、こ
れらのパルスが印加された時の信号電荷の移送を第７図
に示す。第７図において、黒丸はＡ−Ａ断面に沿う信号
電荷の移送を、白丸はＢ−Ｂ断面に沿う信号電荷の移送
を示す。時刻１１において画素１に信号電荷が蓄積され
ている（第７図参照）。このとき、駆動パルスφＡ，φ
，，ＳＨ，及びＴＲはロウレベル状態である（第６図参
照）。時刻１２ （＞１１）になると駆動バルスＳＨの
みがハイレベル状態となるとともに次の時刻１ （
＞１２）において総ての駆動バ３ ルスがロウレベル状態となるため（第６図参照）、画素
１に蓄積された信号電荷は、シフトゲート２を介してＣ
ＯＤレジスタ３の転送電極３Ａ及び３Ｂに移送される。
そして、時刻ｔ （ ＞ ｔ Ｓ ）４
において駆動パルスＴＲのみがハイレベル状態となると
ともに次の時刻１ （＞１４）において総５ ての駆動パルスがロウレベル状態となるため（第６図参
照）、転送電極３Ａ下の信号電荷はトランスファゲート
４を介してＣＣＤレジスタ５の転送電極５Ａに移送され
（第７図の黒丸参照）、転送電極３Ｂ下の信号電荷は転
送電極３Ｂ下に留まる（第７図の白丸参照）。このよう
にしてＣＣＤレジスタ３及び５の転送電極３Ｂ及び５Ａ
に移送された信号電荷は、ＣＣＤレジスタ３及び５の転
送電極に駆動パルスφＡ，φＢを印加することにより転
送され、出力バッファ６及び７を介して各々外部に出力
される。
ともに次の時刻１ （＞１４）において総５ ての駆動パルスがロウレベル状態となるため（第６図参
照）、転送電極３Ａ下の信号電荷はトランスファゲート
４を介してＣＣＤレジスタ５の転送電極５Ａに移送され
（第７図の黒丸参照）、転送電極３Ｂ下の信号電荷は転
送電極３Ｂ下に留まる（第７図の白丸参照）。このよう
にしてＣＣＤレジスタ３及び５の転送電極３Ｂ及び５Ａ
に移送された信号電荷は、ＣＣＤレジスタ３及び５の転
送電極に駆動パルスφＡ，φＢを印加することにより転
送され、出力バッファ６及び７を介して各々外部に出力
される。
（発明が解決しようとする課題）
このような従来の固体撮像装置においては、時刻ｔ３に
ＣＯＤレジスタ３の転送電極３Ａ及び３Ｂからなる一転
送股下に２つの信号電荷が蓄積される状態となる。この
ため、これらの転送電極３Ａ．３Ｂに印加される駆動バ
ルスφＡ，φＢのレベルが各々ロウレベルである限り問
題は起きないが、誘導ノイズ等でこのロウレベル状態に
アンバランスが起こると、蓄積されている信号電荷に混
合が起こるという問題がある。例えば瞬時に駆動バルス
φＩ３のロウレベルが少し高くなると、転送電極３Ｂ下
に蓄積されている信号電伺が一部転送電極３Ａ下に移動
して信号電萄に混合が起こる。
ＣＯＤレジスタ３の転送電極３Ａ及び３Ｂからなる一転
送股下に２つの信号電荷が蓄積される状態となる。この
ため、これらの転送電極３Ａ．３Ｂに印加される駆動バ
ルスφＡ，φＢのレベルが各々ロウレベルである限り問
題は起きないが、誘導ノイズ等でこのロウレベル状態に
アンバランスが起こると、蓄積されている信号電荷に混
合が起こるという問題がある。例えば瞬時に駆動バルス
φＩ３のロウレベルが少し高くなると、転送電極３Ｂ下
に蓄積されている信号電伺が一部転送電極３Ａ下に移動
して信号電萄に混合が起こる。
なお、多線読出しをしない時は、転送電極３Ａ，３Ｂか
らなる一転送段に一つの信号電荷が蓄積されるのみであ
って、例えば駆動パルスφ＾をハイ、駆動パルスφＢを
ロウとして転送電極φ＾下に蓄積することができ、クロ
ックパルス振幅分だけのノイズマージンが有り、上述の
ような問題は起きにくい。
らなる一転送段に一つの信号電荷が蓄積されるのみであ
って、例えば駆動パルスφ＾をハイ、駆動パルスφＢを
ロウとして転送電極φ＾下に蓄積することができ、クロ
ックパルス振幅分だけのノイズマージンが有り、上述の
ような問題は起きにくい。
本発明は上記事情を考慮してなされたものであって、信
号電荷を正確に読出すことができる固体撮像装置及びそ
の駆動方法を提供することを目的とする。
号電荷を正確に読出すことができる固体撮像装置及びそ
の駆動方法を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
第１の発明は、各々が光信号に応じた信号電荷を蓄積す
る複数の画素と、各々が所定の駆動パルスに基づいて信
号電荷を転送する複数の転送電極を有する第１および第
２の？ｉ！ ｒａｊ転送部と、複数の画素に蓄積された
信号電荷を所定の駆動パルスに基づいて第１の電荷転送
部の所定の転送電極下に移送するシフトゲートと、第１
の電荷転送部の所定の転送電極下の信号電荷を所定の駆
動パルスに基づいて第２９電荷転送部の所定の転送電極
下に移送するトランファゲートとを備えている固体撮像
装置において、シフトゲートからトランスファゲートへ
向う方向の第１の電荷転送部下の電位分布が前記シフト
ゲートからトランスファゲートに向うにつれて深くなっ
ているとともに、シフトゲート下の電位分布が画素から
第１の電荷転送部に向うにつれて深くなっていることを
特徴とする。
る複数の画素と、各々が所定の駆動パルスに基づいて信
号電荷を転送する複数の転送電極を有する第１および第
２の？ｉ！ ｒａｊ転送部と、複数の画素に蓄積された
信号電荷を所定の駆動パルスに基づいて第１の電荷転送
部の所定の転送電極下に移送するシフトゲートと、第１
の電荷転送部の所定の転送電極下の信号電荷を所定の駆
動パルスに基づいて第２９電荷転送部の所定の転送電極
下に移送するトランファゲートとを備えている固体撮像
装置において、シフトゲートからトランスファゲートへ
向う方向の第１の電荷転送部下の電位分布が前記シフト
ゲートからトランスファゲートに向うにつれて深くなっ
ているとともに、シフトゲート下の電位分布が画素から
第１の電荷転送部に向うにつれて深くなっていることを
特徴とする。
又、第２の発明による固体撮像装置の駆動方法は、第１
の発明の固体撮像装置において、画素下に蓄積された信
号電荷のうち第１の電荷転送部までしか移送されない信
号電荷を第１群の信号電荷とし、第１の電荷転送部の所
定の転送電極およびトランスファゲートを介して第２の
電荷転送部まで移送される信号電荷を第２群の信号電荷
とした時、第２群の信号電荷が第１の電荷転送部および
トランスファゲートを介して第２の電荷転送部に移送さ
れる動作が終了するまで第１群の信号電荷をシフトゲー
ト下に蓄積し、上記動作が終了した後第１群の信号電荷
を第１の電荷転送部に移送させることを特徴とする。
の発明の固体撮像装置において、画素下に蓄積された信
号電荷のうち第１の電荷転送部までしか移送されない信
号電荷を第１群の信号電荷とし、第１の電荷転送部の所
定の転送電極およびトランスファゲートを介して第２の
電荷転送部まで移送される信号電荷を第２群の信号電荷
とした時、第２群の信号電荷が第１の電荷転送部および
トランスファゲートを介して第２の電荷転送部に移送さ
れる動作が終了するまで第１群の信号電荷をシフトゲー
ト下に蓄積し、上記動作が終了した後第１群の信号電荷
を第１の電荷転送部に移送させることを特徴とする。
（作 用）
このように構成された第１の発明の固体撮像装置によれ
ば、シフトゲートからトランスファゲートヘ向う方向の
第１の電Ｇｊ転送部下の電位分布がシフトゲートからト
ランスファゲートに向うにつれて深くなっているととも
に、シフトゲート下の電位分布が画素から第１の電ａｊ
転送部に向うにつれて深くなっている。これにより信号
電荷の混合が生じるのを可及的に防止することが可能と
なり、信号電萄を正確に読出すことができる。
ば、シフトゲートからトランスファゲートヘ向う方向の
第１の電Ｇｊ転送部下の電位分布がシフトゲートからト
ランスファゲートに向うにつれて深くなっているととも
に、シフトゲート下の電位分布が画素から第１の電ａｊ
転送部に向うにつれて深くなっている。これにより信号
電荷の混合が生じるのを可及的に防止することが可能と
なり、信号電萄を正確に読出すことができる。
又、上述のように構威された第２の発明の固体撮像装置
の駆動方法によれば、第コの電荷転送部およびトランス
ファゲートを介して第２群の信号電荷が第２の電荷転送
部に移送される動作が終了するまで第１群の信号電荷が
シフトゲート下に蓄積され、上記動作が終了した後節１
群の信号電荷が第１の電荷転送部に移送される。これに
より信号電荷の混合が生じるのを可及的に防止すること
が可能となり、信号電荷を正確に読出すことができる。
の駆動方法によれば、第コの電荷転送部およびトランス
ファゲートを介して第２群の信号電荷が第２の電荷転送
部に移送される動作が終了するまで第１群の信号電荷が
シフトゲート下に蓄積され、上記動作が終了した後節１
群の信号電荷が第１の電荷転送部に移送される。これに
より信号電荷の混合が生じるのを可及的に防止すること
が可能となり、信号電荷を正確に読出すことができる。
（実施例）
本発明による固体撮像装置の一実施例を２線読出しセン
サを例にとって第１図乃至第３図を参照して説明する。
サを例にとって第１図乃至第３図を参照して説明する。
第１図（Ａ）及び（Ｂ）は、各々第４図に示す切断＄ｌ
Ａ−Ａ及びＢ−Ｂで切断した場合の本大施例の断面図で
あり、第１図（Ｃ）及び（Ｄ）は各々切断線Ａ−Ａ及び
Ｂ−Ｂに沿う本実施例の電位井戸を示すグラフである。
Ａ−Ａ及びＢ−Ｂで切断した場合の本大施例の断面図で
あり、第１図（Ｃ）及び（Ｄ）は各々切断線Ａ−Ａ及び
Ｂ−Ｂに沿う本実施例の電位井戸を示すグラフである。
第２図は本実施例の固体撮像装置を駆動する駆動パルス
のタイミングチャートである。第３図は第２図に示す駆
動パルスが印加されたときの信号電荷の移送状態を説明
する図である。
のタイミングチャートである。第３図は第２図に示す駆
動パルスが印加されたときの信号電荷の移送状態を説明
する図である。
本実施例の固体撮像装置は第４図に示す固体撮像装置に
おいて、第１図（Ｃ）及び（Ｄ）の破線部に示すように
シフトゲート２を介して信号電荷を受けるＣＣＤレジス
タ３の転送電極下にシフトゲート２への信号電荷の逆流
を防止するためのポテンシャル障壁を設けるとともに、
シフトゲート２、ＣＣＤレジスタ３．５の転送電極３Ａ
．５Ａ．トランスファゲート４、及びＣＣＤレジスタ３
．５の転送電極に第２図に示す駆動パルスＳＨ，φ
ＴＲ，及びφ８を各々印加したものである。
おいて、第１図（Ｃ）及び（Ｄ）の破線部に示すように
シフトゲート２を介して信号電荷を受けるＣＣＤレジス
タ３の転送電極下にシフトゲート２への信号電荷の逆流
を防止するためのポテンシャル障壁を設けるとともに、
シフトゲート２、ＣＣＤレジスタ３．５の転送電極３Ａ
．５Ａ．トランスファゲート４、及びＣＣＤレジスタ３
．５の転送電極に第２図に示す駆動パルスＳＨ，φ
ＴＲ，及びφ８を各々印加したものである。
Ａ’
すなわち、第２図に示すように時刻１１において駆動パ
ルスφＡのみをハイレベル状態にしておき、次の時刻１
（＞１）に駆動パルスφＡをハイ２ｌ レヘル状態に保つとともに駆動パルスφＢを除いて駆動
パルスＳＨ，ＴＲをハイレベル状態にする。
ルスφＡのみをハイレベル状態にしておき、次の時刻１
（＞１）に駆動パルスφＡをハイ２ｌ レヘル状態に保つとともに駆動パルスφＢを除いて駆動
パルスＳＨ，ＴＲをハイレベル状態にする。
すると、画素１に蓄積された信号電荷はシフトゲート２
下に移送される（第３図参照）。 次の時刻１ （＞
１２）に駆動パルスφＡ及びＴＲをノ＼３ イレベル状態に、駆動パルスφＢをロウレベル状態に保
つとともに駆動パルスＳＨをロウレベル状態にする（第
２図参照）。すると、第４図に示すＡ−Ａ断面において
は、シフトゲート２下からＣＣＤレジスタ３の転送電極
３Ａ下に信号電荷が移送されるが（第３図の黒丸参照）
、第４図に示すＢ−Ｂ断面においては、信号電荷は依然
シフトゲート２下に蓄積されるままとなる（第３図の白
丸参照）。
下に移送される（第３図参照）。 次の時刻１ （＞
１２）に駆動パルスφＡ及びＴＲをノ＼３ イレベル状態に、駆動パルスφＢをロウレベル状態に保
つとともに駆動パルスＳＨをロウレベル状態にする（第
２図参照）。すると、第４図に示すＡ−Ａ断面において
は、シフトゲート２下からＣＣＤレジスタ３の転送電極
３Ａ下に信号電荷が移送されるが（第３図の黒丸参照）
、第４図に示すＢ−Ｂ断面においては、信号電荷は依然
シフトゲート２下に蓄積されるままとなる（第３図の白
丸参照）。
次に時刻ｔ （〉ｔ３）に駆動バルスＴＲをノ＼４
イレベル状態に、駆動パルスＳＨ， φＢをロウレベル
状態に保ち、駆動パルスφＡをロウレベル状態にする。
状態に保ち、駆動パルスφＡをロウレベル状態にする。
するとＡ−Ａ断面においては、信号電荷はＣＣＤレジス
タ３の転送電極３Ａ下からトランスファゲート４下に移
送されるが（第３図の黒丸参照）、Ｂ−Ｂ断面において
は、信号電荷は依然シフトゲート２下に蓄積されたまま
である。
タ３の転送電極３Ａ下からトランスファゲート４下に移
送されるが（第３図の黒丸参照）、Ｂ−Ｂ断面において
は、信号電荷は依然シフトゲート２下に蓄積されたまま
である。
次に時刻ｔ （ ＞ ｔ ４ ）に駆動ノくルスＴＲ
を口５ ウレベル状態にして、総ての駆動パルスφＡ，φＢ％Ｓ
Ｈ，ＴＲをロウレベル状態にする（第２図参照）。トラ
ンスファゲート４のロウレベルがＣＣＤレジスタ５の転
送電極５Ａのロウレベルよりも浅いため、Ａ−Ａ断面に
おいては、信号電荷はトランスファゲート４下からＣＣ
Ｄレジスタ５の転送電極５Ａ下に移送されるが（第３図
の黒丸参照）、Ｂ−Ｂ断面においては、信号電荷は依然
シフトゲート２下に蓄積されたままとなっている（第３
図の白丸参照）。
を口５ ウレベル状態にして、総ての駆動パルスφＡ，φＢ％Ｓ
Ｈ，ＴＲをロウレベル状態にする（第２図参照）。トラ
ンスファゲート４のロウレベルがＣＣＤレジスタ５の転
送電極５Ａのロウレベルよりも浅いため、Ａ−Ａ断面に
おいては、信号電荷はトランスファゲート４下からＣＣ
Ｄレジスタ５の転送電極５Ａ下に移送されるが（第３図
の黒丸参照）、Ｂ−Ｂ断面においては、信号電荷は依然
シフトゲート２下に蓄積されたままとなっている（第３
図の白丸参照）。
次に時刻１（＞１）に駆動パルスφＢのみ６５
をハイレベル状態にする。すると、Ｂ−Ｂ断面において
シフトゲート２下に蓄積されたままとなっていた信号電
荷はＣＣＤレジスタ３の転送電極３Ｂ下に移送される（
第３図の白丸参照）。
シフトゲート２下に蓄積されたままとなっていた信号電
荷はＣＣＤレジスタ３の転送電極３Ｂ下に移送される（
第３図の白丸参照）。
以上説明したように本実施例によればシフトゲート２下
の信号電荷を転送電極φえ側だけ選択的に読出すことが
可能となり、これにより信号’１１１ ｆａｒの混合が
生じるのを可及的に防止することができ、信号電荷を正
確に読出すことができる。
の信号電荷を転送電極φえ側だけ選択的に読出すことが
可能となり、これにより信号’１１１ ｆａｒの混合が
生じるのを可及的に防止することができ、信号電荷を正
確に読出すことができる。
なお、上記実施例においては、ＣＣＤレジスタ３の転送
電極３Ａ，３Ｂ下にシフトゲート２への信号電荷の逆流
を防止．するためポテンシャル井戸を設けたが、シフト
ゲート２からトランスファゲ−｝４１．：向うにつれて
ＣＣＤレジスタ３の電位分布が深くなっており、かつ画
素１からＣＯＤレジスタ３に向うにつれてシフトゲート
２下の電位分布が深くなっていても、上記実施例と同様
の効果を得ることができる。
電極３Ａ，３Ｂ下にシフトゲート２への信号電荷の逆流
を防止．するためポテンシャル井戸を設けたが、シフト
ゲート２からトランスファゲ−｝４１．：向うにつれて
ＣＣＤレジスタ３の電位分布が深くなっており、かつ画
素１からＣＯＤレジスタ３に向うにつれてシフトゲート
２下の電位分布が深くなっていても、上記実施例と同様
の効果を得ることができる。
本発明によれば信号電荷の混合が生じるのを可及的に防
止することが可能となり、信号電荷を正確に読出すこと
ができる。
止することが可能となり、信号電荷を正確に読出すこと
ができる。
第１図（Ａ）゜及びＣＢ）は本発明による固体撮像装置
の所定の断面における断面図、第１図（Ｃ）及びＣＤ）
は各々第１図（Ａ）及び（Ｂ）に示す断面における本発
明による固体撮像装置の電位井戸を表すグラフ、第２図
は本発明による固体撮像装置を駆動する駆動パルスのタ
イミングチャート、第３図は第２図に示す駆動パルスが
印加されたときの本発明の固体撮像装置の信号電荷の移
送状態を説明する説明図、第４図は２線読出しセンサの
構或を示すブロック図、第５図（Ａ）及び（Ｂ）は各々
第４図に示す切断線Ａ−Ａ及びＢ−Ｂで切断した場合の
従来の固体撮像装置の断面図、第５図（Ｃ）及び（Ｄ）
は第５図（Ａ）及び（Ｂ）に示す断面における従来の固
体撮像装置の電位井戸を表すグラフ、第６図は従来の固
体撮像装置を駆動する駆動パルスのタイミングチャート
、第７図は第６図に示す駆動パルスが印加されたときの
従来の固体撮像装置における信号電荷の移送状態を説明
する説明図である。 １・・・画素、２・・・シフトゲート、３，５・・・Ｃ
ＣＤレジスタ、４・・・トランスファゲート。
の所定の断面における断面図、第１図（Ｃ）及びＣＤ）
は各々第１図（Ａ）及び（Ｂ）に示す断面における本発
明による固体撮像装置の電位井戸を表すグラフ、第２図
は本発明による固体撮像装置を駆動する駆動パルスのタ
イミングチャート、第３図は第２図に示す駆動パルスが
印加されたときの本発明の固体撮像装置の信号電荷の移
送状態を説明する説明図、第４図は２線読出しセンサの
構或を示すブロック図、第５図（Ａ）及び（Ｂ）は各々
第４図に示す切断線Ａ−Ａ及びＢ−Ｂで切断した場合の
従来の固体撮像装置の断面図、第５図（Ｃ）及び（Ｄ）
は第５図（Ａ）及び（Ｂ）に示す断面における従来の固
体撮像装置の電位井戸を表すグラフ、第６図は従来の固
体撮像装置を駆動する駆動パルスのタイミングチャート
、第７図は第６図に示す駆動パルスが印加されたときの
従来の固体撮像装置における信号電荷の移送状態を説明
する説明図である。 １・・・画素、２・・・シフトゲート、３，５・・・Ｃ
ＣＤレジスタ、４・・・トランスファゲート。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、各々が光信号に応じた信号電荷を蓄積する複数の画
素と、各々が所定の駆動パルスに基づいて信号電荷を転
送する複数の転送電極を有する第１および第２の電荷転
送部と、前記複数の画素に蓄積された信号電荷を所定の
駆動パルスに基づいて前記第１の電荷転送部の所定の転
送電極下に移送するシフトゲートと、前記第１の電荷転
送部の所定の転送電極下の信号電荷を所定の駆動パルス
に基づいて前記第２の電荷転送部の所定の転送電極下に
移送するトランファゲートとを備えている固体撮像装置
において、 前記シフトゲートからトランスファゲートへ向う方向の
前記第１の電荷転送部下の電位分布が前記シフトゲート
からトランスファゲートに向うにつれて深くなっている
とともに、前記シフトゲート下の電位分布が前記画素か
ら第１の電荷転送部に向うにつれて深くなっていること
を特徴とする固体撮像装置。 ２、請求項１記載の固体撮像装置において、前記画素下
に蓄積された信号電荷のうち前記第１の電荷転送部まで
しか移送されない信号電荷を第１群の信号電荷とし、前
記第１の電荷転送部の所定の転送電極およびトランスフ
ァゲートを介して前記第２の電荷転送部まで移送される
信号電荷を第２群の信号電荷とした時、前記第２群の信
号電荷が前記第１の電荷転送部およびトランスファゲー
トを介して前記第２の電荷転送部に移送される動作が終
了するまで前記第１群の信号電荷を前記シフトゲート下
に蓄積し、上記動作が終了した後前記第１群の信号電荷
を前記第１の電荷転送部に移送させることを特徴とする
固体撮像装置の駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1311005A JPH03171771A (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1311005A JPH03171771A (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03171771A true JPH03171771A (ja) | 1991-07-25 |
Family
ID=18011979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1311005A Pending JPH03171771A (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03171771A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0587179A2 (en) * | 1992-09-11 | 1994-03-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Charge transfer device |
| US5777672A (en) * | 1991-05-03 | 1998-07-07 | Thomson Composants Militaires Et Spatiaux | Photosensitive device with juxtaposed reading registers |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP1311005A patent/JPH03171771A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777672A (en) * | 1991-05-03 | 1998-07-07 | Thomson Composants Militaires Et Spatiaux | Photosensitive device with juxtaposed reading registers |
| EP0587179A2 (en) * | 1992-09-11 | 1994-03-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Charge transfer device |
| EP0587179A3 (en) * | 1992-09-11 | 1995-08-16 | Toshiba Kk | Charge transfer device |
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