JPH0370375A - 固体撮像素子の駆動方法 - Google Patents
固体撮像素子の駆動方法Info
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- JPH0370375A JPH0370375A JP1208137A JP20813789A JPH0370375A JP H0370375 A JPH0370375 A JP H0370375A JP 1208137 A JP1208137 A JP 1208137A JP 20813789 A JP20813789 A JP 20813789A JP H0370375 A JPH0370375 A JP H0370375A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
くイ〉産業上の利用分野
本発明はフレームトランスファ方式のＣＣＤ固体撮像素
子の駆動方法に関する。
子の駆動方法に関する。
（口〉従来の技術
従来、高解像度の要求されるビデオカメラ等の撮像装置
に於いては、装置に搭載されるＣＣＤ固体撮像素子の受
光画素の情報を１フイールド毎に偶数行と奇数行とを交
互に読出して映像信号を得る所謂インクレース駆動が行
われ、垂直方向の解像度の向上が図られている。
に於いては、装置に搭載されるＣＣＤ固体撮像素子の受
光画素の情報を１フイールド毎に偶数行と奇数行とを交
互に読出して映像信号を得る所謂インクレース駆動が行
われ、垂直方向の解像度の向上が図られている。
ところで、フレームトランスファ方式のＣＣＤ固体撮像
素子の場合、情報電荷が受光画素中を転送して読出され
るため、各受光画素に複数のフィールドに亘って情報電
荷を蓄積することができず、偶数行と奇数行との受光画
素から交互に情報電荷を読出すことはできない。そこで
、第３図に示す如く、行列配置された受光画素ａ、ｂに
対して、奇数フィールドＥでは２ｎ−１（ｎは整数）行
の画素と２ｎ行の画素との情報電荷を混合し、偶数フィ
ールド０では２ｎ行の画素と２ｎ＋１行の画素との情報
電荷を混合して映像信号を得ることでインクレース駆動
が行われる。
素子の場合、情報電荷が受光画素中を転送して読出され
るため、各受光画素に複数のフィールドに亘って情報電
荷を蓄積することができず、偶数行と奇数行との受光画
素から交互に情報電荷を読出すことはできない。そこで
、第３図に示す如く、行列配置された受光画素ａ、ｂに
対して、奇数フィールドＥでは２ｎ−１（ｎは整数）行
の画素と２ｎ行の画素との情報電荷を混合し、偶数フィ
ールド０では２ｎ行の画素と２ｎ＋１行の画素との情報
電荷を混合して映像信号を得ることでインクレース駆動
が行われる。
一方、テレビ電話やドアホン等に用いられる小規模の固
体撮像装置に於いては、インクレース駆動は行われず、
２行毎の情報電荷が混合されて読出され、映像信号を得
るように構成されている。
体撮像装置に於いては、インクレース駆動は行われず、
２行毎の情報電荷が混合されて読出され、映像信号を得
るように構成されている。
即ち、第３図に示す奇数フィールドＥ或いは偶数フィー
ルド０の何れか一方を繰り返して映像信号を得ている。
ルド０の何れか一方を繰り返して映像信号を得ている。
このような小規模の撮像装置は、装置の構成が簡単なこ
とから感度不足となる場合があり、通常の露光期間（Ｎ
ＴＳＣ方式では１７６０秒）の２倍或いは３倍といった
長時間露光が行われる。
とから感度不足となる場合があり、通常の露光期間（Ｎ
ＴＳＣ方式では１７６０秒）の２倍或いは３倍といった
長時間露光が行われる。
第４図は、３倍の長時間露光を行う場合のタイミング図
であり、第５図は蓄積期間中の固体撮像素子の撮像部の
ポテンシャル図である。固体撮像素子の転送電極は、下
層電極（ａｌ）（ａ３）と上層電極（ｂ２）（ｂ４）と
からなる２層構造を成し、夫々４相の駆動クロックφ、
〜φ４が印加される。これら駆動クロックφ、〜φ４は
、情報電荷を転送するためのクロックパルスを垂直走査
信号ＶＤのブランキング期間に有しており、３倍の長時
間露光の場合には、垂直走査期間１ｖの３周期毎にクロ
ックパルスが設定されている。即ち、第１のクロックパ
ルス（イ）に依って情報電荷が読出されてから次の第２
のクロックパルス（口〉に依って情報電荷が読出される
までが蓄積期間となる。この蓄積期間中容転送りロック
−１〜φ、は“Ｈ”（ハイレベル）又は′Ｌ”（ローレ
ベル）に固定され、例えば奇数行の受光画素ａに対応す
る転送電極（ａｌ）（ｂ２）に印加される転送りロック
φ８．φ、が“Ｈ”、偶数行の受光画素すに対応する転
送電極（ａ３）（ｂ４）に印加される転送りロック値１
．φ、がＬ １％に固定されて第５図に示すように奇数
行の受光画素ａにポテンシャル井戸が形成される。従っ
て、偶数行の受光画素すに発生した情報電荷は、図中矢
印の如く奇数行の受光画１（ａに流れ、垂直方向の２画
素の情報電荷が混合される。
であり、第５図は蓄積期間中の固体撮像素子の撮像部の
ポテンシャル図である。固体撮像素子の転送電極は、下
層電極（ａｌ）（ａ３）と上層電極（ｂ２）（ｂ４）と
からなる２層構造を成し、夫々４相の駆動クロックφ、
〜φ４が印加される。これら駆動クロックφ、〜φ４は
、情報電荷を転送するためのクロックパルスを垂直走査
信号ＶＤのブランキング期間に有しており、３倍の長時
間露光の場合には、垂直走査期間１ｖの３周期毎にクロ
ックパルスが設定されている。即ち、第１のクロックパ
ルス（イ）に依って情報電荷が読出されてから次の第２
のクロックパルス（口〉に依って情報電荷が読出される
までが蓄積期間となる。この蓄積期間中容転送りロック
−１〜φ、は“Ｈ”（ハイレベル）又は′Ｌ”（ローレ
ベル）に固定され、例えば奇数行の受光画素ａに対応す
る転送電極（ａｌ）（ｂ２）に印加される転送りロック
φ８．φ、が“Ｈ”、偶数行の受光画素すに対応する転
送電極（ａ３）（ｂ４）に印加される転送りロック値１
．φ、がＬ １％に固定されて第５図に示すように奇数
行の受光画素ａにポテンシャル井戸が形成される。従っ
て、偶数行の受光画素すに発生した情報電荷は、図中矢
印の如く奇数行の受光画１（ａに流れ、垂直方向の２画
素の情報電荷が混合される。
（ハ）発明が解決しようとする課題
上述の如き固体撮像装置に於いては、１画素分の映像信
号を得るために受光画素２画素分の情報電荷が合成され
るが、インクレース駆動が行われない場合、合成される
受光画素の組合せが固定されることから、感度形状が夫
々独立となるため、Ｍ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ
ｔｒａｎｓｆｅｒ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ）がナイキス
ト限界以上で高くなる。このＭＴＦは固体撮像素子の解
像度に対応するもので、受光画素の幅Ｗと実際の感度形
状の幅Ｘとの比Ｘ／Ｗや映像信号の周期の関数で表わさ
れ、Ｘ／Ｗが大きいほどその値が小さくなる。即ち、映
像信号の周期がナイキスト限界を超えたとき、ＭＴＦが
大きいと映像信号の処理が信号想理回路（特にサンプル
ホールド回路）で忠実に行われなくなり、モアレの発生
を招き、再生画面の画質を著しく低下させることとなる
。
号を得るために受光画素２画素分の情報電荷が合成され
るが、インクレース駆動が行われない場合、合成される
受光画素の組合せが固定されることから、感度形状が夫
々独立となるため、Ｍ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ
ｔｒａｎｓｆｅｒ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ）がナイキス
ト限界以上で高くなる。このＭＴＦは固体撮像素子の解
像度に対応するもので、受光画素の幅Ｗと実際の感度形
状の幅Ｘとの比Ｘ／Ｗや映像信号の周期の関数で表わさ
れ、Ｘ／Ｗが大きいほどその値が小さくなる。即ち、映
像信号の周期がナイキスト限界を超えたとき、ＭＴＦが
大きいと映像信号の処理が信号想理回路（特にサンプル
ホールド回路）で忠実に行われなくなり、モアレの発生
を招き、再生画面の画質を著しく低下させることとなる
。
また、通常のＣＯＤ固体撮像素子では、暗電流の低減等
を目的として転送電極が負電位となるように駆動される
。このため、転送りロックφ１〜φ４は、第６図に示す
ようなりランプ回路を用い、例えばＯｖ〜ＩＯＶの間で
変化するクロックパルスを一８ｖ〜２ｖの間にシフトし
て負電位を得ている。このようなりランプ回路は、直列
接続された抵抗（Ｒ）及びコンデンサ（Ｃ１）と抵抗（
Ｒ）に並列して接続されたダイオード（Ｄ＞と入力側に
直列に接続されたコンデンサ（Ｃ２）からなるもので、
入力されるクロックφ、の最高レベルを抵抗（Ｒ）とコ
ンデンサ（Ｃ１〉との間に与えられるクランプ電位ｖｃ
Ｌに引き下げ、クロックφ１８の変動分はそのまま伝え
てクロックφ。ｕｌを出力する。
を目的として転送電極が負電位となるように駆動される
。このため、転送りロックφ１〜φ４は、第６図に示す
ようなりランプ回路を用い、例えばＯｖ〜ＩＯＶの間で
変化するクロックパルスを一８ｖ〜２ｖの間にシフトし
て負電位を得ている。このようなりランプ回路は、直列
接続された抵抗（Ｒ）及びコンデンサ（Ｃ１）と抵抗（
Ｒ）に並列して接続されたダイオード（Ｄ＞と入力側に
直列に接続されたコンデンサ（Ｃ２）からなるもので、
入力されるクロックφ、の最高レベルを抵抗（Ｒ）とコ
ンデンサ（Ｃ１〉との間に与えられるクランプ電位ｖｃ
Ｌに引き下げ、クロックφ１８の変動分はそのまま伝え
てクロックφ。ｕｌを出力する。
このようなりランプ回路に於いては、転送りロックの′
Ｈ”の期間をクランプして負電位のクロックを得ている
ことから、第４図に示す転送りロックφ、、φ４をクラ
ンプする場合、“Ｈ”の期間が極めて短いために安定し
たクランプができず、従って均一な転送りロックが供給
できない。
Ｈ”の期間をクランプして負電位のクロックを得ている
ことから、第４図に示す転送りロックφ、、φ４をクラ
ンプする場合、“Ｈ”の期間が極めて短いために安定し
たクランプができず、従って均一な転送りロックが供給
できない。
特に、露光期間・が長くなると転送りロックがＩｌｌ
Ｌ Ｈに固定される期間が長くなるため問題となる。
Ｌ Ｈに固定される期間が長くなるため問題となる。
上述の如きクランプ回路を用いず、予め負′ｗｔｓを用
いて転送りロックを作成することも考えられるが、少な
くとも２種類の電源を必要とすることから、回路の構成
上好ましくない。
いて転送りロックを作成することも考えられるが、少な
くとも２種類の電源を必要とすることから、回路の構成
上好ましくない。
そこで本発明は、インクレース駆動を行わない固体撮像
装置に於いて、安定した転送りロックをＣＣＤ固体撮像
素子に供給すると共に、ＭＴＦを低下させてモアレの発
生を抑圧することを目的とする。
装置に於いて、安定した転送りロックをＣＣＤ固体撮像
素子に供給すると共に、ＭＴＦを低下させてモアレの発
生を抑圧することを目的とする。
（ニ）課題を解決するための手段
水平及び垂直方向に行列配置された複数の受光画素に夫
々蓄積される情報電荷を垂直方向の２画素毎に混合し、
画面単位で連続する映像信号を得るＣＣｌ７固体撮像素
子の駆動方法に於いて、一画面の情報電荷を蓄積する露
光期間中の第１の期間に２ｎ−１（ｎは整数）行の受光
画素に発生する情報電荷を２ｎ行の受光画素に発生する
情報電荷と混合すると共に、露光期間中の残余の第２の
期間に２ｎ行の受光画素に発生する情報電荷を２ｎ＋１
行の受光画素に発生する情報電荷と混合し、上記第１及
び第２の期間に混合した情報電荷を読出駆動して映像信
号を得ることを特徴とする。
々蓄積される情報電荷を垂直方向の２画素毎に混合し、
画面単位で連続する映像信号を得るＣＣｌ７固体撮像素
子の駆動方法に於いて、一画面の情報電荷を蓄積する露
光期間中の第１の期間に２ｎ−１（ｎは整数）行の受光
画素に発生する情報電荷を２ｎ行の受光画素に発生する
情報電荷と混合すると共に、露光期間中の残余の第２の
期間に２ｎ行の受光画素に発生する情報電荷を２ｎ＋１
行の受光画素に発生する情報電荷と混合し、上記第１及
び第２の期間に混合した情報電荷を読出駆動して映像信
号を得ることを特徴とする。
（ホ〉作用
本発明に依れば、受光画素の幅Ｗに対して感度形状の幅
Ｘが広くなることからＸ／Ｗの値が大きくなり、ＭＦＴ
が低下するため、映像信号の処理が忠実に行われ、モア
レの発生が抑圧される。
Ｘが広くなることからＸ／Ｗの値が大きくなり、ＭＦＴ
が低下するため、映像信号の処理が忠実に行われ、モア
レの発生が抑圧される。
また、転送りロックを露光期間の途中で反転させている
ため、何れのクロックも一定期間高レベルとなり、この
高レベルの期間をクランプして負電位の転送りロックを
得るクランプ回路を安定して動作させることができ、均
一な転送りロックを固体撮像素子に供給できる。
ため、何れのクロックも一定期間高レベルとなり、この
高レベルの期間をクランプして負電位の転送りロックを
得るクランプ回路を安定して動作させることができ、均
一な転送りロックを固体撮像素子に供給できる。
（へ〉実施例
本発明の一実施例を図面に従って説明する。
第１図は本発明駆動方法を説明するためのタイミング図
であり、第２図はＣＣＤ固体撮像素子内のボテンシヶル
図である。
であり、第２図はＣＣＤ固体撮像素子内のボテンシヶル
図である。
ＣＣＤ固体撮像素子は、下層電極（ａｔ）（ａ３）及び
上層電極（ｂ２）（ｂ４）からなる２層構造を或し、各
電極（ａｌ）（ｂ２）（ａ３）（ｂ４）に４相の駆動ク
ロックφ、〜φ４が夫々供給される。このＣＣＤ固体撮
像素子の構成自体は、第５図と同一であり、垂直方向の
２画素分の情報電荷を合成するように構成されている。
上層電極（ｂ２）（ｂ４）からなる２層構造を或し、各
電極（ａｌ）（ｂ２）（ａ３）（ｂ４）に４相の駆動ク
ロックφ、〜φ４が夫々供給される。このＣＣＤ固体撮
像素子の構成自体は、第５図と同一であり、垂直方向の
２画素分の情報電荷を合成するように構成されている。
本発明の特徴とするところは、転送りロックφ１〜φ４
を露光期間の途中で反転させることにある。即ち、露光
期間中の第１の期間Ｔ、に於いては、転送りロックφ、
φ、が′Ｈ”°、転送りロックφ３．φ４が“Ｉ、 Ｉ
Ｔに設定され、残りの露光期間の第２の期間Ｔ、に於い
ては、転送りロックφ１゜φ、が“Ｌ″、転送りロック
φ１φ４が“ＨＩＩに設定される。従って、第１の期間
Ｔｔで奇数行の受光画素ａに２画素分の情報電荷が蓄積
され、続く第２の期間で第１の期間に蓄積された情報電
荷を隣接する偶数行の受光画素すに転送すると共にこの
受光画素すに２画素分の情報電荷が蓄積される。そして
、垂直走査信号ＶＤのブランキング期間に設定されるク
ロックパルス（イ）に依って読出駆動される。従って、
第１の期間Ｔ、から第２の期間Ｔ、に亘って奇数行の受
光画素ａに発生した情報電荷と、第１の期間Ｔ、に受光
画素ａの一方に隣接する受光画素すに発生した情報電荷
と、第２の期間Ｔ、に受光画素ａの他方に隣接する受光
画素すに発生した情報電荷とが混合され、感度形状は３
画素に亘ることになる。このため、受光画素の幅Ｗ、！
：感度形状の幅Ｘとの比Ｘ／Ｗが従来の１．５倍となり
、ＭＴＦは特にナイキスト限界以上で小さくなることか
ら、モアレの発生が抑圧される。
を露光期間の途中で反転させることにある。即ち、露光
期間中の第１の期間Ｔ、に於いては、転送りロックφ、
φ、が′Ｈ”°、転送りロックφ３．φ４が“Ｉ、 Ｉ
Ｔに設定され、残りの露光期間の第２の期間Ｔ、に於い
ては、転送りロックφ１゜φ、が“Ｌ″、転送りロック
φ１φ４が“ＨＩＩに設定される。従って、第１の期間
Ｔｔで奇数行の受光画素ａに２画素分の情報電荷が蓄積
され、続く第２の期間で第１の期間に蓄積された情報電
荷を隣接する偶数行の受光画素すに転送すると共にこの
受光画素すに２画素分の情報電荷が蓄積される。そして
、垂直走査信号ＶＤのブランキング期間に設定されるク
ロックパルス（イ）に依って読出駆動される。従って、
第１の期間Ｔ、から第２の期間Ｔ、に亘って奇数行の受
光画素ａに発生した情報電荷と、第１の期間Ｔ、に受光
画素ａの一方に隣接する受光画素すに発生した情報電荷
と、第２の期間Ｔ、に受光画素ａの他方に隣接する受光
画素すに発生した情報電荷とが混合され、感度形状は３
画素に亘ることになる。このため、受光画素の幅Ｗ、！
：感度形状の幅Ｘとの比Ｘ／Ｗが従来の１．５倍となり
、ＭＴＦは特にナイキスト限界以上で小さくなることか
ら、モアレの発生が抑圧される。
また、各転送りロックφ１〜φ４は、露光期間中の第１
の期間Ｔ、或いは第２の期間Ｔ、の何れかの期間に“Ｈ
ＩＩとなるために、第６図の如きクランプ回路に依って
転送りロックφ、〜φ４が安定してクランプされる。従
って負電源を用いることなく負電位の均一な転送りロッ
クが得られ、情報電荷を効率良く蓄積転送することがで
きる。各転送りロックφ１〜φ、は、蓄積期間中の“Ｌ
１１の期間が短い方が安定してクランプできることか
ら、転送クロツタの反転するタイミングは露光期間の中
間点付近とし、第１の期間Ｔ□と第２の期間Ｔ、とが略
等しくなるようにすることが好ましい。
の期間Ｔ、或いは第２の期間Ｔ、の何れかの期間に“Ｈ
ＩＩとなるために、第６図の如きクランプ回路に依って
転送りロックφ、〜φ４が安定してクランプされる。従
って負電源を用いることなく負電位の均一な転送りロッ
クが得られ、情報電荷を効率良く蓄積転送することがで
きる。各転送りロックφ１〜φ、は、蓄積期間中の“Ｌ
１１の期間が短い方が安定してクランプできることか
ら、転送クロツタの反転するタイミングは露光期間の中
間点付近とし、第１の期間Ｔ□と第２の期間Ｔ、とが略
等しくなるようにすることが好ましい。
尚、本実施例に於いては、露光期間を垂直走査期間１ｖ
の３周期分に設定した場合を例示したが、露光期間は垂
直走査期間ＩＶの整数倍であれば差支えない。
の３周期分に設定した場合を例示したが、露光期間は垂
直走査期間ＩＶの整数倍であれば差支えない。
（ト〉発明の効果
本発明に依れば、インクレース駆動を採用していない撮
像装置に於いて、モアレの発生を抑圧して再生画面の画
質の劣化を防止すると共に、ＣＣＤ固体撮像素子に安定
した駆動クロックを供給することができ、情報電荷の蓄
積転送効率の向上を図れる。
像装置に於いて、モアレの発生を抑圧して再生画面の画
質の劣化を防止すると共に、ＣＣＤ固体撮像素子に安定
した駆動クロックを供給することができ、情報電荷の蓄
積転送効率の向上を図れる。
第１図は本発明固体撮像素子の駆動方法を説明するタイ
ミング図、第２図は第１図に応じたポテンシャル図、第
３図は固体撮像素子の撮像部の模式図、第４図は従来の
固体撮像素子の駆動方法を説明するタイミング図、第５
図は第４図に応じたポテンシャル図、第６図は駆動クロ
ックをクランプするクランプ回路の回路図である。 （ａｌ）（ｂ２）（ａ３）（ｂ４）”・転送！極、 φ
、〜φｖ・・転送りロック。
ミング図、第２図は第１図に応じたポテンシャル図、第
３図は固体撮像素子の撮像部の模式図、第４図は従来の
固体撮像素子の駆動方法を説明するタイミング図、第５
図は第４図に応じたポテンシャル図、第６図は駆動クロ
ックをクランプするクランプ回路の回路図である。 （ａｌ）（ｂ２）（ａ３）（ｂ４）”・転送！極、 φ
、〜φｖ・・転送りロック。
Claims (2)
- （１）水平及び垂直方向に行列配置された複数の受光画
素に夫々蓄積される情報電荷を垂直方向の２画素毎に混
合し、画面単位で連続する映像信号を得るＣＣＤ固体撮
像素子の駆動方法に於いて、一画面の情報電荷を蓄積す
る露光期間中の第１の期間に２ｎ−１（ｎは整数）行の
受光画素に発生する情報電荷を２ｎ行の受光画素に発生
する情報電荷と混合すると共に、 続く露光期間中の残余の第２の期間に２ｎ行の受光画素
に発生する情報電荷を２ｎ＋１行の受光画素に発生する
情報電荷と混合し、 上記第１及び第２の期間に混合した情報電荷を読出駆動
して映像信号を得ることを特徴とする固体撮像素子の駆
動方法。 - （２）請求項第１項記載の固体撮像素子の駆動方法に於
いて、 上記露光期間を複数の垂直走査期間に亘って設定するこ
とを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208137A JPH0691634B2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 固体撮像素子の駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208137A JPH0691634B2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 固体撮像素子の駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0370375A true JPH0370375A (ja) | 1991-03-26 |
| JPH0691634B2 JPH0691634B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=16551249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1208137A Expired - Fee Related JPH0691634B2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 固体撮像素子の駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691634B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7164095B2 (en) | 2004-07-07 | 2007-01-16 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Microwave plasma nozzle with enhanced plume stability and heating efficiency |
| US7189939B2 (en) | 2004-09-01 | 2007-03-13 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Portable microwave plasma discharge unit |
| US7271363B2 (en) | 2004-09-01 | 2007-09-18 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Portable microwave plasma systems including a supply line for gas and microwaves |
| US7806077B2 (en) | 2004-07-30 | 2010-10-05 | Amarante Technologies, Inc. | Plasma nozzle array for providing uniform scalable microwave plasma generation |
-
1989
- 1989-08-10 JP JP1208137A patent/JPH0691634B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7164095B2 (en) | 2004-07-07 | 2007-01-16 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Microwave plasma nozzle with enhanced plume stability and heating efficiency |
| US7806077B2 (en) | 2004-07-30 | 2010-10-05 | Amarante Technologies, Inc. | Plasma nozzle array for providing uniform scalable microwave plasma generation |
| US7189939B2 (en) | 2004-09-01 | 2007-03-13 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Portable microwave plasma discharge unit |
| US7271363B2 (en) | 2004-09-01 | 2007-09-18 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Portable microwave plasma systems including a supply line for gas and microwaves |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0691634B2 (ja) | 1994-11-14 |
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