JPH03162544A - 塑性加工の可能な高融点金属材 - Google Patents

塑性加工の可能な高融点金属材

Info

Publication number
JPH03162544A
JPH03162544A JP30158189A JP30158189A JPH03162544A JP H03162544 A JPH03162544 A JP H03162544A JP 30158189 A JP30158189 A JP 30158189A JP 30158189 A JP30158189 A JP 30158189A JP H03162544 A JPH03162544 A JP H03162544A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
melting
metal material
refractory metal
content
impurity elements
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30158189A
Other languages
English (en)
Inventor
Michihiko Fujine
藤根 道彦
Hiroshi Noguchi
宏 野口
Hiroshi Yamada
廣志 山田
Kimitoshi Murashige
公敏 村重
Hiroshi Endo
遠藤 博司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daido Steel Co Ltd
Original Assignee
Daido Steel Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daido Steel Co Ltd filed Critical Daido Steel Co Ltd
Priority to JP30158189A priority Critical patent/JPH03162544A/ja
Publication of JPH03162544A publication Critical patent/JPH03162544A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、塑性加工の可能な高融点金属材に係り、特に
粒界強度の脆さのために加工困難とされていた、溶融・
凝固して得られるMo(モリブデン)若しくはW(タン
グステン)からなる高融点金属材において、その熱間、
温間での加工性を向上せしめる技術に関するものである
(背景技術) 近年、Mo金属やW金属は、自然界に存在するものの中
でも最も高融点の金属類に属し、高温において、比強度
に優れ、比抵抗や熱膨張係数が小さい等の特徴を有する
ものであるところから、高温耐熱材料や高温高機能材料
等としての利用が注目されてきている。
ところで、そのようなMoやWからなる高融点金属材の
製造に際しては、それら高融点金属材を溶解する場合に
、その融点以上の高温度への加熱を可能にする熱源が得
難いところから、一般に、粉末冶金による手法が採用さ
れているが、それによって得られる粉末焼結品では、塑
性加工性において充分でなく、また熱応力に弱いために
、適用範囲が限定される等の問題を内在するものであっ
た。また、近年、電子ビーム溶解や真空アーク溶解等の
加熱溶解法を採用して、MOやWの金属溶冫易を形戒し
、そしてそれからS寿造することにより、MoやWの鋳
塊、所謂溶解品( /8’aA品)を得ることも検討さ
れているが、そのような溶解品は、多結晶体であるため
に結晶粒界の強度が弱く、粒界クラックが発生して、材
料が割れる等の問題があり、そのために、鍛造、圧延等
の塑性加工は困難なものであった。
一方、かかる多結晶体の有する粒界跪性を緩和するため
に、単結晶体を製造することが考えられているが、大き
な単結晶体を得ることが難しく、工業的な実用化におい
ては採用し得る手法ではなかったのであり、またC,S
c,Re等のドーピングにより粒界脆性を緩和すること
も考えられているが、それら元素の添加によって、MO
やWからなる高融点金属材自体の品質が低下する恐れも
あり、有効な手法として採用し得るものではなかったの
である。
そこで、本発明者らは、かかるMoやWの溶解品からな
る多結晶体の粒界脆性を改善し、その塑性加工を可能な
らしめるために、種々検討した結果、そのような粒界脆
性は、溶解品の凝固形態に関係なく、結晶粒界に偏析す
る不純物によって大きな影響を受け、そしてそのような
不純物を低減せしめることによって、効果的に問題解決
し得ることを見い出したのである。
(解決課題) 本発明は、かかる知見に基づいて完成されたものであっ
て、その課題とするところは、工業的に有利に製造する
ことの出来る、塑性加工の可能なMo若しくはWからな
る高融点金属材を提供することにある。
(解決手段) そして、本発明は、かかる課題解決のために、溶融・凝
固して得られるMo若しくはWからなる高融点金属材に
おいて、金属系不純物元素の各成分の含有量を、それぞ
れ、lppm以下としたことを特徴とするものである。
また、本発明にあっては、かかる高融点金属材に含まれ
るガス系不純物元素の含有量も低減せしめることが望ま
しく、それによって、本発明の目的はより一層有利に達
或されるのである。なお、そのようなガス系不純物元素
としては、C,N,○等があり、それらの中で、Cは3
0ppm以下、Nは30ppm以下、Oは10ppm以
下とされることとなる。
(作用・効果) このように、本発明は、溶融・凝固して得られるMo若
しくはWの溶解品(溶製品)に含まれる金属系不純物元
素、代表的にはNa,K,Mg,Ca,Cr,Mn,F
e,Co,Ni,Cu,Alの含有量をそれぞれlpp
m以下として、かかる溶解品の高純度化を図ったもので
あり、当然のことながら、その他の不純物元素であるZ
r,V,Zn,As,Se,Ag,Sn,Sb,Pb等
もlppm以下とされるものであり、これによって、溶
製して得られるMo若しくはW金属材料が、多結晶体で
あっても、その結晶粒界に偏析する不純物を低減せしめ
、以て粒界強度の向上を図り得ることとなったのである
また、本発明者らの゛検討によれば、C, N,  ○
等のガス系不純物元素も粒界割れに関与することが認め
られ、それ故、本発明にあっては、それら元素をも、前
述の如く低減せしめて、それによって粒界強度の向上に
寄与せしめたのである。
従って、本発明によって得られた高純度のMO溶解品(
多結晶品)と従来のMO粉末焼結品について、第1図に
は引張特性の温度変化が、また第2図には板厚と加工温
度の関係が示されるように、従来の粉末焼結品よりも本
発明品の方が低温で伸び易く、従って加工し易いことは
明らかであり、また第2図からも明らかなように、低温
度での圧延操作が可能となるのである。
このように、本発明に従う溶融・凝固して得られたMo
若しくはW金属の溶解品は、その粒界強度の脆性が改善
され、以て鍛造・圧延等の塑性加工が容易に施され得る
ものであり、しかもそのような高融点金属材は、多結晶
体であっても、高純度化すれば足りるものであるところ
から、工業的に有利に製造され得るものである。
(具体的構戒) ところで、かくの如き本発明に従うMO若しくはWから
なる高融点金属材の溶製に際して、Mo若しくはW金属
母材を溶解するには、電子ビーム法、真空アーク法等の
公知の溶解手法が適宜に用いられることとなるが、得ら
れる溶解製品(高融点金属材)中に含まれる不純物元素
の含有量を、本発明に従って低減せしめるために、その
ような溶製操作が真空下、特に高真空下において実施さ
れることとなる。これによって、MO若しくはW金属溶
湯中に存在する不純物は、MoやWとの蒸気圧差により
蒸発、除去せしめられるようになるのである。そして、
本発明に従う不純物含有量以下にするには、そのような
蒸発による不純物の除去率を高めるために、溶融状態で
の滞留時間を長くしたり、溶WJA<溶融・凝固)操作
を複数回繰り返す等の手法が採用される。なお、溶製操
作の複数回の繰返しには、同じ溶解方法が採用される他
、異なる溶解方法が組み合わせて用いられることとなる
中でも、本発明にあっては、溶製操作を有利に行ない得
る電子ビーム溶解法が好適に採用され、この電子ビーム
溶解法による溶製操作の繰返しによって高純度のMo若
しくはW金属溶解品が製造される。
この電子ビーム溶解法は、例えば第3図に示されるよう
にして行なわれるものである。そこにおいて、2は、電
子ビーム(EB)にて溶解されるMo若しくはW金属か
らなる棒状の溶解原料(母材)である。この棒状の溶解
原料2には、公知の粉末戒形手法に従って、Mo若しく
はW金属の粉末から戒形して得られる焼結体を用いるこ
とが出来るが、そのような焼結体等のMo若しくはW金
属材料を一旦溶解して凝固せしめることにより得られる
ものが、純度が向上している点で好ましく用いられる。
そして、そのような棒状の溶解原料2の下端部に対して
、EB照射装置4において発生せしめられた電子ビーム
(EB.)を照射せしめて、その表面を溶解させ、溶解
原料2の下端から落下する溶融滴2aを集め、それを通
常の連続鋳造に用いられている筒状の水冷モールド6を
用いて連続鋳造するのである。即ち、溶解原料2から落
下する溶融滴2aを水冷モールド6中に置いたブロック
上に受けて、溶湯(溶融金属)のプールIOを形威し、
それを水冷モールド6による外周部からの冷却にて凝固
せしめる一方、ブロックを徐々に下方に引き下げること
により、連続的に鋳塊12を得るのである。
また、この連続鋳造操作に際して、好ましくは、フロッ
ク上に形戒される溶湯ブール10の表面にもEB照射装
置4からの電子ビーム(EB2 )が照射せしめられ、
その温度保持が行なわれることとなるのであり、更に水
冷モールド6からの鋳塊12の引き下げ速度も低速とさ
れる。なお、EBエネルギーの分配は単ガン方式にせよ
、例示の如き複ガン方弐にせよ、溶解原料2の下端部に
当るEB,より溶湯プール10に向けるE B 2が多
くなるようにされることとなる。また、水冷モールド6
は、そのEB溶解設備において使用可能な範囲で、最大
の径のものを用いるのが好ましい。それにより、ゆっく
りした鋳塊引き下げが出来、以て滞留時間を長くするこ
とが出来る。また、このような溶解鋳造工程において、
その雰囲気は高真空下に保持されることとなる。
そして、このようにして得られた高純度のMo若しくは
W凝固鋳塊l2には、通常の塑性加工が熱間や温間にお
いて実施され、目的とする加工製品とされるのであるが
、その際、本発明に従って、粒界割れ等の問題が有利に
抑制乃至は阻止されるものであるところから、そのよう
な加工操作が効果的に実現され得るのである。
(実施例) 以下に、本発明の代表的な実施例を示し、本発明を更に
具体的に明らかにすることとするが、本発明が、そのよ
うな実施例の記載によって、何等限定的に解釈されるも
のでないことは、言うまでもないところである。
さらに、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない限りにお
いて、当業者の知識に基づき種々なる変形、修正、改良
等を加えた形態において実施され得るものであり、その
ような実施形態のものが、何れも本発明の範晴に属する
ものであることが、理解されるべきである。
先ず、Mo金属粉末から得られた焼結体の棒を用いて、
市販のEB溶解装置にて溶解せしめ、高純度Mo金属材
製造用の母材を準備した。
次いで、かかる得られたMO金属母材を、第3図の如き
EB溶解装置構戒において、溶解し、凝固せしめること
により、多結晶のMO金属鋳塊を鋳造した.そして、こ
の溶製操作を繰り返すことに゛より、Mo金属溶湯中に
存在する不純物を蒸発、除去せしめ、その高純度化を図
り、不純物含有量の異なる2種のMo金属鋳塊(多結晶
体):A.Bを得た。なお、EB出力は2 5 0 K
Wであり、EBのエネルギーは母材の溶解に40%、溶
湯ブールの保温に60%となるように配分した。また、
EB溶解の雰囲気の真空度はI X 1 0 −’To
rr以下とすると共に、溶解速度を60kg/Hrとし
、160mmφの径の鋳塊とした。
かくして得られた2種のEB溶解品(A,B)について
、その不純物元素の含有量に関して分析を行ない(金属
系不純物元素についてはICP分析を採用)、その結果
を下記第1表に示した。
また、かくして得られた2種のEB溶解品(AB)につ
いて、それぞれ、下記の条件下において鍛造・圧延を行
なった。
皿こ且度    サンプルサイズ 鍛造  1 3 0 0 ’C   φ160  →3
0t圧延   400″C  φ 30 →0.3t圧
延  (室温)      0.3t−+0.05tこ
の鍛造・圧延の結果、金属系不純物元素の含有量の多い
鋳塊Aにあっては、粒界割れが認められたのに対して、
本発明に従って、金属系不純物元素の各威分の含有量が
それぞれ1ppm以下とされた鋳塊Bにあっては、粒界
割れは何等認められず、鍛造・圧延操作が有効に実施さ
れ得ることが判った。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は、それぞれ、本発明に従うMo熔解
品と従来の粉末焼結品についての引張特性の温度変化を
示すグラフ及び板厚と加工温度の関係を示すグラフであ
り、また第3図は、EB溶解鋳造方式の一例を示す説明
図である。 2:溶解原料    4:EB照射装置6:水冷モール
ト”  Io:溶湯プール12:鋳塊

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)溶融・凝固して得られるMo若しくはWからなる
    高融点金属材において、金属系不純物元素の各成分の含
    有量を、それぞれ、1ppm以下としたことを特徴とす
    る塑性加工の可能な高融点金属材。
  2. (2)ガス系不純物元素であるC、N及びOの含有量を
    、それぞれ、30ppm以下、30ppm以下及び10
    ppm以下としたことを特徴とする請求項(1)記載の
    高融点金属材。
JP30158189A 1989-11-20 1989-11-20 塑性加工の可能な高融点金属材 Pending JPH03162544A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30158189A JPH03162544A (ja) 1989-11-20 1989-11-20 塑性加工の可能な高融点金属材

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30158189A JPH03162544A (ja) 1989-11-20 1989-11-20 塑性加工の可能な高融点金属材

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03162544A true JPH03162544A (ja) 1991-07-12

Family

ID=17898672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30158189A Pending JPH03162544A (ja) 1989-11-20 1989-11-20 塑性加工の可能な高融点金属材

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03162544A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002356732A (ja) * 2001-05-29 2002-12-13 Toshiba Corp レニウムタングステン線、プローブピンおよびそれを具備する検査装置
JP2003022781A (ja) * 2000-04-18 2003-01-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高圧放電ランプ及び高圧放電ランプ用電極
JP2010215933A (ja) * 2009-03-13 2010-09-30 Allied Material Corp モリブデン板およびモリブデン板の製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003022781A (ja) * 2000-04-18 2003-01-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高圧放電ランプ及び高圧放電ランプ用電極
JP2002356732A (ja) * 2001-05-29 2002-12-13 Toshiba Corp レニウムタングステン線、プローブピンおよびそれを具備する検査装置
JP2010215933A (ja) * 2009-03-13 2010-09-30 Allied Material Corp モリブデン板およびモリブデン板の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5519800B2 (ja) Cu−Ga合金スパッタリングターゲット及びその製造方法
DE02707863T1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Superlegierung auf Nickelbasis
WO2014077110A1 (ja) Cu-Ga合金スパッタリングターゲット及びその製造方法
JPH06264232A (ja) Ta製スパッタリングタ−ゲットとその製造方法
CN100523239C (zh) 用来制备具有再结晶立体纹理结构的镍基半制品的方法及这种镍基半制品的应用
JP5750393B2 (ja) Cu−Ga合金スパッタリングターゲット及びその製造方法
JPH03162544A (ja) 塑性加工の可能な高融点金属材
RU2228382C2 (ru) Тантал-кремниевый сплав, изделия, содержащие их, и способ получения сплавов
JPH06264233A (ja) Tft製造用スパッタリングタ−ゲット
JPS6220847A (ja) 微細結晶粒を有する金属材料とその製造方法
JPH02311394A (ja) Wターゲット材
JPH0995743A (ja) 溶製金属系材料の製造方法及び溶製金属系材料並びに電子ビ−ム溶解設備
JP2708277B2 (ja) 圧延ままで鍛造性に優れるチタン合金熱延線棒材の製造方法
TWI564398B (zh) 鎳基合金及其製造方法
JP2973427B2 (ja) 塑性加工可能な高融点金属材の製造方法
JP7417056B2 (ja) チタン合金鋳塊
JPH02147195A (ja) コバルト・クロム基合金溶接材料の製造方法
JPH03193839A (ja) 高純度TiAl基金属間化合物およびその製造方法
RU2349658C1 (ru) Способ производства вольфрама высокой чистоты
JPH01136939A (ja) 熱間加工性に優れたNi基超合金の製造方法
JPH02274850A (ja) 金属間化合物TiAl基合金の熱処理方法
JPH06212376A (ja) モリブデン又はモリブデン合金棒,線或いは管の製造方法
Polishko The gas impurities influence on the characteristics of vt1-0 and vt6 titanium alloys
JP3049567B2 (ja) Ni基耐熱合金素材の製造方法
CN105002446B (zh) 一种厘米级尺寸的Ce‑Ga‑Cu‑Ni系大块非晶合金